CN220982594U - 测漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种测漏装置，该测漏装置包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱，所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。本实用新型提供的测漏装置可以通过对保压舱抽至低压后进行保压，以此检测保压舱内部器件的气密性，从而提升了器件的气密性检测效率，极大缩减了检测时间以及步骤。

Description

测漏装置

技术领域

本实用新型涉及工件气密性检测技术领域，特别涉及一种测漏装置。

背景技术

在半导体离子注入过程中需要用到蒸发器，而蒸发器在使用前需要进行密封性测试。现有技术中的密封性测试一般是在离子注入机台全部维护完成后，检查外观无异常，就将蒸发器装入机台，使用氦检仪配合喷洒氦气，逐点测试，若蒸发器气密性不良，需将机台真空系统充至大气压状态下，重新取出蒸发器，排查维修后重新测试气密性。

在上述过程中，申请人发现现有技术准备时间漫长，且在机台维护结束以后，通过氦检仪测漏才可发现蒸发器的密封性问题，一旦有漏，需耗费更多人力时间对蒸发器拆装，及对机台系统真空状态破坏和重建，会导致需要更长的复机时长，气密性检测效率较低。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种测漏装置，用于解决现有技术中针对器件的气密性检测效率低的问题，可以缩减检测时间以及步骤。

本实用新型实施例提供一种测漏装置，包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱；

所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。

在一实施例中，所述测漏装置还包括：限压阀，所述限压阀设置在所述连接气管的中段，用于控制所述保压舱达到目标压力值。

在一实施例中，所述保压舱上设置有连接口，所述连接口内壁上设置螺纹，所述连接气管与所述保压舱连接的一端外壁上设置螺纹，所述连接气管与保压舱通过螺纹进行连接。

在一实施例中，所述保压舱包括本体以及密封盖，所述密封盖通过螺丝与所述本体进行固定连接。

在一实施例中，所述保压舱的本体为圆筒形结构，直径为10cm，高为22cm，所述保压舱的开口外侧设置宽度以及厚度均为为2cm的延伸部。

在一实施例中，所述延伸部上设置O形凹槽，所述O形凹槽宽度为1cm。

在一实施例中，在所述O形凹槽内设置密封圈，所述密封圈的材质包括硅橡胶或氟橡胶。

在一实施例中，所述延伸部上设置三个螺孔，所述螺孔内径为5mm。

在一实施例中，所述充气口上设置有开关阀门，用于对所述保压舱进行保压。

在一实施例中，所述测漏装置还包括：气泵，所述气泵用于通过所述充气口对所述保压舱进行抽气或充气。

本实用新型实施例提供的测漏装置包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱，所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。本实用新型提供的测漏装置可以通过对保压舱抽至低压后进行保压，以此检测保压舱内部器件的气密性，从而提升了器件的气密性检测效率，极大缩减了检测时间以及步骤。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的测漏装置的一种结构示意图。

图2是本实用新型实施例提供的保压舱的一种侧视结构示意图。

图3是本实用新型实施例提供的保压舱的一种正视结构示意图。

图4是本实用新型实施例提供的保压舱的一种俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本实用新型实施例提供一种测漏装置。如图1所示，包括充气口11、气压计12、泄压阀13以及保压舱14。

在一实施例中，上述充气口11设置在连接气管的一端，连接气管的另一端连接保压舱14，气压计12可以设置在连接气管的中段，用于检测保压舱14内的气压值，泄压阀13同样可以设置在连接气管的中段，用于在气密性检测完成后对保压舱14进行泄压。

进一步的，该测漏装置还可以包括：限压阀15，限压阀15也可以设置在连接气管的中段，用于控制保压舱14达到目标压力值。

在一实施例中，请继续参阅图2，保压舱14包括本体141以及密封盖142，密封盖142可以通过螺丝与本体141进行固定连接。

进一步的，保压舱14上还可以设置连接口143，连接口143内壁上设置螺纹，连接气管与保压舱连接的一端外壁上同样设置螺纹，就可以使得连接气管与保压舱14通过螺纹进行固定连接。

在一实施例中，请参阅图2和3，保压舱14的本体141可以为圆筒形结构，直径为10cm，高为22cm，而保压舱14的开口外侧设置宽度以及厚度均为为2cm的延伸部144，该延伸部144与保压舱的本体141一体成型。在其他实施例中，上述保压舱14的本体141也可以为其他形状，比如矩形或者球形等。

在一实施例中，请参阅图4，上述保压舱的延伸部144上还可以设置O形凹槽145，该O形凹槽145的宽度为1cm，可以用于在该凹槽中设置橡胶密封圈，密封圈的材质可以包括硅橡胶或氟橡胶。进一步的，延伸部144上设置三个螺孔，螺孔内径为5mm，用于通过螺丝与密封盖142固定连接。

在一实施例中，充气口11上可以设置开关阀门，用于对保压舱进行保压。上述测漏装置还包括气泵16，该气泵16用于通过充气口11对保压舱14进行抽气或充气。

本实施例提供的测漏装置在使用时可以将组装维护好的待测器件比如蒸发器放入保压舱内，然后利用三颗螺丝固定密封盖，然后通过气泵将密封好的测漏装置抽至低压，并关闭阀门，此时进行保压5分钟，同时观察气压表的数值，如果气压表数值保持一定值则气密性很好，没有漏处，等待上机即可；反之则有漏，需进一步检测蒸发器线管、水管密封处等。利用此装置可以提前做好测漏工作，避免上机后出现漏点，减少拆装所需要的人力与时间，提高复机效率。

本实用新型提供了一种测漏装置，该测漏装置包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱，所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。本实用新型提供的测漏装置可以通过对保压舱抽至低压后进行保压，以此检测保压舱内部器件的气密性，从而提升了器件的气密性检测效率，极大缩减了检测时间以及步骤。

以上对本实用新型实施例提供的测漏装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型。同时，对于本领域的技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种测漏装置，其特征在于，包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱；

所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。

2.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，所述测漏装置还包括：

限压阀，所述限压阀设置在所述连接气管的中段，用于控制所述保压舱达到目标压力值。

3.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，所述保压舱上设置有连接口，所述连接口内壁上设置有螺纹，所述连接气管与所述保压舱连接的一端外壁上设置有螺纹，所述连接气管与保压舱通过螺纹进行连接。

4.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，所述保压舱包括本体以及密封盖，所述密封盖通过螺丝与所述本体进行固定连接。

5.如权利要求4所述的测漏装置，其特征在于，所述保压舱的本体为圆筒形结构，直径为10cm，高为22cm，所述保压舱的开口外侧设置有宽度以及厚度均为2cm的延伸部。

6.如权利要求5所述的测漏装置，其特征在于，所述延伸部上设置有O形凹槽，所述O形凹槽的宽度为1cm。

7.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在于，在所述O形凹槽内设置有密封圈，所述密封圈的材质包括硅橡胶或氟橡胶。

8.如权利要求5所述的测漏装置，其特征在于，所述延伸部上设置有三个螺孔，所述螺孔的内径为5mm。

9.如权利要求1-8任一项所述的测漏装置，其特征在于，所述充气口上设置有开关阀门，用于对所述保压舱进行保压。

10.如权利要求1-8任一项所述的测漏装置，其特征在于，所述测漏装置还包括：

气泵，所述气泵用于通过所述充气口对所述保压舱进行抽气或充气。