CN220834761U - 一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统，该装置包括容器、隔板、捕集组件、过滤组件、进气管及出气管，设有通气孔的隔板位于容器内以将其内部空间自下而上分隔为捕集区及过滤区，捕集组件位于捕集区内以对气体悬浮物进行捕集，过滤组件位于过滤区内以对气体悬浮物进行过滤，进气管设于容器的侧壁或顶部与捕集区连通以通入含悬浮物气体，出气管设置于容器的顶部与过滤区连通以排出依次经过捕集区捕集及过滤区过滤后的气体，该系统包括至少一上述装置。该装置具有良好工作效率及过滤效果的同时提高过滤装置寿命，该系统可实现不同设备携带悬浮物排气时的过滤，对某些工业设备排出的含悬浮物较多气体捕集过滤，提高工作效率。

Description

一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统

技术领域

本实用新型属于工业制造设备技术领域，尤其适用于半导体设备领域，涉及一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统。

背景技术

众所周知，在半导体生产过程中会使用到各式各样的半导体生产设备，在一些半导体设备(如金属有机化合物化学气相沉积设备)的工作过程中，半导体设备的反应腔所排放的气体都含带有悬浮物(包括液态或固态颗粒物)，部分工艺所产生的排放气体中所携带的颗粒物的数量较为可观且部分颗粒物的粒径较大，若悬浮颗粒物如果直接进入设备配套真空抽气设备中通常会对真空抽气设备造成不可逆损伤，尤其对目前配备较多的干式螺杆泵的影响尤为明显，因此，需在反应腔排放气体进入真空抽气设备前对气体中含有的悬浮物进行预处理(如过滤处理)。但是，若直接采用滤芯对气体进行过滤处理一方面容易造成滤芯的不可逆损坏而增大生产成本，另一方面滤芯在过滤过程中频繁发生堵塞或损坏时需要对滤芯进行清理或替换，对生产效率影响较大。

因此，如何提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统，以实现含悬浮物气体中悬浮物颗粒的捕集及过滤，保证工作效率的同时还能够延长滤芯使用寿命及更好保障真空抽气设备的使用寿命，降低生产成本，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统，根据设备的具体需求进行优化搭配选择，用于解决现有技术中采用滤芯对含悬浮物气体进行过滤时特性寿命较短从而影响生产效率和增大生产成本的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，同时蒱集与滤芯过滤结构具有多种组合搭配选择，包括：

容器；

隔板，位于所述容器内以将所述容器的内部空间分隔为捕集区及位于所述捕集区上方的过滤区，所述隔板设有通气孔以使所述捕集区与所述过滤区连通；

捕集组件，位于所述捕集区内以对进入所述捕集区的气体中的悬浮物进行捕集；

过滤组件，位于所述过滤区内以对由所述捕集区进入所述过滤区的气体中的悬浮物进行过滤；

进气管，设置于所述容器的侧壁或所述容器的顶部并与所述捕集区连通以向所述捕集区通入含悬浮物气体；

出气管，设置于所述容器的顶部并与所述过滤区连通以排出依次经过所述捕集区捕集及所述过滤区过滤后的气体。

可选地，当所述进气管位于所述容器的顶部时，所述装置还包括气体导入管，所述气体导入管贯穿所述隔板以由所述过滤区延伸至所述捕集区中，所述气体导入管的一端与所述进气管连通，所述气体导入管的另一端位于所述捕集区中以使所述进气管与所述捕集区连通。

可选地，所述过滤组件包括至少一滤芯，所述滤芯包括中空结构，所述滤芯设置于所述隔板上方。

可选地，当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯嵌套设置。

可选地，当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯分立设置。

可选地，所述装置还包括导气盖板，所述导气盖板通过固定件安装于所述隔板上且所述导气盖板位于所述过滤组件上方，所述导气盖板中设置有至少一导气孔，所述导气孔与所述滤芯内部相连通。

