CN205324264U - 一种节水型芯片清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜和进水管，所述作业柜上设置将作业柜密封的排气罩，所述排气罩的顶部设有上抽风口，所述作业柜内设置酸槽和水槽，所述酸槽的底部设置排酸管，所述水槽内设置喷雾槽和冲水槽，所述喷雾槽内设有喷雾头，所述喷雾头上设有第一进水支管，所述喷雾头通过第一进水支管与进水管连通，所述喷雾槽的底部设有第一排水管，所述冲水槽内设有第二进水支管，所述冲水槽通过第二进水支管与进水管连通，所述冲水槽的底部设置第二排水管。本实用新型将芯片放入冲水槽内清洗之前，先经过喷雾槽使用高纯水进行喷水清洗，可以节约水资源，降低成本，可以提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及芯片清洗技术领域，具体是一种节水型芯片清洗装置。
背景技术
在半导体芯片制作过程中，芯片清洗的好坏直接决定芯片的质量。芯片清洗所用的水必须为高级纯水，高级纯水的造价很高，为保证清洗质量，冲泡用高纯水的消耗量很大，导致水源浪费和后续废水的处理成本较高。目前GPP芯片生产过程中清洗环节冲水所采用的是浸泡冲水置换装置，就是芯片泡完化学试剂后放入冲水槽中冲水，置换掉残留化学试剂和杂质离子等。这样的清洗装置消耗的高级纯水量很大且冲水时间较长，浪费水资源，成本较高，工作效率也较低。
实用新型内容
为了解决现有技术中的不足，本实用新型提供一种节水型芯片清洗装置，将芯片放入冲水槽内清洗之前，先经过喷雾槽使用高纯水进行喷水清洗，可以节约水资源，降低成本，还可以提高工作效率。
本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：
一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜和进水管，所述作业柜上设置将作业柜密封的排气罩，所述排气罩的顶部设有上抽风口，所述作业柜内设置酸槽和水槽，所述酸槽的底部设置排酸管，所述水槽内设置喷雾槽和冲水槽，所述喷雾槽内设有喷雾头，所述喷雾头上设有第一进水支管，所述喷雾头通过第一进水支管与进水管连通，所述喷雾槽的底部设有第一排水管，所述冲水槽内设有第二进水支管，所述冲水槽通过第二进水支管与进水管连通，所述冲水槽的底部设置第二排水管。
所述冲水槽内设有数个第一挡板，所述第一挡板由冲水槽的底部向冲水槽的顶部延伸，且第一挡板的有效高度小于冲水槽的侧壁高度，所述第一挡板将冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽。
所述冲水槽内还设有与第一挡板相配合的第二挡板，所述第二挡板位于第一挡板远离第二进水支管的一侧，所述第二挡板由冲水槽的顶部向冲水槽的底部延伸，且第二挡板的底端位置低于第一挡板的顶端位置，所述第一挡板与第二挡板之间形成水流通道，所述第一挡板和第二挡板将冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽。
所述冲水槽内设置数个第三挡板，所述第三挡板将冲水槽隔开为互不连通的数个单独的冲水槽，每个单独的冲水槽内均设有第二进水支管和第二排水管。
所述酸槽、喷雾槽和冲水槽内均设置芯片放置盘，所述芯片放置盘上设有排水孔。
所述水槽的底部设有总排水管，所述总排水管上设有总排水阀门。
所述排酸管、第一进水支管、第二进水支管、第一排水管、第二排水管上均设有阀门。
所述排气罩的一侧还设有侧抽风口。
所述作业柜的底部设置支腿。
所述支腿的底部设置万向轮，所述万向轮上设置制动闸。
对比现有技术，本实用新型有益效果在于：
1、本实用新型将芯片放入冲水槽内清洗之前，先经过喷雾槽的喷水清洗，可以节约水资源，降低成本，这样分步进行，经过喷雾清洗的芯片洁净度比较高，在冲水槽内进行浸泡冲水清洗时所使用的高纯水就会较少，清洗的时间也会较短，可以提高工作效率。
2、通过第一挡板将冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽，可以只设有一个第二进水支管，即可将隔开的数个冲水槽都充满高纯水，节约成本。
3、通过第一挡板和第二挡板将冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽，在满足只设有一个第二进水支管将隔开的数个冲水槽都充满水的情况下，可以阻挡冲水槽内的高纯水相互流通，提高冲水槽内的洁净度。
