CN220863867U - 一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，涉及晶体生长炉技术领域，包括支撑杆，所述支撑杆的底端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端阵列开设有数个滑槽，所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，所述支撑杆的外侧活动连接有扩张机构，所述扩张机构与滑块的顶端活动连接，所述滑块的顶端固定连接有延伸板。本实用新型通过设置的夹持机构，启动伺服电机，带动夹板一沿着直线导轨向夹板二靠近，以缩短夹板一和夹板二之间的距离，接着利用夹板一和夹板二将坩埚的边缘夹住，以此方便对不同尺寸和厚度的坩埚进行夹持，并且微齿能增强夹持的稳定性，避免坩埚抬升的过程中发生掉落。

Description

一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉技术领域，具体是一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构。

背景技术

随着技术的发展，通过晶体生长炉能够进行人工晶体的合成，例如把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长。

现有技术中，在晶体生长炉使用后，原材料会部分沾粘于坩埚的内壁上，若不及时清理，则会导致原材料混入下次的晶体中，从而影响晶体的质量，但是晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度，且散热较慢，不易拆卸取出，为此，需要一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构来解决现有的不足。

所以，现有技术的技术问题在于：晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度，且散热较慢，不易拆卸取出。

实用新型内容

解决的技术问题

本实用新型的目的就是为了解决了现有技术中，晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度，且散热较慢，不易拆卸取出的技术问题；达到启动伺服电机，带动夹板一沿着直线导轨向夹板二靠近，以缩短夹板一和夹板二之间的距离，接着利用夹板一和夹板二将坩埚的边缘夹住，以此方便对不同尺寸和厚度的坩埚进行夹持，并且微齿能增强夹持的稳定性，避免坩埚抬升的过程中发生掉落的技术效果。

技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，包括支撑杆，所述支撑杆的底端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端阵列开设有数个滑槽，所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，所述支撑杆的外侧活动连接有扩张机构，所述扩张机构与滑块的顶端活动连接，所述滑块的顶端固定连接有延伸板，且延伸板的前端固定连接有夹持机构。

上述的，所述扩张机构包括电动推杆、套环和连杆，所述支撑杆的外侧套设有套环，且套环与支撑杆活动连接，所述电动推杆的顶端固定连接于支撑杆的外壁，且支撑杆的伸缩端固定连接于套环的顶端，所述连杆数量为多个且阵列分布于套环的外周侧。

上述的，所述套环的外周侧阵列开设有数个连接槽，且连接槽的数量和连杆的数量一致。

上述的，所述连杆的顶端均通过连轴活动连接于连接槽的内部，且连杆的底端铰接于滑块的顶端。

上述的，所述夹持机构包括夹板一、夹板二、螺纹杆和伺服电机，所述夹板一和夹板二的相对侧均构造有微齿，所述螺纹杆的前端螺纹连接于夹板一的顶端，所述螺纹杆的后端穿过夹板二的顶端，且螺纹杆通过轴承活动连接于夹板二的顶端。

上述的，所述伺服电机的底端固定连接于延伸板的顶端，且伺服电机的输出端与螺纹杆的后端固定连接。

上述的，所述夹板二的后侧固定连接于延伸板的前端，且夹板二的前侧固定连接有直线导轨，所述直线导轨位于螺纹杆的正下方。

上述的，所述直线导轨贯穿夹板一，且夹板一的顶端与直线导轨滑动连接。

上述的，所述夹板一的两侧均设置有辅助架，且辅助架呈X型，所述辅助架的底端两侧分别活动连接于夹板一的侧面和夹板二的侧面。

上述的，所述夹板一和夹板二的两侧均开设有辅助槽，所述辅助架的顶端两侧分别活动连接于夹板一的辅助槽内部和夹板二的辅助槽内部。

有益效果：

与现有技术相比，该一种用于晶体生长炉维护的拆7卸结构具备如下有益效果：

一、本实用新型通过设置的夹持机构，解决了现有技术中，晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度，且散热较慢，不易拆卸取出的技术问题；达到启动伺服电机，带动夹板一沿着直线导轨向夹板二靠近，以缩短夹板一和夹板二之间的距离，接着利用夹板一和夹板二将坩埚的边缘夹住，以此方便对不同尺寸和厚度的坩埚进行夹持，并且微齿能增强夹持的稳定性，避免坩埚抬升的过程中发生掉落的技术效果。

