CN221028790U - 一种取晶装置 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 108
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 67
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 54
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 20
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 8
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 13
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
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Abstract
本申请提供了一种取晶装置,包括安装支架、导柱、托盘升降机构、托盘及晶棒检测机构,其中:导柱沿竖直方向设置在安装支架上,托盘滑动连接在导柱上;托盘升降机构包括放卷机构及金属牵拉绳,其中,放卷机构设置在安装支架上,金属牵拉绳的一端固定在放卷机构上,另一端连接在托盘上,放卷机构用于经金属牵拉绳以带动托盘沿导柱上下滑动,使得托盘托住晶棒;晶棒检测机构设置在安装支架上,金属牵拉绳自放卷机构绕出后绕经晶棒检测机构并连接在托盘上,晶棒检测机构用于检测待取晶棒是否承托至托盘上。本申请能够自动地检测晶棒是否承托至托盘上,相比于人工检测方式,其检测效率及检测准确率均得到大幅提升。
Description
技术领域
本申请涉及晶体生长领域,具体地说是一种取晶装置。
背景技术
晶棒在单晶炉内生长结束后,需要从单晶炉中取出晶棒,取晶过程中,先采用托盘从下方托住晶棒,然后夹紧晶棒,并剪断晶棒的上端与籽晶之间的连接部位。
为了防止被剪下的晶棒坠落,在剪晶棒之前,必须确保晶棒已经承托在托盘上。现有的取晶装置,无法自动感应晶棒是否已经承托在托盘上,因此只能通过专门的人进行观察判断,效率低下且容易误判。
实用新型内容
为了解决现有的取晶装置存在的上述技术问题,本申请提供了一种取晶装置,其详细技术方案如下:
一种取晶装置,其包括安装支架、导柱、托盘升降机构、托盘及晶棒检测机构,其中:
导柱沿竖直方向设置在安装支架上,托盘滑动连接在导柱上;
托盘升降机构包括放卷机构及金属牵拉绳,其中,放卷机构设置在安装支架上,金属牵拉绳的一端固定在放卷机构上,金属牵拉绳的另一端连接在托盘上,放卷机构用于放出或收卷金属牵拉绳以带动托盘沿导柱上下滑动,使得托盘从下方托住待取晶棒的下端;
晶棒检测机构设置在安装支架上,并位于放卷机构和托盘之间,金属牵拉绳自放卷机构绕出后绕经晶棒检测机构并连接在托盘上,金属牵拉绳压紧在晶棒检测机构上,晶棒检测机构用于检测待取晶棒是否承托至托盘上。
本申请通过设置晶棒检测机构,能够自动地检测晶棒是否承托至托盘上;相比于人工检测方式,其检测效率及检测准确率均得到大幅提升。此外,将晶棒检测机构设置在放卷机构和托盘之间,而不是将其设置在托盘上,这种位置设置可以保证托盘沿导柱上下运动时,避免了晶棒检测机构中的导线对托盘运动产生干扰,在保证取晶装置结构更加紧凑的同时延长了取晶装置的使用寿命。
在一些实施例中,晶棒检测机构包括第一安装轴、动滑轮安装支架、第二安装轴、动滑轮、复位弹簧及接触传感器,其中:
第一安装轴安装在安装支架上;
动滑轮安装支架的第一端安装在第一安装轴上;
第二安装轴活动安装在动滑轮安装支架的第二端上并能朝向或远离第一安装轴滑动,复位弹簧的两端分别抵接在第一安装轴和第二安装轴上;
动滑轮套装在第二安装轴上,金属牵拉绳压紧在动滑轮上;
接触传感器靠近第二安装轴设置;