4、由第三挡板将冲水槽隔开为互不连通的数个单独的冲水槽，可以满足分槽清洗且不会使冲水槽内的清洗液相互污染。
5、芯片放置盘的设置便于芯片的放置清洗，且芯片放置盘上设有的排水孔，方便清洗液的流走，使得芯片放置盘上不会积累清洗液，提高洁净度。
6、水槽的底部设有总排水管，便于水槽内积水的排出，且总排水管上设有的总排水阀门，方便通过控制总排水管随时控制水槽内积水的排出或者积累。
7、排酸管、第一进水支管、第二进水支管、第一排水管、第二排水管上均设有阀门，方便通过控制排酸管控制酸槽内的废液的排出，方便通过控制第一进水支管控制喷雾头的喷水清洗，方便通过控制第二进水支管控制冲水槽内高纯水的流入，方便通过控制第一排水管控制喷雾槽内清洗污液的排出，方便通过控制第二排水管控制冲水槽内清洗污液的排出。
8、排气罩的一侧设有的侧抽风口，可以进一步提高酸气、废气的排出效率。
9、所述作业柜的底部设置支腿，所述支腿的底部设置万向轮，所述万向轮上设置制动闸，方便本实用新型的随时移动和固定。
附图说明
附图1是实施例1的结构示意图。
附图2是实施例2的结构示意图。
附图中所示标号：1、作业柜；2、进水管；3、排气罩；4、上抽风口；5、酸槽；6、水槽；7、排酸管；8、喷雾槽；9、冲水槽；10、喷雾头；11、第一进水支管；12、第一排水管；13、第二进水支管；14、第二排水管；15、第一挡板；16、第二挡板；17、第三挡板；18、芯片放置盘；19、排水孔；20、总排水管；21、总排水阀门；22、阀门；23、侧抽风口；24、支腿；25、万向轮；26、制动闸。
具体实施方式
结合附图和具体实施例，对本实用新型作进一步说明。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜1和进水管2，进水管2内流通高纯水，用于芯片的清洗。所述作业柜1上设置将作业柜1密封的排气罩3，使得作业柜1内的酸气、废气不会外泄。所述排气罩3的顶部设有上抽风口4，用于排出作业柜1内的酸气、废气。所述作业柜1内设置酸槽5和水槽6，酸槽5内用于放置芯片清洗用的化学试剂的存放容器，所述酸槽5的底部设置排酸管7，便于将酸槽5内的废液排出。所述水槽6内设置喷雾槽8和冲水槽9，所述喷雾槽8内设有喷雾头10，所述喷雾头10上设有第一进水支管11，所述喷雾头10通过第一进水支管11与进水管2连通，所述喷雾槽8的底部设有第一排水管12。所述冲水槽9内设有第二进水支管13，所述冲水槽9通过第二进水支管13与进水管2连通，所述冲水槽9的底部设置第二排水管14。
在使用本实用新型时，先将芯片放入酸槽5内，使用化学试剂进行清洗，然后将经过化学试剂清洗的芯片放入喷雾槽8使用高纯水进行喷雾清洗，然后将经过喷雾清洗的芯片放入冲水槽9内使用高纯水进行浸泡冲水清洗，经过喷雾清洗的芯片洁净度比较高，那么在冲水槽9内进行浸泡冲水清洗时所使用的高纯水就会较少，清洗的时间也会较短，可以节约水资源，节约成本，提高工作效率。
冲水槽9的一种实施方式，如附图1所示，所述冲水槽9内设有数个第一挡板15，所述第一挡板15由冲水槽9的底部向冲水槽9的顶部延伸，且第一挡板15的有效高度小于冲水槽9的侧壁高度，所述第一挡板15将冲水槽9隔开为相互连通的数个冲水槽9，使得可以只设有一个第二进水支管13，即可将隔开的数个冲水槽9都充满水，节约成本。
进一步的，如附图1所示，所述冲水槽9内还设有与第一挡板15相配合的第二挡板16，所述第二挡板16位于第一挡板15远离第二进水支管13的一侧，所述第二挡板16由冲水槽9的顶部向冲水槽9的底部延伸，且第二挡板16的底端位置低于第一挡板15的顶端位置，所述第一挡板15与第二挡板16之间形成水流通道，所述第一挡板15和第二挡板16将冲水槽9隔开为相互连通的数个冲水槽9，在满足只设有一个第二进水支管13将隔开的数个冲水槽9都充满高纯水的情况下，可以阻挡冲水槽9内的高纯水相互流通，提高冲水槽9内的洁净度。
冲水槽9的另一种实施方式，如附图2所示，所述冲水槽9内设置数个第三挡板17，所述第三挡板17将冲水槽9隔开为互不连通的数个单独的冲水槽9，每个单独的冲水槽9内均设有第二进水支管13和第二排水管14，可以满足分槽清洗且不会使冲水槽9内的清洗液相互污染。
进一步的，所述酸槽5、喷雾槽8和冲水槽9内均设置芯片放置盘18，便于芯片的放置清洗，所述芯片放置盘18上设有排水孔19，方便清洗液的流走，使得芯片放置盘18上不会积累清洗液，提高洁净度。
