CN220856534U - 双向运动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种双向运动装置，双向运动装置包括基座、安装于所述基座的第一驱动器、安装于所述基座的第一导轨、安装于所述基座的第二导轨、安装于所述基座的第二驱动器、滑设在所述第一导轨并与所述第一驱动器传动连接的第一滑台、滑设在所述第二导轨并与所述第二驱动器传动连接的第二滑台，以及运载台；所述第一导轨的延伸方向与所述第二导轨的延伸方向垂直，所述运载台具有第一套槽和第二套槽，所述运载台通过所述第一套槽滑动套设于第一滑台，所述运载台通过所述第二套槽滑动套设于所述第二滑台。本实用新型不仅可以降低滑台的负载重量，也可以使得两个滑台的运动相互独立、互不干扰。

Description

双向运动装置

技术领域

本实用新型涉及芯片封装技术的领域，尤其涉及一种双向运动装置。

背景技术

在芯片封装类型的设备中，芯片封装的质量和产能，取决于关键装置的高精度定位与高加速度运动，例如双向运动装置。目前的双向运动装置包括运载台和两个不同方向运动的滑台，通过两个滑台与运载台依次堆叠实现运载台的双向运动，但是，两个滑台与运载台依次堆叠连接，其中一个滑台作为运载台和另一个滑台的负载，增加了负载重量，同时，其中一个滑台移动时会带动另一个滑台移动，两个滑台无法分别进行独立运动。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于：提供一种双向运动装置，不仅可以降低滑台的负载重量，也可以使得两个滑台的运动相互独立、互不干扰。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种双向运动装置，包括基座、安装于所述基座的第一驱动器、安装于所述基座的第一导轨、安装于所述基座的第二导轨、安装于所述基座的第二驱动器、滑设在所述第一导轨并与所述第一驱动器传动连接的第一滑台、滑设在所述第二导轨并与所述第二驱动器传动连接的第二滑台，以及运载台；

所述第一导轨的延伸方向与所述第二导轨的延伸方向垂直，所述运载台具有第一套槽和第二套槽，所述运载台通过所述第一套槽滑动套设于第一滑台，所述运载台通过所述第二套槽滑动套设于所述第二滑台。

可选地，所述运载台包括载板、设于所述载板并与所述载板共同围合形成第一夹槽的第一夹板、设于所述载板并与所述载板共同围合形成第二夹槽的第二夹板；所述第一夹板和所述第二夹板沿着所述第一导轨的延伸方向间隔布设，所述第一滑台的一端滑设在所述第一夹槽内，所述第一滑台的另一端滑设在第二夹槽内，所述第一夹槽的内壁和所述第二夹槽的内壁共同围合形成所述第一套槽。

可选地，所述第一夹板和/或所述第二夹板至少有两个，多个所述第一夹板沿着所述第二导轨的延伸方向间隔布设和/或多个所述第二夹板沿着所述第二导轨的延伸方向间隔布设，所述载板与相邻的两个所述第一夹板和/或载板与相邻的两个所述第二夹板共同围合形成所述第二套槽。

可选地，所述第一滑台设有第三导轨，所述第二滑台设有第四导轨，所述第一套槽的内壁设有第一导块，所述第二套槽的内壁设有第二导块，所述第一导块滑设于第三导轨，所述第二导块滑设于所述第四导轨。

可选地，所述第一夹板和所述第二夹板均呈L形，所述第一夹板的一端和所述第二夹板的一端均与所述载板连接，所述第一夹板的另一端和所述第二夹板的另一端均沿着所述第一导轨的延伸方向延伸且相互靠近。

可选地，相邻的两个所述第一夹板和/或相邻的两个所述第二夹板之间设有安装板，所述第一导块设于所述安装板，所述第一夹板和/或所述第二夹板设有所述第二导块。

可选地，所述第一滑台设有与所述第一驱动器的输出端传动连接的第一连接板；所述第二滑台设有与所述第二驱动器的输出端传动连接的第二连接板；所述第一驱动器、所述第二驱动器均为U型无铁芯电机。

