CN221017592U - 一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，包括机械手清洗槽槽体，所述机械手清洗槽槽体的上端设有两个用于放置机械手的放置口，所述机械手清洗槽槽体的侧面安装有用于机械手清洗的注水系统和喷淋系统。本申请与现有技术相比的优点在于：本申请采用漂洗，喷淋的方式对机械手进行清洁，经济实用且安全可靠。另外,整个清洗结构简单、成本低、易操作、响应速度快且占用空间小，节省了生产成本，提高了设备稼动率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是指一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置。
背景技术
半导体的清洗制程中需要不同的化学溶液参与完成，在清洗过程中需要将在清洗的材料放置于不同溶液的槽体中执行清洗作业，由于各种清洗溶液的化学性质不同，这样在机械手在不同的工艺槽执行搬运作业的过程中就不可避免的因为机械手而对不用的清洗溶液产生各种交叉污染的情况发生。由于不同溶液的化学性质不同，大致分为碱性，酸性溶液，所有交叉污染都会轻则导致溶液污染，重则会产生一些化学反应，对机台环境以及清洗的材料造成污染现象，从而导致清洗材料良率下降，且机台需要长时间停机处理、检测等问题出现。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，包括机械手清洗槽槽体，所述机械手清洗槽槽体的上端设有两个用于放置机械手的放置口，所述机械手清洗槽槽体的侧面安装有用于机械手清洗的注水系统和喷淋系统。
作为改进，所述注水系统包括连接在机械手清洗槽槽体侧壁上方的注水管，所述注水管上设有第一气动隔膜阀。
作为改进，所述喷淋系统包括两个分别安装在机械手清洗槽槽体内腔上壁两侧的喷淋管，所述喷淋管的外端通过连接管共同连接有输水管，所述输水管上设有第二气动隔膜阀。
作为改进，所述喷淋管的两端均由设置在机械手清洗槽槽体内腔壁上的安装板固定。
作为改进，两侧所述喷淋管上均设有若干向内侧倾斜的高压喷头。
作为改进，所述机械手清洗槽槽体侧壁底部设有废液排放管且废液排放管上设有阀门。
作为改进，所述机械手清洗槽槽体的侧壁还设有液位检测装置。
作为改进，所述液位检测装置为非接触式液位传感器。
作为改进，其中非接触式液位传感器为管夹式液位开关。
本实用新型与现有技术相比的优点在于：采用了经济实用且安全可靠的漂洗和喷淋方式对机械手进行清洁，简化了清洗结构并降低了生产成本。此外，操作方便，响应速度快，占用空间小，有助于提高设备的稼动率。通过解决交叉污染问题，该装置还提高了清洗材料的良率，有助于保持机台环境的洁净，并减少机台长时间停机处理和检测的情况。总体而言，该实用新型装置在半导体槽式清洗机领域具有较大的应用潜力。
附图说明
图1是本实用新型主体结构示意图。
图2是本实用新型主体侧视结构示意图。
图3是本实用新型主体结构中机械手清洗槽体去除部分槽侧板的示意图。
如图所示：1、机械手清洗槽槽体，2、机械手，3、放置口，4、注水系统，401、注水管，402、第一气动隔膜阀，5、喷淋系统，501、喷淋管，502、连接管，503、输水管，504、第二气动隔膜阀，505、高压喷头，6、安装板，7、废液排放管，8、液位检测装置。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
下面结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
结合附图1-附图3，一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，包括机械手清洗槽槽体1，机械手清洗槽槽体1的上端设有两个用于放置机械手2的放置口3，机械手清洗槽槽体1的侧面安装有用于机械手2清洗的注水系统4和喷淋系统5。
在一个实施例中，注水系统4包括连接在机械手清洗槽槽体1侧壁上方的注水管401，注水管401上设有第一气动隔膜阀402，第一气动隔膜阀402用于控制注水管401的进水，实现对槽体1内液位的控制。
在一个实施例中，喷淋系统5包括两个分别安装在机械手清洗槽槽体1内腔上壁两侧的喷淋管501，喷淋管501的外端通过连接管502共同连接有输水管503，输水管503上设有第二气动隔膜阀504，第二气动隔膜阀504控制清洗液体通过输水管503输送到喷淋管501，并使其通过若干向内侧倾斜的高压喷头505向机械手2进行喷淋，从而彻底清洗机械手2表面的残留化学溶液。
在一个实施例中，喷淋管501的两端均由设置在机械手清洗槽槽体1内腔壁上的安装板6固定，确保喷淋管501的稳固性。
在一个实施例中，两侧喷淋管501上均设有若干向内侧倾斜的高压喷头505，使其通过若干向内侧倾斜的高压喷头505向机械手2进行喷淋，从而彻底清洗机械手2表面的残留化学溶液。
在一个实施例中，机械手清洗槽槽体1侧壁底部设有废液排放管7且废液排放管7上设有阀门，用于排放清洗过程中产生的废液，确保清洗过程的顺利进行。
在一个实施例中，机械手清洗槽槽体1的侧壁还设有液位检测装置8，液位检测装置8为非接触式液位传感器，具体为管夹式液位开关，该液位检测装置8用于实时监测机械手清洗槽槽体1内液体的高低水位，以确保注水和喷淋的适时停止和启动。
在一个实施例中，机械手清洗槽槽体1为PVC材质，用作清洗载体，具有较好的耐化学性能。
本实用新型在具体实施时，使用PVC材质机械手清洗槽1作为清洗载体，通过PLC控制与可编辑设定之配方指令，在搬运完一种化学溶液槽中材料后，机械手2自动移动至机械手清洗槽进行清洗作业，其中机械手清洗槽1内清洗动作包括先进行喷淋，通过喷淋管501实现，喷淋同时废液排放管7进行排液，待设定喷淋时间结束后，自动关闭废液排放管7，同时注水系统4对机械手清洗槽1内进行注水，待注水至工作液位点后自动停止，然后由PLC自动控制机械手2上下抛动漂洗，至清洗作业结束后设备自动排出废水，机械手自动移动至工作位，清洗废水通过废液排放管7排出。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，包括机械手清洗槽槽体(1)，所述机械手清洗槽槽体(1)的上端设有两个用于放置机械手(2)的放置口(3)，所述机械手清洗槽槽体(1)的侧面安装有用于机械手(2)清洗的注水系统(4)和喷淋系统(5)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，所述注水系统(4)包括连接在机械手清洗槽槽体(1)侧壁上方的注水管(401)，所述注水管(401)上设有第一气动隔膜阀(402)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，所述喷淋系统(5)包括两个分别安装在机械手清洗槽槽体(1)内腔上壁两侧的喷淋管(501)，所述喷淋管(501)的外端通过连接管(502)共同连接有输水管(503)，所述输水管(503)上设有第二气动隔膜阀(504)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，所述喷淋管(501)的两端均由设置在机械手清洗槽槽体(1)内腔壁上的安装板(6)固定。
5.根据权利要求3所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，两侧所述喷淋管(501)上均设有若干向内侧倾斜的高压喷头(505)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，所述机械手清洗槽槽体(1)侧壁底部设有废液排放管(7)且废液排放管(7)上设有阀门。
7.根据权利要求1所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，所述机械手清洗槽槽体(1)的侧壁还设有液位检测装置(8)。
8.根据权利要求7所述的一种半导体槽式清洗机机械手自清洁装置，其特征在于，所述液位检测装置(8)为非接触式液位传感器。
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