CN221096968U - 一种泵体冷却结构、泵体冷却系统及分子泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及设备冷却降温技术领域，具体涉及一种泵体冷却结构、泵体冷却系统及分子泵，泵体冷却结构包括：多个冷却通道，设置于泵体的内部；所述多个冷却通道互相连通设置；在所述多个冷却通道内流通有冷却介质；本申请采用上述技术方案，通过将冷却通道设置在泵体的内部，取消现有技术中的水套、电机壳外部水冷槽、电机壳和下轴承座的内部水道等；仅需设置冷却通道，几乎不增加零部件，且加工工序较少。本申请技术方案实现冷却介质在泵体内的循环，将泵体及与泵体相关的电机壳和下轴承座等部位的热量传递出去，通过热交换，也实现对润滑油的冷却，进而实现对高速旋转轴系部件的降温。

Description

一种泵体冷却结构、泵体冷却系统及分子泵

技术领域

本实用新型涉及设备冷却降温技术领域，具体涉及一种泵体冷却结构、泵体冷却系统及分子泵。

背景技术

分子泵工作在高真空环境中，分子流态下，经过叶片的气体分子的平均自由程远远大于叶片通道的几何尺寸。气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动。分子泵流态的获取依靠电机带动轴系零部件，在动叶列组合状态下，实现气体分子的定向流动，并获取相应的高抽速与压缩比。

电机带动轴系零部件高速旋转。在电机运转过程中以及气流与叶片的碰撞过程中会产生部分热量，热量主要来源于轴系零部件的高速旋转部位，例如：电机部位和轴承部位。若这些部分热量不交换出去，分子泵温度升高，会对分子泵造成两大影响。第一，温度升高，油分子蒸发加剧，污染分子泵的内部空间；第二，温度升高，润滑油的粘性降低，影响轴承润滑效果，轴承寿命缩短，分子泵的寿命缩短。

为了实现分子泵冷却，如图1所示，通常在电机壳1的外部加工多个连通且盘绕的冷水槽2，多个冷水槽2通过电机壳1内部加工的内部水道6连通。水套3套设在电机壳外部，在水套3靠近边缘的部位与电机壳1之间设有密封圈4。在下轴承座5的内部也加工有内部水道6，从而在冷水槽2与水套3之间以及内部水道6共同形成密闭空间。通过供水接头7向密封空间内加注冷却水，从而实现对分子泵电机及下轴承部位的冷却。但是，上述冷却方式的加工工序较多，零部件较多，且加工难度较大。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服如图1所示在电机壳1的外部加工冷水槽2，在电机壳1和下轴承座5的内部加工内部水道6，结合水套3、密封圈4和供水接头7等实现分子泵冷却的方式，具有加工工序较多，零部件较多，且加工难度较大的缺陷。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种泵体冷却结构，包括：

