CN207109148U - 一种碳化硅生产用长晶炉提升装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，包括提升杆和机架，所述机架上设置有底座，所述底座上方与支架的底部固定连接，所述支架上安装有步进电机，所述步进电机的输出端连接有第一丝杆，所述第一丝杆上安装有滑块，所述滑块的另一侧固定连接有固定板，所述固定板固定连接于连接柱的顶部，所述连接柱的底部可拆卸连接于提升杆的顶部，所述提升杆的底部固定连接有籽晶安装槽。本实用新型通过步进电机可带动滑块上移或下移，操作方便控制精度高，长晶结束后通过，可以将完成长晶的碳化硅移动到长晶炉的一侧，便于卸料，通过限位槽与锁紧螺母相互配合，装卸提升杆操作方便，固定效果好，有效防止提升杆从空腔内滑落。

Description

一种碳化硅生产用长晶炉提升装置

技术领域

本实用新型属于碳化硅生产装置技术领域，具体涉及一种碳化硅生产用长晶炉提升装置。

背景技术

碳化硅单晶材料广泛应用于LED照明、光学、航天、机械及军工等用途，其中泡生法长晶占有市场份额七成以上的主流地位，长晶内容也持续往大公斤级数开发，从20-30公斤的晶体持续地往100公斤和更大的晶体开发，以降低成本及符合应用的需求，但随之而来的则是炉体内热场、坩埚及原料等的重量持续上升，增加了填充及保养的难度及风险，晶体长晶结束后，晶体位于锅炉上方，不便于晶体的卸料，装有籽晶的提升杆与提升结构之间安装过程复杂，并且安装不到位时容易发生脱落，存在安全隐患。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，包括提升杆和机架，所述机架上设置有底座，所述底座上方与支架的底部固定连接，所述支架上安装有步进电机，所述步进电机的输出端连接有第一丝杆，所述第一丝杆上安装有滑块，所述滑块的一侧滑动连接于导轨，所述滑块的另一侧固定连接有固定板，所述固定板固定连接于连接柱的顶部，所述连接柱的底部可拆卸连接于提升杆的顶部，所述提升杆的底部固定连接有籽晶安装槽。

优选的，所述导轨固定连接于支架上，且导轨与第一丝杆相互平行相对设置。

优选的，所述第一丝杆的底端固定连接有限位块。

优选的，所述连接柱的底端设置有空腔，所述提升杆的顶端插入空腔内，并通过连接柱底端上安装的锁紧螺母进行固定，所述锁紧螺母与连接柱垂直，并对称分布。

优选的，所述提升杆的顶部固定连接有插入块，所述插入块与空腔的直径相同，且插入块上设置有环形限位槽，所述限位槽内与锁紧螺母相互配合。

优选的，所述机架上固定连接有相互平行设置的滑轨，所述滑轨滑动连接于底座的底部，所述底座上固定连接有连接块，所述连接块螺纹连接与第二丝杆。

本实用新型的技术效果和优点：该碳化硅生产用长晶炉提升装置，通过步进电机可带动滑块上移或下移，操作方便，控制精度高，长晶结束后通过，驱动第二丝杆，可以带动底座沿着滑轨进行滑动，将完成长晶的碳化硅移动到长晶炉的一侧，便于卸料，通过限位槽与锁紧螺母相互配合，装卸提升杆操作方便，固定效果好，有效防止提升杆从空腔内滑落。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的连接柱与提升杆安装结构示意图；

图3为本实用新型的底座与机架安装结构示意图。

图中：1步进电机、2第一丝杆、3滑块、4固定板、5连接柱、501空腔、6提升杆、601插入块、602限位槽、7导轨、8支架、9底座、901连接块、10机架、101滑轨、11第二丝杆、12锁紧螺母、13籽晶安装槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，包括提升杆6和机架10，所述机架10上设置有底座9，所述底座9上方与支架8的底部固定连接，所述支架8上安装有步进电机1，所述步进电机1的输出端连接有第一丝杆2，所述第一丝杆2上安装有滑块3，所述滑块3的一侧滑动连接于导轨7，所述滑块3的另一侧固定连接有固定板4，所述固定板4固定连接于连接柱5的顶部，所述连接柱5的底部可拆卸连接于提升杆6的顶部，所述提升杆6的底部固定连接有籽晶安装槽19。

