CN220995495U - 一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，包括真空炉、剪尾装置、供料装置和控制系统，真空炉包括具有炉腔的上端开口的炉体和能够盖住上端开口的炉盖，炉体侧壁设有排气孔；所述剪尾装置包括夹钳机构，所述夹钳机构包括夹钳和夹钳驱动件，所述供料装置包括具有多个工件放置位的工件盘和工件盘驱动机构，在炉体的底部设有上下相通的用于安装剪尾装置和供料装置的安装孔，所述工件盘水平设置在炉腔内，所述夹钳设置在炉腔内的工件盘的下方，所述夹钳机构的夹钳驱动件和供料装置的工件盘驱动机构通过对应设置在炉体底部的安装孔设在炉腔外。

Description

一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备

技术领域

本实用新型涉及一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，属于真空封装技术领域。

背景技术

薄膜真空计是一种用于测量真空度的仪器，它的原理是利用气体分子在真空中的运动规律来测量真空度，其压力包的外部具有用于抽真空的排气尾管、用于外接检测对象的外接管以及连接仪表的两根正负极电线接头。

根据测量原理，薄膜真空计可以分为多个种类，其对真空度的测量范围在1.33x10⁵—1.33x10^-2Pa之间。

薄膜真空计的应用范围非常广泛，可以应用于航空航天、电子、化工、医疗等多个领域。例如，在电子领域，薄膜真空计可以用于测试真空管、半导体器件的真空度，以确保它们的正常使用和使用寿命。

薄膜真空计压力包是整个薄膜真空计的主要组成部分，如何对压力包更标准、更简省、更高效的抽真空并进行封装一直是本领域探讨的问题。传统的解决方式有两种：

一是将样品放在高温高真空的环境中，采用高温共晶焊接、钎焊或是玻璃烧结等方法密封。但真空焊接空洞率较大，影响封接区的密封性，进而可能会影响参考腔室内真空度的保持。

二是采用无氧铜作为封接材料，在连续抽真空的条件下，使用钳封装置进行钳封。但封前除气环节不够充分，参考腔室内的真空度难以提高。

为解决上述问题，现有技术也提出了多种解决方案，下面选取两篇专利文献公开的比较典型的技术方案：

申请号为202211376858.9，名称为一种用于有源电真空器件的封排台及一体两次封排方法，该文献公开的的封排台包括外真空系统、内真空系统、控制系统、加热系统、高压电源和机械升降系统；外真空系统，用于在炉体中的外真空腔体中提供高真空环境，为有源电真空器件的外部提供真空工作环境；内真空系统，用于对炉体内的有源电真空器件抽气，为有源电真空器件提供超高真空环境；加热系统，用于对加热体通电，加热炉体中的有源电真空器件；高压电源，用于驱动有源电真空器件工作，产生X射线。本发明在提高效率和节能减排的前提下，实现金属陶瓷X射线管的高质量一体式超高真空封排，并提高生产效率和生产良率。其说明书中公开了大致的封装方式，其附图7中公开有“夹封”字样。

申请号为202211282013.3，名称为一种薄膜真空计参考腔室形成装置及方法，该文献公开的薄膜真空计参考腔室形成装置包括：除气模块，包括烘烤室，以及用于对烘烤室抽真空的第一真空泵组；钳封模块，包括主腔室，设置于主腔室内的钳封机构，以及用于对主腔室抽真空的第二真空泵组；主腔室设置于烘烤室下游，并通过可控制开闭的第一阀门与烘烤室连通；传送模块，用于使待加工样品在除气模块和钳封模块之间密闭传送；气体回填模块，具有多个可控制通断的回填支路，且与除气模块和钳封模块连接，用于向除气模块和钳封模块内回填气体。避免了采用真空焊接温度高、空洞率较大的问题，保证了封接区的密封性；封前采用烘烤除气，以加速待加工样品材料的释气，提高了参考腔室内部的真空度。

以上两种技术方案都涉及在真空腔室的真空环境中对薄膜真空计的真空件完成抽真空和封装操作，其发明思想仅偏重于如何达到产品的质量标准，对如何以更简省、更高效的措施解决真空件抽真空和封装的问题并未提出具体的具有创造性的技术方案。从传统技术历经改革到现有技术，压力包的抽真空封装技术依然存在两大缺陷：

