CN220960006U - 一种硅片外周轮廓测量仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种硅片外周轮廓测量仪，具体涉及硅片测量技术领域。所述硅片外周轮廓测量仪包括：底板，所述底板的表面设置有XY轴调节台，所述XY轴调节台的表面连接有放置台，所述放置台的内部活动连接有纵向放置的硅片，所述放置台的外侧表面活动连接有固定插销和旋转销轮，所述放置台的外部两侧分别设置有光源和镜头，所述镜头的外部设置有电脑显示器。本实用新型通过镜头将硅片顶部的成像投影至电脑显示器的表面，通过转动旋转销轮来带动硅片缓慢的旋转一周，使得硅片的外周轮廓倒角均呈现在电脑显示器的表面，该轮廓仪是采用机器视觉的方式进行测量，相比于采用激光方式有更高的性价比，更长的寿命性。

Description

一种硅片外周轮廓测量仪

技术领域

本实用新型涉及硅片测量技术领域，尤其涉及一种硅片外周轮廓测量仪。

背景技术

米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，广泛应用于医疗、航天等各种领域，而硅片在制作完成后，往往需要进行检查测量。

现有的对硅片轮廓测量仪器，一般将硅片放置在仪器表盘的表面，通过激光对硅片内部的物质结构以数据的形式传递到仪器显示平台，通过激光来测量硅片轮廓的数据，但是对于硅片的外周倒角轮廓和圆角大小和上下面幅的对称性的测量，使用激光仪器进行测量，造价较贵，性价比也较为低下。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片外周轮廓测量仪。

本实用新型提供的硅片外周轮廓测量仪包括：底板，所述底板的表面设置有XY轴调节台，所述XY轴调节台的表面连接有放置台，所述放置台的内部活动连接有纵向放置的硅片，所述放置台的外侧表面活动连接有固定插销和旋转销轮，所述放置台的外部两侧分别设置有光源和镜头，所述镜头的外部设置有电脑显示器。

优选的，所述放置台包括：放置挡板、固定挡板、夹持挡板和销孔，所述固定挡板固定在XY轴调节台的表面，所述固定挡板的一侧固定连接有放置挡板，所述放置挡板的另一侧设置有夹持挡板，所述放置挡板与夹持挡板之间存在一定间距，所述放置挡板和夹持挡板的表面均开设有多组垂直高度不同的销孔。

优选的，所述固定插销和旋转销轮分别穿过夹持挡板表面同一水平线的两组销孔并延伸至放置挡板的销孔内部，所述固定插销和旋转销轮与硅片之间活动连接。

优选的，所述底板的表面固定连接有一组固定支撑，所述固定支撑的顶部固定连接有光源。

优选的，所述底板的表面滑动连接有一组调节支撑，所述调节支撑的顶部固定连接有镜头，所述镜头与光源处于同一水平线上。

优选的，所述调节支撑底部固定连接有两组滑块，所述底板的表面开设有两组滑槽，两组所述滑块分别与两组滑槽之间滑动连接。

优选的，所述固定支撑的顶部一侧固定连接有罩壳支架，所述罩壳支架的另一端与调节支撑的顶部活动连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的硅片外周轮廓测量仪具有如下有益效果：使用者将硅片放置在放置台的内部，将固定插销和旋转插销分别插入放置台的表面，使得固定插销和旋转插销处于同一水平线上，从而对硅片的底部两端起到一定的支撑作用，将光源通电，并通过XY轴调节台来调节放置台的位置，使得硅片的顶部对准镜头的焦点位置，并通过镜头将硅片顶部的成像投影至电脑显示器的表面，通过转动旋转销轮来带动硅片缓慢的旋转一周，使得硅片的外周轮廓倒角均呈现在电脑显示器的表面，该轮廓仪是采用机器视觉的方式进行测量，相比于采用激光方式有更高的性价比，更长的寿命性。

附图说明

图1为本实用新型提供的硅片外周轮廓测量仪的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为本实用新型的放置台的结构示意图；

图3为本实用新型的调节支撑的结构示意图。

图中标号：

1、底板；2、XY轴调节台；3、调节支撑；4、固定支撑；5、镜头；6、光源；7、罩壳支架；8、放置台；801、放置挡板；802、固定挡板；803、夹持挡板；804、销孔；9、硅片；10、旋转销轮；11、固定插销；12、滑槽；13、滑块。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本说明书中的“多个”指的是两个及两个以上。

在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“一个实施例”和“一个实施方式”等的描述意指结合该实施例或实施方式描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示实施方式中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实施方式。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或实施方式以合适的方式结合。

结合图1-图3所示，本实用新型实施例提供一种硅片外周轮廓测量仪，包括：底板1，底板1的表面设置有XY轴调节台2，XY轴调节台2的表面连接有放置台8，放置台8的内部活动连接有纵向放置的硅片9，放置台8的外侧表面活动连接有固定插销11和旋转销轮10，放置台8的外部两侧分别设置有光源6和镜头5，镜头5的外部设置有电脑显示器。

需要说明的是：XY轴调节台2处于现有技术，该技术已经较为成熟，故不再过多叙述。

具体的，放置台8包括：放置挡板801、固定挡板802、夹持挡板803和销孔804，固定挡板802固定在XY轴调节台2的表面，固定挡板802的一侧固定连接有放置挡板801，放置挡板801的另一侧设置有夹持挡板803，放置挡板801与夹持挡板803之间存在一定间距，放置挡板801和夹持挡板803的表面均开设有多组垂直高度不同的销孔804。