可选地，所述基座包括支撑块、设于所述支撑块的凸台；所述第一驱动器、所述第二驱动器均有两个，两个所述第一驱动器沿着所述第二导轨的延伸方向间隔布设于所述支撑块，两个所述第二驱动器沿着所述第一导轨的延伸方向间隔布设于所述支撑块，所述第一导轨和所述第二导轨均安装于所述凸台，所述凸台位于各所述第一驱动器和各所述第二驱动器围合形成的区域内。

可选地，所述基座还包括垫板；所述垫板设于所述凸台，所述第一导轨设于所述垫板并位于所述第二导轨的上方。

可选地，所述双向运动装置还包括运动补偿单元；所述运动补偿单元安装于所述基座。

本实用新型的有益效果为：双向运动装置的运载台通过第一套槽和第二套槽分别滑动套设在第一滑台和第二滑台上，第二滑台不需要承载第一滑台，不仅可以降低第二滑台的负载重量，也可以使得第一滑台和第二滑台的运动相互独立、互不干扰。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为双向运动装置的结构示意图；

图2为基座、第一滑台、第二滑台的安装结构示意图；

图3为图2的俯视图；

图4为运载台的结构示意图。

附图标记说明，图中：

11、基座；12、第一导轨；13、第二导轨；14、第一驱动器；15、第二驱动器；16、第一滑台；17、第二滑台；18、运载台；19、第三导轨；20、第四导轨；21、第一连接板；22、第二连接板；

111、支撑块；112、凸台；

181、载板；182、第一夹板；183、第二夹板；184、安装板；185、第一导块；186、第二导块；187、第一套槽；188、第二套槽；

1871、第一夹槽；1872、第二夹槽；

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“固定”、“连接”、“连通”、“抵接”、“夹持”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左、”“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

除非特别说明或另有定义，本实用新型所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

为叙述方便，除另有说明外，下文所说的上下方向与图1本身的上下方向一致，下文所说的左右方向与图3本身的左右方向一致，下文所说的前后方向与图3本身的上下方向一致。

本实用新型的双向运动装置可以应用于芯片封装工序。示例性地，本实用新型的双向运动装置作为RDL扇入型(Fan-I n)和扇出型(Fan-Out)芯片封装领域设备中的大行程高速高精度的双向运动装置。

如图1至图4所示，本实施例提供一种双向运动装置，主要应用于RDL扇入型(Fan-In)和扇出型(Fan-Out)芯片封装领域，尤其适用于芯片封装设备中的大行程高速高精度的双向运动装置。

双向运动装置包括基座11、安装于基座11的第一驱动器14、安装于基座11的第一导轨12、安装于基座11的第二导轨13、安装于基座11的第二驱动器15、滑设在第一导轨12并与第一驱动器14传动连接的第一滑台16、滑设在第二导轨13并与第二驱动器15传动连接的第二滑台17，以及运载台18。基座11用于安装和支撑第一驱动器14、第二驱动器15、第一导轨12、第二导轨13。第一导轨12、第二导轨13均水平设置在基座11的上表面。第一导轨12的延伸方向与第二导轨13的延伸方向垂直，第一滑台16沿着第一导轨12前后滑动，第二滑台17沿着第二导轨13左右滑动。第一滑台16位于第二滑台17的上方或下方，本实施例中，第一导轨12的安装高度高于第二导轨13的安装高度，第一滑台16位于第二滑台17的上方。第一滑台16与第二滑台17间隔布设，第一滑台16的重量和第二滑台17的重量均落在基座11上，第一滑台16不需要承载第二滑台17的重量，第二滑台17也不需要承载第一滑台16的重量。从而降低第一滑台16和第二滑台17的负载重量。