多个冷却通道，设置于泵体的内部；

所述多个冷却通道互相连通设置；

在所述多个冷却通道内流通有冷却介质。

可选地，多个冷却通道包括：

至少一个第一通孔，设置于所述泵体的内部；

多个第二通孔，设置于所述泵体的内部，且所述第一通孔与第二通孔相交贯通。

可选地，所述第一通孔的两端均为封堵设置；所述第二通孔的一端为封堵设置，所述第二通孔的另一端引入或输出冷却介质。

可选地，在所述第二通孔引入冷却介质的一端连接有冷却介质引入接头；在所述第二通孔输出冷却介质的一端连接有冷却介质输出接头。

可选地，所述冷却介质引入接头适于与外部冷却介质供给结构连接。

可选地，所述第一通孔的数量为一个；所述第二通孔的数量为两个；两个所述第二通孔互相平行；且两个所述第二通孔与所述第一通孔垂直相交。

可选地，在所述第一通孔和第二通孔的封堵端均加工有台阶孔，通过堵头密封连接在所述台阶孔中设有的管螺纹上。

可选地，所述冷却介质为冷却水。

本实用新型还提供一种泵体冷却系统，包括所述的泵体冷却结构。

本实用新型还提供一种分子泵，包括所述的泵体冷却结构。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1.本实用新型提供的泵体冷却结构，包括：多个冷却通道，设置于泵体的内部；所述多个冷却通道互相连通设置；在所述多个冷却通道内流通有冷却介质；本申请采用上述技术方案，通过将冷却通道设置在泵体的内部，取消现有技术中的水套、电机壳外部水冷槽、电机壳和下轴承座的内部水道等；仅需设置冷却通道，几乎不增加零部件，且加工工序较少。本申请技术方案实现冷却介质在泵体内的循环，将泵体及与泵体相关的电机壳和下轴承座等部位的热量传递出去，通过热交换，也实现对润滑油的冷却，进而实现对高速旋转轴系部件的降温。

2.本实用新型多个冷却通道包括：至少一个第一通孔，设置于所述泵体的内部；多个第二通孔，设置于所述泵体的内部，且所述第一通孔与第二通孔相交贯通；本申请采用上述技术方案，具体限定冷却通道的形式为第一通孔和第二通孔，与现有技术相比，加工难度大大降低。

3.本实用新型所述第一通孔的两端均为封堵设置；所述第二通孔的一端为封堵设置，所述第二通孔的另一端引入或输出冷却介质；本申请采用上述技术方案，通过第一通孔循环流动冷却介质，通过第二通孔循环输入输出冷却介质；各部分结构具有各自的功能，使得泵体冷却结构稳定有序运行。

4.本实用新型在所述第二通孔引入冷却介质的一端连接有冷却介质引入接头；在所述第二通孔输出冷却介质的一端连接有冷却介质输出接头；本申请采用上述技术方案，方便与外部冷却介质输入输出管路连接。

5.本实用新型所述冷却介质引入接头适于与外部冷却介质供给结构连接；本申请采用上述技术方案，提供稳定的冷却介质输入。

6.本实用新型所述第一通孔的数量为一个；所述第二通孔的数量为两个；两个所述第二通孔互相平行；且两个所述第二通孔与所述第一通孔垂直相交；本申请采用上述技术方案，尽量减少冷却介质输入输出的接口，降低成本；同时增强整个泵体冷却结构的可靠性，减少泄漏。

7.本实用新型在所述第一通孔和第二通孔的封堵端均加工有台阶孔，通过堵头密封连接在所述台阶孔中设有的管螺纹上；本申请采用上述技术方案，可靠地对不需要输入输出冷却介质的端部进行有效封堵，防止泄漏；提高泵体冷却结构的可靠性。

8.本实用新型所述冷却介质为冷却水；本申请采用上述技术方案，利用平日常见的冷却水为冷却介质，降低成本。

9.本实用新型提供的泵体冷却系统，包括所述的泵体冷却结构；本申请采用上述技术方案，通过将冷却通道设置在泵体的内部，取消现有技术中的水套、电机壳外部水冷槽、电机壳和下轴承座的内部水道等；仅需设置冷却通道，几乎不增加零部件，且加工工序较少。本申请技术方案实现冷却介质在泵体内的循环，将泵体及与泵体相关的电机壳和下轴承座等部位的热量传递出去，通过热交换，也实现对润滑油的冷却，进而实现对高速旋转轴系部件的降温。不仅实现泵体冷却系统的冷却功能；而且进一步降低泵体冷却系统的成本。

10.本实用新型提供的分子泵，包括所述的泵体冷却结构；本申请采用上述技术方案，通过将冷却通道设置在泵体的内部，取消现有技术中的水套、电机壳外部水冷槽、电机壳和下轴承座的内部水道等；仅需设置冷却通道，几乎不增加零部件，且加工工序较少。本申请技术方案实现冷却介质在泵体内的循环，将泵体及与泵体相关的电机壳和下轴承座等部位的热量传递出去，通过热交换，也实现对润滑油的冷却，进而实现对高速旋转轴系部件的降温和整个分子泵的冷却功能；同时也进一步降低分子泵的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中分子泵冷却结构的剖视结构示意图；