一、设备构造复杂。至少需要设置能够连通的可抽真空的两个腔室，一个用于高温状况下抽真空，一个用于封装剪尾。在两个真空腔室之间还需要设置精准夹持并推送工件的传输机构。

二、工艺复杂。在一个腔室对压力包完成高温抽真空后，还需要将其推送至另一腔室剪尾封装。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：如何使设备满足抽真空及封装要求同时，实现结构更简洁、作业更高效。

针对上述问题，本实用新型提出的技术方案是：

一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，包括真空炉、剪尾装置、供料装置、控制系统和设在炉腔内的加热部件；真空炉包括具有炉腔的上端开口的炉体和能够盖住上端开口的炉盖，炉体侧壁设有排气孔；所述剪尾装置包括夹钳机构，所述夹钳机构包括夹钳和夹钳驱动件，所述供料装置包括具有多个工件放置位的工件盘和工件盘驱动机构，在炉体的底部设有上下相通的用于安装剪尾装置和供料装置的安装孔，所述工件盘水平设置在炉腔内，所述夹钳设置在炉腔内的工件盘的下方，所述夹钳机构的夹钳驱动件和供料装置的工件盘驱动机构通过对应设置在炉体底部的安装孔设在炉腔外。

进一步地，所述夹钳包括通过铰接轴铰接连接的左夹臂和右夹臂，所述左夹臂中部和右夹臂中部相向凸出，并在各自突出部设置铰轴孔，所述铰接轴套在铰轴孔中，左夹臂的上端部和右夹臂的上端部相向凸出分别形成左夹齿和右夹齿，左夹齿和右夹齿之间有可咬合的可咬合间隔，左夹臂的下段和右夹臂的下段之间有可进一步撑开的可撑开间隔，可撑开间隔撑开时，可咬合间隔相向咬合；

所述夹钳驱动件为一根圆柱形的顶杆，所述顶杆的顶端为上窄下宽的楔形，其两侧具有导开斜面，所述顶杆楔形的顶端窄处位于左夹臂和右夹臂可撑开间隔内，左夹臂和右夹臂的下端端部分别与顶杆楔形顶端两侧的导开斜面接触。

进一步地，所述夹钳机构还包括夹钳座，所述夹钳座上段具有开口向上的缺槽，两侧槽壁具有铰轴安装孔，缺槽的槽底具有供顶杆穿过的通孔，所述左夹臂和右夹臂安装在缺槽内，所述铰接轴的两端安装在铰轴安装孔内；

所述夹钳机构还包括夹钳安装法兰和锁紧螺母，所述夹钳安装法兰具有法兰孔，法兰孔孔壁设有内环凸台，所述夹钳座下段为圆管段，圆管段外周上端具有外凸缘，外周下端具有外螺纹，所述夹钳座的圆管段向下穿过法兰孔，其外凸缘压在内环凸台上，所述锁紧螺母通过圆管段外周的外螺纹向上将夹钳安装法兰锁紧在夹钳座上；

所述夹钳机构还包括顶杆导向套，所述顶杆导向套内具有导向孔，顶杆导向套外具有外螺纹，所述夹钳座的圆管段的管孔具有内螺纹，所述顶杆导向套通过自身的外螺纹与夹钳座的圆管段管孔的内螺纹配合固定在夹钳座上，所述顶杆上段穿过导向孔与夹钳接触；

在炉体的底部设置的上下相通的用于安装剪尾装置的安装孔是夹钳座安装孔，由钳安装法兰将夹钳机构固定在夹钳座安装孔周围的炉腔底面，所述顶杆经夹钳座安装孔向下伸出炉腔外。

进一步地，所述夹钳机构还包括复位簧，所述顶杆上段外周和下段外周分别设有上卡簧和下卡簧，所述复位簧套在顶杆外周，下端压住下卡簧，上端顶住顶杆导向套的下端，所述上卡簧压住顶杆导向套的上端。

进一步地，所述剪尾装置还包括具有盲洞且盲洞可伸缩的金属波纹管，所述金属波纹管上端具有波纹管安装法兰，底端具有与金属波纹管密封的盲法兰板，所述顶杆下段位于金属波纹管内，其底端面与盲法兰板接触。