晶棒承托至托盘上时,第二安装轴在金属牵拉绳的推动下朝向第一安装轴滑动并远离接触传感器,接触传感器被触发产生第一感应信号,复位弹簧受压收缩;
晶棒离开托盘时,复位弹簧失压回弹,推动第二安装轴远离第一安装轴滑动并靠近接触传感器,接触传感器被触发产生第二感应信号。
提供了一种结构简单的晶棒检测机构,其通过接触传感器实现对晶棒的快速检测。
在一些实施例中,动滑轮安装支架的第一端低于动滑轮安装支架的第二端。
如此设置,可确保金属牵拉绳能够稳定地压紧在动滑轮上。
在一些实施例中,位于放卷机构和动滑轮之间的金属牵拉绳与动滑轮安装支架之间的夹角为α,位于动滑轮和托盘之间的金属牵拉绳与动滑轮安装支架之间的夹角为β,且α=β。
如此设置,使得金属牵拉绳对动滑轮的施力方向与复位弹簧的伸缩方向保持一致,更有助于复位弹簧的压缩及泄压,可提高晶棒检测机构的检测灵敏度。
在一些实施例中,动滑轮安装支架包括并排设置的第一支撑臂和第二支撑臂,其中:第一支撑臂的第一端安装在第一安装轴上,第一支撑臂的第二端设置有朝向金属牵拉绳开口的第一滑槽;第二支撑臂的第一端安装在第一安装轴上,第二支撑臂的第二端设置有朝向金属牵拉绳开口的第二滑槽;第二安装轴的一端滑动穿设在第一滑槽并能沿第一滑槽朝向或远离第一安装轴滑动;第二
安装轴的另一端滑动穿设在第二滑槽并能沿第二滑槽朝向或远离第一安装轴滑动;动滑轮位于第一支撑臂和第二支撑臂之间。
通过将动滑轮安装支架设置成包括并排设置的第一支撑臂和第二支撑臂,并分别在第一支撑臂、第二支撑臂上设置第一滑槽、第二滑槽,一方面实现了第二安装轴与动滑轮安装支架的滑动连接,并给第二安装轴提供了滑动导向,使得第二安装轴能够沿直线路径朝向或远离第一安装轴滑动。另一方面防止动滑轮安装支架接触到动滑轮,影响动滑轮的正常滑动。
在一些实施例中,晶棒检测机构还包括第一支撑件和第二支撑件,其中:第一支撑件设置在安装支架上并穿入至第一滑槽的开口处,第一支撑件用于支撑第一支撑臂的第二端;第二支撑件设置在安装支架上并穿入至第二滑槽的开口处,第二支撑件用于支撑第二支撑臂的第二端。
通过设置第一支撑件和第二支撑件,实现了对动滑轮安装支架的第二端的支撑限位,防止动滑轮安装支架绕第一安装轴转动。
在一些实施例中,第一支撑臂内设置有第一容纳部,第二支撑臂内设置有第二容纳部;复位弹簧并排设置为两根,其中一根复位弹簧设置在第一容纳部内,且复位弹簧的一端固定连接在第一容纳部的封闭端,复位弹簧的另一端穿过第一容纳部的贯穿端固定连接在第二安装轴上,另一根复位弹簧设置在第二容纳部内,且复位弹簧的一端固定连接在第二容纳部的封闭端,复位弹簧的另一端穿过第二容纳部的贯穿端固定连接在第二安装轴上。
通过设置两根复位弹簧,提升了第二安装轴的平稳性,使得第二安装轴在滑动过程中保持与第一安装轴平行。而通过在第一支撑臂、第二支撑臂内设置第一容纳部、第二容纳部,则实现了对复位弹簧在伸缩方向上的限位,防止复位弹簧被压紧时拱起。
在一些实施例中,当复位弹簧处于失压回弹状态时,第一容纳部的贯穿端、第二容纳部的贯穿端与第二安装轴之间均具有预设距离;
当复位弹簧处于受压收缩状态时,第二安装轴朝向第一安装轴滑动至第一容纳部的贯穿端、第二容纳部的贯穿端停止,复位弹簧的形变量等于预设距离。
如此设置,实现了对复位弹簧的最大压缩形变量的限定,防止弹簧因过压导致无法复位,影响晶棒检测机构的检测。
在一些实施例中,放卷机构包括第三安装轴、轴套、卷盘及卷盘驱动机构,其中:第三安装轴的两端固定连接在安装支架上,第三安装轴上设有沿轴向延伸的花键;轴套套设在第三安装轴并能沿花键轴向滑动;卷盘固定套接在轴套上;卷盘上设有螺旋状的线槽,金属牵拉绳的一端固定连接在卷盘上,并沿线槽的走向卷绕在线槽内;卷盘驱动机构包括旋转驱动组件和卷盘啮合组件,其中,旋转驱动组件用于驱动第三安装轴旋转以带动卷盘旋转,卷盘啮合组件安装在安装支架上并与线槽啮合,卷盘旋转时,卷盘啮合组件推动卷盘沿花键轴向滑动,使得卷盘放出或收卷金属牵拉绳。