图2为本实用新型实施方式中提供的泵体冷却结构的剖视结构示意图。

附图标记说明：

1、电机壳；2、冷水槽；3、水套；4、密封圈；5、下轴承座；6、内部水道；7、供水接头；8、泵体；9、冷却通道；10、堵头；11、冷却介质引入接头；12、冷却介质输出接头；13、第一通孔；14、第二通孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图2所示的泵体冷却结构的一种具体实施方式，包括：设置于泵体8内部的多个冷却通道9。

所述多个冷却通道9互相连通设置；在所述多个冷却通道9内流通有冷却介质；具体的，所述冷却介质为冷却水。多个冷却通道9包括：至少一个第一通孔13和多个第二通孔14。所述第一通孔13设置于所述泵体8的内部；多个第二通孔14设置于所述泵体8的内部，且所述第一通孔13与第二通孔14相交贯通。所述第一通孔13的两端均为封堵设置；所述第二通孔14的一端为封堵设置，所述第二通孔14的另一端引入或输出冷却介质。具体的，在所述第一通孔13和第二通孔14的封堵端均加工有台阶孔，通过堵头10密封连接在所述台阶孔中设有的管螺纹上。进一步的，在所述第二通孔14引入冷却介质的一端连接有冷却介质引入接头11；在所述第二通孔14输出冷却介质的一端连接有冷却介质输出接头12。所述冷却介质引入接头11适于与外部冷却介质供给结构连接。具体的，所述第一通孔13的数量为一个；所述第二通孔14的数量为两个；两个所述第二通孔14互相平行；且两个所述第二通孔14与所述第一通孔13垂直相交。

本实用新型还提供一种泵体冷却系统，包括所述的泵体冷却结构。

本实用新型还提供一种分子泵，包括所述的泵体冷却结构。

本申请提供的泵体冷却结构，对于分子泵而言，不仅降低分子泵的电机壳的加工难度，而且减少水质对电机壳的腐蚀。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种泵体冷却结构，其特征在于，包括：

多个冷却通道(9)，设置于泵体(8)的内部；

所述多个冷却通道(9)互相连通设置；

在所述多个冷却通道(9)内流通有冷却介质。

2.根据权利要求1所述的泵体冷却结构，其特征在于，多个冷却通道(9)包括：

至少一个第一通孔(13)，设置于所述泵体(8)的内部；

多个第二通孔(14)，设置于所述泵体(8)的内部，且所述第一通孔(13)与第二通孔(14)相交贯通。

3.根据权利要求2所述的泵体冷却结构，其特征在于，

所述第一通孔(13)的两端均为封堵设置；所述第二通孔(14)的一端为封堵设置，所述第二通孔(14)的另一端引入或输出冷却介质。

4.根据权利要求3所述的泵体冷却结构，其特征在于，在所述第二通孔(14)引入冷却介质的一端连接有冷却介质引入接头(11)；在所述第二通孔(14)输出冷却介质的一端连接有冷却介质输出接头(12)。

5.根据权利要求4所述的泵体冷却结构，其特征在于，所述冷却介质引入接头(11)适于与外部冷却介质供给结构连接。

6.根据权利要求2－5任一项所述的泵体冷却结构，其特征在于，所述第一通孔(13)的数量为一个；所述第二通孔(14)的数量为两个；两个所述第二通孔(14)互相平行；且两个所述第二通孔(14)与所述第一通孔(13)垂直相交。

7.根据权利要求3－5任一项所述的泵体冷却结构，其特征在于，在所述第一通孔(13)和第二通孔(14)的封堵端均加工有台阶孔，通过堵头(10)密封连接在所述台阶孔中设有的管螺纹上。

8.根据权利要求1－5任一项所述的泵体冷却结构，其特征在于，所述冷却介质为冷却水。

9.一种泵体冷却系统，其特征在于，包括权利要求1－8任一项所述的泵体冷却结构。

10.一种分子泵，其特征在于，包括权利要求1－8任一项所述的泵体冷却结构。