进一步的，所述水槽6的底部设有总排水管20，便于将水槽6内的积水排出，所述总排水管20上设有总排水阀门21，方便通过控制总排水管20随时控制水槽6内积水的排出或者积累。
进一步的，所述排酸管7、第一进水支管11、第二进水支管13、第一排水管12、第二排水管14上均设有阀门22，方便通过控制排酸管7控制酸槽5内的废液的排出，方便通过控制第一进水支管11控制喷雾头10的喷水清洗，方便通过控制第二进水支管13控制冲水槽9内高纯水的流入，方便通过控制第一排水管12控制喷雾槽8内清洗污液的排出，方便通过控制第二排水管14控制冲水槽9内清洗污液的排出。
进一步的，所述排气罩3的一侧还设有侧抽风口23，进一步提高酸气、废气的排出效率。
进一步的，所述作业柜1的底部设置支腿24。
进一步的，所述支腿24的底部设置万向轮25，所述万向轮25上设置制动闸26，方便随时移动和随时固定本实用新型。
实施例1：
一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜1和进水管2。所述作业柜1上设置将作业柜1密封的排气罩3，所述排气罩3的顶部设有上抽风口4，所述排气罩3的一侧还设有侧抽风口23。所述作业柜1内设置酸槽5和水槽6，所述酸槽5的底部设置排酸管7，所述水槽6的底部设有总排水管20，所述总排水管20上设有总排水阀门21。所述水槽6内设置喷雾槽8和冲水槽9。所述喷雾槽8内设有喷雾头10，所述喷雾头10上设有第一进水支管11，所述喷雾头10通过第一进水支管11与进水管2连通，所述喷雾槽8的底部设有第一排水管12。所述冲水槽9内设有第二进水支管13，所述冲水槽9通过第二进水支管13与进水管2连通，所述冲水槽9的底部设置第二排水管14。所述冲水槽9内设有数个第一挡板15，所述第一挡板15由冲水槽9的底部向冲水槽9的顶部延伸，且第一挡板15的有效高度小于冲水槽9的侧壁高度，所述冲水槽9内还设有与第一挡板15相配合的第二挡板16。所述第二挡板16位于第一挡板15远离第二进水支管13的一侧，所述第二挡板16由冲水槽9的顶部向冲水槽9的底部延伸，且第二挡板16的底端位置低于第一挡板15的顶端位置，所述第一挡板15与第二挡板16之间形成水流通道，所述第一挡板15和第二挡板16将冲水槽9隔开为相互连通的数个冲水槽9。所述酸槽5、喷雾槽8和冲水槽9内均设置芯片放置盘18，所述芯片放置盘18上设有排水孔19。所述排酸管7、第一进水支管11、第二进水支管13、第一排水管12、第二排水管14上均设有阀门22。所述作业柜1的底部设置支腿24，所述支腿24的底部设置万向轮25，所述万向轮25上设置制动闸26。本实施例的有益效果在于：可以阻挡冲水槽9内的清洗液相互流通，使得冲水槽9内的洁净度较高，可以节约水资源，降低成本，提高工作效率，且方便移动和固定方便移动和固定。
实施例2：
一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜1和进水管2，所述作业柜1上设置将作业柜1密封的排气罩3，所述排气罩3的顶部设有上抽风口4，所述排气罩3的一侧还设有侧抽风口23。所述作业柜1内设置酸槽5和水槽6，所述酸槽5的底部设置排酸管7，所述水槽6的底部设有总排水管20，所述总排水管20上设有总排水阀门21。所述水槽6内设置喷雾槽8和冲水槽9，所述喷雾槽8内设有喷雾头10，所述喷雾头10上设有第一进水支管11，所述喷雾头10通过第一进水支管11与进水管2连通，所述喷雾槽8的底部设有第一排水管12。所述冲水槽9内设有第二进水支管13，所述冲水槽9通过第二进水支管13与进水管2连通，所述冲水槽9的底部设置第二排水管14。所述冲水槽9内设置数个第三挡板17，所述第三挡板17将冲水槽9隔开为互不连通的数个单独的冲水槽9，每个单独的冲水槽9内均设有第二进水支管13和第二排水管14。所述酸槽5、喷雾槽8和冲水槽9内均设置芯片放置盘18，所述芯片放置盘18上设有排水孔19。所述排酸管7、第一进水支管11、第二进水支管13、第一排水管12、第二排水管14上均设有阀门22。所述作业柜1的底部设置支腿24，所述支腿24的底部设置万向轮25，所述万向轮25上设置制动闸26。本实施例的有益效果在于：可以满足冲水槽9的分槽清洗且不会使冲水槽9内的清洗液相互污染，可以节约水资源，降低成本，提高工作效率，且方便移动和固定。
Claims (10)
