CN220901294U - 一种便捷式旋转靶材清理设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便捷式旋转靶材清理设备，包括工作台，工作台的下部两端对称的固定设置有两个支撑板，并在下部中间固定设置有一个安装板；所述安装板与其中一个支撑板之间转动设置有水平的螺杆，螺杆延伸至所述支撑板的外部并设置有转轮；工作台的上部远离转轮的一端固定设置有固定台，工作台的上部另一端滑动设置有滑动台，固定台和所述滑动台相对的一侧均转动设置有转盘，两个转盘相对的一侧均设置有夹具；固定台的外侧设置有用于驱动对应的转盘旋转的第一电机；滑动台的底部设置有两个分别与开设于工作台上的滑限位槽滑动配合的限位连板。本实用新型能够实现对旋转靶材的自动清理作业，可有效提高对旋转靶材的清理作业效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及旋转靶材加工辅助设备技术领域，尤其涉及一种便捷式旋转靶材清理设备。
背景技术
目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。目前镀膜用靶材有两种：平面靶材和旋转靶材。平面靶材溅射使用率可达到30％左右，而旋转靶材溅射使用率可达到80％左右，其次旋转靶材在使用过程中不停地旋转，靶材表面光滑，使用均匀，不会出现“结瘤现象”，可以保证靶材使用质量，镀膜的均匀性，减少缺陷率以及提高成品率。旋转靶材是目前乃至以后发展的一大趋势。
现阶段旋转靶材通常由圆管状背管和套设在背管外部的并列排布的多段圆管状靶管组成，在靶管套在背管外侧后，靶管内侧壁与背管外侧壁之间会留空有空隙，生产人员需要往该空隙中倒入铟液等绑定液，绑定液填满空隙后逐渐降温凝固。由于旋转靶材在使用时会产生大量热量，故其绑定的多段靶管一般为间隔设置，即相邻的两段靶管之间留出缝隙备作热膨胀空间。在绑定靶管的过程中，部分绑定液容易渗入到该缝隙中，因此，生产人员在绑定完全部靶管后，需要对相邻靶管之间缝隙中的固态绑定液等杂质进行清理。如果人为使用刮刀进行清理，清理工作特别繁琐，劳动强度大，工作效率较低，因此研制一种便捷式旋转靶材清理设备。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种便捷式旋转靶材清理设备，解决上述背景技术提到的技术问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
本实用新型一种便捷式旋转靶材清理设备，包括工作台，所述工作台的下部两端对称的固定设置有两个支撑板，并在下部中间固定设置有一个安装板；所述安装板与其中一个所述支撑板之间转动设置有水平的螺杆，所述螺杆延伸至所述支撑板的外部并设置有转轮；所述工作台的上部远离所述转轮的一端固定设置有固定台，所述工作台的上部另一端滑动设置有滑动台，所述固定台和所述滑动台相对的一侧均转动设置有转盘，两个所述转盘相对的一侧均设置有夹具；所述固定台的外侧设置有用于驱动对应的所述转盘旋转的第一电机；所述滑动台的底部设置有两个分别与开设于所述工作台上的滑限位槽滑动配合的限位连板，两个所述限位连板共同的与设置于所述螺杆上并与所述螺杆螺纹连接的螺套固定连接；所述工作台的上部在所述固定台和所述滑动台的外侧沿其长度方向固定设置有传动齿条，所述传动齿条上设置有移动架，所述移动架的底板上部固定设置有第二电机，所述第二电机的驱动轴贯穿所述移动架的底板并设置有与所述传动齿条相适配的传动齿轮，所述移动架的顶板上设置有激光清洗头。
进一步的，所述夹具包括多个沿周向均匀设置于所述转盘上的电动伸缩杆，各所述电动伸缩杆的伸缩端朝向所述转盘的轴线并且端部分别设置有夹持块，各所述夹持块远离对应的所述电动伸缩杆的一端开设有V形槽。
进一步的，所述螺套的外周壁上对称的固定设置有两个水平连板，两个所述限位连板的下端分别与两个所述水平连板固定连接。
进一步的，所述工作台的上部沿所述传动齿条对称的固定设置有两个滑轨，所述移动架的底部对称的设置有两个分别与两个所述滑轨相适配的滑块。
进一步的，移动架的顶板上还设置有吹风机，所述吹风机的出风口朝下设置。
与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：
本实用新型能够完成对不同长度和不同外径的旋转靶材的固定装夹，具有良好的适用性。在工作时移动架可作直线运动，使激光清洗头运动至旋转靶材的两个靶管的缝隙之间，在激光束的作用下相邻靶管之间缝隙中的固态绑定液等杂质污染物被迅速剥离，并且在吹风机作业下使杂质与靶材分离，从而实现对旋转靶材的自动清理作业，可有效提高对旋转靶材的清理作业效率。
附图说明
下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型的主视图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为图1中A-A向的剖视图；
图4位图1中B-B向的剖视图；
附图标记说明：1、工作台；2、支撑板；3、安装板；4、螺杆；5、转轮；6、固定台；7、滑动台；8、滑限位槽；9、限位连板；10、螺套；11、水平连板；12、转盘；13、电动伸缩杆；14、夹持块；15、第一电机；16、传动齿条；17、滑轨；18、移动架；19、第二电机；20、传动齿轮；21、滑块；22、激光清洗头；23、驱动气缸；24、吹风机；25、旋转靶材。