提供了一种放卷机构的实现方式,通过控制卷带动盘金属牵拉绳放出、收卷,实现与金属牵拉绳连接的托盘的升降,可以有效增加托盘的升降行程,在不同升降行程中,通过金属牵拉绳对晶棒检测机构的压紧,均能有效的检测托盘上是否承载有晶棒。
在一些实施例中,安装支架上设有若干沿竖直方向设置的第一导向件,及若干沿竖直方向设置的与第一导向件一一对应的第二导向件;导柱位于若干第一导向件和若干第二导向件之间,其中,各第一导向件均滑动压靠在导柱的一侧侧壁上,各第二导向件均滑动压靠在导柱的另一侧侧壁上;取晶装置还包括设置在安装支架上的导柱驱动机构,导柱驱动机构用于驱动导柱相对于安装支架升降。
通过在安装支架上设置一导向件和第二导向件,实现了导柱与安装支架的滑动连接,而通过设置导柱驱动机构,则实现了对导柱的升降驱动,本申请的取晶装置托盘的升降和导柱的升降分别由不同的驱动独立驱动,有助于提高托盘和导柱的灵活性配合,从而兼容长短晶棒的取棒工作。
附图说明
图1为本实用新型实施例中的承载有晶棒的取晶装置的结构示意图;
图2为本实用新型实施例中的取晶装置在一个视角下的结构示意图;
图3为本实用新型实施例中的取晶装置在另一个视角下的结构示意图;
图4为本实用新型实施例中的托盘升降机构和晶棒检测机构的结构示意图;
图5为本实用新型实施例中的托盘升降机构的结构示意图;
图6为本实用新型实施例中的卷盘啮合组件的结构示意图;
图7为本实用新型实施例中的晶棒检测机构的结构示意图;
图8为本实用新型实施例中的晶棒检测机构的剖视结构示意图;
图9为本实用新型实施例中的导柱驱动机构的结构示意图;
图1至图9中包括:
安装支架1:
第一导向件11;
第二导向件12;
导柱2;
托盘升降机构3:
放卷机构31:第三安装轴311、轴套312、卷盘313、卷盘驱动机构314、旋转驱动组件315、卷盘啮合组件316、拨杆317、拨块318、压轮319、压槽3110;
金属牵拉绳32;
托盘4;
晶棒检测机构5:
第一安装轴51:
动滑轮安装支架52:第一支撑臂521、第二支撑臂522、第一容纳部
523、第二容纳部524;
第二安装轴53;
动滑轮54:
复位弹簧55:
接触传感器56:
导柱驱动机构6:
第四安装轴61;
第五安装轴62;
第六安装轴63;
主动链轮64;
第一从动链轮65;
第二从动链轮66;
驱动链条67。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步详细的说明。
由于现有的取晶装置,无法自动感应晶棒是否已经承托在托盘上,因此只能通过专门的人进行观察判断,效率低下且容易误判。
为了解决现有的取晶装置存在的上述技术问题,本申请提供了一种取晶装置,如图1至图4所述,本申请实施例中的取晶装置包括安装支架1、导柱2、托盘升降机构3、托盘4及晶棒检测机构5,其中:
导柱2沿竖直方向设置在安装支架1上,托盘4滑动连接在导柱2上。
托盘升降机构3包括放卷机构31及金属牵拉绳32,其中,放卷机构31设置在安装支架1上,金属牵拉绳32的一端固定在放卷机构31上,金属牵拉绳32的另一端连接在托盘4上,放卷机构31用于放出或收卷金属牵拉绳31以带动托盘4沿导柱2上下滑动,使得托盘3从下方托住待取晶棒100的下端。
晶棒检测机构5设置在安装支架1上,并位于放卷机构31和托盘4之间,金属牵拉绳32自放卷机构31绕出后绕经晶棒检测机构5并连接在托盘4上,金属牵拉绳32压紧在晶棒检测机构5上,晶棒检测机构5用于检测待取晶棒是否承托至托盘上。金属牵拉绳32一方面可以收放托盘,一方面可以将托盘上的压力变化传递给晶棒检测机构5,金属牵拉绳32的双重作用,使得本申请的取晶装置结构巧妙、紧凑。
本申请实施例中的取晶装置的工作过程如下:
将取晶装置整体移动至待取的晶棒的边侧,同时,控制放卷机构31放出金属牵拉绳32,托盘3在自身重力作用下沿导柱2向下滑动至低位。此时,金属牵拉绳32施加给晶棒检测机构5的压力仅来源于托盘3的重力,因此压力较小。