第一滑台16和第二滑台17的滑动相互独立、互不干扰，第一滑台16和第二滑台17均用于推动运载台18滑动。运载台18在芯片封装工序中用于输送芯片等加工工件，加工工件放置在运载台18的上端面。运载台18具有第一套槽187和第二套槽188，第一套槽187和第二套槽188均位于运载台18的下端。运载台18通过第一套槽187滑动套设于第一滑台16，运载台18通过第二套槽188滑动套设于第二滑台17。第一套槽187两侧的内壁分别与第一滑台16的两侧抵接，第二套槽188两侧的内壁分别与第二滑台17的两侧抵接。第一驱动器14驱动第一滑台16前后滑动的时候，第一滑台16推动第一套槽187的内壁，使得运载台18前后滑动，此过程中第二滑台17保持不动，运载台18在左右方向不会产生运动。第二驱动器15驱动第二滑台17左右滑动的时候，第二滑台17推动第二套槽188的内壁，使得运载台18左右滑动，此过程中第一滑台16保持不动，运载台18在前后方向不会产生运动。如此，无论是第一滑台16单独滑动还是第二滑台17单独滑动，都不会造成另一个滑台跟着滑动。第一驱动器14和第二驱动器15同时启动时，运载台18可以同时进行前后左右滑动，提高调节效率。

在一个实施例中，运载台18包括载板181、设于载板181并与载板181共同围合形成第一夹槽1871的第一夹板182、设于载板181并与载板181共同围合形成第二夹槽1872的第二夹板183。载板181为平板，第一夹板182和第二夹板183沿着第一导轨12的延伸方向间隔布设，第一夹板182和第二夹板183前后间隔设于载板181的下端面。第一滑台16的一端滑设在第一夹槽1871内，第一滑台16的另一端滑设在第二夹槽1872内，第一夹槽1871的内壁和第二夹槽1872的内壁共同围合形成第一套槽187，从而可以实现第一滑台16推动载板181前后滑动。

在一个实施例中，第一夹板182和/或第二夹板183至少有两个，多个第一夹板182沿着第二导轨13的延伸方向间隔布设，多个第二夹板183沿着第二导轨13的延伸方向间隔布设。具体的，多个第一夹板182均位于载板181的后端并沿着第二导轨13的延伸方向间隔布设，多个第二夹板183均位于载板181的前端并沿着第二导轨13的延伸方向间隔布设。载板181与相邻的两个第一夹板182和/或载板181与相邻的两个第二夹板183共同围合形成第二套槽188，相邻的两个第一夹板182夹持第二滑台17，相邻的两个第二夹板183夹持第二滑台17，从而可以实现第二滑台17推动载板181左右滑动。优选的，第一夹板182和/或第二夹板183有两个。

可以理解的是，第一夹板182的数量和/或第二夹板183的数量有两个时，两个第一夹板182和/或两个第二夹板183共同夹持第二滑台17，第一夹板182的数量和/或第二夹板183的数量大于两个时，任意两个相邻的第一夹板182和/或任意两个相邻的第二夹板183均可以夹持第二滑台17，从而可以是调节运载台18套装在第二滑台17上的相对位置。

可选的，载板181为方形板，两个第一夹板182、两个第二夹板183均安装于载板181的下端面，两个第一夹板182、两个第二夹板183分居于载板181的四个角部，其中，两个第一夹板分居其中一侧的两个角部，两个第二夹板分居另一侧的两个角部。如此，运载台18的结构比较简单，重量更小，第一滑台16、第二滑台17的承载更小。

具体的，载板具有四个环绕分布的第一角部、第二角部、第三角部、第四角部，两个第一夹板分别安装于第一角部、第二角部，两个第二夹板分别安装于第三角部、第四角部。

在一个实施例中，运载台18还包括安装板184。安装板184有多个，相邻的两个第一夹板182之间和相邻的两个第二夹板183之间均设有安装板184，安装板184的上端连接载板181，安装板184的一侧连接第一夹板182或第二夹板183，可以加固载板181与第一夹板182或第二夹板183的连接强度。第二滑台17位于安装板184与基座11之间，安装板184位于第二滑台17的上方。