二、本实用新型通过设置的扩张机构，启动电动推杆，带动套环沿着支撑杆的外壁向下滑动，使连杆向下旋转，从而推动连杆底端的滑块在滑槽的内部进行滑动，以使延伸板向前运动，根据坩埚的大小不同，方便调节夹块一和夹块二的位置，有利于将不同尺寸的坩埚夹持起来。

本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本实用新型的实践中得到教导。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；

图3为本实用新型图2中A处的放大结构示意图；

图4为本实用新型的夹持机构结构示意图。

图中：1、支撑杆；2、支撑板；3、滑槽；4、滑块；5、扩张机构；501、电动推杆；502、套环；503、连杆；6、延伸板；7、夹持机构；701、夹板一；702、夹板二；703、螺纹杆；704、伺服电机；8、连接槽；9、微齿；10、直线导轨；11、辅助架；12、辅助槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，包括支撑杆1，支撑杆1的底端固定连接有支撑板2，支撑板2的顶端阵列开设有数个滑槽3，滑槽3的内部均滑动连接有滑块4，支撑杆1的外侧活动连接有扩张机构5，扩张机构5与滑块4的顶端活动连接，滑块4的顶端固定连接有延伸板6，且延伸板6的前端固定连接有夹持机构7。

首先通过支撑杆1外侧的扩张机构5，推动滑块4在滑槽3的内部向前运动，从而将夹持机构7推至坩埚的边缘的正上方，随后利用夹持机构7对坩埚边缘进行夹持，然后将支撑杆1抬升起来，从而将坩埚与晶体生长炉进行分离。

如图1和图2所示，扩张机构5包括电动推杆501、套环502和连杆503，支撑杆1的外侧套设有套环502，且套环502与支撑杆1活动连接，电动推杆501的顶端固定连接于支撑杆1的外壁，且支撑杆1的伸缩端固定连接于套环502的顶端，连杆503数量为多个且阵列分布于套环502的外周侧，套环502的外周侧阵列开设有数个连接槽8，且连接槽8的数量和连杆503的数量一致，连杆503的顶端均通过连轴活动连接于连接槽8的内部，且连杆503的底端铰接于滑块4的顶端。

启动电动推杆501，带动套环502沿着支撑杆1的外壁向下滑动，使连杆503向下旋转，从而推动连杆503底端的滑块4在滑槽3的内部进行滑动，以使延伸板6向前运动，从而将夹持机构7调节至坩埚的边缘处。

如图1和图4所示，夹持机构7包括夹板一701、夹板二702、螺纹杆703和伺服电机704，夹板一701和夹板二702的相对侧均构造有微齿9，螺纹杆703的前端螺纹连接于夹板一701的顶端，螺纹杆703的后端穿过夹板二702的顶端，且螺纹杆703通过轴承活动连接于夹板二702的顶端，伺服电机704的底端固定连接于延伸板6的顶端，且伺服电机704的输出端与螺纹杆703的后端固定连接，夹板二702的后侧固定连接于延伸板6的前端，且夹板二702的前侧固定连接有直线导轨10，直线导轨10位于螺纹杆703的正下方，直线导轨10贯穿夹板一701，且夹板一701的顶端与直线导轨10滑动连接。

当坩埚边缘位于夹板一701和夹板二702的相对侧时，启动伺服电机704，由于螺纹杆703的前端与夹板一701螺纹连接，从而带动夹板一701沿着直线导轨10向夹板二702靠近，以缩短夹板一701和夹板二702之间的距离，接着利用夹板一701和夹板二702将坩埚的边缘夹住，并且微齿9能增强夹持的稳定性，避免坩埚抬升的过程中发生掉落。