进一步地，所述剪尾装置还包括设在金属波纹管下方的顶升机构，所述顶升机构具有顶升杆，所述顶升杆与金属波纹管内的顶杆在同一轴线上，顶升杆顶端能够通过金属波纹管底板向顶杆的底端施加向上的作用力。

进一步地，所述工件盘驱动机构还包括驱动工件盘转动的驱动轴、驱动驱动轴转动的伺服电机和密封安装结构，在炉体底部设置的上下相通的用于安供料装置的安装孔，是设置在炉体底部中心的驱动轴安装孔，所述驱动轴通过密封安装结构竖向安装在炉体底部的驱动轴安装孔中，其上端通过工件盘圆心的轴孔将工件盘固定，其下端在炉腔外的炉体下方连接伺服电机。

进一步地，所述密封安装结构包括轴磁液密封套，所述轴磁液密封套套装在炉体下方的驱动轴上，轴磁液密封套上端与驱动轴安装孔周边的炉体底面密封。

进一步地，所述密封安装结构还包括下密封安装套，所述下密封安装套套装在轴磁液密封套与驱动轴安装孔周边的炉体底面之间，所述轴磁液密封套上端与驱动轴安装孔周边的炉体底面密封，是由下密封安装套的下端与轴磁液密封套密封对接，下密封安装套的上端与驱动轴安装孔周边的炉体底面密封；所述密封安装结构还包括设在炉腔内的压装套，所述驱动轴顶端设有外螺纹并配用压装螺母，所述压装套套装在驱动轴上段，由压装螺母下旋，迫使轴磁液密封套、下密封安装套上提与压装套在炉腔内外相向压紧炉体的底板。

进一步地，所述真空炉还包括设在炉体侧壁外的启盖装置，所述启盖装置包括气缸、升降轴和转臂，所述气缸设在炉体侧壁外的下方，所述升降轴在气缸上方垂向设置，其下端与气缸推进杆连接，所述转臂径向固定在炉盖顶面，其外端与升降轴顶端垂直连接，所述转臂能够绕升降轴转动。

有益效果

1、通过减少工件在炉腔之间传送的流程环节，以及加大炉腔内一次放入和加工更多工件的量而大幅提高加工效率；

2、将现有技术真空炉内炉腔数量的2—3个减少为一个，并去掉多个炉腔之间的传输设备，大大简化了设备的机构设置，显著降低了设备的制作成本，也便于设备的运行和后期的维护。

附图说明

图1为所述真空炉盖合状态的立体示意图；

图2为所述真空炉开盖状态的立体示意图；

图3为所述真空炉炉腔内夹钳座安装孔和驱动轴安装孔的设置位置的立体示意图；

图4为所述真空炉炉腔内夹钳和供料装置驱动轴顶端设置位置的立体示意图；

图5为所述夹钳机构的立体示意图；

图6为所述夹钳与顶杆的结构关系示意图；

图7为夹钳机构部分部件的分拆示意图；

图8为图7中夹钳的示意图；

图9为图7中夹钳座等的示意图；

图10为所述金属波纹管的立体示意图；

图11为所述金属波纹管在真空炉底部安装的立体示意图；

图12为所述金属波纹管与夹钳机构安装的剖视示意图；

图13为所述工件盘驱动机构的立体示意图；

图14为所述工件盘安装在真空炉内的立体示意图；

图15为所述工件盘驱动机构在真空炉底部的安装示意图。

图中：1、炉体；11、炉腔；12、排气孔；13、炉盖；14、夹钳座安装孔；15、驱动轴安装孔；2、夹钳机构；21、夹钳；211、左夹臂；2111、左夹齿；21111、左齿轴槽；2112、左撑开轴槽；212、右夹臂；2121、右夹齿；21211、右齿轴槽；2122、右撑开轴槽；213、铰接轴；214、铰轴孔；215、可咬合间隔；216、可撑开间隔；217、咬合滚轴；218、撑开滚轴；22、夹钳座；221、缺槽；222、铰轴安装孔；223、通孔；224、圆管段；225、外凸缘；23、夹钳安装法兰；231、法兰孔；232、内环凸台；24、锁紧螺母；25、顶杆导向套；251、导向孔；26、顶杆；261、导开斜面；262、上卡簧；263、下卡簧；27、复位簧；3、金属波纹管；31、盲洞；32、波纹管安装法兰；33、盲法兰板；4、油缸；41、顶升杆；5、工件盘；6、工件盘驱动机构；61、驱动轴；62、伺服电机；63、轴磁液密封套；64、下密封安装套；65、压装套；66、压装螺母；7、启盖装置；71、气缸；72、升降轴；73、转臂。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型做进一步的描述：