第一滑台16设有第三导轨19，第三导轨19有两个并分居第一滑台16的前后两侧。第二滑台17设有第四导轨20，第四导轨20有两个并分居第二滑台17的左右两侧。第一套槽187的内壁设有第一导块185，第二套槽188的内壁设有第二导块186，第一导块185滑设于第三导轨19，第二导块186滑设于第四导轨20。第一导块185设于安装板184上，第二导块186设于第一夹板182和/或第二夹板183上。具体的，安装板184上均设有第一导块185，第一夹板182、第二夹板183上均设有第二导块186。通过第三导轨19和第四导轨20，使得第一滑台16和第二滑台17均可以分担载板181的承重，相比第二滑台17、第一滑台16、载板181从下往上一次堆叠连接的设置方式，可以减少第二滑台17、第一滑台16的负载重量，减少层叠方式重量累计后的冲击，可以使得第二滑台17、第一滑台16的滑动更平稳和精确，也可以提高第二滑台17、第一滑台16的寿命。

可选的，第一夹板182和第二夹板183均呈L形，第一夹板182的一端和第二夹板183的一端均与载板181连接，第一夹板182的另一端和第二夹板183的另一端均沿着第一导轨12的延伸方向延伸且相互靠近，从而形成套在第一滑台16两端的第一套槽187。第一夹板182和第二夹板183均呈L形，可以使得为了第二导块186的安装位置能靠前后方向的中部，使得第一滑台16的移动行程可以达到最大，避免第一滑台16移动至最大行程时第二导块186脱离第四导轨20。

同理，第一导块185设于安装板184上，安装板184相比第一夹板182、第二夹板183更靠近第二滑台17的中部，提高第二滑台17的移动行程。

在一个实施例中，第一滑台16设有与第一驱动器14的输出端传动连接的第一连接板21；第二滑台17设有与第二驱动器15的输出端传动连接的第二连接板22；第一驱动器14、第二驱动器15均为U型无铁芯电机。

在一个实施例中，基座11包括支撑块111、设于支撑块111的凸台112。第一驱动器14、第二驱动器15均有两个，两个第一驱动器14沿着第二导轨13的延伸方向间隔布设于支撑块111，两个第二驱动器15沿着第一导轨12的延伸方向间隔布设于支撑块111。第一导轨12和第二导轨13均安装于凸台112，第二导轨13有两个并间隔布设在凸台112的上端面，第一导轨12有两个并通过垫板设于凸台112的上端面，使得第一导轨12的安装高度高于第二导轨13的安装高度。凸台112位于各第一驱动器14和各第二驱动器15围合形成的区域内，通过双驱动保证第一滑台16和第二滑台17的运动平稳。

在一个实施例中，双向运动装置还包括运动补偿单元。运动补偿单元安装于基座11。运动补偿单元采用单周双光栅尺。运动补偿单元可以检测两个第一驱动器14的输出端是否运动一致，也可以检测两个第二驱动器15的输出端是否运动一致，具体的运动补偿单元用于检测两个第一连接板21的运动是否运动一致和两个第二连接板22的运动是否运动一致，根据检测结果控制两个第一驱动器14和两个第二驱动器15，补偿第一滑台16和第二滑台17的运动，保证第一滑台16和第二滑台17两端的运动保持同步。运动补偿单元利用解耦算法保证第一滑台16和第二滑台17运动平稳。

可以理解的是，第一导轨12、第二导轨13、第三导轨19、第四导轨19可以是金属或其它材料制成的槽或脊，也可以是丝杆、导杆等部件。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种双向运动装置，其特征在于，包括基座(11)、安装于所述基座(11)的第一驱动器(14)、安装于所述基座(11)的第一导轨(12)、安装于所述基座(11)的第二导轨(13)、安装于所述基座(11)的第二驱动器(15)、滑设在所述第一导轨(12)并与所述第一驱动器(14)传动连接的第一滑台(16)、滑设在所述第二导轨(13)并与所述第二驱动器(15)传动连接的第二滑台(17)，以及运载台(18)；

