CN221079980U - 一种半导体晶圆稳定夹持装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种半导体晶圆稳定夹持装置,涉及半导体晶圆技术领域,以解决有的半导体晶圆稳定夹持装置在使用时,采用吸盘夹持晶圆容易出现掉落的情况,包括主体、辅助结构、夹持结构、控制结构和旋转杆;主体为矩形结构。转动旋转杆,使旋转杆内端在旋转槽内部转动,进而螺纹就会带动控制件向外移动,进而控制件就会带动辅助块在辅助槽内部移动,从而带动夹持件向外侧扩张,进而带动T形块在T形槽内部移动,进而夹持件就会通过不同尺寸的半导体晶圆夹持,将电机启动,电机就会带动螺杆转动,螺杆就会带动滑块在滑槽内部移动,进而滑块就会在滑槽内部滑动,从而带动滑动块在滑动槽内部滑动,进而便于调节辅助件之间的距离,进而便于夹持。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体晶圆技术领域,更具体地说,特别涉及一种半导体晶圆稳定夹持装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,在对半导体晶圆进行加工视时,需要用到半导体晶圆稳定夹持装置。
基于现有技术中发现,现有的半导体晶圆稳定夹持装置在使用时,目前最常用的晶圆夹持方式是使用真空吸盘来完成,但是仅仅采用吸盘夹持晶圆,晶圆容易出现掉落的情况,进而不便于对晶圆进行加工。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种半导体晶圆稳定夹持装置,以解决现有的半导体晶圆稳定夹持装置在使用时,目前最常用的晶圆夹持方式是使用真空吸盘来完成,但是仅仅采用吸盘夹持晶圆,晶圆容易出现掉落的情况,进而不便于对晶圆进行加工问题。
本实用新型半导体晶圆稳定夹持装置的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:
一种半导体晶圆稳定夹持装置:包括主体、辅助结构、夹持结构、控制结构和旋转杆;所述主体为矩形结构;所述辅助结构设在主体顶部左右两侧,且辅助结构的辅助件底部与主体顶部相接触;所述夹持结构设在辅助结构内部,且夹持结构的夹持件设在辅助件中间位置;所述控制结构设在夹持结构内部,且控制结构的控制件设在夹持件内部外侧。
进一步的;所述主体还包括:滑槽、放置槽、旋转槽和滑动槽;所述滑槽开设在主体顶部中间位置,且滑槽为T形结构,并且滑槽顶部贯穿主体顶部,所述滑槽内部中间位置设有螺杆,且螺杆左端为中间凸起的圆柱形结构;所述放置槽开设在滑槽右侧中间位置,且放置槽为矩形结构,并且放置槽内部设有电机,电机与滑槽内部的螺杆右端相连接;所述旋转槽开设在放置槽左侧中间位置,且旋转槽为中间凸起的圆柱形结构,并且旋转槽内部插入有滑槽内部的螺杆的左端;所述滑动槽开设在主体顶部左侧前后两侧,且滑动槽为T形结构。
进一步的;所述辅助结构还包括:移动槽、滑动块、滑块和T形槽;所述辅助件为矩形框状结构,所述辅助件内侧中间位置还开设有旋转槽,所述辅助件外侧中间位置开设有通孔;所述移动槽开设在辅助件内部外侧中间位置,且移动槽为T形结构;所述滑动块设在右侧的辅助件底部前后两侧中间位置,且滑动块为T形结构,并且滑动块插入在滑动槽内部,所述滑块设在右侧的辅助件底部左侧中间位置,且滑块为矩形结构,并且滑块插入在滑槽内部,所述滑块中间位置开设有螺纹孔,且螺纹孔内部插入有滑槽内部的螺杆。
进一步的;所述夹持结构还包括:T形块、移动块和辅助槽;所述夹持件为矩形结构,且夹持件外端为倾斜状,所述夹持件内侧设有夹持块,且夹持块为矩形结构,并且夹持块外端为圆弧状结构;所述T形块设在夹持件内侧上下两侧,且T形块插入在T形槽内部;所述移动块设在夹持件外端,且移动块为T形结构,并且移动块插入在移动槽内部;所述辅助槽开设在移动块内侧,且辅助槽为楔形结构。
进一步的;所述控制结构包括:辅助块;所述控制件为矩形结构,且控制件上下两端为倾斜状结构,所述控制件中间位置开设有螺纹孔;所述辅助块设在控制件两端,且辅助块为楔形结构,并且辅助块插入在辅助槽内部。
进一步的;所述旋转杆设在辅助件中间位置,且旋转杆为圆柱形结构,并且旋转杆内端为中间凸起的圆柱形结构,所述旋转杆内端插入在辅助件的旋转槽内部,外端贯穿辅助件外侧的通孔。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
