CN221079980U - 一种半导体晶圆稳定夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种半导体晶圆稳定夹持装置，涉及半导体晶圆技术领域，以解决有的半导体晶圆稳定夹持装置在使用时，采用吸盘夹持晶圆容易出现掉落的情况，包括主体、辅助结构、夹持结构、控制结构和旋转杆；主体为矩形结构。转动旋转杆，使旋转杆内端在旋转槽内部转动，进而螺纹就会带动控制件向外移动，进而控制件就会带动辅助块在辅助槽内部移动，从而带动夹持件向外侧扩张，进而带动T形块在T形槽内部移动，进而夹持件就会通过不同尺寸的半导体晶圆夹持，将电机启动，电机就会带动螺杆转动，螺杆就会带动滑块在滑槽内部移动，进而滑块就会在滑槽内部滑动，从而带动滑动块在滑动槽内部滑动，进而便于调节辅助件之间的距离，进而便于夹持。

Description

一种半导体晶圆稳定夹持装置

技术领域

本实用新型属于半导体晶圆技术领域，更具体地说，特别涉及一种半导体晶圆稳定夹持装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在对半导体晶圆进行加工视时，需要用到半导体晶圆稳定夹持装置。

基于现有技术中发现，现有的半导体晶圆稳定夹持装置在使用时，目前最常用的晶圆夹持方式是使用真空吸盘来完成，但是仅仅采用吸盘夹持晶圆，晶圆容易出现掉落的情况，进而不便于对晶圆进行加工。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种半导体晶圆稳定夹持装置，以解决现有的半导体晶圆稳定夹持装置在使用时，目前最常用的晶圆夹持方式是使用真空吸盘来完成，但是仅仅采用吸盘夹持晶圆，晶圆容易出现掉落的情况，进而不便于对晶圆进行加工问题。

本实用新型半导体晶圆稳定夹持装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种半导体晶圆稳定夹持装置：包括主体、辅助结构、夹持结构、控制结构和旋转杆；所述主体为矩形结构；所述辅助结构设在主体顶部左右两侧，且辅助结构的辅助件底部与主体顶部相接触；所述夹持结构设在辅助结构内部，且夹持结构的夹持件设在辅助件中间位置；所述控制结构设在夹持结构内部，且控制结构的控制件设在夹持件内部外侧。

进一步的；所述主体还包括：滑槽、放置槽、旋转槽和滑动槽；所述滑槽开设在主体顶部中间位置，且滑槽为T形结构，并且滑槽顶部贯穿主体顶部，所述滑槽内部中间位置设有螺杆，且螺杆左端为中间凸起的圆柱形结构；所述放置槽开设在滑槽右侧中间位置，且放置槽为矩形结构，并且放置槽内部设有电机，电机与滑槽内部的螺杆右端相连接；所述旋转槽开设在放置槽左侧中间位置，且旋转槽为中间凸起的圆柱形结构，并且旋转槽内部插入有滑槽内部的螺杆的左端；所述滑动槽开设在主体顶部左侧前后两侧，且滑动槽为T形结构。

进一步的；所述辅助结构还包括：移动槽、滑动块、滑块和T形槽；所述辅助件为矩形框状结构，所述辅助件内侧中间位置还开设有旋转槽，所述辅助件外侧中间位置开设有通孔；所述移动槽开设在辅助件内部外侧中间位置，且移动槽为T形结构；所述滑动块设在右侧的辅助件底部前后两侧中间位置，且滑动块为T形结构，并且滑动块插入在滑动槽内部，所述滑块设在右侧的辅助件底部左侧中间位置，且滑块为矩形结构，并且滑块插入在滑槽内部，所述滑块中间位置开设有螺纹孔，且螺纹孔内部插入有滑槽内部的螺杆。

进一步的；所述夹持结构还包括：T形块、移动块和辅助槽；所述夹持件为矩形结构，且夹持件外端为倾斜状，所述夹持件内侧设有夹持块，且夹持块为矩形结构，并且夹持块外端为圆弧状结构；所述T形块设在夹持件内侧上下两侧，且T形块插入在T形槽内部；所述移动块设在夹持件外端，且移动块为T形结构，并且移动块插入在移动槽内部；所述辅助槽开设在移动块内侧，且辅助槽为楔形结构。

进一步的；所述控制结构包括：辅助块；所述控制件为矩形结构，且控制件上下两端为倾斜状结构，所述控制件中间位置开设有螺纹孔；所述辅助块设在控制件两端，且辅助块为楔形结构，并且辅助块插入在辅助槽内部。