所述第一导轨(12)的延伸方向与所述第二导轨(13)的延伸方向垂直，所述运载台(18)具有第一套槽(187)和第二套槽(188)，所述运载台(18)通过所述第一套槽(187)滑动套设于第一滑台(16)，所述运载台(18)通过所述第二套槽(188)滑动套设于所述第二滑台(17)。

2.根据权利要求1所述的双向运动装置，其特征在于，所述运载台(18)包括载板(181)、设于所述载板(181)并与所述载板(181)共同围合形成第一夹槽(1871)的第一夹板(182)、设于所述载板(181)并与所述载板(181)共同围合形成第二夹槽(1872)的第二夹板(183)；所述第一夹板(182)和所述第二夹板(183)沿着所述第一导轨(12)的延伸方向间隔布设，所述第一滑台(16)的一端滑设在所述第一夹槽(1871)内，所述第一滑台(16)的另一端滑设在第二夹槽(1872)内，所述第一夹槽(1871)的内壁和所述第二夹槽(1872)的内壁共同围合形成所述第一套槽(187)。

3.根据权利要求2所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一夹板(182)和/或所述第二夹板(183)至少有两个，多个所述第一夹板(182)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设和/或多个所述第二夹板(183)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设，所述载板(181)与相邻的两个所述第一夹板(182)和/或载板(181)与相邻的两个所述第二夹板(183)共同围合形成所述第二套槽(188)。

4.根据权利要求3所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一滑台(16)设有第三导轨(19)，所述第二滑台(17)设有第四导轨(20)，所述第一套槽(187)的内壁设有第一导块(185)，所述第二套槽(188)的内壁设有第二导块(186)，所述第一导块(185)滑设于第三导轨(19)，所述第二导块(186)滑设于所述第四导轨(20)。

5.根据权利要求4所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一夹板(182)和所述第二夹板(183)均呈L形，所述第一夹板(182)的一端和所述第二夹板(183)的一端均与所述载板(181)连接，所述第一夹板(182)的另一端和所述第二夹板(183)的另一端均沿着所述第一导轨(12)的延伸方向延伸且相互靠近。

6.根据权利要求4所述的双向运动装置，其特征在于，相邻的两个所述第一夹板(182)和/或相邻的两个所述第二夹板(183)之间设有安装板(184)，所述第一导块(185)设于所述安装板(184)，所述第一夹板(182)和/或所述第二夹板(183)设有所述第二导块(186)。

7.根据权利要求1至6任一项所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一滑台(16)设有与所述第一驱动器(14)的输出端传动连接的第一连接板(21)；所述第二滑台(17)设有与所述第二驱动器(15)的输出端传动连接的第二连接板(22)；所述第一驱动器(14)、所述第二驱动器(15)均为U型无铁芯电机。

8.根据权利要求1至6任一项所述的双向运动装置，其特征在于，所述基座(11)包括支撑块(111)、设于所述支撑块(111)的凸台(112)；所述第一驱动器(14)、所述第二驱动器(15)均有两个，两个所述第一驱动器(14)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设于所述支撑块(111)，两个所述第二驱动器(15)沿着所述第一导轨(12)的延伸方向间隔布设于所述支撑块(111)，所述第一导轨(12)和所述第二导轨(13)均安装于所述凸台(112)，所述凸台(112)位于各所述第一驱动器(14)和各所述第二驱动器(15)围合形成的区域内。

9.根据权利要求8所述的双向运动装置，其特征在于，所述基座(11)还包括垫板；所述垫板设于所述凸台(112)，所述第一导轨(12)设于所述垫板并位于所述第二导轨(13)的上方。

10.根据权利要求9所述的双向运动装置，其特征在于，还包括运动补偿单元；所述运动补偿单元安装于所述基座(11)。