CN220971576U - 一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装，涉及卡盘工装技术领域，包括底板，还包括机座，机座设于底板上，且机座包括安装筒，安装筒的筒孔方向为横向；轴承座一，轴承座一安装于安装筒的一端；轴承座二，轴承座二安装于安装筒远离轴承座一的一端；轴承一，轴承一安装于轴承座一内侧，且与安装筒内壁连接；轴承二，轴承二安装于轴承座二内侧，且与安装筒内壁连接；轴筒，轴筒外壁与轴承一以及轴承二的内壁连接；轴筒卡盘，轴筒卡盘与轴筒远离轴承一和轴承二的一端连接。通过该工装有利于旋转靶材在加工时受力均匀，避免偏心与结合率不良的情况发生，可以提高生产的成品率。

Description

一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装

技术领域

本实用新型涉及卡盘工装技术领域，具体涉及一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装。

背景技术

旋转靶材主要运用于离子束沉积装置中，通过令靶材旋转的方式使得沉积在基材上的薄膜具有均匀性。在光学、生物医疗、显示屏、太阳能电池、建筑玻璃等领域广泛运用，其中靶材的材质各异。与平面靶材相比，旋转靶材的靶材利用率远高于平面靶材，有成本低、膜层均匀等特点。生产旋转靶材方式有：冷喷涂、热喷涂、热压成型、浇铸等方式，成品组成为背管加靶材，但旋转靶材成型后是离不开机械加工的。

通过旋转靶材的生产方式得出的为旋转靶材的毛坯，通过机械加工至所需尺寸才满足镀膜要求，其中在靶材背管上两端需要加工斜角、凹槽、要求洁净度高的端距等是机械加工部分需要完成的。

在机械加工部分，因旋转靶材长度有1-4米，属于长尺寸工件，传统加工端面是使用车床顶尖与车床中心架配合加工，这种加工方式加工车床中心架会将工件磨损使得工件与主轴偏心，甚至影响靶材与背管的结合率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装，解决以下技术问题：

如何防止在加工过程中旋转靶材与机床主轴偏心。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装，包括底板，其特征在于，还包括

机座，机座设于底板上，且机座包括

安装筒，所述安装筒的筒孔方向为横向；

轴承座一，所述轴承座一安装于安装筒的一端；

轴承座二，所述轴承座二安装于所述安装筒远离轴承座一的一端；

轴承一，所述轴承一安装于所述轴承座一内侧，且与安装筒内壁连接；

轴承二，所述轴承二安装于所述轴承座二内侧，且与安装筒内壁连接；

轴筒，所述轴筒外壁与所述轴承一以及轴承二的内壁连接；

轴筒卡盘，所述轴筒卡盘与所述轴筒远离轴承一和轴承二的一端连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述机座还包括座板和支撑架，所述安装筒通过支撑架安装于座板上，所述座板与底板之间设有高度调节机构，用以调节机座在底板上方的高度。

作为本实用新型进一步的方案：所述高度调节机构包括开设于所述座板上的螺纹孔，所述螺纹孔中穿设有螺栓，所述螺栓的头部位于螺纹孔上方，所述螺栓的杆部穿设于所述螺纹孔，且杆部末端与底板转动连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述轴筒卡盘为四爪结构。

作为本实用新型进一步的方案：所述轴筒卡盘与轴筒的内径均大于待加工旋转靶材的外径。

本实用新型实施例的有益效果：

在使用本实用新型时，将旋转靶材的一端穿过车床主轴卡盘，另一端穿过轴筒和轴筒卡盘，最终通过车床主轴卡盘与轴筒卡盘将旋转靶材的两端夹紧，进而进行加工，在加工过程中，轴承一和轴承二可以对旋转靶材提供支撑并跟随旋转靶材转动，且该种夹持方式有利于旋转靶材在加工时受力均匀，避免偏心与结合率不良的情况发生，可以提高生产的成品率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种实施例的结构示意图；

图2是本实用新型一种实施例中机座的结构示意图；

图3是本实用新型一种实施例的侧视图。

图中标号代表：100、底板；200、机座；300、轴承座一；400、轴承座二；500、轴承一；600、轴承二；700、轴筒；800轴筒卡盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3所示，本实用新型为一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装，包括底板100，所述底板100上侧安装有机座200，所述机座200包括安装筒203，所述安装筒203的筒孔方向为横向；所述安装筒203的左端通过螺丝固定安装有轴承座一300，右端通过螺丝固定安装有轴承座二400，所述轴承座一300内侧固定安装有轴承一500，所述轴承座二400内侧固定安装有轴承二600，所述轴承一500和轴承二600的外圈壁面均与所述安装筒203固定连接，所述轴承一500和轴承二600内圈固定穿设有同一个轴筒700，所述轴筒700的左端与所述轴承座一300左端齐平，所述轴筒700的右端延伸至轴承座二400右方，且轴筒700右端的法兰通过螺丝固定连接有轴筒卡盘800，所述轴筒卡盘800与轴筒700的内孔中心线重合。