进一步的；所述旋转杆设在辅助件中间位置，且旋转杆为圆柱形结构，并且旋转杆内端为中间凸起的圆柱形结构，所述旋转杆内端插入在辅助件的旋转槽内部，外端贯穿辅助件外侧的通孔。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、在本装置中，进行使用时，转动旋转杆，使旋转杆内端在旋转槽内部转动，进而螺纹就会带动控制件向外移动，进而控制件就会带动辅助块在辅助槽内部移动，从而带动夹持件向外侧扩张，进而带动T形块在T形槽内部移动，进而夹持件就会通过不同尺寸的半导体晶圆进行夹持，将电机启动，电机就会带动螺杆进行转动，螺杆就会带动滑块在滑槽内部移动，进而滑块就会在滑槽内部进行滑动，从而带动滑动块在滑动槽内部进行滑动，进而便于调节辅助件之间的距离，进而便于进行夹持。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构示意图。

图2是本实用新型的主体结构示意图。

图3是本实用新型夹持结构与旋转杆的结构示意图。

图4是本实用新型的夹持结构与控制结构的结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1、主体；

101、滑槽；102、放置槽；103、旋转槽；104、滑动槽；

2、辅助结构；

201、辅助件；202、移动槽；203、滑动块；204、滑块；205、T形槽；

3、夹持结构；

301、夹持件；302、T形块；303、移动块；304、辅助槽；

4、控制结构；

401、控制件；402、辅助块；

5、旋转杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。

实施例：

如附图1至附图4所示：

本实用新型提供一种半导体晶圆稳定夹持装置，包括主体1、辅助结构2、夹持结构3、控制结构4和旋转杆5；主体1为矩形结构；辅助结构2设在主体1顶部左右两侧，且辅助结构2的辅助件201底部与主体1顶部相接触；夹持结构3设在辅助结构2内部，且夹持结构3的夹持件301设在辅助件201中间位置；控制结构4设在夹持结构3内部，且控制结构4的控制件401设在夹持件301内部外侧。

实施例一：

其中，主体1还包括：滑槽101、放置槽102、旋转槽103和滑动槽104；滑槽101开设在主体1顶部中间位置，且滑槽101为T形结构，并且滑槽101顶部贯穿主体1顶部，滑槽101内部中间位置设有螺杆，且螺杆左端为中间凸起的圆柱形结构；放置槽102开设在滑槽101右侧中间位置，且放置槽102为矩形结构，并且放置槽102内部设有电机，电机与滑槽101内部的螺杆右端相连接；旋转槽103开设在放置槽102左侧中间位置，且旋转槽103为中间凸起的圆柱形结构，并且旋转槽103内部插入有滑槽101内部的螺杆的左端；滑动槽104开设在主体1顶部左侧前后两侧，且滑动槽104为T形结构。

采用上述方案，滑槽101用于辅助滑块204进行移动，放置槽102用于将电机进行放置，旋转槽103用于辅助螺杆与旋转杆5进行转动。

实施例二：

其中，辅助结构2还包括：移动槽202、滑动块203、滑块204和T形槽205；辅助件201为矩形框状结构，辅助件201内侧中间位置还开设有旋转槽103，辅助件201外侧中间位置开设有通孔；移动槽202开设在辅助件201内部外侧中间位置，且移动槽202为T形结构；滑动块203设在右侧的辅助件201底部前后两侧中间位置，且滑动块203为T形结构，并且滑动块203插入在滑动槽104内部，滑块204设在右侧的辅助件201底部左侧中间位置，且滑块204为矩形结构，并且滑块204插入在滑槽101内部，滑块204中间位置开设有螺纹孔，且螺纹孔内部插入有滑槽101内部的螺杆。

采用上述方案，移动槽202用于辅助移动块303进行移动，滑动块203用于配合辅助件201进行滑动。

实施例三：

其中，夹持结构3还包括：T形块302、移动块303和辅助槽304；夹持件301为矩形结构，且夹持件301外端为倾斜状，夹持件301内侧设有夹持块，且夹持块为矩形结构，并且夹持块外端为圆弧状结构；T形块302设在夹持件301内侧上下两侧，且T形块302插入在T形槽205内部；移动块303设在夹持件301外端，且移动块303为T形结构，并且移动块303插入在移动槽202内部；辅助槽304开设在移动块303内侧，且辅助槽304为楔形结构。

其中，控制结构4包括：辅助块402；控制件401为矩形结构，且控制件401上下两端为倾斜状结构，控制件401中间位置开设有螺纹孔；辅助块402设在控制件401两端，且辅助块402为楔形结构，并且辅助块402插入在辅助槽304内部。