还需要说明的是：硅片9活动放置在放置挡板801与夹持挡板803之间，该间距需要大于硅片9的厚度，销孔804的尺寸与固定插销11和旋转销轮10的尺寸匹配。

具体的，固定插销11和旋转销轮10分别穿过夹持挡板803表面同一水平线的两组销孔804并延伸至放置挡板801的销孔804内部，固定插销11和旋转销轮10与硅片9之间活动连接。

还需要说明的是：当硅片9被放入放置挡板801和夹持挡板803之间后，需要按照硅片9底部的尺寸，选择匹配的两组销孔804，并将固定插销11和旋转销轮10插入销孔804的内部，通过固定插销11和旋转销轮10对硅片9底部的两端进行支撑，从而稳定硅片9的位置。

具体的，底板1的表面固定连接有一组固定支撑4，固定支撑4的顶部固定连接有光源6，底板1的表面滑动连接有一组调节支撑3，调节支撑3的顶部固定连接有镜头5，镜头5与光源6处于同一水平线上。

还需要说明的是：通过光源6照射在硅片9的顶端，并通过镜头5将硅片9顶端的成像投影至电脑显示器上。

具体的，调节支撑3底部固定连接有两组滑块13，底板1的表面开设有两组滑槽12，两组滑块13分别与两组滑槽12之间滑动连接。

还需要说明的是：滑槽12的表面为磨砂面，当调节支撑3没有外力施加的时候，滑块13与滑槽12之间处于相对静止的状态，当对调节支撑3施加外力时候，滑块13会在滑槽12的内部进行滑动，从而辅助调节支撑3进行移动。

具体的，固定支撑4的顶部一侧固定连接有罩壳支架7，罩壳支架7的另一端与调节支撑3的顶部活动连接。

还需要说明的是：罩壳支架7设置在固定支撑4和调节支撑3的顶部，可以对装置的顶部起到一定程度的保护作用。

本实用新型提供的工作原理如下：使用者将硅片9放置在放置台8的内部，将固定插销11和旋转插销分别插入放置台8的表面，使得固定插销11和旋转插销处于同一水平线上，从而对硅片9的底部两端起到一定的支撑作用，将光源6通电，并通过XY轴调节台2来调节放置台8的位置，使得硅片9的顶部对准镜头5的焦点位置，并通过镜头5将硅片9顶部的成像投影至电脑显示器的表面，通过转动旋转销轮10来带动硅片9缓慢的旋转一周，使得硅片9的外周轮廓倒角均呈现在电脑显示器的表面，该轮廓仪是采用机器视觉的方式进行测量，相比于采用激光方式有更高的性价比，更长的寿命性。

虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种硅片外周轮廓测量仪，包括：底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的表面设置有XY轴调节台(2)，所述XY轴调节台(2)的表面连接有放置台(8)，所述放置台(8)的内部活动连接有纵向放置的硅片(9)，所述放置台(8)的外侧表面活动连接有固定插销(11)和旋转销轮(10)，所述放置台(8)的外部两侧分别设置有光源(6)和镜头(5)，所述镜头(5)的外部设置有电脑显示器。

2.根据权利要求1所述的硅片外周轮廓测量仪，其特征在于，所述放置台(8)包括：放置挡板(801)、固定挡板(802)、夹持挡板(803)和销孔(804)，所述固定挡板(802)固定在XY轴调节台(2)的表面，所述固定挡板(802)的一侧固定连接有放置挡板(801)，所述放置挡板(801)的另一侧设置有夹持挡板(803)，所述放置挡板(801)与夹持挡板(803)之间存在一定间距，所述放置挡板(801)和夹持挡板(803)的表面均开设有多组垂直高度不同的销孔(804)。

3.根据权利要求2所述的硅片外周轮廓测量仪，其特征在于，所述固定插销(11)和旋转销轮(10)分别穿过夹持挡板(803)表面同一水平线的两组销孔(804)并延伸至放置挡板(801)的销孔(804)内部，所述固定插销(11)和旋转销轮(10)与硅片(9)之间活动连接。

4.根据权利要求1所述的硅片外周轮廓测量仪，其特征在于，所述底板(1)的表面固定连接有一组固定支撑(4)，所述固定支撑(4)的顶部固定连接有光源(6)。

5.根据权利要求4所述的硅片外周轮廓测量仪，其特征在于，所述底板(1)的表面滑动连接有一组调节支撑(3)，所述调节支撑(3)的顶部固定连接有镜头(5)，所述镜头(5)与光源(6)处于同一水平线上。

6.根据权利要求5所述的硅片外周轮廓测量仪，其特征在于，所述调节支撑(3)底部固定连接有两组滑块(13)，所述底板(1)的表面开设有两组滑槽(12)，两组所述滑块(13)分别与两组滑槽(12)之间滑动连接。

7.根据权利要求5所述的硅片外周轮廓测量仪，其特征在于，所述固定支撑(4)的顶部一侧固定连接有罩壳支架(7)，所述罩壳支架(7)的另一端与调节支撑(3)的顶部活动连接。