可选地，所述滤芯包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种。

可选地，所述粗滤滤芯的过滤精度大于10μm且小于或等于100μm，所述精滤滤芯的过滤精度小于或等于10μm。

可选地，所述滤芯的内表面及外表面均设有加固件，所述加固件包括金属窄条及网框中的至少一种。

可选地，所述捕集组件包括至少一捕集件，所述捕集件包括多个间隔设置的屏蔽板，所述屏蔽板相对于水平面之间具有预设倾斜角度。

可选地，所述装置还包括气体导向组件，所述气体导向组件位于所述捕集区内且一端与所述容器的内侧壁处相接，所述气体导向组件位于所述捕集组件的下方以使进入所述捕集区的气体穿过所述捕集组件向所述过滤区扩散，所述气体导向组件包括V型。

可选地，所述装置还包括冷却装置，所述冷却装置环绕所述容器外壁设置以对进入所述容器内的气体进行降温处理。

可选地，所述装置还包括悬浮物排放口，所述悬浮物排放口位于所述容器的底部并与所述捕集区连通以对被所述捕集区捕集的悬浮物进行收集。

可选地，所述容器呈敞口结构，所述装置还包括容器盖板，所述容器盖板位于所述容器的上方以与所述容器构成密闭空间，所述容器盖板设有气体排放孔，所述气体排放孔与所述出气管连通。

本实用新型还提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统，所述系统包括至少一如上所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置。

如上所述，本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置包括容器，容器由含通气孔的隔板分给为捕集区及过滤区，捕集区中设有捕集组件且过滤区中设有过滤组件，在含悬浮物气体通过进气管进入容器内部时先通过捕集组件对气体中的悬浮物颗粒进行预捕集再通过过滤组件对气体中的悬浮物颗粒进行精细过滤，能够在保证良好工作效率及过滤效果的同时，显著提高过滤装置内过滤滤芯的寿命及过滤装置的整体使用寿命。此外，过滤组件可由一个滤芯及多个滤芯构成，多个滤芯可基于实际需要进行嵌套设置或分立设置，能够满足不同的需求选择；进气管除了设置于容器侧壁之外还可以设置于容器顶部，便于连接及拆装，提高使用便捷性和面积利用率。本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统可供各种不同需求的设备尤其半导体设备对排出的含悬浮物气体的过滤需求选择，能够实现对某些工业设备排出的含悬浮物较多气体的捕集过滤，提高工作效率及控制生产成本，具有较强的市场竞争力。

附图说明

图1显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置于实施例一中的纵向剖面结构示意图。

图2显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置中多个滤芯嵌套设置时的横向剖面结构示意图。

图3显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置中捕集件的纵向剖面结构示意图。

图4显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置于实施例二中的纵向剖面结构示意图。

图5显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置中设有气体导入管及一个滤芯时的横向剖面结构示意图。

图6显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置中设有三个分立设置的滤芯时的横向剖面结构示意图。

图7显示为本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置中设有四个分立设置的滤芯时的横向剖面结构示意图。

元件标号说明

1 容器

2 隔板

3 捕集区

4 过滤区

5 捕集组件

501 屏蔽板

51 第一捕集件

52 第二捕集件

6 过滤组件

61 滤芯

7 进气管

8 出气管

91 气体导向组件

911 开口

92 垂直屏蔽筒

10 容器盖板

101 气体排放孔

11 悬浮物排放口

12 冷却装置

13 气体导入管

14 导气盖板

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一

本实施例提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，请参阅图1，显示为该装置的纵向剖面结构示意图，该装置包括容器1、隔板2、捕集组件5、过滤组件6(图1中未标识，请结合参阅图2)、进气管7及出气管8。