其中，旋转杆5设在辅助件201中间位置，且旋转杆5为圆柱形结构，并且旋转杆5内端为中间凸起的圆柱形结构，旋转杆5内端插入在辅助件201的旋转槽103内部，外端贯穿辅助件201外侧的通孔。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型中，进行使用时，转动旋转杆5，使旋转杆5内端在旋转槽103内部转动，进而螺纹就会带动控制件401向外移动，进而控制件401就会带动辅助块402在辅助槽304内部移动，从而带动夹持件301向外侧扩张，进而带动T形块302在T形槽205内部移动，进而夹持件301就会通过不同尺寸的半导体晶圆进行夹持，将电机启动，电机就会带动螺杆进行转动，螺杆就会带动滑块204在滑槽101内部移动，进而滑块204就会在滑槽101内部进行滑动，从而带动滑动块203在滑动槽104内部进行滑动，进而便于调节辅助件201之间的距离，进而便于进行夹持。

本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。

Claims (6)

1.一种半导体晶圆稳定夹持装置，其特征在于：包括主体（1）、辅助结构（2）、夹持结构（3）、控制结构（4）和旋转杆（5）；所述主体（1）为矩形结构；所述辅助结构（2）设在主体（1）顶部左右两侧，且辅助结构（2）的辅助件（201）底部与主体（1）顶部相接触；所述夹持结构（3）设在辅助结构（2）内部，且夹持结构（3）的夹持件（301）设在辅助件（201）中间位置；所述控制结构（4）设在夹持结构（3）内部，且控制结构（4）的控制件（401）设在夹持件（301）内部外侧。

2.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置，其特征在于：所述主体（1）还包括：滑槽（101）、放置槽（102）、旋转槽（103）和滑动槽（104）；所述滑槽（101）开设在主体（1）顶部中间位置，且滑槽（101）为T形结构，并且滑槽（101）顶部贯穿主体（1）顶部，所述滑槽（101）内部中间位置设有螺杆，且螺杆左端为中间凸起的圆柱形结构；所述放置槽（102）开设在滑槽（101）右侧中间位置，且放置槽（102）为矩形结构，并且放置槽（102）内部设有电机，电机与滑槽（101）内部的螺杆右端相连接；所述旋转槽（103）开设在放置槽（102）左侧中间位置，且旋转槽（103）为中间凸起的圆柱形结构，并且旋转槽（103）内部插入有滑槽（101）内部的螺杆的左端；所述滑动槽（104）开设在主体（1）顶部左侧前后两侧，且滑动槽（104）为T形结构。

3.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置，其特征在于：所述辅助结构（2）还包括：移动槽（202）、滑动块（203）、滑块（204）和T形槽（205）；所述辅助件（201）为矩形框状结构，所述辅助件（201）内侧中间位置还开设有旋转槽（103），所述辅助件（201）外侧中间位置开设有通孔；所述移动槽（202）开设在辅助件（201）内部外侧中间位置，且移动槽（202）为T形结构；所述滑动块（203）设在右侧的辅助件（201）底部前后两侧中间位置，且滑动块（203）为T形结构，并且滑动块（203）插入在滑动槽（104）内部，所述滑块（204）设在右侧的辅助件（201）底部左侧中间位置，且滑块（204）为矩形结构，并且滑块（204）插入在滑槽（101）内部，所述滑块（204）中间位置开设有螺纹孔，且螺纹孔内部插入有滑槽（101）内部的螺杆。

4.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置，其特征在于：所述夹持结构（3）还包括：T形块（302）、移动块（303）和辅助槽（304）；所述夹持件（301）为矩形结构，且夹持件（301）外端为倾斜状，所述夹持件（301）内侧设有夹持块，且夹持块为矩形结构，并且夹持块外端为圆弧状结构；所述T形块（302）设在夹持件（301）内侧上下两侧，且T形块（302）插入在T形槽（205）内部；所述移动块（303）设在夹持件（301）外端，且移动块（303）为T形结构，并且移动块（303）插入在移动槽（202）内部；所述辅助槽（304）开设在移动块（303）内侧，且辅助槽（304）为楔形结构。

5.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置，其特征在于：所述控制结构（4）包括：辅助块（402）；所述控制件（401）为矩形结构，且控制件（401）上下两端为倾斜状结构，所述控制件（401）中间位置开设有螺纹孔；所述辅助块（402）设在控制件（401）两端，且辅助块（402）为楔形结构，并且辅助块（402）插入在辅助槽（304）内部。

6.如权利要求1所述的一种半导体晶圆稳定夹持装置，其特征在于：所述旋转杆（5）设在辅助件（201）中间位置，且旋转杆（5）为圆柱形结构，并且旋转杆（5）内端为中间凸起的圆柱形结构，所述旋转杆（5）内端插入在辅助件（201）的旋转槽（103）内部，外端贯穿辅助件（201）外侧的通孔。