接着,控制待取的晶棒移动至托盘3的正上方。
最有,控制放卷机构31向上收卷金属牵拉绳32,直至托盘3如图1所示,从下方托住待取晶棒100的下端。此时,由于托盘3需承受来自晶棒100的压力,因此,金属牵拉绳32施加给晶棒检测机构5的压力显著增大,压力变化被晶棒检测机构5检测到,从而确定检测晶棒100承托至托盘4上。
可见,通过设置晶棒检测机构5,本申请实施例的取晶装置能够自动地检测晶棒100是否承托至托盘4上。相比于人工检测方式,其检测效率及检测准确率均得到大幅提升。此外,将晶棒检测机构5设置在放卷机构31和托盘4之间,而不是将其设置在托盘4上,这种位置设置可以保证托盘4沿导柱2上下运动时,避免了晶棒检测机构5中的导线对托盘4运动产生干扰,在保证取晶装置的结构更加紧凑的同时延长了取晶装置的使用寿命。
如图7和图8所示,可选的,晶棒检测机构5包括第一安装轴51、动滑轮安装支架52、第二安装轴53、动滑轮54、复位弹簧55及接触传感器56,其中:
第一安装轴51安装在安装支架1上。
动滑轮安装支架52的第一端安装在第一安装轴51上。
第二安装轴53活动安装在动滑轮安装支架52的第二端上并能朝向或远离第一安装轴51滑动,复位弹簧55的两端分别抵接在第一安装轴51和第二安装轴53上。
动滑轮54套装在第二安装轴53上,金属牵拉绳32压紧在动滑轮54上。
接触传感器56靠近第二安装轴53设置。
晶棒检测机构5的可选工作过程如下:
初始状态下,托盘4上未承托晶棒,金属牵拉绳32施加给晶棒检测机构5的压力较小且保持不变,此时,第二安装轴53处于靠近接触传感器56的初始位置,接触传感器56持续产生第二感应信号(如一低电平),复位弹簧55则处于复位伸长状态。
当晶棒承托至托盘4上时,金属牵拉绳32施加给晶棒检测机构5的压力增大,第二安装轴53在金属牵拉绳的推动下朝向第一安装轴51滑动并远离接触传感器56,接触传感器56被触发产生第一感应信号(如一高电平)。此外,复位弹簧55受压收缩。
当晶棒被搬离托盘4时,复位弹簧55失压回弹、复位,从而推动第二安装轴53远离第一安装轴51滑动复位,从而回到靠近接触传感器56的初始位置处,接触传感器56再次被触发恢复产生第二感应信号。
可选的,动滑轮安装支架52的第一端低于动滑轮安装支架52的第二端。如此设置,使得动滑轮54向上翘起,确保金属牵拉绳32能够稳定地压紧在动滑轮54上。
如图7所示,可选的,位于放卷机构31和动滑轮54之间的金属牵拉绳32与动滑轮安装支架52之间的夹角为α,位于动滑轮54和托盘4之间的金属牵拉绳32与动滑轮安装支架52之间的夹角为β,且α=β。
如此设置,使得金属牵拉绳32对动滑轮54的施力方向与复位弹簧55的伸缩方向保持一致,更有助于复位弹簧的压缩及泄压,可提高晶棒检测机构的检测灵敏度。
如图7和图8所示,可选的,动滑轮安装支架52包括并排设置的第一支撑臂521和第二支撑臂522,其中:第一支撑臂521的第一端安装在第一安装轴51上,第一支撑臂521的第二端设置有朝向金属牵拉绳32开口的第一滑槽。第二支撑臂522的第一端安装在第一安装轴51上,第二支撑臂522的第二端设置有朝向金属牵拉绳32开口的第二滑槽。
第二安装轴53的一端滑动穿设在第一滑槽并能沿第一滑槽朝向或远离第一安装轴51滑动。第二安装轴53的另一端滑动穿设在第二滑槽并能沿第二滑槽朝向或远离第一安装轴51滑动。动滑轮位于第一支撑臂521和第二支撑臂522之间。
通过将动滑轮安装支架52设置成包括并排设置的第一支撑臂521和第二支撑臂522,并分别在第一支撑臂521、第二支撑臂522上设置第一滑槽、第二滑槽,一方面实现了第二安装轴53与动滑轮安装支架52的滑动连接,并给第二安装轴53提供了滑动导向,使得第二安装轴53能够沿直线路径朝向或远离第一安装轴51滑动。另一方面,防止动滑轮安装支架52碰触到动滑轮54,影响动滑轮54的正常滑动。