进一步的，所述导轨7固定连接于支架8上，且导轨7与第一丝杆2相互平行相对设置，通过第一丝杆2驱动滑块3，并使得滑块3沿着导轨7上下移动，进而对提升杆6进行提升。

进一步的，所述第一丝杆2的底端固定连接有限位块，防止滑块3下降位置过低。

进一步的，所述连接柱5的底端设置有空腔501，所述提升杆6的顶端插入空腔501内，并通过连接柱5底端上安装的锁紧螺母12进行固定，所述锁紧螺母12与连接柱5垂直，并对称分布，通过锁紧螺母12可以有效的对提升杆6的顶部进行固定，安装和拆卸方便，便于取下完成长晶的碳化硅，操作方便。

进一步的，所述提升杆6的顶部固定连接有插入块601，所述插入块601与空腔501的直径相同，且插入块601上设置有环形限位槽602，所述限位槽602内与锁紧螺母12相互配合，通过限位槽602有效防止提升杆6从空腔501内滑落。

进一步的，所述机架10上固定连接有相互平行设置的滑轨101，所述滑轨101滑动连接于底座9的底部，所述底座9上固定连接有连接块901，所述连接块901螺纹连接与第二丝杆11，通过驱动第二丝杆11，可以带动底座9沿着滑轨101进行滑动，将完成长晶的碳化硅移动到长晶炉的一侧，并取下，便于卸料，而第二丝杆11的驱动装置可以通过手轮或电机进行驱动。

具体的，使用时，将籽晶安装在提升杆6底部的籽晶安装槽13内，通过锁紧螺母12将提升杆6固定在连接柱5上，通过步进电机1带动滑块3下降，直至籽晶位于熔融炉内液面处，熔融液在籽晶处不断生长，生长过程中通过步进电机1带动3缓慢上升，直至长晶完成，长晶结束后通过驱动第二丝杆11，可以带动底座9沿着滑轨101进行滑动，将完成长晶的碳化硅移动到长晶炉的一侧取下，便于卸料。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，包括提升杆(6)和机架(10)，其特征在于：所述机架(10)上设置有底座(9)，所述底座(9)上方与支架(8)的底部固定连接，所述支架(8)上安装有步进电机(1)，所述步进电机(1)的输出端连接有第一丝杆(2)，所述第一丝杆(2)上安装有滑块(3)，所述滑块(3)的一侧滑动连接于导轨(7)，所述滑块(3)的另一侧固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)固定连接于连接柱(5)的顶部，所述连接柱(5)的底部可拆卸连接于提升杆(6)的顶部，所述提升杆(6)的底部固定连接有籽晶安装槽(19)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，其特征在于：所述导轨(7)固定连接于支架(8)上，且导轨(7)与第一丝杆(2)相互平行相对设置。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，其特征在于：所述第一丝杆(2)的底端固定连接有限位块。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，其特征在于：所述连接柱(5)的底端设置有空腔(501)，所述提升杆(6)的顶端插入空腔(501)内，并通过连接柱(5)底端上安装的锁紧螺母(12)进行固定，所述锁紧螺母(12)与连接柱(5)垂直，并对称分布。

5.根据权利要求1或4所述的一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，其特征在于：所述提升杆(6)的顶部固定连接有插入块(601)，所述插入块(601)与空腔(501)的直径相同，且插入块(601)上设置有环形限位槽(602)，所述限位槽(602)内与锁紧螺母(12)相互配合。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉提升装置，其特征在于：所述机架(10)上固定连接有相互平行设置的滑轨(101)，所述滑轨(101)滑动连接于底座(9)的底部，所述底座(9)上固定连接有连接块(901)，所述连接块(901)螺纹连接与第二丝杆(11)。