如图1和图4所示，夹板一701的两侧均设置有辅助架11，且辅助架11呈X型，辅助架11的底端两侧分别活动连接于夹板一701的侧面和夹板二702的侧面，夹板一701和夹板二702的两侧均开设有辅助槽12，辅助架11的顶端两侧分别活动连接于夹板一701的辅助槽12内部和夹板二702的辅助槽12内部，通过夹板一701和夹板二702的两侧设置辅助架11，有利于夹板一701在直线导轨10上进行滑动，并且增强夹板一701和夹板二702的连接性。

工作原理：使用时，首先启动电动推杆501，带动套环502沿着支撑杆1的外壁向下滑动，使连杆503向下旋转，从而推动连杆503底端的滑块4在滑槽3的内部进行滑动，以使延伸板6向前运动，从而将夹板一701和夹板二702调节至坩埚的边缘处，当坩埚边缘位于夹板一701和夹板二702的相对侧时，接着启动伺服电机704，由于螺纹杆703的前端与夹板一701的顶端螺纹连接，从而带动夹板一701沿着直线导轨10向夹板二702靠近，以缩短夹板一701和夹板二702之间的距离，接着利用夹板一701和夹板二702将坩埚的边缘夹住，并且微齿9能增强夹持的稳定性，避免坩埚抬升的过程中发生掉落，另外，通过夹板一701和夹板二702的两侧设置辅助架11，有利于夹板一701在直线导轨10上进行滑动，同时增强夹板一701和夹板二702的连接性。

需要说明的是，在本文中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“固设”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，“安装”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；“相连”可以是机械连接，也可以是电连接；“连接”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，包括支撑杆(1)，其特征在于：所述支撑杆(1)的底端固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的顶端阵列开设有数个滑槽(3)，所述滑槽(3)的内部均滑动连接有滑块(4)，所述支撑杆(1)的外侧活动连接有扩张机构(5)，所述扩张机构(5)与滑块(4)的顶端活动连接，所述滑块(4)的顶端固定连接有延伸板(6)，且延伸板(6)的前端固定连接有夹持机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述扩张机构(5)包括电动推杆(501)、套环(502)和连杆(503)，所述支撑杆(1)的外侧套设有套环(502)，且套环(502)与支撑杆(1)活动连接，所述电动推杆(501)的顶端固定连接于支撑杆(1)的外壁，且支撑杆(1)的伸缩端固定连接于套环(502)的顶端，所述连杆(503)数量为多个且阵列分布于套环(502)的外周侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述套环(502)的外周侧阵列开设有数个连接槽(8)，且连接槽(8)的数量和连杆(503)的数量一致。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述连杆(503)的顶端均通过连轴活动连接于连接槽(8)的内部，且连杆(503)的底端铰接于滑块(4)的顶端。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述夹持机构(7)包括夹板一(701)、夹板二(702)、螺纹杆(703)和伺服电机(704)，所述夹板一(701)和夹板二(702)的相对侧均构造有微齿(9)，所述螺纹杆(703)的前端螺纹连接于夹板一(701)的顶端，所述螺纹杆(703)的后端穿过夹板二(702)的顶端，且螺纹杆(703)通过轴承活动连接于夹板二(702)的顶端。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述伺服电机(704)的底端固定连接于延伸板(6)的顶端，且伺服电机(704)的输出端与螺纹杆(703)的后端固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述夹板二(702)的后侧固定连接于延伸板(6)的前端，且夹板二(702)的前侧固定连接有直线导轨(10)，所述直线导轨(10)位于螺纹杆(703)的正下方。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述直线导轨(10)贯穿夹板一(701)，且夹板一(701)的顶端与直线导轨(10)滑动连接。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述夹板一(701)的两侧均设置有辅助架(11)，且辅助架(11)呈X型，所述辅助架(11)的底端两侧分别活动连接于夹板一(701)的侧面和夹板二(702)的侧面。

10.根据权利要求9所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构，其特征在于：所述夹板一(701)和夹板二(702)的两侧均开设有辅助槽(12)，所述辅助架(11)的顶端两侧分别活动连接于夹板一(701)的辅助槽(12)内部和夹板二(702)的辅助槽(12)内部。