CN221005890U - 在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，包括具有炉腔的上端开口的炉体和能够盖住上端开口的炉盖，炉盖与炉体上端开口边缘之间具有密封件，在炉体上设有排气孔；在炉体的底部，设有上下相通的分别用于将工件盘驱动机构和剪尾装置驱动机构安装在炉腔外的驱动轴安装孔和夹钳座安装孔，驱动轴安装孔位于炉体的底部的中心。这样，通过在炉体的底部设置驱动轴安装孔和夹钳座安装孔，为能够将工件盘和剪尾装置的驱动机构设置在炉腔外，实现在炉腔内一次放置并加工更多的压力包，提高加工效率提供了条件，同时，驱动机构外置，使得设置相对简单，操作和维护更加方便。

Description

在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉

技术领域

本实用新型涉及一种在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，属于真空封装技术领域。

背景技术

薄膜真空计是一种用于测量真空度的仪器，它的原理是利用气体分子在真空中的运动规律来测量真空度，其压力包的外部具有用于抽真空的排气尾管、用于外接检测对象的外接管以及连接仪表的两根正负极电线接头。

根据测量原理，薄膜真空计可以分为多个种类，其对真空度的测量范围在1.33x10⁵—1.33x10^-2Pa之间。

薄膜真空计的应用范围非常广泛，可以应用于航空航天、电子、化工、医疗等多个领域。例如，在电子领域，薄膜真空计可以用于测试真空管、半导体器件的真空度，以确保它们的正常使用和使用寿命。

薄膜真空计压力包是整个薄膜真空计的主要组成部分，如何对压力包更标准、更简省、更高效的抽真空并进行封装一直是本领域探讨的问题。传统的解决方式有两种：

一是将样品放在高温高真空的环境中，采用高温共晶焊接、钎焊或是玻璃烧结等方法密封。但真空焊接空洞率较大，影响封接区的密封性，进而可能会影响参考腔室内真空度的保持。

二是采用无氧铜作为封接材料，在连续抽真空的条件下，使用钳封装置进行钳封。但封前除气环节不够充分，参考腔室内的真空度难以提高。

为解决上述问题，现有技术也提出了多种解决方案，下面选取两篇专利文献公开的比较典型的技术方案：

申请号为202211376858.9，名称为一种用于有源电真空器件的封排台及一体两次封排方法，该文献公开的的封排台包括外真空系统、内真空系统、控制系统、加热系统、高压电源和机械升降系统；外真空系统，用于在炉体中的外真空腔体中提供高真空环境，为有源电真空器件的外部提供真空工作环境；内真空系统，用于对炉体内的有源电真空器件抽气，为有源电真空器件提供超高真空环境；加热系统，用于对加热体通电，加热炉体中的有源电真空器件；高压电源，用于驱动有源电真空器件工作，产生X射线。本发明在提高效率和节能减排的前提下，实现金属陶瓷X射线管的高质量一体式超高真空封排，并提高生产效率和生产良率。其说明书中公开了大致的封装方式，其附图7中公开有“夹封”字样。

申请号为202211282013.3，名称为一种薄膜真空计参考腔室形成装置及方法，该文献公开的薄膜真空计参考腔室形成装置包括：除气模块，包括烘烤室，以及用于对烘烤室抽真空的第一真空泵组；钳封模块，包括主腔室，设置于主腔室内的钳封机构，以及用于对主腔室抽真空的第二真空泵组；主腔室设置于烘烤室下游，并通过可控制开闭的第一阀门与烘烤室连通；传送模块，用于使待加工样品在除气模块和钳封模块之间密闭传送；气体回填模块，具有多个可控制通断的回填支路，且与除气模块和钳封模块连接，用于向除气模块和钳封模块内回填气体。避免了采用真空焊接温度高、空洞率较大的问题，保证了封接区的密封性；封前采用烘烤除气，以加速待加工样品材料的释气，提高了参考腔室内部的真空度。

以上两种技术方案都涉及在真空腔室的真空环境中对薄膜真空计的真空件完成抽真空和封装操作，其发明思想仅偏重于如何达到产品的质量标准，对如何以更简省、更高效的措施解决真空件抽真空和封装的问题并未提出具体的具有创造性的技术方案。从传统技术历经改革到现有技术，压力包的抽真空封装技术依然存在两大缺陷：