实施例一

如图1、2、4、5、14所示，一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，包括真空炉、剪尾装置、供料装置、控制系统和设在炉腔11内的加热部件；真空炉包括具有炉腔11的上端开口的炉体1和能够盖住上端开口的炉盖13，炉体1侧壁设有排气孔12；剪尾装置包括夹钳机构2，夹钳机构2包括夹钳21和夹钳驱动件；供料装置包括具有多个工件放置位的工件盘5和工件盘驱动机构6；在炉体1的底部设有上下相通的用于安装剪尾装置和供料装置的安装孔，工件盘5水平设置在炉腔11内，夹钳21设置在炉腔11内的工件盘5的下方，夹钳机构2的夹钳驱动件和供料装置的工件盘驱动机构6通过对应设置在炉体1底部的安装孔设在炉腔11外。应用时，将多个压力包放置在工件盘5上，由控制系统控制对炉腔11加热至300摄氏度左右（使炉腔11内器件表面气体和易挥发物质挥发）、抽真空，由控制系统控制工件盘5转动，按序将压力包转送到夹钳21封装位，并由控制系统控制剪尾装置进行剪尾封装。这样，与现有技术相比，就不用设置两个或两个以上相互连通的炉腔11，也不用在各炉腔11之间设置工件输送装置。同时，工艺流程也省去了在各腔室之间夹持、传输工件的环节，从而能显著提高加工效率，大幅简化设备的机构设置，既降低了设备制作成本，又便于后期的运行维护。

上述设置，仅将供料装置和剪尾装置的直接执行机构（工件盘5和夹钳21）设置在容积有限的炉腔11内，而将供料装置的驱动机构和夹钳21的夹钳驱动件设置在炉腔11外，更多的腾出炉腔11空间，以利于增大放置压力包的工件盘和加设剪尾装置，从而能一次放置并加工更多的压力包，进一步提高加工效率。

下面是进一步的改进。

如图3—12所示，夹钳21包括通过铰接轴213铰接连接的左夹臂211和右夹臂212，所述左夹臂211中部和右夹臂212中部相向凸出，并在各自突出部设置铰轴孔214，铰接轴213套在铰轴孔214中，左夹臂211的上端部和右夹臂212的上端部相向凸出分别形成左夹齿2111和右夹齿2121，左夹齿2111和右夹齿2121之间有可咬合的可咬合间隔215，左夹臂211的下段和右夹臂212的下段之间有可进一步撑开的可撑开间隔216，可撑开间隔216撑开时，可咬合间隔215相向咬合；

夹钳驱动件为一根圆柱形的顶杆26，顶杆26的顶端为上窄下宽的楔形，其两侧具有导开斜面261，顶杆26楔形的顶端窄处位于左夹臂211和右夹臂212可撑开间隔216内，左夹臂211和右夹臂212的下端端部分别与顶杆26楔形顶端两侧的导开斜面261接触。当顶杆26向上升起时，顶杆26楔形顶端两侧的导开斜面261将左夹臂211和右夹臂212的下端进一步分开，使左夹齿2111和右夹齿2121相向咬合。

夹钳机构2还包括夹钳座22，夹钳座22上段具有开口向上的缺槽221，两侧槽壁具有铰轴安装孔222，缺槽221的槽底具有供顶杆26穿过的通孔223，左夹臂211和右夹臂212安装在缺槽221内，铰接轴213的两端安装在铰轴安装孔222内；

夹钳机构2还包括夹钳安装法兰23和锁紧螺母24，夹钳安装法兰23具有法兰孔231，法兰孔231孔壁设有内环凸台232，夹钳座22下段为圆管段224，圆管段224外周上端具有外凸缘225，外周下端具有外螺纹，夹钳座22的圆管段224向下穿过法兰孔231，其外凸缘225压在内环凸台232上，锁紧螺母24通过圆管段224外周的外螺纹向上将夹钳安装法兰23锁紧在夹钳座22上；

