CN220922414U - 一种模块化机械臂三轴运动平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种模块化机械臂三轴运动平台，通过X向运动模块、Y向运动模块、Z向运动模块将运动方式模块化处理，模块化运动方式通过驱动电机、皮带和模块组件的压紧件驱动各方向的滑动和运动，X向运动模块和Y向运动模块设置在底座上分别驱动第一运动座沿X向或Y向运动，底座起支撑、固定作用，不随动。因此，X向运动模块和Y向运动模块也不随动，使用寿命长，即使长时间作业时，可靠性也能保证，只需要选择合适额执行机构更换在工具安装板上，就可以实现不同执行机构的更换，方便快捷。

Description

一种模块化机械臂三轴运动平台

技术领域

本实用新型属于三轴运动自动化设备技术领域，具体涉及一种模块化机械臂三轴运动平台。

背景技术

三轴运动平台和多轴运用平台是工业自动化不可或缺的参与系统，越来越多的设备和自动化流水线开始采用多轴运动平台，以实现高效高质量的自动化。轴系运动平台也称之为机器臂，最主要的作用就是空间定位，机器臂一端装有执行机构，进行具体作业，先定位再作业就是自动化的基础。执行机构不同，所能完成的生产工艺也不一样，工艺要求不同，机器臂的定位精度与速度也有不同的要求。

中国专利文献CN215110358U2，公开了一种三轴电机运动平台，其通过X轴电机带动X轴固定板沿所述X轴移动；X轴固定板上固定有Y轴电机和Y轴导轨滑块，Y轴电机带动Y轴固定板沿所述Y轴移动；Y轴固定板上固定有Z轴电机和Z轴导轨滑块，Z轴电机带动Z轴固定板沿所述Z轴移动，进而实现三轴运动的效果。该运动平台为逐层堆叠设计，结构复杂，三轴运动时，Y轴运动机构(电机、导轨滑块、传感器等)和Z轴运动机构均需要随平台移动而移动。这种运动平台存在以下不足：1，该专利文献电机通过丝杆带动导轨滑块运动，传动效率低，相应速度慢。2、计算运动轨迹时，X轴固定板直线运动，Y轴固定板平面运动，Z轴固定板三维运动，各固定板原点位置不固定，运动累积误差较大。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、使用寿命长、可靠性高、误差小、精度高的三轴运动平台。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种模块化机械臂三轴运动平台，包括底座、X向运动模块、Y向运动模块、Z向运动模块、第一运动座和工具安装板；所述第一运动座设置于底座上方，所述X向运动模块、所述Y向运动模块分别用于带动第一运动座相对于底座沿X向和沿Y向移动，所述Z向运动模块设置于第一运动座上且用于驱动工具安装板相对于第一运动座沿Z向移动，所述Z向、X向、Y向相互垂直，所述X向运动模块包括第一驱动组件、第一滑轨和第一滑块组件，所述第一滑轨沿X向设置在底座上，所述第一滑块组件下部与第一滑轨滑动连接，所述第一运动座与第一滑块组件上部滑动连接，所述第一驱动组件用于驱动第一滑块组件沿第一滑轨移动；所述第一驱动组件包括第一驱动电机、X向同步带、第一主动轮、第一从动轮和第一压紧件，所述第一主动轮连接在第一驱动电机输出端且靠近第一滑轨的一端方向设置，所述第一从动轮连接在底座上且靠近第一滑轨的另一端方向设置，所述X向同步带连接在第一主动轮、第一从动轮之间，所述第一滑块组件通过第一压紧件和X向同步带压紧连接以便于和X向同步带同步运动，所述第一驱动组件的X向同步带和第一滑轨平行设置。

