CN221320158U - 一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，涉及金刚石生长技术领域，包括托盘和托环，所述托盘的表面设置有托盘竖棱柱和托盘横棱柱以形成具有摆放金刚石籽晶的间隔区域，所述托环中心一圈设置有托环间隔棱柱，所述托环间隔棱柱横竖交叉设置以形成具有摆放两层金刚石籽晶的间隔区域，所述托环间隔棱柱的横棱柱将托环划分为内外两部分，竖棱柱隔离籽晶，所述托环内侧紧密相嵌在托盘外侧，本实用新型通过托环与托盘的紧密结合，在保证金刚石籽晶具有良好散热效果的同时，扩大其生长数量，本实用新型引入棱柱打造隔离区域，确保每一个籽晶具有良好的生长环境，而且结构简单、设计科学合理。

Description

一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置

技术领域

本实用新型涉及金刚石生长技术领域，具体是一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置。

背景技术

金刚石具有高热导率、低密度、高硬度、高电子迁移率、高化学稳定性等优异性能，在生产下一代高功率芯片、航天科技、卫星通讯、量子芯片等高端领域具有广阔的应用前景，然而天然金刚石产量少，生产成本高，大部分应用在首饰钻等装饰中，人工合成金刚石的方法主要分为高温高压法和化学气相沉积法，其中高温高压法是在超高温度与压力下驱动石墨转化为金刚石，该方法制备的金刚石尺寸小、缺陷多、成本高。

化学气相沉积金刚石是目前广泛应用的一种金刚石的制备方法，具有制备简单、沉积面积大、可规模化生产等优点，目前研究者通过调控金刚石生长中的功率、气压、掺杂气比例、生长温度等参数提高金刚石的生长速率和成品净度，现阶段沉积金刚石的微波电源多为2450 MHz，有效沉积直径75 mm，基台直径70 mm，放置金刚石籽晶较多时，在生长过程中会导致金刚石受到挤压开裂，放置数量较少时，生产效益随之降低，因此本实用新型提供了一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，以至少解决提高金刚石数量和防止其生长过程中挤压开裂等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，包括托盘和托环，所述托盘的表面设置有托盘竖棱柱和托盘横棱柱，所述托环中心一圈设置有托环间隔棱柱，所述托环内侧紧密相嵌在托盘外侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述托盘由上下两个圆台组成，所述托盘最大直径为50-100mm，整体高度5-10mm。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托盘的下圆台直径小于上圆台直径，但不小于上圆台直径的二分之一。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托环内径为50-100mm，所述托环有效直径10-20mm，所述托环内径形状与托盘形状互补，所述托环表面高度略低于托盘表面高度。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托盘竖棱柱和托盘横棱柱的长度为2-10mm，相邻两个所述托盘竖棱柱和托盘横棱柱间距大小为7-15mm。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托环间隔棱柱横竖交叉设置，所述托环间隔棱柱的横棱柱将托环划分为内外两部分，竖棱柱隔离籽晶。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托环间隔棱柱的横棱柱长度为2-10mm，竖棱柱长度略大于横棱柱长度，相邻两个竖棱柱和横棱柱的间距大小为7-15mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过托环与托盘的紧密结合，在保证金刚石籽晶具有良好散热效果的同时，扩大其生长数量。

2、本实用新型引入棱柱打造隔离区域，确保每一个籽晶具有良好的生长环境，而且结构简单、设计科学合理。

附图说明

图1为本实用新型基台装置结构示意图。

图2为本实用新型基台装置俯视图。

图3为本实用新型基台装置侧视图。

1、托盘；2、托环凸台；3、托环；4、托盘竖棱柱；5、托盘横棱柱；6、托环间隔棱柱。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本实用新型进一步详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相嵌”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；当然的，还可以是机械连接，也可以是电连接；另外的，还可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接相连，或者可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，包括托盘1和托环3。

如图2所示，托盘1的表面设置有托盘竖棱柱4和托盘横棱柱5以形成具有摆放金刚石籽晶的间隔区域。

如图1和图3所示，托环3中心一圈设置有托环间隔棱柱6，托环间隔棱柱6横竖交叉设置以形成具有摆放两层金刚石籽晶的间隔区域，托环间隔棱柱6的横棱柱将托环3划分为内外两部分，竖棱柱隔离籽晶，托环3内侧紧密相嵌在托盘1外侧。

如图3所示，托环3的背面设置有一圈托环凸台2。

托盘1由上下两个圆台组成，托盘1最大直径为90mm，整体高度7mm。

托盘1的下圆台直径小于上圆台直径，但不小于上圆台直径的二分之一，其中上圆台直径为90 mm，下圆台直径为70 mm。

托环3内径为90mm，托环3有效直径10mm，托环3内径形状与托盘1形状互补，托环3表面高度略低于托盘1表面高度，高度差为0.5 mm，以防止托环3内侧金刚石籽晶位移。

托盘竖棱柱4和托盘横棱柱5的长度为5mm，相邻两个托盘竖棱柱4和托盘横棱柱5间距大小为9mm。

托环间隔棱柱6的横棱柱长度为2mm，竖棱柱长度略大于横棱柱长度，相邻两个竖棱柱和横棱柱的间距大小为8mm。

最后应说明的是：以上各实施例仅仅为本实用新型的较优实施例用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，当然更不是限制本实用新型的专利范围；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围；也就是说，但凡在本实用新型的主体设计思想和精神上作出的毫无实质意义的改动或润色，其所解决的技术问题仍然与本实用新型一致的，均应当包含在本实用新型的保护范围之内；另外，将本实用新型的技术方案直接或间接的运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，包括托盘（1）和托环（3），其特征在于：所述托盘（1）的表面设置有托盘竖棱柱（4）和托盘横棱柱（5），所述托环（3）中心一圈设置有托环间隔棱柱（6），所述托环（3）内侧紧密相嵌在托盘（1）外侧。

2.根据权利要求1所述的一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，其特征在于：所述托盘（1）由上下两个圆台组成，所述托盘（1）最大直径为50-100mm，整体高度5-10mm。

3.根据权利要求2所述的一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，其特征在于：所述托盘（1）的下圆台直径小于上圆台直径，但不小于上圆台直径的二分之一。

4.根据权利要求1所述的一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，其特征在于：所述托环（3）内径为50-100mm，所述托环（3）有效直径10-20mm，所述托环（3）内径形状与托盘（1）形状互补，所述托环（3）表面高度略低于托盘（1）表面高度。

5.根据权利要求1所述的一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，其特征在于：所述托盘竖棱柱（4）和托盘横棱柱（5）的长度为2-10mm，相邻两个所述托盘竖棱柱（4）和托盘横棱柱（5）间距大小为7-15mm。

6.根据权利要求1所述的一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，其特征在于：所述托环间隔棱柱（6）横竖交叉设置，所述托环间隔棱柱（6）的横棱柱将托环（3）划分为内外两部分，竖棱柱隔离籽晶。

7.根据权利要求6所述的一种扩大金刚石籽晶生长数量的基台装置，其特征在于：所述托环间隔棱柱（6）的横棱柱长度为2-10mm，竖棱柱长度略大于横棱柱长度，相邻两个竖棱柱和横棱柱的间距大小为7-15mm。