1、在本装置中,进行使用时,转动旋转杆,使旋转杆内端在旋转槽内部转动,进而螺纹就会带动控制件向外移动,进而控制件就会带动辅助块在辅助槽内部移动,从而带动夹持件向外侧扩张,进而带动T形块在T形槽内部移动,进而夹持件就会通过不同尺寸的半导体晶圆进行夹持,将电机启动,电机就会带动螺杆进行转动,螺杆就会带动滑块在滑槽内部移动,进而滑块就会在滑槽内部进行滑动,从而带动滑动块在滑动槽内部进行滑动,进而便于调节辅助件之间的距离,进而便于进行夹持。
附图说明
图1是本实用新型的主视结构示意图。
图2是本实用新型的主体结构示意图。
图3是本实用新型夹持结构与旋转杆的结构示意图。
图4是本实用新型的夹持结构与控制结构的结构示意图。
图中,部件名称与附图编号的对应关系为:
1、主体;
101、滑槽;102、放置槽;103、旋转槽;104、滑动槽;
2、辅助结构;
201、辅助件;202、移动槽;203、滑动块;204、滑块;205、T形槽;
3、夹持结构;
301、夹持件;302、T形块;303、移动块;304、辅助槽;
4、控制结构;
401、控制件;402、辅助块;
5、旋转杆。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。
实施例:
如附图1至附图4所示:
本实用新型提供一种半导体晶圆稳定夹持装置,包括主体1、辅助结构2、夹持结构3、控制结构4和旋转杆5;主体1为矩形结构;辅助结构2设在主体1顶部左右两侧,且辅助结构2的辅助件201底部与主体1顶部相接触;夹持结构3设在辅助结构2内部,且夹持结构3的夹持件301设在辅助件201中间位置;控制结构4设在夹持结构3内部,且控制结构4的控制件401设在夹持件301内部外侧。
实施例一:
其中,主体1还包括:滑槽101、放置槽102、旋转槽103和滑动槽104;滑槽101开设在主体1顶部中间位置,且滑槽101为T形结构,并且滑槽101顶部贯穿主体1顶部,滑槽101内部中间位置设有螺杆,且螺杆左端为中间凸起的圆柱形结构;放置槽102开设在滑槽101右侧中间位置,且放置槽102为矩形结构,并且放置槽102内部设有电机,电机与滑槽101内部的螺杆右端相连接;旋转槽103开设在放置槽102左侧中间位置,且旋转槽103为中间凸起的圆柱形结构,并且旋转槽103内部插入有滑槽101内部的螺杆的左端;滑动槽104开设在主体1顶部左侧前后两侧,且滑动槽104为T形结构。
采用上述方案,滑槽101用于辅助滑块204进行移动,放置槽102用于将电机进行放置,旋转槽103用于辅助螺杆与旋转杆5进行转动。
实施例二:
其中,辅助结构2还包括:移动槽202、滑动块203、滑块204和T形槽205;辅助件201为矩形框状结构,辅助件201内侧中间位置还开设有旋转槽103,辅助件201外侧中间位置开设有通孔;移动槽202开设在辅助件201内部外侧中间位置,且移动槽202为T形结构;滑动块203设在右侧的辅助件201底部前后两侧中间位置,且滑动块203为T形结构,并且滑动块203插入在滑动槽104内部,滑块204设在右侧的辅助件201底部左侧中间位置,且滑块204为矩形结构,并且滑块204插入在滑槽101内部,滑块204中间位置开设有螺纹孔,且螺纹孔内部插入有滑槽101内部的螺杆。
采用上述方案,移动槽202用于辅助移动块303进行移动,滑动块203用于配合辅助件201进行滑动。
实施例三:
其中,夹持结构3还包括:T形块302、移动块303和辅助槽304;夹持件301为矩形结构,且夹持件301外端为倾斜状,夹持件301内侧设有夹持块,且夹持块为矩形结构,并且夹持块外端为圆弧状结构;T形块302设在夹持件301内侧上下两侧,且T形块302插入在T形槽205内部;移动块303设在夹持件301外端,且移动块303为T形结构,并且移动块303插入在移动槽202内部;辅助槽304开设在移动块303内侧,且辅助槽304为楔形结构。
其中,控制结构4包括:辅助块402;控制件401为矩形结构,且控制件401上下两端为倾斜状结构,控制件401中间位置开设有螺纹孔;辅助块402设在控制件401两端,且辅助块402为楔形结构,并且辅助块402插入在辅助槽304内部。
其中,旋转杆5设在辅助件201中间位置,且旋转杆5为圆柱形结构,并且旋转杆5内端为中间凸起的圆柱形结构,旋转杆5内端插入在辅助件201的旋转槽103内部,外端贯穿辅助件201外侧的通孔。
本实施例的具体使用方式与作用:
本实用新型中,进行使用时,转动旋转杆5,使旋转杆5内端在旋转槽103内部转动,进而螺纹就会带动控制件401向外移动,进而控制件401就会带动辅助块402在辅助槽304内部移动,从而带动夹持件301向外侧扩张,进而带动T形块302在T形槽205内部移动,进而夹持件301就会通过不同尺寸的半导体晶圆进行夹持,将电机启动,电机就会带动螺杆进行转动,螺杆就会带动滑块204在滑槽101内部移动,进而滑块204就会在滑槽101内部进行滑动,从而带动滑动块203在滑动槽104内部进行滑动,进而便于调节辅助件201之间的距离,进而便于进行夹持。
