CN2460511Y - 氙气提纯装置 - Google Patents
氙气提纯装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2460511Y CN2460511Y CN 00267028 CN00267028U CN2460511Y CN 2460511 Y CN2460511 Y CN 2460511Y CN 00267028 CN00267028 CN 00267028 CN 00267028 U CN00267028 U CN 00267028U CN 2460511 Y CN2460511 Y CN 2460511Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- xenon
- vacuum
- container
- getter
- getter pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
氙气提纯装置,其特征是:在容器中安装有折摺的吸气剂带构成吸气剂泵,吸气剂泵通过真空阀门分别与冷井A、B连接,同时还分别设置有与真空机组、与待提纯的氙气容器以及与氙气瓶连接的真空阀门。优化方案是在吸气剂泵处设有加热装置和测温仪。本装置能够方便地对氙气提纯,有效去除氙气中的杂质,使其重复使用,可节省大量经费。同时,本装置还可用于提高真空度,或者去除某些活性气体,达到改善真空质量的目的。
Description
本实用新型涉及一种气体的提纯装置,特别是一种惰性气体氙的提纯装置。
氙气因化学性质稳定,常在一些需要特殊保护气氛的场合作为工作气体。例如在核探测的气态探测器以及工业生产的一些特殊工种中常用的气体就是被称为黄金气体的氙气。氙气充入探测器的容器内作为工作气体,经过一段时间以后,由于容器内表面放气或者密闭不严等因素,会造成氙气纯度的降低,出现一些H2、O2、CO、CO2等杂质分子,气体纯度降低后会影响探测器的性能。在其他需要氙气作特殊气氛环境的领域,氙气纯度降低到一定程度时,也会影响其继续使用。这时必需更换新的氙气,在容器的容积较大时,更换氙气的费用很高。所以这些领域都需要从技术上解决氙气提纯问题。目前的现有技术中尚没有可行的技术方案。
本实用新型将提供一种氙气的提纯装置,该装置应能够方便地完成对氙气的提纯任务,当氙气使用一段时间,纯度降低以后,用本装置进行提纯,即可有效地去除其中常见的杂质,使氙气能够多次重复使用。同时,利用这种装置还可以去除真空环境中的杂质气体分子,以提高其真空度。
完成上述发明任务的方案是:氙气提纯装置:在容器中安装有折摺的吸气剂带构成吸气剂泵,吸气剂泵通过真空阀门分别与冷井A、B连接,同时还分别设置有与真空机组、与待提纯的氙气容器以及与氙气瓶连接的真空阀门。所说的吸气剂带是用ZrAl16二元合金吸气材料采用特殊工艺制成的(已有成熟商品)。上述方案可以进一步优化:在吸气剂泵处设有加热装置和测温仪,使吸气剂泵在400℃左右的最佳温度下工作,可提高其抽气速率。需要将某容器中的氙气提纯时,将该容器以及吸气机组、氙气瓶分别连接到本氙气提纯装置上,先由真空机组将冷井与吸气机泵抽吸至真空,关闭抽气阀门,打开连接容器、氙气瓶、冷井与吸气机泵的各阀门,氙气通过吸气剂泵收入冷井B,然后从冷井B中放出,通过吸气剂泵收入冷井A。如此反复几次,即可得到高纯度的氙气,重新充入容器中。
本实用新型提供的氙气提纯装置,能够方便地完成对氙气的提纯任务,可有效地去除氙气中常见的杂质,使氙气能够多次重复使用。图3、图4为在探测器中充入一个大气压的氙气,在氙气提纯前、后分别用241Am源测出的氙气谱图:提纯前在59keV处分辨率为27%;提纯后在59keV处分辨率为15%。说明对氙气提纯后,探测器的分辨率得到很大提高。并且节省了大量经费。同时,对于真空冶金、材料处理、高能离子加速器、电子显微镜、表面分析仪等高真空装置,当其中的真空度降低需要提高真空度,或者需要去除其中的某些活性气体成分时,将本装置与该容器连接,同样可达到改善真空质量的目的。
现结合实施例与附图作进一步说明。
图1为实施例1中本装置结构示意图;
图2为其中吸气剂泵结构示意图;
图3、图4为氙气被提纯前、后探测器测得的谱图(对比)。
实施例1,参照图1:氙气提纯装置,由吸气剂泵7与冷井A、B以及若干真空阀门组成,吸气剂泵通过真空阀门5与管道连接,真空阀门6与冷井B连接;真空阀门2与冷井A连接。真空阀门1可与真空机组8连接;真空阀门3可与待提纯的氙气容器9连接;真空阀门4可与氙气瓶12连接。其中吸气剂泵的结构参照图2:在不锈钢容器10中安装有折摺的吸气剂带11构成。所说的吸气剂带是用ZrAl16二元合金吸气材料采用特殊工艺制成的(已有成熟商品),将带折摺成若干平行段,各段之间的距离为5mm。加热器15设置在泵体中间,由电源14供电为吸气剂泵加温,同时设有测温仪13,使吸气剂泵在400℃左右的最佳温度下工作。需要将某容器,例如探测器中的氙气提纯时,将探测器连接到本氙气提纯装置的真空阀门3上;将真空机组连接到真空阀门1上;氙气瓶12连接到真空阀门4上。先将阀门3、4关闭,打开阀门1、2、5、6,由真空机组将系统抽吸至真空。关闭抽气阀门1,打开连接探测器、氙气瓶、冷井与吸气机泵的各阀门(阀门2、3、4、5、6),用液氮对两个冷井交替降温,使氙气通过吸气剂泵收入冷井B,然后从冷井B中放出,通过吸气剂泵收入冷井A。如此反复几次,即可得到高纯度的氙气,重新充入容器中。
Claims (2)
1、一种氙气提纯装置,其特征是:在容器中安装有折摺的吸气剂带构成吸气剂泵,吸气剂泵通过真空阀门分别与冷井A、B连接,同时还分别设置有与真空机组、与待提纯的氙气容器以及与氙气瓶连接的真空阀门。