一、设备构造复杂。至少需要设置能够连通的可抽真空的两个腔室，一个用于高温状况下抽真空，一个用于封装剪尾。在两个真空腔室之间还需要设置精准夹持并推送工件的传输机构。

二、工艺复杂。在一个腔室对压力包完成高温抽真空后，还需要将其推送至另一腔室剪尾封装。

实用新型内容

为解决上述现有技术没有解决或没有很好解决的问题，本公司进行了一系列改进（相关方案与本实用新型同日申请专利保护），本实用新型即是本次系列改进方案之一的炉体。

本实用新型要解决的技术问题是：为在同一炉腔内完成压力包的排气、封装提供一个真空炉炉体。

针对上述问题，本实用新型提出的技术解决方案是：

一种在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，包括具有炉腔的上端开口的炉体和能够盖住上端开口的炉盖，炉盖与炉体上端开口边缘之间具有密封件，在炉体上设有排气孔；在炉体的底部，设有上下相通的分别用于将工件盘驱动机构和剪尾装置驱动机构安装在炉腔外的驱动轴安装孔和夹钳座安装孔，驱动轴安装孔位于炉体的底部的中心。

进一步地，所述炉体为圆柱形，其炉腔为圆柱形空腔。

进一步地，所述夹钳座安装孔有2—3个，设在不同半径的圆上。

进一步地，所述炉体侧壁上设有与夹钳座安装孔数量对应的观测孔，每一个观测孔能够对应观察一个剪尾装置的夹钳及其所在的区域，所述观测孔设有与孔壁密封的抗压镜。

进一步地，还包括设在炉体侧壁外的启盖装置，所述启盖装置包括气缸、升降轴和转臂，所述气缸设在炉体侧壁外的下方，所述升降轴在气缸上方垂向设置，其下端与气缸推进杆连接，所述转臂径向固定在炉盖顶面，其外端与升降轴顶端垂直连接，所述转臂能够绕升降轴转动。

进一步地，所述启盖装置还包括固定在炉体侧壁外周面上的导向支撑块，所述导向支撑块上设有垂向的导向孔，所述升降轴套在导向孔内并能够在导向孔内作轴向传动。

进一步地，所述炉体外底部边缘有若干固定设置的安装块，所述安装块外端设有用于安装的螺栓孔。

有益效果

1、在炉体的底部设置驱动轴安装孔和夹钳座安装孔，为能够将工件盘和剪尾装置的驱动机构设置在炉腔外提供了条件；

2、驱动机构外置，使得设置相对简单，操作和维护更加方便。

附图说明

图1为盖合状态下所述炉体的立体示意图；

图2为开盖状态下所述炉体的立体示意图；

图3为所述炉体的炉腔内驱动轴安装孔和夹钳座安装孔的布设位置的立体示意图；

图4为所述炉体的炉腔内驱动轴安装孔和夹钳座安装孔分别安装驱动轴和夹钳座后的立体示意图。

图中：1、炉体；101、炉腔；2、炉盖；3、排气孔；4、驱动轴安装孔；5、夹钳座安装孔；6、观测孔；7、启盖装置；701、气缸；702、升降轴；703、转臂；704、导向支撑块；8、安装块；801、螺栓孔。

具体实施方式

如图1、2所示，本次对薄膜真空计压力包剪尾封装设备研发的目的，是要在满足薄膜真空计压力包在炉腔101内抽真空及封装要求的同时，使设备实现结构更简洁、作业更高效。基本方案是：1、与现有技术相同，压力包在封闭的炉腔101内与炉腔101同步抽真空（在升温至300摄氏度左右的炉温下）；2、其改进点是，在真空和300摄氏度左右状态下的该炉腔101内完成剪尾封装（用夹钳将排气尾管强力夹断、封闭，使外界的气体不能进入压力包）。

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述：

实施例一

如图1—4所示，一种在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，包括具有炉腔101的上端开口的炉体1和能够盖住上端开口的炉盖2，炉盖2与炉体1上端开口边缘之间具有密封件，在炉体上设有排气孔3。其改进点在于：在炉体1的底部，设有上下相通的分别用于将工件盘驱动机构和剪尾装置驱动机构安装在炉腔101外的驱动轴安装孔4和夹钳座安装孔5，驱动轴安装孔4位于炉体1的底部的中心。这样设置，就是为了能够将工件盘的驱动机构和剪尾装置的驱动机构分别通过驱动轴安装孔4和夹钳座安装孔5设置在炉腔101外的炉体1以下位置，为使设备实现发明目的提供条件。