具体的，所述隔板2位于所述容器1内以将所述容器1的内部空间分隔为捕集区3及位于所述捕集区3上方的过滤区4，所述隔板2设有通气孔(图1中未标识)以使所述捕集区3与所述过滤区4连通；所述捕集组件5位于所述捕集区3内以对进入所述捕集区3的气体中的悬浮物进行捕集；所述过滤组件6位于所述过滤区4内以对由所述捕集区3进入所述过滤区4的气体中的悬浮物进行过滤；所述进气管7设置于所述容器1的侧壁或所述容器1的顶部并与所述捕集区3连通以向所述捕集区3通入含悬浮物气体；所述出气管8设置于所述容器1的顶部并与所述过滤区4连通以排出依次经过所述捕集区3捕集及所述过滤区4过滤后的气体。

具体的，本实施例中所述进气管7设置于所述容器1的侧壁，进一步地，位于所述容器1侧壁对应于所述捕集区3的位置以与所述捕集区3直接连通，而在其他实施例中所述进气管7还可设置于所述容器1的顶部。需要说明的是，由于所述隔板2除了起到将容器1内部空间分隔为捕集区3及过滤区4的作用外，其上设置的通气孔还必须保证所述捕集区3与所述过滤区4之间的良好连通效果，通气孔的数量及位置设置需要满足过滤组件6过滤时各气流方向的需求及设备流导要求，避免影响工作效率及过滤效果。

作为示例，所述容器1呈敞口结构，所述装置还包括容器盖板10，所述容器盖板10位于所述容器1的上方以与所述容器1构成密闭空间，所述容器盖板10设有气体排放孔101，所述气体排放孔101与所述出气管8连通以使经过所述捕集区3及所述过滤区4的气体经由所述出气管8离开所述容器1内部区域。所述容器1的敞口结构可以保证所述装置的结构稳定性，也易于实现该捕集过滤装置内部零部件的维修保养和替换作业。

作为示例，所述隔板2包括法兰或其他合适的机械零部件。

作为示例，所述容器盖板10及所述隔板2采用轻质材料，在保证结构稳定性的前提下易于拆卸安装，如铝材等合适材料。

作为示例，所述过滤组件6包括至少一滤芯61，所述滤芯61包括中空结构，所述滤芯61设置于所述隔板2上方。需要说明的是，所述滤芯61包括中空结构指的是所述滤芯61具有一垂向贯穿的滤芯通孔(图1中未显示)，所述滤芯通孔的存在使得所述滤芯61呈类似壳体结构，气体既能在水平方向上穿过所述滤芯61实现过滤效果，气体还能沿着滤芯61内部的滤芯通孔向上扩散。

作为示例，所述滤芯61包括顶部密封圈(图1中未标识)及底部密封圈(图1中未标识)，所述底部密封圈设置于所述滤芯61的底部与所述隔板2之间，用于避免进入所述过滤区4的气体未经所述滤芯61过滤就从所述滤芯61与所述隔板2之间的缝隙处离开所述过滤组件6内部影响所述过滤装置的工作效率，所述顶部密封圈设置于所述滤芯61的顶部与所述容器盖板10之间，用于避免进入所述滤芯61内部的气体沿着所述滤芯61的间隙离开所述过滤组件6所在区域而未能实现较好的过滤效果。

作为示例，请参阅图2，当所述滤芯61为多个时，多个所述滤芯嵌套设置，此时所述滤芯61的顶部密封圈与所述容器盖板10密封连接，从而保障了所述容器1的过滤区域气体所含的剩余悬浮物被滤芯61过滤收集后再排出，以达清洁处理的最终要求，多个所述滤芯61嵌套设置构成的过滤组件6整体结构稳定可靠，尤其对大尺寸滤芯更有利。需要说明的是，图2中仅以设置两个滤芯为例对所述滤芯组件的结构进行说明(即第一滤芯601及嵌套于所述第一滤芯601外围的第二滤芯602)，实际应用时，所述滤芯组件6中所包含的滤芯个数还可大于两个，基于实际需要进行选择。此外，为了能够构成嵌套结构的过滤组件6，各个滤芯的外径及内径尺寸需要严格设计，以图2中所示过滤组件结构为例，所述第一滤芯601的外径R需要小于或等于所述第二滤芯的内径r，优选为所述第一滤芯的外径R小于所述第二滤芯的内径r(即当第一滤芯601设置于所述第二滤芯602内时，第一滤芯601的外侧壁与第二滤芯602的内侧壁之间具有间隙d)，从而保持较好的气体流通效果。