本实用新型未详述之处,均为本领域技术人员的公知技术。
Claims (6)
1.一种半导体晶圆稳定夹持装置,其特征在于:包括主体(1)、辅助结构(2)、夹持结构(3)、控制结构(4)和旋转杆(5);所述主体(1)为矩形结构;所述辅助结构(2)设在主体(1)顶部左右两侧,且辅助结构(2)的辅助件(201)底部与主体(1)顶部相接触;所述夹持结构(3)设在辅助结构(2)内部,且夹持结构(3)的夹持件(301)设在辅助件(201)中间位置;所述控制结构(4)设在夹持结构(3)内部,且控制结构(4)的控制件(401)设在夹持件(301)内部外侧。
2.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置,其特征在于:所述主体(1)还包括:滑槽(101)、放置槽(102)、旋转槽(103)和滑动槽(104);所述滑槽(101)开设在主体(1)顶部中间位置,且滑槽(101)为T形结构,并且滑槽(101)顶部贯穿主体(1)顶部,所述滑槽(101)内部中间位置设有螺杆,且螺杆左端为中间凸起的圆柱形结构;所述放置槽(102)开设在滑槽(101)右侧中间位置,且放置槽(102)为矩形结构,并且放置槽(102)内部设有电机,电机与滑槽(101)内部的螺杆右端相连接;所述旋转槽(103)开设在放置槽(102)左侧中间位置,且旋转槽(103)为中间凸起的圆柱形结构,并且旋转槽(103)内部插入有滑槽(101)内部的螺杆的左端;所述滑动槽(104)开设在主体(1)顶部左侧前后两侧,且滑动槽(104)为T形结构。
3.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置,其特征在于:所述辅助结构(2)还包括:移动槽(202)、滑动块(203)、滑块(204)和T形槽(205);所述辅助件(201)为矩形框状结构,所述辅助件(201)内侧中间位置还开设有旋转槽(103),所述辅助件(201)外侧中间位置开设有通孔;所述移动槽(202)开设在辅助件(201)内部外侧中间位置,且移动槽(202)为T形结构;所述滑动块(203)设在右侧的辅助件(201)底部前后两侧中间位置,且滑动块(203)为T形结构,并且滑动块(203)插入在滑动槽(104)内部,所述滑块(204)设在右侧的辅助件(201)底部左侧中间位置,且滑块(204)为矩形结构,并且滑块(204)插入在滑槽(101)内部,所述滑块(204)中间位置开设有螺纹孔,且螺纹孔内部插入有滑槽(101)内部的螺杆。
4.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置,其特征在于:所述夹持结构(3)还包括:T形块(302)、移动块(303)和辅助槽(304);所述夹持件(301)为矩形结构,且夹持件(301)外端为倾斜状,所述夹持件(301)内侧设有夹持块,且夹持块为矩形结构,并且夹持块外端为圆弧状结构;所述T形块(302)设在夹持件(301)内侧上下两侧,且T形块(302)插入在T形槽(205)内部;所述移动块(303)设在夹持件(301)外端,且移动块(303)为T形结构,并且移动块(303)插入在移动槽(202)内部;所述辅助槽(304)开设在移动块(303)内侧,且辅助槽(304)为楔形结构。
5.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置,其特征在于:所述控制结构(4)包括:辅助块(402);所述控制件(401)为矩形结构,且控制件(401)上下两端为倾斜状结构,所述控制件(401)中间位置开设有螺纹孔;所述辅助块(402)设在控制件(401)两端,且辅助块(402)为楔形结构,并且辅助块(402)插入在辅助槽(304)内部。
6.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置,其特征在于:所述旋转杆(5)设在辅助件(201)中间位置,且旋转杆(5)为圆柱形结构,并且旋转杆(5)内端为中间凸起的圆柱形结构,所述旋转杆(5)内端插入在辅助件(201)的旋转槽(103)内部,外端贯穿辅助件(201)外侧的通孔。
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