夹钳机构2还包括顶杆导向套25，顶杆导向套25内具有导向孔251，顶杆导向套25外具有外螺纹，夹钳座22的圆管段224的管孔具有内螺纹，顶杆导向套25通过自身的外螺纹与夹钳座22的圆管段224管孔的内螺纹配合固定在夹钳座22上，顶杆26上段穿过导向孔251与夹钳21接触。

在炉体1的底部设置的上下相通的用于安装剪尾装置的安装孔是夹钳座安装孔14，由夹钳安装法兰23将夹钳机构2固定在夹钳座安装孔14周围的炉腔11底面，从而实现对夹钳机构2的安装固定。顶杆26经夹钳座安装孔14向下伸出炉腔11外，受顶杆导向套25限制，保证顶杆26能够稳定的垂直升降。

上述夹钳机构2还包括复位簧27，所述顶杆26上段外周和下段外周分别设有上卡簧262和下卡簧263，复位簧27套在顶杆26外周，下端压住下卡簧263，上端顶住顶杆导向套25的下端，所述上卡簧262压住顶杆导向套25的上端。

上述剪尾装置还包括具有盲洞31且盲洞可伸缩的金属波纹管3，金属波纹管3上端具有波纹管安装法兰32，底端具有与金属波纹管3密封的盲法兰板33，顶杆26下段位于金属波纹管3内，其底端面与盲法兰板33接触。

上述剪尾装置还包括设在金属波纹管3下方的顶升机构，顶升机构具有连接油缸4的顶升杆41，顶升杆41与金属波纹管3内的顶杆26在同一轴线上，顶升杆41顶端能够通过金属波纹管3底板向顶杆26的底端施加向上的作用力。

当顶升杆41顶端通过金属波纹管3底板向顶杆26的底端施加向上的作用力时，顶杆上升使夹钳21做出剪尾动作。由于剪尾作业是在炉腔11和金属波纹管3的盲洞31处于真空负压状态下进行的，金属波纹管3底板受到向上的气压作用力，所述顶杆26要下行复位，需要上述复位簧27克服金属波纹管3底板受到的向上的气压作用力。

如图13—15所示，前述工件盘驱动机构6还包括驱动工件盘5转动的驱动轴61、驱动驱动轴61转动的伺服电机62和密封安装结构，在炉体1底部设置的上下相通的用于安供料装置的安装孔，是设置在炉体1底部中心的驱动轴安装孔15，驱动轴61通过密封安装结构竖向安装在炉体1底部的驱动轴安装孔15中，其上端通过工件盘5圆心的轴孔将工件盘5固定，其下端在炉腔11外的炉体1下方连接伺服电机62。

密封安装结构包括轴磁液密封套63，轴磁液密封套63套装在炉体1下方的驱动轴61上，使驱动轴61与轴磁液密封套63之间实现密封，但又不影响驱动轴61的转动，轴磁液密封套63上端与驱动轴安装孔15周边的炉体1底面密封。这样就实现了驱动轴61与驱动轴安装孔15之间的密封。

密封安装结构还包括下密封安装套64，下密封安装套64套装在轴磁液密封套63与驱动轴安装孔15周边的炉体1底面之间，轴磁液密封套63上端与驱动轴安装孔15周边的炉体1底面密封，是由下密封安装套64的下端与轴磁液密封套63密封对接，下密封安装套64的上端与驱动轴安装孔15周边的炉体1底面密封；密封安装结构还包括设在炉腔11内的压装套65，驱动轴61顶端设有外螺纹并配用压装螺母66，压装套65套装在驱动轴61上段，由压装螺母66下旋，迫使轴磁液密封套63、下密封安装套64上提与压装套65在炉腔11内外相向压紧炉体1的底板。

真空炉还包括设在炉体1侧壁外的启盖装置7，启盖装置7包括气缸71、升降轴72和转臂73，所述气缸71设在炉体1侧壁外的下方，升降轴72在气缸71上方垂向设置，其下端与气缸71推进杆连接，所述转臂73径向固定在炉盖13顶面，其外端与升降轴72顶端垂直连接，所述转臂73能够绕升降轴72转动。开盖时，气缸71通过升降轴72、转臂73将炉盖13升起一定高度，然后由气缸71转动或手推动炉盖13向旁侧转动。

