JP4394131B2 - 表面清浄化部品の施工方法 - Google Patents
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Description
2a,2b,2c,2d 被表面清浄化部品
2e 孔
3a,3b ガスサンプリング配管
4a,4b 高感度ガス分析装置
5a,5A,5b,5B 加熱手段
6a,6A,6b,6B 温度センサー
7a,7A,7b,7B 温度調節器
8 冷却ファン
9 ガス切り替え手段
10 分岐管
11c,11d オールメタルバルブ
12 ガス流出口
13c ブラインドナット
14 高純度不活性ガス保有容器
15 クリップ部材
16 ガス供給源
16a ガス貯蔵源
16b レギュレータ
17 流量計
18 純化器
19 加熱部
20 保温材
21 高純度不活性ガス流入口
22 被表面清浄化部品
23 ガスサンプリング配管
24 高感度ガス分析装置
25a,25A 加熱手段
26a,26A 温度センサー
27a,27A 温度調節器
28 冷却ファン
30 半導体製造装置
31 処理ガス供給源
32 プロセスチャンバ
33 配管
34 高感度ガス分析装置
35 加熱手段
36 温度センサー
37 温度調整器
Claims (12)
- 複数個の表面清浄化部品を組み立てるに際し、高純度不活性ガスを流しながら、ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側へと組み立てを行っていく表面清浄化部品の施工方法であって、
前記表面清浄化部品は、所定の表面清浄化を行った後、大気に暴露させる事なく高純度不活性ガスを充満させて気密封じを行ったものであり、
前記所定の表面清浄化は、高純度ガス供給部品において、ガス流路内に高純度不活性ガスを通流させた状態で、被表面清浄化部品の外周部より昇温加熱を行った後、室温まで冷却して、実質的に酸化膜を形成させる事なく、ガス流路内に吸着している水素、水分、有機物の吸着量を低減させる表面清浄化方法である、
ことを特徴とする表面清浄化部品の施工方法。 - 複数個の表面清浄化部品を組み立てるに際し、高純度不活性ガスを流しながら、ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側へと組み立てを行っていく表面清浄化部品の施工方法であって、
前記表面清浄化部品は、所定の表面清浄化を行った後、大気に暴露させる事なく高純度不活性ガスを充満させて気密封じを行ったものであり、
前記所定の表面清浄化は、高純度不活性ガスを通流させた雰囲気で、金属材料、金属蒸着材料、乃至金属メッキ材料のいずれかを、少なくとも一部に有する被表面清浄化部品を昇温加熱した後、室温まで冷却して、実質的に酸化膜を形成させることなく、表面の水素濃度を低減させる表面清浄化方法である、
ことを特徴とする表面清浄化部品の施工方法。 - 前記表面清浄化部品は、その一部に高純度不活性ガス保有容器を備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の表面清浄化部品の施工方法。
- 表面清浄化処理工場にて、表面清浄化部品を製作し、輸送手段を用いて現地まで輸送し、現地にて組み立てを行う表面清浄化部品の施工方法であって、
前記表面清浄化部品は、所定の表面清浄化を行った後、大気に暴露させる事なく高純度不活性ガスを充満させて気密封じを行ったものであり、
前記所定の表面清浄化は、高純度ガス供給部品において、ガス流路内に高純度不活性ガスを通流させた状態で、被表面清浄化部品の外周部より昇温加熱を行った後、室温まで冷却して、実質的に酸化膜を形成させる事なく、ガス流路内に吸着している水素、水分、有機物の吸着量を低減させる表面清浄化方法である、
ことを特徴とする表面清浄化部品の施工方法。 - 表面清浄化処理工場にて、表面清浄化部品を製作し、輸送手段を用いて現地まで輸送し、現地にて組み立てを行う表面清浄化部品の施工方法であって、
前記表面清浄化部品は、所定の表面清浄化を行った後、大気に暴露させる事なく高純度不活性ガスを充満させて気密封じを行ったものであり、
前記所定の表面清浄化は、高純度不活性ガスを通流させた雰囲気で、金属材料、金属蒸着材料、乃至金属メッキ材料のいずれかを、少なくとも一部に有する被表面清浄化部品を昇温加熱した後、室温まで冷却して、実質的に酸化膜を形成させることなく、表面の水素濃度を低減させる表面清浄化方法である、
ことを特徴とする表面清浄化部品の施工方法。 - 前記表面清浄化部品は、その一部に高純度不活性ガス保有容器を備えたことを特徴とする請求項4又は5記載の表面清浄化部品の施工方法。
- 各々が配管装置の構成部品である複数の表面清浄化物を組み立てるに際し、高純度不活性ガスを流しながら、ガスの流れの方向に沿って上流側から下流側へと組み立てを行っていく表面清浄化部品の施工方法であって、
前記表面清浄化物は、内部に流路を有し当該内部流路の壁面を清浄化表面とする物品であり、所定の表面清浄化方法が行われた後に、前記内部流路を大気に暴露させることなく前記内部流路内に高純度不活性ガスを充満させて前記内部流路の気密封じを行ったものであり、
前記所定の表面清浄化方法は、ガス流路内に前記被表面清浄化物の被清浄化表面が露出し、前記被表面清浄化物の前記被清浄化表面が高い温度に保持された状態で、前記ガス流路内に高純度不活性ガスを通流させる第1の段階を備えた、
ことを特徴とする表面清浄化部品の施工方法。 - 前記表面清浄化物は、内部に高圧の高純度不活性ガスを保有した高純度不活性ガス保有容器であって、その内部が前記内部流路に連通可能な高純度不活性ガス保有容器を備えたことを特徴とする請求項7記載の表面清浄化部品の施工方法。
- 各々が配管装置の構成部品である複数の表面清浄化物を組み立てるに際し、高純度不活性ガスを流しながら、ガスの流れの方向に沿って上流側から下流側へと組み立てを行っていく表面清浄化部品の施工方法であって、
前記表面清浄化物は、所定の表面清浄化方法が行われた後に、当該表面清浄化物を大気に暴露させることなく前記内部に高純度不活性ガスを充満させた容器内に収容して前記容器の気密封じを行ったものであり、
前記所定の表面清浄化方法は、ガス流路内に前記被表面清浄化物の被清浄化表面が露出し、前記被表面清浄化物の前記被清浄化表面が高い温度に保持された状態で、前記ガス流路内に高純度不活性ガスを通流させる第1の段階を備えた、
ことを特徴とする表面清浄化部品の施工方法。 - 前記所定の表面清浄化方法は、前記第1の段階の後に、前記ガス流路内に前記高純度不活性ガスを通流させながら、前記被表面清浄化物の前記被清浄化表面の温度を略々室温に戻す第2の段階を備えたことを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の表面清浄化部品の施工方法。
- 前記所定の表面清浄化方法において、前記第1の段階及びその後の前記第2の段階が、複数回繰り返されることを特徴とする請求項10記載の表面清浄化部品の施工方法。
- 前記所定の表面清浄化方法は、前もって当該流路を真空引きする予備段階を備えたことを特徴とする請求項7乃至11のいずれかに記載の表面清浄化部品の施工方法。
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2007
- 2007-03-17 JP JP2007069672A patent/JP4394131B2/ja not_active Expired - Lifetime
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