作为对上述技术方案的进一步改进：

所述第一滑块组件顶部设有第一导轨槽，所述第一运动座底部设有沿Y向设置的第一导轨，所述第一导轨与第一导轨槽滑动配合连接。

所述第一滑块组件包括第一支座和第一滑块，所述第一支座连接于第一滑块上，所述第一导轨槽设置在第一支座顶部，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动连接，所述第一压紧件用于将第一支座和X向同步带连接压紧。

所述底座上一侧设有感应器，所述感应器靠近第一滑轨一端部设置，所述第一滑块组件在靠近感应器一侧方向的侧部上设有感应块，所述感应器和感应块相配合用于监控第一滑块组件的运动轨迹。

所述Y向运动模块包括第二驱动组件、第二滑轨和第二滑块组件，两个所述第二滑轨沿Y向平行设置在底座上，所述第二滑块组件下部与第二滑轨滑动连接，所述第二滑块组件上部和第一运动座滑动连接，所述第二驱动组件用于驱动第二滑块组件沿着第二滑轨移动；

所述第二驱动组件包括第二驱动电机、Y向同步带、第二主动轮、第二从动轮和第二压紧件，所述第二主动轮连接在第二驱动电机输出端且靠近第二滑轨的一端方向设置，所述第二从动轮连接在底座上且靠近第二滑轨的另一端方向设置，所述Y向同步带连接在第二主动轮、第二从动轮之间，所述第二滑块组件通过第二压紧件和Y向同步带压紧连接以便于和Y向同步带同步运动，所述第二驱动组件的Y向同步带和第二滑轨平行设置。

所述第二滑块组件顶部设有第二导轨槽，所述第一运动座底部设有沿X向设置的第二导轨，所述第二导轨与第二导轨槽滑动配合连接。

所述第二滑块组件包括第二支座和第二滑块，所述第二支座连接于第二滑块上，所述第二导轨槽设置在第二支座顶部，所述第二滑块和所述第二滑轨滑动连接，所述第二压紧件用于将第二支座和Y向同步带连接压紧。

所述底座上一侧设有感应器，所述第二滑块组件在靠近感应器一侧方向的侧部上设有感应块，所述感应器和感应块相配合用于监控第二滑块组件的运动轨迹。

所述第一运动座上设有沿Z向布置的立座，所述Z向运动模块包括第三驱动组件、第三滑轨和第三滑块组件，所述第三滑轨沿Z向设置在立座上，所述第三滑块组件一侧部与第三滑轨滑动连接，所述工具安装板安装在第三滑块组件上，所述第三驱动组件用于驱动第三滑块组件沿第三滑轨移动；

所述第三驱动组件包括第三驱动电机、Z向同步带、第三主动轮、第三从动轮和第三压紧件，所述第三主动轮连接在第三驱动电机输出端且靠近第三滑轨的一端方向设置，所述第三从动轮连接在立座上且靠近第三滑轨的另一端方向设置，所述Z向同步带连接在第三主动轮、第三从动轮之间，所述第三滑块组件通过第三压紧件和Z向同步带压紧连接以便于和Z向同步带同步运动，所述第三驱动组件的Z向同步带和第三滑轨平行设置。

所述第三滑块组件包括第三支座和第三滑块，所述第三支座连接于第三滑块上，所述第三滑块和所述第三滑轨滑动连接，所述第三压紧件用于将第三支座和Z向同步带连接压紧。

所述立座上一侧设有感应器，所述感应器靠近第三滑轨一端部设置，所述第三滑块组件在靠近感应器一侧方向的侧部上设有感应块，所述感应器和感应块相配合用于监控第三滑块组件的运动轨迹。所述工具安装板用于安装各类执行机构。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的模块化机械臂三轴运动平台，一方面，通过X向运动模块、Y向运动模块、Z向运动模块将运动方式模块化处理，模块化运动方式通过驱动电机、皮带和模块组件的压紧件驱动各方向的滑动和运动，X向运动模块和Y向运动模块设置在底座上分别驱动第一运动座沿X向或Y向运动，底座起支撑、固定作用，不随动。因此，X向运动模块和Y向运动模块的驱动电机也不随动，使用寿命长，即使长时间作业时，可靠性也能保证，只需要选择合适额执行机构更换在工具安装板上，就可以实现不同执行机构的更换，方便快捷。另一方面，相对于采用丝杆传动，本实用新型采用同步带传动，响应速度快，传动速度高。