作为示例，所述滤芯61包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种，以图2中所示过滤组件6的结构为例，所述第一滤芯601为精滤滤芯，所述第二滤芯602为粗滤滤芯，而在所述滤芯的数量大于2个时，位于最内侧的滤芯为精滤滤芯，位于最外侧的滤芯为粗滤滤芯，而位于中间的滤芯可以基于实际需要设置为精滤滤芯或粗滤滤芯，能够实现对气体不同粒径悬浮物颗粒的多级过滤，达到较好的过滤效果的同时降低成本。

作为示例，所述粗滤滤芯的过滤精度大于10μm且小于或等于100μm，所述精滤滤芯的过滤精度小于或等于10μm，过滤精度指的是能够收集的悬浮物的粒径单位。进一步地，所述精滤滤芯包括玻璃纤维滤芯，玻璃纤维具有透气量大、集尘率高等优点。在设置多个嵌套设置的滤芯时，各滤芯的过滤精度可以从外到内依次递减从而实现较好多级过滤效果。

作为示例，所述滤芯61的内表面及外表面均设有加固件(图1中未显示)，所述加固件包括金属窄条(细金属条)及网框中的至少一种。如前所述，所述滤芯61由于具有滤芯通孔而呈中空结构，使得滤芯61具有内表面(即所述滤芯通孔的孔壁)及外表面，由于进入所述容器1内的气体流速较大，即使在经过所述捕集区3与所述捕集组件5发生碰撞后气体流动速度有所降低，但是仍然具有一定的流速，穿过滤芯61内表面到达滤芯61外部或由滤芯61外表面到达滤芯61内的过程中会对滤芯61施加一定的冲击力，所述加固件的设置能够降低气体过滤过程中对滤芯61结构造成的冲击，从而延长滤芯61的使用寿命和结构稳定性，保证过滤效果。

作为示例，所述装置还包括气体导向组件91，所述气体导向组件91位于所述捕集区3内且与所述容器1的内侧壁连接，所述气体导向组件91位于所述捕集组件5的下方以使进入所述捕集区3的气体穿过所述捕集组件5向所述过滤区4扩散，所述气体导向组件9包括V型。所述气体导向组件91一方面能够对进入所述捕集区3的气体进行导向避免气体在所述捕集组件5的下方空间逗留以提高工作效率，另一方面还能够对进入所述捕集区3中的气体中的悬浮物起到预捕集效果，由于进入所述捕集区3内的气体的流动方向并不是定向的，气体在流动过程中若与气体导向组件91发生碰撞则其中所包含的部分悬浮物颗粒会在碰撞中掉落至容器1底部从而被捕集。当然，在不需考虑工作效率的情况下，在其他实施例中也可不设置所述气体导向组件91。

作为示例，所述气体导向组件91设有一开口911，所述开口911位于所述气体导向组件9的中间区域以使进入所述捕集区3的气体经由所述开口911向上均匀扩散至所述捕集组件5所在区域。

作为示例，所述装置还包括垂直屏蔽筒92，所述垂直屏蔽筒92与所述气体导向组件91在垂向上间隔设置，所述垂直屏蔽筒92呈上下开口筒型且所述垂直屏蔽筒92的底部的至少一部分与所述容器1的内侧壁连接以使所述垂直屏蔽筒92固定于所述捕集区3内，也就是，所述气体导向组件91与所述垂直屏蔽筒92之间存在空隙以使由设置于所述容器1侧壁上的所述进气管7通入的气体能够依次经由空隙及气体导向组件91上的开口911到达所述捕集组件5所在区域，从而实现气体的导向作用。需要注意的是，在设有垂直屏蔽筒92的情况下，所述进气管7与所述容器1侧壁连通的一端不低于所述垂直屏蔽筒92的顶部，否则会对气体的流动造成阻碍而影响该装置的工作效率。所述垂直屏蔽筒92的设置能够进一步提升工作效率。