具体实施方式
如图1-图4所示，一种便捷式旋转靶材清理设备，包括工作台1和设置于所述工作台1外部的激光清洗机，所述工作台1的下部两端对称的固定设置有两个竖直的支撑板2，并在下部中间固定设置有一个安装板3。所述安装板3与其中一个所述支撑板2之间转动安装有水平的螺杆4，所述螺杆4延伸至所述支撑板2的外部并安装有用于驱动其旋转的转轮5。
所述工作台1的上部远离所述转轮5的一端固定安装有固定台6，所述工作台1的上部另一端滑动设安装滑动台7。所述滑动台7的底部安装有两个分别与开设于所述工作台1上的滑限位槽8滑动配合的限位连板9，两个所述限位连板9共同的与设置于所述螺杆4上并与所述螺杆4螺纹连接的螺套10固定连接。具体的：所述螺套10的外周壁上对称的固定设置有两个水平连板11，两个所述限位连板9的下端分别与两个所述水平连板11固定连接。
所述固定台6和所述滑动台7相对的一侧均转动安装有转盘12，两个所述转盘12相对的一侧均安装有夹具，所述固定台6的外侧安装有用于驱动对应的所述转盘12旋转的第一电机15。在本设施例中，所述夹具包括多个沿周向均匀安装于所述转盘12上的电动伸缩杆13，多个所述电动伸缩杆13由安装于所述转盘上的蓄电池(图中未示出)进行供电。各所述电动伸缩杆13的伸缩端朝向所述转盘12的轴线并且端部分别固定安装有夹持块14，各所述夹持块远离对应的所述电动伸缩杆13的一端开设有V形槽，各转盘上的多个电动杆13同步伸长可实现对旋转靶材的夹持。
所述工作台1的上部在所述固定台6和所述滑动台7的外侧沿其长度方向固定安装有传动齿条16，并且所述工作台1的上部沿所述传动齿条16还对称的固定安装有两个滑轨17。所述传动齿条16和两个所述滑轨17上共同的安装有移动架18，所述移动架18的底板上部固定安装有第二电机19，所述第二电机19的驱动轴贯穿所述移动架18的底板并安装有与所述传动齿条16相适配的传动齿轮20，所述移动架18的底部对称的安装有两个分别与两个所述滑轨17相适配的滑块21。所述激光清洗机的激光清洗头22设置在所述移动架的顶板上，在本实施例中，所述移动架18的顶部固定设置有驱动气缸23，所述激光清洗头22固定安装在所述驱动气缸23的伸缩端，从而通过驱动气缸23的伸缩运动实现对激光清洗头22所处高度的调节。另外，所述移动架18的顶板上还安装有吹风机24，所述吹风机24的出风口朝下设置。
本实用新型在工作时，可根据待清理的旋转靶材25的长度，以旋转所述转轮的方式使滑动台作直线运动，从而对滑动台与固定台的两个转盘之间的间距进行调节；之后将旋转靶材放置在两个转盘之间，通过转盘上的夹具对旋转靶材进行夹持固定，从而本实用新型能够完成对不同长度和不同外径的旋转靶材的固定装夹，具有良好的适用性。当第一电机驱动对应的转盘旋转时，装夹在两个转盘之间的旋转靶材随转盘一同旋转。第二电机启动后，由于传动齿轮和传动齿条的啮合作用，移动架沿两个导轨作直线运动，使激光清洗头运动至旋转靶材的两个靶管的缝隙之间，在激光束的作用下相邻靶管之间缝隙中的固态绑定液等杂质污染物被迅速剥离，并且在吹风机作业下使杂质与靶材分离，从而实现对旋转靶材的自动清理作业。
以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
Claims (5)
1.一种便捷式旋转靶材清理设备，其特征在于：包括工作台，所述工作台的下部两端对称的固定设置有两个支撑板，并在下部中间固定设置有一个安装板；所述安装板与其中一个所述支撑板之间转动设置有水平的螺杆，所述螺杆延伸至所述支撑板的外部并设置有转轮；所述工作台的上部远离所述转轮的一端固定设置有固定台，所述工作台的上部另一端滑动设置有滑动台，所述固定台和所述滑动台相对的一侧均转动设置有转盘，两个所述转盘相对的一侧均设置有夹具；所述固定台的外侧设置有用于驱动对应的所述转盘旋转的第一电机；所述滑动台的底部设置有两个分别与开设于所述工作台上的滑限位槽滑动配合的限位连板，两个所述限位连板共同的与设置于所述螺杆上并与所述螺杆螺纹连接的螺套固定连接；所述工作台的上部在所述固定台和所述滑动台的外侧沿其长度方向固定设置有传动齿条，所述传动齿条上设置有移动架，所述移动架的底板上部固定设置有第二电机，所述第二电机的驱动轴贯穿所述移动架的底板并设置有与所述传动齿条相适配的传动齿轮，所述移动架的顶板上设置有激光清洗头。
2.根据权利要求1所述的便捷式旋转靶材清理设备，其特征在于：所述夹具包括多个沿周向均匀设置于所述转盘上的电动伸缩杆，各所述电动伸缩杆的伸缩端朝向所述转盘的轴线并且端部分别设置有夹持块，各所述夹持块远离对应的所述电动伸缩杆的一端开设有V形槽。
3.根据权利要求1所述的便捷式旋转靶材清理设备，其特征在于：所述螺套的外周壁上对称的固定设置有两个水平连板，两个所述限位连板的下端分别与两个所述水平连板固定连接。
4.根据权利要求1所述的便捷式旋转靶材清理设备，其特征在于：所述工作台的上部沿所述传动齿条对称的固定设置有两个滑轨，所述移动架的底部对称的设置有两个分别与两个所述滑轨相适配的滑块。
5.根据权利要求1所述的便捷式旋转靶材清理设备，其特征在于：移动架的顶板上还设置有吹风机，所述吹风机的出风口朝下设置。
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