本实用新型模块化机械臂三轴运动平台，由于X向和Y向运动均是驱动第一运动座运动，X向和Y向的感应模块的感应器固定，不随动，一方面通过感应器和感应模块的设置，知晓原点位置且可以归位，运动累计误差小，另一方面相对于现有X向和Y向不同运动座和感应器运动，在计算运动轨迹时，简化运动座数量，只需二层运动叠加计算，计算量小，误差小，精度高。

附图说明

图1是本实用新型模块化机械臂三轴运动平台的结构示意图。

图2是本实用新型模块化机械臂三轴运动平台的结构示意图(另一视角)。

图3是本实用新型模块化机械臂三轴运动平台的主视图。

图4是本实用新型模块化机械臂三轴运动平台的右视图。

图5是本实用新型图1中A处的局部放大图。

图6是本实用新型图2中B处的局部放大图。

图7是本实用新型图6中C处另一视角的局部放大图。

图中各标号表示：

1、底座；11、底板；12、侧板；2、X向运动模块；21、第一驱动组件；211、第一驱动电机；212、X向同步带；213、第一主动轮；214、第一从动轮；215、第一压紧件；22、第一滑轨；23、第一滑块组件；231、第一支座；2311、第一导轨槽；232、第一滑块；3、Y向运动模块；31、第二驱动组件；311、第二驱动电机；312、Y向同步带；313、第二主动轮；314、第二从动轮；315、第二压紧件；32、第二滑轨；33、第二滑块组件；331、第二支座；3311、第二导轨槽；332、第二滑块；4、Z向运动模块；41、第三驱动组件；411、第三驱动电机；412、Z向同步带；413、第三主动轮；414、第三从动轮；415、第三压紧件；42、第三滑轨；43、第三滑块组件；431、第三支座；432、第三滑块；6、第一运动座；61、第一导轨；62、第二导轨；7、立座；71、第一立板；72、第二立板；8、工具安装板；9、感应模块；91、感应器；92、感应块。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

如图1至图7所示，本实用新型的一种模块化机械臂三轴运动平台，包括底座1、X向运动模块2、Y向运动模块3、Z向运动模块4、第一运动座6和工具安装板8；第一运动座6设置于底座1上方，X向运动模块2、Y向运动模块3分别用于带动第一运动座6相对于底座1沿X向和沿Y向移动，Z向运动模块4设置于第一运动座6上且用于驱动工具安装板8相对于第一运动座6沿Z向移动，Z向、X向、Y向相互垂直，X向运动模块2包括第一驱动组件21、第一滑轨22和第一滑块组件23，第一滑轨22沿X向设置在底座1上，第一滑块组件23下部与第一滑轨22滑动连接，第一运动座6与第一滑块组件23上部滑动连接，第一驱动组件21用于驱动第一滑块组件23沿第一滑轨22移动；第一驱动组件21包括第一驱动电机211、X向同步带212、第一主动轮213、第一从动轮214和第一压紧件215，第一主动轮213连接在第一驱动电机211输出端且靠近第一滑轨22的一端方向设置，第一从动轮214连接在底座1上且靠近第一滑轨22的另一端方向设置，X向同步带212连接在第一主动轮213、第一从动轮214之间，第一滑块组件23通过第一压紧件215和X向同步带212压紧连接以便于和X向同步带212同步运动，第一驱动组件21的X向同步带212和第一滑轨22平行设置。

在作业时，X向运动模块2、Y向运动模块3分别用于带动第一运动座6相对于底座1沿X向和沿Y向移动平面运动，Z向运动模块4带动工具安装板8升降运动。因工具安装板8设置在第一运动座6上，随第一运动座6运动而运动，从而实现三轴运动。

本实施例的模块化机械臂三轴运动平台，通过X向运动模块2、Y向运动模块3、Z向运动模块4将运动方式模块化处理，模块化运动方式通过驱动电机、皮带和模块组件的压紧件驱动各方向的滑动和运动，X向运动模块2、Y向运动模块3设置在底座1上分别驱动第一运动座6沿X向或Y向运动，底座1起支撑、固定作用，不随动。因此，固定在底座1上X向运动模块2、Y向运动模块3的驱动电机也不随动，使用寿命长，即使长时间作业时，可靠性也能保证。另一方面，相对于采用丝杆传动，本实用新型采用同步带传动，响应速度快，传动速度高。

如图4所示，第一滑块组件23顶部设有第一导轨槽2311，第一运动座6底部设有沿Y向设置的第一导轨61，第一导轨61与第一导轨槽2311滑动配合连接。通过设置第一导轨槽2311和第一导轨61，为第一运动座6提供一个Y向的自由度。

如图5所示，第一滑块组件23包括第一支座231和第一滑块232，第一支座231连接于第一滑块232上，第一导轨槽2311设置在第一支座231顶部，第一滑块232和第一滑轨22滑动连接，第一压紧件215用于将第一支座231和X向同步带212连接压紧。

本实施例中，第一支座231上部和下部均分别设有第一滑块232并且三者可拆卸连接在一起，第一导轨槽2311设置在第一支座231上部的第一滑块232上，由于第一滑块232经常滑动，是容易磨损的部件，因此，将第一滑块组件23容易磨损的部件分隔开了，第一滑块232和第一支座231可拆卸连接，便于检修。

模块化机械臂三轴运动平台还设有多个感应模块9，感应模块9用于监控各方向运动轨迹或运动位移。感应模块9包括感应器91和感应块92，底座1上一侧设有感应器91，感应器91靠近第一滑轨22一端部设置，第一滑块组件23在靠近感应器91一侧方向的侧部上设有感应块92，感应器91和感应块92相配合用于监控第一滑块组件23的运动轨迹。

本实施例的模块化机械臂三轴运动平台，由于X向和Y向运动均是驱动第一运动座6运动(第一运动座6平面运动，工具安装板8三维运动)，一方面通过感应器91和感应块92的设置，知晓原点位置且可以归位，运动累计误差小，另一方面，相对于现有X向和Y向不同运动座运动，在计算运动轨迹时，简化了运动座数量，只需二层运动叠加计算，计算量小，误差小，精度高。本三轴运动平台，具有使用寿命长、可靠性高、误差小、精度高的优点。

如图6和7所示，Y向运动模块3包括第二驱动组件31、第二滑轨32和第二滑块组件33，两个第二滑轨32沿Y向平行设置在底座1上，第二滑块组件33下部与第二滑轨32滑动连接，第二滑块组件33上部和第一运动座6滑动连接，第二驱动组件31用于驱动第二滑块组件33沿着第二滑轨32移动；第二驱动组件31包括第二驱动电机311、Y向同步带312、第二主动轮313、第二从动轮314和第二压紧件315，第二主动轮313连接在第二驱动电机311输出端且靠近第二滑轨32的一端方向设置，第二从动轮314连接在底座1上且靠近第二滑轨32的另一端方向设置，Y向同步带312连接在第二主动轮313、第二从动轮314之间，第二滑块组件33通过第二压紧件315和Y向同步带312压紧连接以便于和Y向同步带312同步运动，第二驱动组件31的Y向同步带312和第二滑轨32平行设置。

在X向运动模块2和Y向运动模块3驱动第一运动座6分别沿X轴和Y轴运动时，因有X向的自由度和Y向的自由度，使得两个方向的运动互不干扰。

如图2所示，第二滑块组件33顶部设有第二导轨槽3311，第一运动座6底部设有沿X向设置的第二导轨62，第二导轨62与第二导轨槽3311滑动配合连接。通过设置第二导轨槽3311和第二导轨62，为第一运动座6提供一个X向的自由度。在X向运动模块2和Y向运动模块3驱动第一运动座6分别沿X轴和Y轴运动时，因有X向的自由度和Y向的自由度，使得两个方向的运动互不干扰。

第二滑块组件33包括第二支座331和第二滑块332，第二支座331连接于第二滑块332上，第二导轨槽3311设置在第二支座331顶部，第二滑块332和第二滑轨32滑动连接，第二压紧件315用于将第二支座331和Y向同步带312连接压紧。

本实用新型中，第一导轨61，第二导轨62固定在第一运动座6底部不会有相对位移，通过滑块组件实现X向Y向运动。

本实施例中，第二支座331上部和下部均分别设有第二滑块332并且三者可拆卸连接在一起，第二导轨槽3311设置在第二支座331上部的第二滑块332上，由于第二滑块332经常滑动，是容易磨损的部件，因此，将第二滑块组件33容易磨损的部件分隔开了，第二滑块332和第二支座331可拆卸连接，便于检修。

Y向运动模块3在底座1上还设有另外的感应模块9，底座1上一侧(靠近Y向运动模块3设置)设有感应器91，第二滑块组件33在靠近感应器91一侧方向的侧部上设有感应块92，感应器91和感应块92相配合用于监控第二滑块组件33的运动轨迹。

如图1至所示，第一运动座6上设有沿Z向布置的立座7，Z向运动模块4包括第三驱动组件41、第三滑轨42和第三滑块组件43，第三滑轨42沿Z向设置在立座7上，第三滑块组件43一侧部与第三滑轨42滑动连接，工具安装板8安装在第三滑块组件43上，第三驱动组件41用于驱动第三滑块组件43沿第三滑轨42移动；第三驱动组件41包括第三驱动电机411、Z向同步带412、第三主动轮413、第三从动轮414和第三压紧件415，第三主动轮413连接在第三驱动电机411输出端且靠近第三滑轨42的一端方向设置，第三从动轮414连接在立座7上且靠近第三滑轨42的另一端方向设置，Z向同步带412连接在第三主动轮413、第三从动轮414之间，第三滑块组件43通过第三压紧件415和Z向同步带412压紧连接以便于和Z向同步带412同步运动，第三驱动组件41的Z向同步带412和第三滑轨42平行设置。

第三滑块组件43包括第三支座431和第三滑块432，第三支座431连接于第三滑块432上，第三滑块432和第三滑轨42滑动连接，第三压紧件415用于将第三支座431和Z向同步带412连接压紧。

第三滑块组件43上设有工具安装板8，工具安装板8用于安装各类执行机构。因执行机构不同，所能完成的生产工艺也不一样，工艺要求不同，机器臂的定位精度与速度也有不同的要求，执行机构包括自动化点胶机、自动化焊锡机、自动化锁紧机等。本三轴运动平台模块化，只需更换执行机构就可以实现不同功能，可配置自动焊接设备、自动点胶设备以及自动拧螺丝设备等。

本实施例中，工具安装板8可拆卸连接在第三支座431上。

Z向运动模块4在立座7上一侧设有感应器91，感应器91靠近第三滑轨42一端部设置，第三滑块组件43在靠近感应器91一侧方向的侧部上设有感应块92，感应器91和感应块92相配合用于监控第三滑块组件43的运动轨迹。

本实施例中，立座7包括互相垂直设置第一立板71和第二立板72，第三滑轨42和Z向同步带412分别设置在第一立板71和第二立板72上，如此设置，更为紧凑，可以节约空间。在其他实施例中，立座7仅有一个立板，第三滑轨42和Z向同步带412平行设置，也可取得近似的技术效果。

进一步地，本实施例中，第一导轨61长度大于第二滑轨32长度，第二导轨62长度大于第一滑轨22长度。防止运动过程中，第一导轨61、第二导轨62滑出第一导轨槽2311、第二导轨槽3311。

进一步地，本实施例中，底座1下方还设有与底座1上表面平行设置的底板11，用于安装第一驱动电机211和第二驱动电机311，底座1与底板11间通过侧板12支撑连接，第三驱动电机411设置在第一运动座6上。有利于第一驱动电机211和第二驱动电机311固定，更加稳定和牢固。

进一步地，本实施例中，感应模块9设有感器安装座，感器安装座用于安装感应器91，通过感应器91和感应块92实时监控运动轨迹，再反馈给各驱动电机实现预定轨迹的三轴运动。感应模块9感应到各滑块组件(第一滑块组件23、第二滑块组件33、第三滑块组件43)的运动轨迹，进行原点感应运动累积误差小。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种模块化机械臂三轴运动平台，包括底座(1)、X向运动模块(2)、Y向运动模块(3)、Z向运动模块(4)、第一运动座(6)和工具安装板(8)；所述第一运动座(6)设置于底座(1)上方，所述X向运动模块(2)、所述Y向运动模块(3)分别用于带动第一运动座(6)相对于底座(1)沿X向和沿Y向移动，所述Z向运动模块(4)设置于第一运动座(6)上且用于驱动工具安装板(8)相对于第一运动座(6)沿Z向移动，所述Z向、X向、Y向相互垂直，其特征在于：

所述X向运动模块(2)包括第一驱动组件(21)、第一滑轨(22)和第一滑块组件(23)，所述第一滑轨(22)沿X向设置在底座(1)上，所述第一滑块组件(23)下部与第一滑轨(22)滑动连接，所述第一运动座(6)与第一滑块组件(23)上部滑动连接，所述第一驱动组件(21)用于驱动第一滑块组件(23)沿第一滑轨(22)移动；

所述第一驱动组件(21)包括第一驱动电机(211)、X向同步带(212)、第一主动轮(213)、第一从动轮(214)和第一压紧件(215)，所述第一主动轮(213)连接在第一驱动电机(211)输出端且靠近第一滑轨(22)的一端方向设置，所述第一从动轮(214)连接在底座(1)上且靠近第一滑轨(22)的另一端方向设置，所述X向同步带(212)连接在第一主动轮(213)、第一从动轮(214)之间，所述第一滑块组件(23)通过第一压紧件(215)和X向同步带(212)压紧连接以便于和X向同步带(212)同步运动，所述第一驱动组件(21)的X向同步带(212)和第一滑轨(22)平行设置。

2.根据权利要求1所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述第一滑块组件(23)顶部设有第一导轨槽(2311)，所述第一运动座(6)底部设有沿Y向设置的第一导轨(61)，所述第一导轨(61)与第一导轨槽(2311)滑动配合连接。

3.根据权利要求2所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述第一滑块组件(23)包括第一支座(231)和第一滑块(232)，所述第一支座(231)连接于第一滑块(232)上，所述第一导轨槽(2311)设置在第一支座(231)顶部，所述第一滑块(232)和所述第一滑轨(22)滑动连接，所述第一压紧件(215)用于将第一支座(231)和X向同步带(212)连接压紧。

4.根据权利要求3所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述底座(1)上一侧设有感应器(91)，所述感应器(91)靠近第一滑轨(22)一端部设置，所述第一滑块组件(23)在靠近感应器(91)一侧方向的侧部上设有感应块(92)，所述感应器(91)和感应块(92)相配合用于监控第一滑块组件(23)的运动轨迹。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述Y向运动模块(3)包括第二驱动组件(31)、第二滑轨(32)和第二滑块组件(33)，两个所述第二滑轨(32)沿Y向平行设置在底座(1)上，所述第二滑块组件(33)下部与第二滑轨(32)滑动连接，所述第二滑块组件(33)上部和第一运动座(6)滑动连接，所述第二驱动组件(31)用于驱动第二滑块组件(33)沿着第二滑轨(32)移动；