作为示例，所述捕集组件5包括至少一捕集件，所述捕集件包括多个间隔设置的屏蔽板501(请参阅图3)，所述屏蔽板501相对于水平面之间具有预设倾斜角度。所述捕集件的数量可以根据实际需要设置为两组或两组以上，当所述捕集件的数量大于一组时，多个所述捕集件优选为在垂向上间隔设(如图1中所示的第一捕集件51及第二捕集件52)。一方面，倾斜设置的所述屏蔽板501能够使得通过所述气体导向组件9导向到达所述捕集组件5所在区域的气体与所述屏蔽板501发生碰撞，气体中含有的悬浮物颗粒会在气体与所述屏蔽板501发生一次及多次碰撞后掉落至所述容器1的底部，另一方面，相邻两所述屏蔽板501之间的间隙处能够使得经过部分悬浮物颗粒被捕集后的气体顺利经过并通过所述隔板2上的通气孔到达所述过滤区4进行过滤处理，因此，所述捕集组件5中所述捕集件的数量、每组所述捕集件中所述屏蔽板501的数量、相邻两所述屏蔽板501之间的间距、所述屏蔽板501的倾斜角度大小及屏蔽板501的排列分布(如平行分布，V形分布或人字型分布等)均需要严格设置以在完成悬浮物颗粒捕集的同时能够使得气体能够顺利进入所述过滤区4，且不会对气体的流速造成较大损耗以影响该装置的工作效率。

作为示例，所述捕集组件5的材料包括不锈钢，易于清洗且可反复利用，在气体碰撞过程中不易发生变形现象，能够实现持续使用。

作为示例，所述装置还包括悬浮物排放口11，所述悬浮物排放口11位于所述容器1的底部并与所述捕集区3连通以对被所述捕集区3捕集的悬浮物进行收集。需要注意的是，所述悬浮物排放口11在所述装置的作业过程中处于关闭状态从而避免进入所述捕集区3的气体经过所述悬浮物排放口11流出所述容器1，待所述装置停止工作时打开所述悬浮物排放口11以收集被所述捕集区3所捕集的悬浮物颗粒，实现对悬浮物颗粒的便捷收集。

作为示例，所述进气管7与含悬浮物气体产生装置相连通以将含悬浮物气体导入所述容器1内部进行悬浮物颗粒的捕集及过滤。

作为示例，所述含悬浮物气体产生装置包括半导体生产设备及其他工业设备，所述半导体生产设备包括金属有机化合物化学气相沉积设备。

作为示例，所述出气管8与真空抽气装置相连通以使完成悬浮物捕集及过滤后的气体排出所述容器1，所述真空抽气装置的设置能够提高气体的流动速度以提高该装置的工作效率，所述真空抽气装置的功率基于实际需要进行合理设置。

作为示例，所述装置还包括冷却装置12(图1中未显示，请结合参阅图4)，所述冷却装置12环绕所述容器1外壁设置以对进入所述容器1内的气体进行降温处理。所述冷却装置12对气体的降温冷却效果一方面能够提高悬浮物颗粒的收集效果，另一方面还能够保证所述容器1内部各结构件在对气体悬浮物收集过程中的受损情况(当进入容器1中的气体始终保持较高温度，零件容易发生老化从而造成结构受损)，提高各结构件的使用寿命和装置的维修成本。本实施例中所述冷却装置12包括设置于容器1外侧壁及容器1外底壁的冷却管道，冷却管道中可通入水等能够实现降温效果的液体，而在其他实施例中，所述冷却装置12还可以为其他合适的冷却结构，能够实现对所述容器1内部的气体起到降温效果即可。当然，在对非高温的含悬浮物气体进行悬浮物捕集过滤时，所述装置也可不设置所述冷却装置12，降低成本。

具体的，本实施例的装置主要包括容器1、隔板2、捕集组件5、过滤组件6、进气管7及出气管8，其工作过程如下：

(1)进入阶段：将所述进气管7与含悬浮物气体的产生装置的气体排放口相连，使得含悬浮物气体通过所述进气管7进入所述容器1中的所述捕集区3，含悬浮物气体中包含大颗粒悬浮物和细小悬浮物；(2)预捕集及导向阶段：含悬浮物气体进入所述捕集区3后，气体中的一些大颗粒悬浮物在惯性力作用下与所述垂直屏蔽筒92的外侧壁发生碰撞使得气体中较大的悬浮物颗粒因碰撞使运行方向改变而脱离气体流动方向并因自身重力作用直接通过所述容器1的内侧壁与所述垂直屏蔽筒92的外侧壁之间的间隙落入所述容器1底部，同时气体经由气体导向组件91及垂直屏蔽筒92之间的间隙到达气体导向组件91的下方，进而完成气体的悬浮物颗粒的导向及预捕集过程。在预捕集过程中，仅有较少一部分悬浮物颗粒由于所述垂直屏蔽筒92的阻挡作用被捕集，其余悬浮物颗粒仍随气体继续运动；(3)捕集阶段：完成预捕集的气体到达气体导向组件91的下方后经由所述气体导向组件91上的开口911进入捕集组件5所在区域用过所述屏蔽板501之间的间隙向上流动，悬浮物颗粒随气体在向上运行时会与所述屏蔽板501发生多次碰撞而改变方向，部分颗粒沿所述屏蔽板501之间的间隙向下沉落并落入容器1底部，剩余的细小颗粒仍随着气体经由相邻屏蔽板501之间的间隙向上扩散并经由所述隔板2上设置的通气孔均匀快速地进入所述过滤区4；(4)过滤阶段：进入所述过滤区4的气体在滤芯61组件的内外流动并在流动过程中使得其所包含的细小悬浮物颗粒被滤芯61收集，经滤芯61过滤后的气体继续朝向流动并到达所述容器盖板10上的气体排放孔处；(5)排出阶段：到达所述气体排放孔处的气体经由所述出气管8排出所述容器1。

具体的，所述进气管7、所述垂直屏蔽筒92及所述气体导向组件91之间的间隙、所述气体导向组件91中的开口911、相邻屏蔽板501之间的间隙、所述隔板2上的通气孔、所述滤芯61中内部空隙、所述容器盖板10上的气体排放孔101及所述出气管8依次连通构成含悬浮物气体的流动通道，含悬浮物气体所含有的较大悬浮物颗粒在流动过程中先被所述捕集区3的捕集组件5所捕集，而后较小颗粒被所述过滤区4的过滤组件6所过滤，从而实现悬浮物的捕集过滤效果。需要注意的是，本实施例中的所述供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置的结构设置需要满足其内部气流通道的气流流导大于所述进气管7和所述出气管8的气体流导，即含悬浮物气体经所述进气管7进入所述捕集区3后，经过所述捕集组件5对悬浮物颗粒的收集以及所述过滤组件6对细小悬浮物的精细过滤后能够从所述出气管8排出所述容器1，在此过程中不会产生因局部结构件的设计而导致的因气体流导不足丧失流动能力而停滞在所述容器1内部的状况。

需要说明的是，上述各结构之间的位置关系及数量等并不限定于实施例中所介绍的完全相同，实际应用时位于捕集区内的各结构件以及位于过滤区的各结构件的各参数可基于实际需要进行优化调整，以能够达到理想的气体过滤效果。

本实施例的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，包括容器，容器由含通气孔的隔板分给为捕集区及过滤区，捕集区中设有捕集组件且过滤区中设有过滤组件，在含悬浮物气体通过进气管进入容器内部时先通过捕集组件对气体中的悬浮物颗粒进行预捕集再通过过滤组件对气体中的悬浮物颗粒进行精细过滤，能够在保证良好工作效率及过滤效果的同时，显著提高过滤装置内过滤滤芯的使用寿命及过滤装置的整体使用寿命。