具体来说，轴承一500与轴承二600的位置对于圆度与直径公差要求极高，必须保证旋转靶材旋转时不会因为松动而产生震刀、偏心、机械共振、破坏等问题；同时，轴承座一300与轴承座二400内孔圆度与同心度要求极高，必须保证轴承座一300与轴承座二400在受力、转动时不会出现松动、受力不均与脱圈的现象；轴筒700外径与轴承座一300和轴承座二400配合位置对公差、圆度、同心度、跳动的精度要求极高，目的是带动旋转靶材随机床主轴转动而转动。

进一步的说，所述机座200还包括座板201和支撑架202，所述安装筒203通过座板201安装于座板201上，所述座板201与底板100之间设有高度调节机构，用以调节机座200在底板100上方的高度。

具体来说，在进行加工时，首先将该工装安装在机床上，先将底板100固定安装在车床上，通过高度调节机构调节机座200的高度，使得轴筒700与轴筒卡盘800的圆心与机床主轴的圆心在一条直线上，避免靶材两端不同圆心导致加工错误，造成产品不合格的现象，随后将旋转靶材的一端穿过车床主轴卡盘，另一端穿过轴筒700和轴筒卡盘800，最终通过车床主轴卡盘与轴筒卡盘800将旋转靶材的两端夹紧，进而进行加工，在加工过程中，轴承一500和轴承二600可以对旋转靶材提供支撑并跟随旋转靶材转动，且该种夹持方式有利于旋转靶材在加工时受力均匀，避免偏心与结合率不良的情况发生，可以提高生产的成品率。

进一步的说，所述高度调节机构包括开设于所述座板201上的螺纹孔，所述螺纹孔中穿设有螺栓，所述螺栓的头部位于螺纹孔上方，所述螺栓的杆部穿设于所述螺纹孔，且杆部末端与底板100转动连接。

通过旋转螺栓的头部带动杆部转动，即可带动座板201在杆部上移动，进而调节座板201的高度，即实现了对于机座200整体高度的调节。

进一步的说，所述轴筒卡盘800为四爪结构，有利于在旋转靶材与主轴线不共线时调整圆心位置。

进一步的说，所述轴筒卡盘800与轴筒700的内径均大于待加工靶材的外径，保证旋转靶材可以穿过。

本实用新型的工作原理：

在进行加工时，首先将该工装安装在机床上，先将底板100固定安装在车床上，通过高度调节机构调节机座200的高度，使得轴筒700与轴筒卡盘800的圆心与机床主轴的圆心在一条直线上，避免靶材两端不同圆心导致加工错误，造成产品不合格的现象，随后将旋转靶材的一端穿过车床主轴卡盘，另一端穿过轴筒700和轴筒卡盘800，最终通过车床主轴卡盘与轴筒卡盘800将旋转靶材的两端夹紧，进而进行加工，在加工过程中，轴承一500和轴承二600可以对旋转靶材提供支撑并跟随旋转靶材转动，且该种夹持方式有利于旋转靶材在加工时受力均匀，避免偏心与结合率不良的情况发生，可以提高生产的成品率。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以及特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。此外，“第一”、“第二”仅由于描述目的，且不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”“相连”“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (1)

1.一种加工旋转靶材的车床随动卡盘工装，包括底板(100)，其特征在于，还包括

机座(200)，机座(200)设于底板(100)上，且机座(200)包括

安装筒(203)，所述安装筒(203)的筒孔方向为横向；

轴承座一(300)，所述轴承座一(300)安装于安装筒(203)的一端；

轴承座二(400)，所述轴承座二(400)安装于所述安装筒(203)远离轴承座一(300)的一端；

轴承一(500)，所述轴承一(500)安装于所述轴承座一(300)内侧，且与安装筒(203)内壁连接；

轴承二(600)，所述轴承二(600)安装于所述轴承座二(400)内侧，且与安装筒(203)内壁连接；

轴筒(700)，所述轴筒(700)外壁与所述轴承一(500)以及轴承二(600)的内壁连接；

轴筒卡盘(800)，所述轴筒卡盘(800)与所述轴筒(700)远离轴承一(500)和轴承二(600)的一端连接；

所述机座(200)还包括座板(201)和支撑架(202)，所述安装筒(203)通过支撑架(202)安装于座板(201)上，所述座板(201)与底板(100)之间设有高度调节机构，用以调节机座(200)在底板(100)上方的高度；

所述高度调节机构包括开设于所述座板(201)上的螺纹孔，所述螺纹孔中穿设有螺栓，所述螺栓的头部位于螺纹孔上方，所述螺栓的杆部穿设于所述螺纹孔，且杆部末端与底板(100)转动连接；

所述轴筒卡盘(800)为四爪结构；

所述轴筒卡盘(800)与轴筒(700)的内径均大于待加工旋转靶材的外径。