实施例二

如图6、8所示，其与上述实施例的不同之处在于，在左夹齿2111和右夹齿2121齿尖分别设有弧形的与铰接轴213轴向一致的左齿轴槽21111和右齿轴槽21211，在左齿轴槽21111和右齿轴槽21211内分别设有咬合滚轴217，咬合滚轴217可以使用硬度更大的材料制作，以便在300摄氏度的高温下顺利的完成剪尾作业，同时还要能够更换；在左夹臂211和右夹臂212下端相向的一侧分别设有弧形的与铰接轴213轴向一致的左撑开轴槽2112和右撑开轴槽2122，在左撑开轴槽2112和右撑开轴槽2122内分别设置撑开滚轴218，有利于顶杆26顶端的楔形部在夹钳21下的可撑开间隔216中抽插。

上述实施例只用于更清楚的描述本实用新型，而不能视为限制本实用新型涵盖的保护范围，任何等价形式的修改都应视为落入本实用新型涵盖的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，包括真空炉、剪尾装置、供料装置和控制系统，真空炉包括具有炉腔（11）的上端开口的炉体（1）和能够盖住上端开口的炉盖（13），炉体（1）侧壁设有排气孔（12），其特征在于：所述剪尾装置包括夹钳机构（2），所述夹钳机构（2）包括夹钳（21）和夹钳驱动件，所述供料装置包括具有多个工件放置位的工件盘（5）和工件盘驱动机构（6），在炉体（1）的底部设有上下相通的用于安装剪尾装置和供料装置的安装孔，所述工件盘（5）水平设置在炉腔（11）内，所述夹钳（21）设置在炉腔（11）内的工件盘（5）的下方，所述夹钳机构（2）的夹钳驱动件和供料装置的工件盘驱动机构（6）通过对应设置在炉体（1）底部的安装孔设在炉腔（11）外；所述设备还包括设在炉腔（11）内的加热部件。

2.根据权利要求1所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：

所述夹钳（21）包括通过铰接轴（213）铰接连接的左夹臂（211）和右夹臂（212），所述左夹臂（211）中部和右夹臂（212）中部相向凸出，并在各自突出部设置铰轴孔（214），所述铰接轴（213）套在铰轴孔（214）中，左夹臂（211）的上端部和右夹臂（212）的上端部相向凸出分别形成左夹齿（2111）和右夹齿（2121），左夹齿（2111）和右夹齿（2121）之间有可咬合的可咬合间隔（215），左夹臂（211）的下段和右夹臂（212）的下段之间有可进一步撑开的可撑开间隔（216），可撑开间隔（216）撑开时，可咬合间隔（215）相向咬合；

所述夹钳驱动件为一根圆柱形的顶杆（26），所述顶杆（26）的顶端为上窄下宽的楔形，其两侧具有导开斜面（261），所述顶杆（26）楔形的顶端窄处位于左夹臂（211）和右夹臂（212）可撑开间隔（216）内，左夹臂（211）和右夹臂（212）的下端端部分别与顶杆（26）楔形顶端两侧的导开斜面（261）接触。

3.根据权利要求2所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：

所述夹钳机构（2）还包括夹钳座（22），所述夹钳座（22）上段具有开口向上的缺槽（221），两侧槽壁具有铰轴安装孔（222），缺槽（221）的槽底具有供顶杆（26）穿过的通孔（223），所述左夹臂（211）和右夹臂（212）安装在缺槽（221）内，所述铰接轴（213）的两端安装在铰轴安装孔（222）内；

所述夹钳机构（2）还包括夹钳安装法兰（23）和锁紧螺母（24），所述夹钳安装法兰（23）具有法兰孔（231），法兰孔（231）孔壁设有内环凸台（232），所述夹钳座（22）下段为圆管段（224），圆管段（224）外周上端具有外凸缘（225），外周下端具有外螺纹，所述夹钳座（22）的圆管段（224）向下穿过法兰孔（231），其外凸缘（225）压在内环凸台（232）上，所述锁紧螺母（24）通过圆管段（224）外周的外螺纹向上将夹钳安装法兰（23）锁紧在夹钳座（22）上；

所述夹钳机构（2）还包括顶杆导向套（25），所述顶杆导向套（25）内具有导向孔（251），顶杆导向套（25）外具有外螺纹，所述夹钳座（22）的圆管段（224）的管孔具有内螺纹，所述顶杆导向套（25）通过自身的外螺纹与夹钳座（22）的圆管段（224）管孔的内螺纹配合固定在夹钳座（22）上，所述顶杆（26）上段穿过导向孔（251）与夹钳（21）接触；

在炉体（1）的底部设置的上下相通的用于安装剪尾装置的安装孔是夹钳座安装孔（14），由钳安装法兰将夹钳机构（2）固定在夹钳座安装孔（14）周围的炉腔（11）底面，所述顶杆（26）经夹钳座安装孔（14）向下伸出炉腔（11）外。

4.根据权利要求3所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述夹钳机构（2）还包括复位簧（27），所述顶杆（26）上段外周和下段外周分别设有上卡簧（262）和下卡簧（263），所述复位簧（27）套在顶杆（26）外周，下端压住下卡簧（263），上端顶住顶杆导向套（25）的下端，所述上卡簧（262）压住顶杆导向套（25）的上端。

5.根据权利要求2至4任意一项所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述剪尾装置还包括具有盲洞（31）且盲洞可伸缩的金属波纹管（3），所述金属波纹管（3）上端具有波纹管安装法兰（32），底端具有与金属波纹管（3）密封的盲法兰板（33），所述顶杆（26）下段位于金属波纹管（3）内，其底端面与盲法兰板（33）接触。

6.根据权利要求5所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述剪尾装置还包括设在金属波纹管（3）下方的顶升机构，所述顶升机构具有顶升杆（41），所述顶升杆（41）与金属波纹管（3）内的顶杆（26）在同一轴线上，顶升杆（41）顶端能够通过金属波纹管（3）底板向顶杆（26）的底端施加向上的作用力。

7.根据权利要求1所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述工件盘驱动机构（6）还包括驱动工件盘（5）转动的驱动轴（61）、驱动驱动轴（61）转动的伺服电机（62）和密封安装结构，在炉体（1）底部设置的上下相通的用于安供料装置的安装孔，是设置在炉体（1）底部中心的驱动轴安装孔（15），所述驱动轴（61）通过密封安装结构竖向安装在炉体（1）底部的驱动轴安装孔（15）中，其上端通过工件盘（5）圆心的轴孔将工件盘（5）固定，其下端在炉腔（11）外的炉体（1）下方连接伺服电机（62）。

8.根据权利要求7所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述密封安装结构包括轴磁液密封套（63），所述轴磁液密封套（63）套装在炉体（1）下方的驱动轴（61）上，轴磁液密封套（63）上端与驱动轴安装孔（15）周边的炉体（1）底面密封。

9.根据权利要求8所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述密封安装结构还包括下密封安装套（64），所述下密封安装套（64）套装在轴磁液密封套（63）与驱动轴安装孔（15）周边的炉体（1）底面之间，所述轴磁液密封套（63）上端与驱动轴安装孔（15）周边的炉体（1）底面密封，是由下密封安装套（64）的下端与轴磁液密封套（63）密封对接，下密封安装套（64）的上端与驱动轴安装孔（15）周边的炉体（1）底面密封；所述密封安装结构还包括设在炉腔（11）内的压装套（65），所述驱动轴（61）顶端设有外螺纹并配用压装螺母（66），所述压装套（65）套装在驱动轴（61）上段，由压装螺母（66）下旋，迫使轴磁液密封套（63）、下密封安装套（64）上提与压装套（65）在炉腔（11）内外相向压紧炉体（1）的底板。

10.根据权利要求1所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述真空炉还包括设在炉体（1）侧壁外的启盖装置（7），所述启盖装置（7）包括气缸（71）、升降轴（72）和转臂（73），所述气缸（71）设在炉体（1）侧壁外的下方，所述升降轴（72）在气缸（71）上方垂向设置，其下端与气缸（71）推进杆连接，所述转臂（73）径向固定在炉盖（13）顶面，其外端与升降轴（72）顶端垂直连接，所述转臂（73）能够绕升降轴（72）转动。