可选的,本申请实施例中的晶棒检测机构还包括第一支撑件和第二支撑件,其中:第一支撑件设置在安装支架1上并穿入至第一滑槽的开口处,第一支撑件用于支撑第一支撑臂521的第二端。第二支撑件设置在安装支架1上并穿入至第二滑槽的开口处,第二支撑件用于支撑第二支撑臂522的第二端。通过设置第一支撑件和第二支撑件,实现了对动滑轮安装支架52的第二端的支撑限位,防止动滑轮安装支架52绕第一安装轴51转动。
如图8所示,可选的,第一支撑臂521内设置有第一容纳部523,第二支撑臂522内设置有第二容纳部524。复位弹簧55并排设置为两根,其中一根复位弹簧55设置在第一容纳部523内,且复位弹簧55的一端固定连接在第一容纳部523的封闭端,复位弹簧55的另一端穿过第一容纳部523的贯穿端固定连接在第二安装轴53上。另一根复位弹簧55设置在第二容纳部524内,且复位弹簧55的一端固定连接在第二容纳部524的封闭端,复位弹簧55的另一端穿过第二容纳部524的贯穿端固定连接在第二安装轴53上。
通过设置两根复位弹簧55,提升了第二安装轴53的滑动平稳度,使得第二安装轴53在滑动过程中保持与第一安装轴平行。而通过在第一支撑臂521、第二支撑臂522内设置第一容纳部523、第二容纳部534,则实现了对复位弹簧55在伸缩方向上的限位,防止复位弹簧55被压紧时拱起。
可选的,如图8所示,当复位弹簧55处于失压回弹状态时,第一容纳部523的贯穿端、第二容纳部524的贯穿端与第二安装轴53之间均具有预设距离L。
当复位弹簧55处于受压收缩状态时,第二安装轴53朝向第一安装轴51滑动至第一容纳部523的贯穿端、第二容纳部524的贯穿端停止,也就是说,复位弹簧55的形变量等于预设距离L。
如此设置,实现了对复位弹簧55的压缩形变量的限定,防止弹簧55因过压导致无法复位。
如图1至图5所示,可选的,放卷机构31包括第三安装轴311、轴套312、卷盘313及卷盘驱动机构314,其中:
第三安装轴311的两端固定连接在安装支架11上,第三安装轴311上设有沿轴向延伸的花键。
轴套312套设在第三安装轴311并能沿花键轴向滑动。
卷盘313固定套接在轴套312上,卷盘313上设有螺旋状的线槽,金属牵拉绳32的一端固定连接在卷盘313上,并沿线槽的走向卷绕在线槽内。
卷盘驱动机构314包括旋转驱动组件315和卷盘啮合组件316,其中,旋转驱动组件315用于驱动第三安装轴311旋转以带动卷盘313旋转,卷盘啮合组件316安装在安装支架1上并与线槽啮合。
当旋转驱动组件315经第三安装轴311带动卷盘313按第一时针(如顺时针)方向旋转时,卷盘啮合组件316推动卷盘313沿花键轴向靠近第三安装轴311的第一端滑动,从而使得卷盘313放出金属牵拉绳32。
当旋转驱动组件315经第三安装轴311带动卷盘313按第二时针(如逆时针)方向旋转时,卷盘啮合组件316推动卷盘313沿花键轴向靠近第三安装轴311的第二端滑动,从而使得卷盘313收卷金属牵拉绳32。
本通过控制卷带动盘金属牵拉绳放出、收卷,实现与金属牵拉绳连接的托盘的升降,可以有效增加托盘的升降行程,在不同升降行程中,通过金属牵拉绳对晶棒检测机构的压紧,均能有效的检测托盘上是否承载有晶棒。
如图6所示,可选的,卷盘啮合组件316包括拨杆317、拨块318及压轮319,其中,拨杆317的两端分别固定连接在安装支架1上。拨块318连接在拨杆317上。压轮319可转动地安装在拨块318的端部,压轮319上设置有压槽3110,压轮319经压槽3110与线槽啮合。
由于压轮319在第三安装轴311的轴向上的位置保持固定,因此,当卷盘313旋转时,压轮319即能推动卷盘313沿第三安装轴311上的花键轴向滑动。
为了能够实现对不同长度,特别是长度超过1.5米的长晶棒的取晶,可选的,如图3所示,安装支架1上设有若干沿竖直方向设置的第一导向件11,及若干沿竖直方向设置的与第一导向件11一一对应的第二导向件12。导柱2位于若干第一导向件11和若干第二导向件12之间,其中,各第一导向件11均滑动压靠在导柱2的一侧侧壁上,各第二导向件12均滑动压靠在导柱2的另一侧侧壁上。