1.一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜(1)和进水管(2)，其特征是：所述作业柜(1)上设置将作业柜(1)密封的排气罩(3)，所述排气罩(3)的顶部设有上抽风口(4)，所述作业柜(1)内设置酸槽(5)和水槽(6)，所述酸槽(5)的底部设置排酸管(7)，所述水槽(6)内设置喷雾槽(8)和冲水槽(9)，所述喷雾槽(8)内设有喷雾头(10)，所述喷雾头(10)上设有第一进水支管(11)，所述喷雾头(10)通过第一进水支管(11)与进水管(2)连通，所述喷雾槽(8)的底部设有第一排水管(12)，所述冲水槽(9)内设有第二进水支管(13)，所述冲水槽(9)通过第二进水支管(13)与进水管(2)连通，所述冲水槽(9)的底部设置第二排水管(14)。
2.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述冲水槽(9)内设有数个第一挡板(15)，所述第一挡板(15)由冲水槽(9)的底部向冲水槽(9)的顶部延伸，且第一挡板(15)的有效高度小于冲水槽(9)的侧壁高度，所述第一挡板(15)将冲水槽(9)隔开为相互连通的数个冲水槽(9)。
3.根据权利要求2所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述冲水槽(9)内还设有与第一挡板(15)相配合的第二挡板(16)，所述第二挡板(16)位于第一挡板(15)远离第二进水支管(13)的一侧，所述第二挡板(16)由冲水槽(9)的顶部向冲水槽(9)的底部延伸，且第二挡板(16)的底端位置低于第一挡板(15)的顶端位置，所述第一挡板(15)与第二挡板(16)之间形成水流通道，所述第一挡板(15)和第二挡板(16)将冲水槽(9)隔开为相互连通的数个冲水槽(9)。
4.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述冲水槽(9)内设置数个第三挡板(17)，所述第三挡板(17)将冲水槽(9)隔开为互不连通的数个单独的冲水槽(9)，每个单独的冲水槽(9)内均设有第二进水支管(13)和第二排水管(14)。
5.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述酸槽(5)、喷雾槽(8)和冲水槽(9)内均设置芯片放置盘(18)，所述芯片放置盘(18)上设有排水孔(19)。
6.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述水槽(6)的底部设有总排水管(20)，所述总排水管(20)上设有总排水阀门(21)。
7.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述排酸管(7)、第一进水支管(11)、第二进水支管(13)、第一排水管(12)、第二排水管(14)上均设有阀门(22)。
8.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述排气罩(3)的一侧还设有侧抽风口(23)。
9.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述作业柜(1)的底部设置支腿(24)。
10.根据权利要求9所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述支腿(24)的底部设置万向轮(25)，所述万向轮(25)上设置制动闸(26)。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113399367A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-09-17 | 丁竹棋 | 一种摄像头镜片保护膜分格退除装置 |
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2016
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| CN113399367A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-09-17 | 丁竹棋 | 一种摄像头镜片保护膜分格退除装置 |
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