2、按照权利要求1所述的氙气提纯装置,其特征是:在吸气剂泵处设有加热装置和测温仪。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 00267028 CN2460511Y (zh) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 氙气提纯装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 00267028 CN2460511Y (zh) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 氙气提纯装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2460511Y true CN2460511Y (zh) | 2001-11-21 |
Family
ID=33620958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 00267028 Expired - Fee Related CN2460511Y (zh) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 氙气提纯装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2460511Y (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110201495A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-09-06 | 中国原子能科学研究院 | 一种用于辐照生产裂变Mo-99工艺系统的尾气净化系统 |
-
2000
- 2000-12-22 CN CN 00267028 patent/CN2460511Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110201495A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-09-06 | 中国原子能科学研究院 | 一种用于辐照生产裂变Mo-99工艺系统的尾气净化系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100587264C (zh) | 真空排气装置和方法 | |
US6605134B2 (en) | Method and apparatus for collecting rare gas | |
KR101107196B1 (ko) | 가스 분리 장치 및 가스 분리 방법 | |
CN102398898A (zh) | 高纯磷烷的净化和分析 | |
CN2460511Y (zh) | 氙气提纯装置 | |
CN202141345U (zh) | 退火炉用尾气回收系统 | |
CN113758321B (zh) | 一种高温热管定量充液装置及方法 | |
CN1106343C (zh) | 利用吸气剂泵提纯氙气的方法 | |
US11557462B2 (en) | Collecting and recycling rare gases in semiconductor processing equipment | |
CN1990380B (zh) | 单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺 | |
CN1152251C (zh) | 激光极化惰性气体装置 | |
CN202272941U (zh) | 钛及钛合金u型弯管真空热处理装置 | |
RU2441693C2 (ru) | Устройство для концентрирования неона в газовых смесях, содержащих неон | |
CN208420812U (zh) | 一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统 | |
CN114082731A (zh) | 一种电子级正硅酸乙酯返回钢瓶的处理方法及装置 | |
CN108128758B (zh) | Sof2和sof4气体制备方法及系统 | |
CN203549376U (zh) | 一种充氦气设备 | |
JP4394131B2 (ja) | 表面清浄化部品の施工方法 | |
CN112337271A (zh) | 一种氯化氢钢瓶的除水方法及装置 | |
CN1116295A (zh) | 热处理装置 | |
CN108302837B (zh) | 分置式斯特林制冷机排出器纯化循环装置及其控制方法 | |
CN210683222U (zh) | 一种高压容器存储的一氧化氮净化装置 | |
Berndt et al. | Performance characteristics of large scroll pumps | |
CN115541336B (zh) | 二氧化碳离线纯化的装置及方法 | |
Laurenson et al. | Rotary pump backstreaming: an analytical appraisal of practical results and the factors affecting them |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |