CN221337812U - 一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，涉及晶圆切割刀片冲切工装的技术领域，包括底板，底板的上表面右端安装有升降组件，升降组件的上端左侧面安装有导向组件，导向组件的左侧面对称安装有两个定位组件，两个定位组件相靠近的一端安装有斜打磨块，底板的上表面左端安装有转动组件，转动组件的上表面安装有螺纹柱，螺纹柱的外表面设置有晶圆切割刀片和夹持组件；通过以上结构的配合可以在对晶圆切割刀片边缘进行打磨时可以提高晶圆切割刀片的稳定性，进而提高加工精度。

Description

一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装

技术领域

本实用新型属于晶圆切割刀片冲切工装技术领域，具体为一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装。

背景技术

晶圆切割刀片高精度的冲切工装中包括的设备一般有冲切设备、打磨设备、检测设备等。这些设备能够确保晶圆切割刀片在冲切过程中保持一致的切割质量和效率，去除刀片上的微小缺陷、毛刺或磨损部分，使刀片保持精度和锋利度，延长其使用寿命。

在现有技术中，工作人员对刀片进行打磨时，一般是采用砂轮直接作用在环形刀片的刀口，在这个过程中需要工作人员工手持夹具从刀片的表面夹住刀片进行打磨时，同时也需要实时调整环形刀片的刀口以便进行完全打磨，而在实际操作过程中刀片在持续的打磨过程容易发生震动，工作人员手持夹具夹持刀片进行打磨容易发生偏移，影响晶圆切割刀片的加工精度。

为此提出一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了在对晶圆切割刀片边缘进行打磨时可以提高晶圆切割刀片的稳定性，进而提高加工精度，本申请提供一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，包括底板，所述底板的上表面右端安装有升降组件，所述升降组件的上端左侧面安装有导向组件，所述导向组件的左侧面对称安装有两个定位组件，两个所述定位组件相靠近的一端安装有斜打磨块，所述底板的上表面左端安装有转动组件，所述转动组件的上表面安装有螺纹柱，所述螺纹柱的外表面设置有晶圆切割刀片和夹持组件；

所述夹持组件包括有下橡胶垫圈，所述下橡胶垫圈套接在所述转动组件上端的所述螺纹柱外表面，所述下橡胶垫圈上端的所述螺纹柱外表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的外表面粘接有外橡胶垫，所述晶圆切割刀片套接在所述外橡胶垫的外表面，且所述外橡胶垫的外表面与所述晶圆切割刀片的中部通孔内壁相抵，所述螺纹套上端的所述螺纹柱外表面套接有上橡胶垫圈，所述上橡胶垫圈上端的所述螺纹柱外表面螺纹连接有螺栓。

进一步地，所述转动组件包括有电机，所述电机固定连接在所述底板的左端上表面，所述电机的输出端安装有转动轴，所述转动轴远离所述电机的一端固定连接有连接块，所述连接块的上表面与所述螺纹柱的下表面固定连接。

进一步地，所述升降组件包括有液压缸，所述液压缸的输出端安装有升降柱，所述升降柱远离所述液压缸的一端固定连接有固定板。

进一步地，所述导向组件包括有电动缸一，所述电动缸一固定连接在所述固定板的左侧面，所述电动缸一的输出端安装有活塞杆一，所述活塞杆一远离所述电动缸一的一端固定连接有连接板。

进一步地，所述定位组件包括有横板，所述横板的数量为两个，两个所述横板固定连接在所述连接板左侧面的上端和下端，两个所述横板相靠近的一侧面固定连接有电动缸二，所述电动缸二的输出端安装有活塞杆二，所述活塞杆二远离所述电动缸二的一端固定连接有连接柱，所述连接柱远离所述活塞杆二的一端与所述斜打磨块固定连接。

进一步地，所述底板的上表面中部开设有收集槽。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型中，在对晶圆切割刀片进行加工时，可以根据晶圆切割刀片中部通孔的大小选出适配的螺纹套螺纹连接在螺纹柱的外表面上并移动到螺纹柱的最下端，接着将晶圆切割刀片的中部通孔穿过螺纹柱后套接在螺纹套外表面的外橡胶垫上，然后将上橡胶垫圈穿过螺纹柱后贴合在晶圆切割刀片的上表面，同时使垫板活动穿过螺纹柱后贴合在上橡胶垫圈的上表面，然后在螺纹柱的上表面螺纹套接螺栓并一直向下移动，直到螺栓通过垫板很好的受力使上橡胶垫圈和螺纹套紧密的贴合在晶圆切割刀片的上表面和下表面；紧接着利用转动组件使晶圆切割刀片旋转在两个斜打磨块之间进行打磨时，柔性的上橡胶垫圈和螺纹套可以很好的对受到打磨的晶圆切割刀片进行减震，通过以上结构的配合可以在对晶圆切割刀片边缘进行打磨时可以提高晶圆切割刀片的稳定性，进而提高加工精度。

2.本实用新型中，利用夹持组件将晶圆切割刀片固定夹持后，可以启动液压缸使升降柱带动固定板带动导向组件向上移动，接着启动电动缸一使活塞杆一和连接板带动定位组件向晶圆切割刀片靠近，在这个过程中可以启动两个电动缸二使活塞杆二和连接柱带动两个斜打磨块相互靠近，并保持好两个斜打磨块之间的最短距离，接着使晶圆切割刀片的最外沿与两个斜打磨块之间最短距离的中部位于同一水平线，在定位组件不断靠近晶圆切割刀片边缘的同时，可以启动电机使转动轴带动连接块进行转动，进而带动螺纹柱和被夹持的晶圆切割刀片进行转动，从而对晶圆切割刀片的边缘进行打磨加工，从而提高对晶圆切割刀片的加工精度。

附图说明

图1为本实用新型的整体剖面图；

图2为本实用新型中转动组件、夹持组件和晶圆切割刀片的连接示意图；

图3为本实用新型中图1的A处放大图；

图4为本实用新型中螺纹套的结构示意图。

图中标记：1-底板、2-升降组件、3-导向组件、4-定位组件、5-转动组件、6-螺纹柱、7-晶圆切割刀片、8-夹持组件、9-斜打磨块、11-收集槽、21-液压缸、22-升降柱、23-固定板、31-电动缸一、32-活塞杆一、33-连接板、41-横板、42-电动缸二、43-活塞杆二、44-连接柱、51-电机、52-转动轴、53-连接块、81-下橡胶垫圈、82-上橡胶垫圈、83-垫板、84-螺栓、85-螺纹套、86-外橡胶垫。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

参照图1-图4，一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，包括底板1，底板1的上表面中部开设有收集槽11，底板1的上表面左端安装有转动组件5，转动组件5的上表面安装有螺纹柱6，螺纹柱6的外表面设置有晶圆切割刀片7和夹持组件8，具体为，收集槽11可以便于对晶圆切割刀片7打磨产生的碎屑进行收集；夹持组件8包括有下橡胶垫圈81，下橡胶垫圈81套接在转动组件5上端的螺纹柱6外表面，下橡胶垫圈81上端的螺纹柱6外表面螺纹连接有螺纹套85，具体为，在对晶圆切割刀片7进行加工时，可以根据晶圆切割刀片7中部通孔的大小选出适配的螺纹套85螺纹连接在螺纹柱6的外表面上并移动到螺纹柱6的最下端。

参照图1-图4，螺纹套85的外表面粘接有外橡胶垫86，晶圆切割刀片7套接在外橡胶垫86的外表面，且外橡胶垫86的外表面与晶圆切割刀片7的中部通孔内壁相抵，具体为，将晶圆切割刀片7的中部通孔穿过螺纹柱6后套接在螺纹套85外表面的外橡胶垫86上；螺纹套85上端的螺纹柱6外表面套接有上橡胶垫圈82，具体为，将上橡胶垫圈82穿过螺纹柱6后贴合在晶圆切割刀片7的上表面，同时使垫板83活动穿过螺纹柱6后贴合在上橡胶垫圈82的上表面。

参照图1-图4，上橡胶垫圈82上端的螺纹柱6外表面螺纹连接有螺栓84，具体为，螺纹柱6的上表面螺纹套接螺栓84并一直向下移动，直到螺栓84通过垫板83很好的受力使上橡胶垫圈82和螺纹套85紧密的贴合在晶圆切割刀片7的上表面和下表面，柔性的上橡胶垫圈82和螺纹套85可以在打磨时对晶圆切割刀片7进行减震，通过以上结构的配合可以在对晶圆切割刀片7边缘进行打磨时可以提高晶圆切割刀片7的稳定性，进而提高加工精度。

参照图1-图4，底板1的上表面右端安装有升降组件2，升降组件2包括有液压缸21，液压缸21的输出端安装有升降柱22，升降柱22远离液压缸21的一端固定连接有固定板23，升降组件2的上端左侧面安装有导向组件3，导向组件3包括有电动缸一31，电动缸一31固定连接在固定板23的左侧面，电动缸一31的输出端安装有活塞杆一32，活塞杆一32远离电动缸一31的一端固定连接有连接板33，导向组件3的左侧面对称安装有两个定位组件4，具体为，将晶圆切割刀片7固定夹持后，可以启动液压缸21使升降柱22带动固定板23带动导向组件3向上移动，接着启动电动缸一31使活塞杆一32和连接板33带动定位组件4向晶圆切割刀片7靠近。

参照图1-图4，两个定位组件4相靠近的一端安装有斜打磨块9，定位组件4包括有横板41，横板41的数量为两个，两个横板41固定连接在连接板33左侧面的上端和下端，两个横板41相靠近的一侧面固定连接有电动缸二42，电动缸二42的输出端安装有活塞杆二43，活塞杆二43远离电动缸二42的一端固定连接有连接柱44，连接柱44远离活塞杆二43的一端与斜打磨块9固定连接，具体为，启动两个电动缸二42使活塞杆二43和连接柱44带动两个斜打磨块9相互靠近，并保持好两个斜打磨块9之间的最短距离，接着使晶圆切割刀片7的最外沿与两个斜打磨块9之间最短距离的中部位于同一水平线。

参照图1-图4，转动组件5包括有电机51，电机51固定连接在底板1的左端上表面，电机51的输出端安装有转动轴52，转动轴52远离电机51的一端固定连接有连接块53，连接块53的上表面与螺纹柱6的下表面固定连接，具体为，在定位组件4不断靠近晶圆切割刀片7边缘的同时，可以启动电机51使转动轴52带动连接块53进行转动，进而带动螺纹柱6和被夹持的晶圆切割刀片7进行转动，从而对晶圆切割刀片7的边缘进行打磨加工，从而提高对晶圆切割刀片7的加工精度。

本申请一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装实施例的实施原理为：

利用以上工装时先接入外部电源，根据晶圆切割刀片7中部通孔的大小选出适配的螺纹套85螺纹连接在螺纹柱6的外表面上并移动到螺纹柱6的最下端，接着将晶圆切割刀片7的中部通孔穿过螺纹柱6后套接在螺纹套85外表面的外橡胶垫86上，然后将上橡胶垫圈82穿过螺纹柱6后贴合在晶圆切割刀片7的上表面，同时使垫板83活动穿过螺纹柱6后贴合在上橡胶垫圈82的上表面，然后在螺纹柱6的上表面螺纹套接螺栓84并一直向下移动，直到螺栓84通过垫板83很好的受力使上橡胶垫圈82和螺纹套85紧密的贴合在晶圆切割刀片7的上表面和下表面；紧接着利用转动组件5使晶圆切割刀片7旋转在两个斜打磨块9之间进行打磨时，柔性的上橡胶垫圈82和螺纹套85可以很好的对受到打磨的晶圆切割刀片7进行减震，通过以上结构的配合可以在对晶圆切割刀片7边缘进行打磨时可以提高晶圆切割刀片7的稳定性，进而提高加工精度。

在另一方面，将晶圆切割刀片7固定夹持后，可以启动液压缸21使升降柱22带动固定板23带动导向组件3向上移动，接着启动电动缸一31使活塞杆一32和连接板33带动定位组件4向晶圆切割刀片7靠近，在这个过程中可以启动两个电动缸二42使活塞杆二43和连接柱44带动两个斜打磨块9相互靠近，并保持好两个斜打磨块9之间的最短距离，接着使晶圆切割刀片7的最外沿与两个斜打磨块9之间最短距离的中部位于同一水平线，在定位组件4不断靠近晶圆切割刀片7边缘的同时，可以启动电机51使转动轴52带动连接块53进行转动，进而带动螺纹柱6和被夹持的晶圆切割刀片7进行转动，从而对晶圆切割刀片7的边缘进行打磨加工，从而提高对晶圆切割刀片7的加工精度。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的上表面右端安装有升降组件（2），所述升降组件（2）的上端左侧面安装有导向组件（3），所述导向组件（3）的左侧面对称安装有两个定位组件（4），两个所述定位组件（4）相靠近的一端安装有斜打磨块（9），所述底板（1）的上表面左端安装有转动组件（5），所述转动组件（5）的上表面安装有螺纹柱（6），所述螺纹柱（6）的外表面设置有晶圆切割刀片（7）和夹持组件（8）；

所述夹持组件（8）包括有下橡胶垫圈（81），所述下橡胶垫圈（81）套接在所述转动组件（5）上端的所述螺纹柱（6）外表面，所述下橡胶垫圈（81）上端的所述螺纹柱（6）外表面螺纹连接有螺纹套（85），所述螺纹套（85）的外表面粘接有外橡胶垫（86），所述晶圆切割刀片（7）套接在所述外橡胶垫（86）的外表面，且所述外橡胶垫（86）的外表面与所述晶圆切割刀片（7）的中部通孔内壁相抵，所述螺纹套（85）上端的所述螺纹柱（6）外表面套接有上橡胶垫圈（82），所述上橡胶垫圈（82）上端的所述螺纹柱（6）外表面螺纹连接有螺栓（84）。

2.如权利要求1所述的一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，其特征在于：所述转动组件（5）包括有电机（51），所述电机（51）固定连接在所述底板（1）的左端上表面，所述电机（51）的输出端安装有转动轴（52），所述转动轴（52）远离所述电机（51）的一端固定连接有连接块（53），所述连接块（53）的上表面与所述螺纹柱（6）的下表面固定连接。

3.如权利要求1所述的一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，其特征在于：所述升降组件（2）包括有液压缸（21），所述液压缸（21）的输出端安装有升降柱（22），所述升降柱（22）远离所述液压缸（21）的一端固定连接有固定板（23）。

4.如权利要求3所述的一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，其特征在于：所述导向组件（3）包括有电动缸一（31），所述电动缸一（31）固定连接在所述固定板（23）的左侧面，所述电动缸一（31）的输出端安装有活塞杆一（32），所述活塞杆一（32）远离所述电动缸一（31）的一端固定连接有连接板（33）。

5.如权利要求4所述的一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，其特征在于：所述定位组件（4）包括有横板（41），所述横板（41）的数量为两个，两个所述横板（41）固定连接在所述连接板（33）左侧面的上端和下端，两个所述横板（41）相靠近的一侧面固定连接有电动缸二（42），所述电动缸二（42）的输出端安装有活塞杆二（43），所述活塞杆二（43）远离所述电动缸二（42）的一端固定连接有连接柱（44），所述连接柱（44）远离所述活塞杆二（43）的一端与所述斜打磨块（9）固定连接。

6.如权利要求1所述的一种晶圆切割刀片高精度的冲切工装，其特征在于：所述底板（1）的上表面中部开设有收集槽（11）。