相应的,如图9所示,本申请实施例中的取晶装置还包括设置在安装支架1上的导柱驱动机构6,导柱驱动机构6用于驱动导柱2相对于安装支架1升降。
可选的,导柱驱动机构6包括第四安装轴61、第五安装轴62、第六安装轴63、主动链轮64、第一从动链轮65、第二从动链轮66及驱动链条67,其中:第四安装轴61的两端分别转动连接在安装支架1上,主动链轮64固定套设在第四安装轴61上。第五安装轴62的两端分别固定连接在安装支架1上,第五安装轴62位于第四安装轴61的上方,第一从动链轮65可转动地套设在第五安装轴62上。第六安装轴63的两端分别固定连接在安装支架1上,第六安装轴位于第四安装轴61的下方,第二从动链轮66可转动地套设在第六安装轴63上。
驱动链条67的第一端固定连接在导柱2的上端,驱动链条67的下端依次绕过第一从动链轮65、主动链轮64及第二从动链轮66后固定连接在导柱2的下端。主动链轮64旋转时,即可驱动链条67带动导柱2沿安装支架1上下滑动、升降。
上文对本申请进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解,实施例中的描述仅仅是示例性的,在不偏离本申请的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本申请的保护范围。本申请所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的,而不是由实施例中的上述描述来限定的。
Claims (10)
1.一种取晶装置,其特征在于,所述取晶装置包括安装支架、导柱、托盘升降机构、托盘及晶棒检测机构,其中:
所述导柱沿竖直方向设置在所述安装支架上,所述托盘滑动连接在所述导柱上;
所述托盘升降机构包括放卷机构及金属牵拉绳,其中,所述放卷机构设置在所述安装支架上,所述金属牵拉绳的一端固定在所述放卷机构上,所述金属牵拉绳的另一端连接在所述托盘上,所述放卷机构用于放出或收卷所述金属牵拉绳以带动所述托盘沿所述导柱上下滑动,使得所述托盘从下方托住待取晶棒的下端;
所述晶棒检测机构设置在所述安装支架上,并位于所述放卷机构和所述托盘之间,所述金属牵拉绳自所述放卷机构绕出后绕经所述晶棒检测机构并连接在所述托盘上,所述金属牵拉绳压紧在所述晶棒检测机构上,所述晶棒检测机构用于检测待取晶棒是否承托至所述托盘上。
2.如权利要求1所述的取晶装置,其特征在于,所述晶棒检测机构包括第一安装轴、动滑轮安装支架、第二安装轴、动滑轮、复位弹簧及接触传感器,其中:
所述第一安装轴安装在所述安装支架上;
所述动滑轮安装支架的第一端安装在所述第一安装轴上;
所述第二安装轴活动安装在所述动滑轮安装支架的第二端上并能朝向或远离所述第一安装轴滑动,所述复位弹簧的两端分别抵接在所述第一安装轴和所述第二安装轴上;
所述动滑轮套装在所述第二安装轴上,所述金属牵拉绳压紧在所述动滑轮上;
所述接触传感器靠近所述第二安装轴设置;
所述晶棒承托至所述托盘上时,所述第二安装轴在所述金属牵拉绳的推动下朝向所述第一安装轴滑动并远离所述接触传感器,所述接触传感器被触发产生第一感应信号,所述复位弹簧受压收缩;
所述晶棒离开所述托盘时,所述复位弹簧失压回弹,推动所述第二安装轴远离所述第一安装轴滑动并靠近所述接触传感器,所述接触传感器被触发产生第二感应信号。
3.如权利要求2所述的取晶装置,其特征在于,所述动滑轮安装支架的第一端低于所述动滑轮安装支架的第二端。
4.如权利要求3所述的取晶装置,其特征在于,位于放卷机构和动滑轮之间的金属牵拉绳与所述动滑轮安装支架之间的夹角为α,位于动滑轮和托盘之间的金属牵拉绳与所述动滑轮安装支架之间的夹角为β,且α=β。
5.如权利要求2所述的取晶装置,其特征在于,所述动滑轮安装支架包括并排设置的第一支撑臂和第二支撑臂,其中:
所述第一支撑臂的第一端安装在所述第一安装轴上,所述第一支撑臂的第二端设置有朝向所述金属牵拉绳开口的第一滑槽;
所述第二支撑臂的第一端安装在所述第一安装轴上,所述第二支撑臂的第二端设置有朝向所述金属牵拉绳开口的第二滑槽;
所述第二安装轴的一端滑动穿设在所述第一滑槽并能沿所述第一滑槽朝向或远离所述第一安装轴滑动,所述第二安装轴的另一端滑动穿设在所述第二滑槽并能沿所述第二滑槽朝向或远离所述第一安装轴滑动;
所述动滑轮位于所述第一支撑臂和所述第二支撑臂之间。
6.如权利要求5所述的取晶装置,其特征在于,所述晶棒检测机构还包括第一支撑件和第二支撑件,其中:
所述第一支撑件设置在所述安装支架上并穿入至所述第一滑槽的开口处,所述第一支撑件用于支撑所述第一支撑臂的第二端;
所述第二支撑件设置在所述安装支架上并穿入至所述第二滑槽的开口处,所述第二支撑件用于支撑所述第二支撑臂的第二端。
7.如权利要求5所述的取晶装置,其特征在于,所述第一支撑臂内设置有第一容纳部,所述第二支撑臂内设置有第二容纳部;
所述复位弹簧并排设置为两根,其中一根复位弹簧设置在所述第一容纳部内,且所述复位弹簧的一端固定连接在所述第一容纳部的封闭端,所述复位弹簧的另一端穿过所述第一容纳部的贯穿端固定连接在所述第二安装轴上,另一根复位弹簧设置在所述第二容纳部内,且所述复位弹簧的一端固定连接在所述第二容纳部的封闭端,所述复位弹簧的另一端穿过所述第二容纳部的贯穿端固定连接在所述第二安装轴上。
8.如权利要求7所述的取晶装置,其特征在于,当复位弹簧处于失压回弹状态时,所述第一容纳部的贯穿端、所述第二容纳部的贯穿端与所述第二安装轴之间均具有预设距离;
当复位弹簧处于受压收缩状态时,所述第二安装轴朝向第一安装轴滑动至所述第一容纳部的贯穿端、所述第二容纳部的贯穿端停止,所述复位弹簧的形变量等于所述预设距离。
9.如权利要求1所述的取晶装置,其特征在于,所述放卷机构包括第三安装轴、轴套、卷盘及卷盘驱动机构,其中:
所述第三安装轴的两端固定连接在所述安装支架上,所述第三安装轴上设有沿轴向延伸的花键;所述轴套套设在所述第三安装轴并能沿所述花键轴向滑动;所述卷盘固定套接在所述轴套上;
所述卷盘上设有螺旋状的线槽,所述金属牵拉绳的一端固定连接在卷盘上,并沿所述线槽的走向卷绕在所述线槽内;
所述卷盘驱动机构包括旋转驱动组件和卷盘啮合组件,其中,所述旋转驱动组件用于驱动所述第三安装轴旋转以带动所述卷盘旋转,所述卷盘啮合组件安装在所述安装支架上并与所述线槽啮合,所述卷盘旋转时,所述卷盘啮合组件推动所述卷盘沿所述花键轴向滑动,使得所述卷盘放出或收卷金属牵拉绳。
10.如权利要求1所述的取晶装置,其特征在于:
所述安装支架上设有若干沿竖直方向设置的第一导向件,及若干沿竖直方向设置的与所述第一导向件一一对应的第二导向件;
所述导柱位于若干所述第一导向件和若干所述第二导向件之间,其中,各所述第一导向件均滑动压靠在所述导柱的一侧侧壁上,各所述第二导向件均滑动压靠在所述导柱的另一侧侧壁上;
所述取晶装置还包括设置在所述安装支架上的导柱驱动机构,所述导柱驱动机构用于驱动所述导柱相对于所述安装支架升降。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202322459609.2U CN221028790U (zh) | 2023-09-11 | 2023-09-11 | 一种取晶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN221028790U true CN221028790U (zh) | 2024-05-28 |
Family
ID=91182472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN221028790U (zh) |
-
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