CN221686073U - 一种探针卡生产加工用检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于探针卡检测设备技术领域，具体涉及了一种探针卡生产加工用检测装置，包括检测基座、固定测量臂和可调测量臂，所述检测基座呈U字形，所述检测基座的左侧安装有压力表，所述固定测量臂固定连接于检测基座的一端，且所述固定测量臂的右侧面嵌设安装有压力传感器，所述可调测量臂位于固定测量臂的右侧并与所述固定测量臂对称设置，所述检测基座的内侧装设有用于驱动可调测量臂移动的驱动机构。通过驱动机构使可调测量臂移动并和固定测量臂之间的距离变小，可调测量臂移动挤压探针卡，压力传感器检测探针卡受到的压力并传递至压力表进行显示，对探针卡受压能力进行检测，确保合格率来保证产品在使用过程中的安全性。

Description

一种探针卡生产加工用检测装置

技术领域

本实用新型涉及探针卡检测设备技术领域，更具体地说，涉及一种探针卡生产加工用检测装置。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号，对芯片参数进行测试，近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向32纳米以下挺进，产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。

然而，一般的探针卡在运输或者使用时，一旦被挤压踩踏，容易导致探针卡的变形，产生一定的危险，因此，亟需一种探针卡生产加工用检测装置来对探针卡进行压力检测，检测产品的合格率来保证产品在使用过程中的安全性。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种探针卡生产加工用检测装置，其优点在于结构简单使用方便，便于对探针卡的受压能力进行检测，确保合格率来保证产品在使用过程中的安全性。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种探针卡生产加工用检测装置，包括：

检测基座，所述检测基座呈U字形，所述检测基座的左侧安装有压力表；

固定测量臂，所述固定测量臂固定连接于检测基座的一端，且所述固定测量臂的右侧面嵌设安装有压力传感器；

可调测量臂，所述可调测量臂位于固定测量臂的右侧并与所述固定测量臂对称设置，所述检测基座的内侧装设有用于驱动可调测量臂移动的驱动机构。

作为本实用新型再进一步的方案：所述驱动机构包括有伺服电机、螺纹杆和移动块，所述伺服电机固定安装于检测基座的右侧，所述螺纹杆通过轴承转动连接与检测基座内壁的左侧，所述螺纹杆的右端贯穿检测基座并和伺服电机的输出轴固定连接，所述移动块螺纹连接于螺纹杆的外侧，且所述可调测量臂固定连接于移动块的顶部。

作为本实用新型再进一步的方案：所述检测基座的内侧底部上开设有滑槽，所述移动块的底部固定连接有滑块，所述滑块的底端延伸至滑槽的内侧并与所述滑槽的内壁滑动配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述压力表通过导线和压力传感器电连接，所述压力表采用数显压力表。

作为本实用新型再进一步的方案：所述可调测量臂的左侧固定连接有置物板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述检测基座的左侧开设有位于固定测量臂下方的容纳通槽，所述容纳通槽的位置与形状和置物板相适配。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

本实用新型通过将探针卡至于可调测量臂和固定测量臂之间，可放置在置物板上，通过驱动机构使可调测量臂移动并和固定测量臂之间的距离变小，直至探针卡接触固定测量臂和可调测量臂相对的一侧，然后可调测量臂继续朝向固定测量臂移动，由此可使得可调测量臂挤压探针卡，又因压力传感器嵌设安装在固定测量臂的右侧面，由压力传感器检测探针卡受到的压力并传递至压力表进行显示，由此对探针卡的受压能力进行检测，确保合格率来保证产品在使用过程中的安全性。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型结构简单使用方便，便于对探针卡的受压能力进行检测，确保合格率来保证产品在使用过程中的安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A处放大结构示意图。

图中标号说明：

1、检测基座；2、固定测量臂；3、可调测量臂；4、压力传感器；5、驱动机构；51、伺服电机；52、螺纹杆；53、移动块；6、滑槽；7、滑块；8、压力表；9、置物板；10、容纳通槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种探针卡生产加工用检测装置，包括检测基座1、固定测量臂2和可调测量臂3。

检测基座1呈U字形，检测基座1的左侧安装有压力表8，固定测量臂2固定连接于检测基座1的一端，且固定测量臂2的右侧面嵌设安装有压力传感器4，可调测量臂3位于固定测量臂2的右侧并与固定测量臂2对称设置，检测基座1的内侧装设有用于驱动可调测量臂3移动的驱动机构5。

本实施例中，进一步的，驱动机构5包括有伺服电机51、螺纹杆52和移动块53，伺服电机51固定安装于检测基座1的右侧，螺纹杆52通过轴承转动连接与检测基座1内壁的左侧，螺纹杆52的右端贯穿检测基座1并和伺服电机51的输出轴固定连接，移动块53螺纹连接于螺纹杆52的外侧，且可调测量臂3固定连接于移动块53的顶部；

在使用时；通过伺服电机51工作带动螺纹杆52旋转，由螺纹杆52的螺纹传动带动移动块53移动，移动块53沿着螺纹杆52移动并带动可调测量臂3移动，当可调测量臂3移动和固定测量臂2之间距离变小时对探针卡进行挤压，可检测将探针卡产生不可逆形变所受压力的数值。

本实施例中，进一步的，检测基座1的内侧底部上开设有滑槽6，移动块53的底部固定连接有滑块7，滑块7的底端延伸至滑槽6的内侧并与滑槽6的内壁滑动配合；

在使用时，当移动块53移动时可带动滑块7在滑槽6内侧滑动，通过滑块7和滑槽6的滑动配合对移动块53进限位，使得移动块53带动可调测量臂3沿着螺纹杆52直线移动。

本实施例中，进一步的，压力表8通过导线和压力传感器4电连接，压力表8采用数显压力表；

在使用时，压力表8采用数显压力表，具有高精度、高稳定性和低测量误差的优点，并方便读数。

本实施例中，进一步的，可调测量臂3的左侧固定连接有置物板9；

在使用时，通过置物板9的设计，便于承载探针卡。

本实施例中，进一步的，检测基座1的左侧开设有位于固定测量臂2下方的容纳通槽10，容纳通槽10的位置与形状和置物板9相适配；

在使用时，当可调测量臂3和固定测量臂2之间距离缩小并小于置物板9的长度时，如果可调测量臂3可继续移动，则可带动置物板9移动至容纳通槽10内，避免置物板9抵触检测基座1的内壁导致不能正常检测的情况发生。

其中压力传感器4、压力表8和伺服电机51的型号均为符合本实施例使用的电器元件，其具体的电路连接方式以及使用方法均是常用公开的技术，在此就不进行过多赘述。

工作原理：本实用新型使用时，通过将探针卡至于可调测量臂3和固定测量臂2之间，可放置在置物板9上，通过伺服电机51工作带动螺纹杆52旋转，由螺纹杆52的螺纹传动带动移动块53移动，移动块53移动时可带动滑块7在滑槽6内侧滑动，使得移动块53带动可调测量臂3沿着螺纹杆52直线移动，可调测量臂3移动和固定测量臂2之间的距离变小直至探针卡接触固定测量臂2和可调测量臂3相对的一侧，然后可调测量臂3继续朝向固定测量臂2移动，由此可使得可调测量臂3挤压探针卡，又因压力传感器4嵌设安装在固定测量臂2的右侧面，由压力传感器4检测探针卡受到的压力并传递至压力表8进行显示，由此对探针卡的受压能力进行检测，确保合格率来保证产品在使用过程中的安全性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种探针卡生产加工用检测装置，其特征在于，包括：

检测基座(1)，所述检测基座(1)呈U字形，所述检测基座(1)的左侧安装有压力表(8)；

固定测量臂(2)，所述固定测量臂(2)固定连接于检测基座(1)的一端，且所述固定测量臂(2)的右侧面嵌设安装有压力传感器(4)；

可调测量臂(3)，所述可调测量臂(3)位于固定测量臂(2)的右侧并与所述固定测量臂(2)对称设置，所述检测基座(1)的内侧装设有用于驱动可调测量臂(3)移动的驱动机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡生产加工用检测装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括有伺服电机(51)、螺纹杆(52)和移动块(53)，所述伺服电机(51)固定安装于检测基座(1)的右侧，所述螺纹杆(52)通过轴承转动连接与检测基座(1)内壁的左侧，所述螺纹杆(52)的右端贯穿检测基座(1)并和伺服电机(51)的输出轴固定连接，所述移动块(53)螺纹连接于螺纹杆(52)的外侧，且所述可调测量臂(3)固定连接于移动块(53)的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡生产加工用检测装置，其特征在于：所述检测基座(1)的内侧底部上开设有滑槽(6)，所述移动块(53)的底部固定连接有滑块(7)，所述滑块(7)的底端延伸至滑槽(6)的内侧并与所述滑槽(6)的内壁滑动配合。

4.根据权利要求1所述的一种探针卡生产加工用检测装置，其特征在于：所述压力表(8)通过导线和压力传感器(4)电连接，所述压力表(8)采用数显压力表。

5.根据权利要求1所述的一种探针卡生产加工用检测装置，其特征在于：所述可调测量臂(3)的左侧固定连接有置物板(9)。

6.根据权利要求5所述的一种探针卡生产加工用检测装置，其特征在于：

所述检测基座(1)的左侧开设有位于固定测量臂(2)下方的容纳通槽(10)，所述容纳通槽(10)的位置与形状和置物板(9)相适配。