炉体1为圆柱形，其炉腔101为圆柱形空腔，以适应圆形工件盘的设置。作为优选，炉体1由不锈钢材料制作。

夹钳座安装孔5有2—3个，设在不同半径的圆上，使其安装的夹钳正好位于工件盘上环形阵列的压力包安装位的下方。作为优选，夹钳座安装孔5设置2个。

真空炉还包括设在炉体1侧壁外的启盖装置7，启盖装置7包括气缸701、升降轴702和转臂703，气缸701设在炉体1侧壁外的下方，升降轴702在气缸701上方垂向设置，其下端与气缸701推进杆连接，所述转臂703径向固定在炉盖2顶面，其外端与升降轴702顶端垂直连接，转臂703能够绕升降轴702转动。启盖装置7还包括固定在炉体1侧壁外周面上的导向支撑块704，导向支撑块704上设有垂向的导向孔，升降轴702套在导向孔内并能够在导向孔内作轴向传动。开盖时，气缸701通过升降轴702、转臂703将炉盖2升起一定高度，然后由气缸701转动或手推动炉盖2向旁侧转动。

炉体1外底部边缘有若干固定设置的安装块8，所述安装块8外端设有用于安装的螺栓孔801，通过安装块8将炉体1固定安装在架台上。

实施例二

如图2所示，其与实施例一的不同之处在于，炉体1侧壁上设有与夹钳座安装孔5数量对应的观测孔6，每一个观测孔6能够对应观察一个剪尾装置的夹钳及其所在的区域，所述观测孔6设有与孔壁密封的抗压镜。

上述实施方式只用于更清楚的描述本实用新型，而不能视为限制本实用新型涵盖的保护范围，任何等价形式的修改都应视为落入本实用新型涵盖的保护范围之中。

Claims (7)

1.一种在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，包括具有炉腔（101）的上端开口的炉体（1）和能够盖住上端开口的炉盖（2），炉盖（2）与炉体（1）上端开口边缘之间具有密封件，在炉体上设有排气孔（3），其特征在于：在炉体（1）的底部，设有上下相通的分别用于将工件盘驱动机构和剪尾装置驱动机构安装在炉腔（101）外的驱动轴安装孔（4）和夹钳座安装孔（5），驱动轴安装孔（4）位于炉体（1）的底部的中心。

2.根据权利要求1所述的在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，其特征在于，所述炉体（1）为圆柱形，其炉腔（101）为圆柱形的空腔。

3.根据权利要求2所述的在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，其特征在于，所述夹钳座安装孔（5）有2—3个，设在不同半径的圆上。

4.根据权利要求3所述的在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，其特征在于，所述炉体（1）侧壁上设有与夹钳座安装孔（5）数量对应的观测孔（6），每一个观测孔（6）能够对应观察一个剪尾装置的夹钳及其所在的区域，所述观测孔（6）设有与孔壁密封的抗压镜。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，其特征在于，还包括设在炉体（1）侧壁外的启盖装置（7），所述启盖装置（7）包括气缸（701）、升降轴（702）和转臂（703），所述气缸（701）设在炉体（1）侧壁外的下方，所述升降轴（702）在气缸（701）上方垂向设置，其下端与气缸（701）推进杆连接，所述转臂（703）径向固定在炉盖（2）顶面，其外端与升降轴（702）顶端垂直连接，所述转臂（703）能够绕升降轴（702）转动。

6.根据权利要求5所述的在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，其特征在于，所述启盖装置（7）还包括固定在炉体（1）侧壁外周面上的导向支撑块（704），所述导向支撑块（704）上设有垂向的导向孔，所述升降轴（702）套在导向孔内并能够在导向孔内作轴向传动。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的在同一炉腔完成薄膜真空计压力包排气封装设备的真空炉，其特征在于，所述炉体（1）外底部边缘有若干固定设置的安装块（8），所述安装块（8）外端设有用于安装的螺栓孔（801）。