所述第二驱动组件(31)包括第二驱动电机(311)、Y向同步带(312)、第二主动轮(313)、第二从动轮(314)和第二压紧件(315)，所述第二主动轮(313)连接在第二驱动电机(311)输出端且靠近第二滑轨(32)的一端方向设置，所述第二从动轮(314)连接在底座(1)上且靠近第二滑轨(32)的另一端方向设置，所述Y向同步带(312)连接在第二主动轮(313)、第二从动轮(314)之间，所述第二滑块组件(33)通过第二压紧件(315)和Y向同步带(312)压紧连接以便于和Y向同步带(312)同步运动，所述第二驱动组件(31)的Y向同步带(312)和第二滑轨(32)平行设置。

6.根据权利要求5所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述第二滑块组件(33)顶部设有第二导轨槽(3311)，所述第一运动座(6)底部设有沿X向设置的第二导轨(62)，所述第二导轨(62)与第二导轨槽(3311)滑动配合连接；

所述第二滑块组件(33)包括第二支座(331)和第二滑块(332)，所述第二支座(331)连接于第二滑块(332)上，所述第二导轨槽(3311)设置在第二支座(331)顶部，所述第二滑块(332)和所述第二滑轨(32)滑动连接，所述第二压紧件(315)用于将第二支座(331)和Y向同步带(312)连接压紧。

7.根据权利要求6所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述底座(1)上一侧设有感应器(91)，所述第二滑块组件(33)在靠近感应器(91)一侧方向的侧部上设有感应块(92)，所述感应器(91)和感应块(92)相配合用于监控第二滑块组件(33)的运动轨迹。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述第一运动座(6)上设有沿Z向布置的立座(7)，所述Z向运动模块(4)包括第三驱动组件(41)、第三滑轨(42)和第三滑块组件(43)，所述第三滑轨(42)沿Z向设置在立座(7)上，所述第三滑块组件(43)一侧部与第三滑轨(42)滑动连接，所述工具安装板(8)安装在第三滑块组件(43)上，所述第三驱动组件(41)用于驱动第三滑块组件(43)沿第三滑轨(42)移动；

所述第三驱动组件(41)包括第三驱动电机(411)、Z向同步带(412)、第三主动轮(413)、第三从动轮(414)和第三压紧件(415)，所述第三主动轮(413)连接在第三驱动电机(411)输出端且靠近第三滑轨(42)的一端方向设置，所述第三从动轮(414)连接在立座(7)上且靠近第三滑轨(42)的另一端方向设置，所述Z向同步带(412)连接在第三主动轮(413)、第三从动轮(414)之间，所述第三滑块组件(43)通过第三压紧件(415)和Z向同步带(412)压紧连接以便于和Z向同步带(412)同步运动，所述第三驱动组件(41)的Z向同步带(412)和第三滑轨(42)平行设置。

9.根据权利要求8所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述第三滑块组件(43)包括第三支座(431)和第三滑块(432)，所述第三支座(431)连接于第三滑块(432)上，所述第三滑块(432)和所述第三滑轨(42)滑动连接，所述第三压紧件(415)用于将第三支座(431)和Z向同步带(412)连接压紧。

10.根据权利要求9所述的模块化机械臂三轴运动平台，其特征在于：所述立座(7)上一侧设有感应器(91)，所述感应器(91)靠近第三滑轨(42)一端部设置，所述第三滑块组件(43)在靠近感应器(91)一侧方向的侧部上设有感应块(92)，所述感应器(91)和感应块(92)相配合用于监控第三滑块组件(43)的运动轨迹。