实施例二

本实施例提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中的进气管位于容器的顶部而实施例一中的进气管位于容器的侧壁，且本实施例的装置还增设气体导入管以使进气管与捕集区相连通。请参阅图4，显示为该装置的纵向剖面结构示意图，该装置包括容器1、隔板2、捕集组件5、过滤组件6、进气管7及出气管8。

具体的，所述隔板2位于所述容器1内以将所述容器1的内部空间分隔为捕集区3及位于所述捕集区3上方的过滤区4，所述隔板2设有通气孔以使所述捕集区3与所述过滤区4连通；所述捕集组件5位于所述捕集区3内以对进入所述捕集区3的气体中的悬浮物进行捕集；所述过滤组件6位于所述过滤区4内以对由所述捕集区3进入所述过滤区4的气体中的悬浮物进行过滤；所述进气管7设置于所述容器1的侧壁或所述容器1的顶部并与所述捕集区3连通以向所述捕集区3通入含悬浮物气体；所述出气管8设置于所述容器1的顶部并与所述过滤区4连通以排出依次经过所述捕集区3捕集及所述过滤区4过滤后的气体。本实施例中所述进气管7设置于所述容器1的顶部，进一步地位于所述容器1顶部靠近边缘的位置，而在其他实施例中所述进气管7还可设置于所述容器1的侧壁以与所述捕集区3直接连通。

作为示例，当所述进气管7位于所述容器1的顶部时，所述装置还包括气体导入管13，所述气体导入管13贯穿所述隔板2以由所述过滤区4延伸至所述捕集区3中，所述气体导入管13的一端与所述进气管7连通，所述气体导入管13的另一端位于所述捕集区3中以使所述进气管7与所述捕集区3连通。优选地，请参阅图5，显示为设有气体导入管及一个滤芯时的过滤区横向剖面结构示意图，所述气体导入管13位于所述过滤区4的一侧以避免对进入所述过滤区4的气体的流动造成不利影响。

本实施例的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，在实施例一结构基础上将进气管的位置有容器侧壁更换为容器顶部，便于实现进气管的连接与拆装，增加操作便捷性，并且能够提高面积利用率，减少过滤装置的占用面积。

实施例三

本实施例提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，本实施例与实施例及实施例二的区别在于实施例一及实施例二中的多个滤芯嵌套设置而本实施例中的多个滤芯分立设置，且本实施例的装置还增设导气盖板以使过滤后的气体到达出气管，请参阅图1或图4，显示为该装置的纵向剖面结构示意图，该装置包括容器1、隔板2、捕集组件5、过滤组件6、进气管7及出气管8。

具体的，所述隔板2位于所述容器1内以将所述容器1的内部空间分隔为捕集区3及位于所述捕集区3上方的过滤区4，所述隔板2设有通气孔以使所述捕集区3与所述过滤区4连通；所述捕集组件5位于所述捕集区3内以对进入所述捕集区3的气体中的悬浮物进行捕集；所述过滤组件6位于所述过滤区4内以对由所述捕集区3进入所述过滤区4的气体中的悬浮物进行过滤；所述进气管7设置于所述容器1的侧壁或所述容器1的顶部并与所述捕集区3连通以向所述捕集区3通入含悬浮物气体；所述出气管8设置于所述容器1的顶部并与所述过滤区4连通以排出依次经过所述捕集区3捕集及所述过滤区4过滤后的气体。

作为示例，当所述滤芯61为多个时，多个所述滤芯61分立设置，请参阅图6，显示为设有三个分立设置的滤芯时的横向剖面结构示意图，“分立设置”指的是多个滤芯之间彼此独立设置彼此之间不存在位置关系的限定，需要说明的是，所述滤芯的数量并不限于图5中所示的3个，还可以为2个或3个以上(例如，请参阅图7，所述滤芯的数量为4个)。

作为示例，所述滤芯61包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种，本实施例中由于多个滤芯61分立设置，多个所述滤芯61均为粗滤滤芯或者均为精滤滤芯，优选为精滤滤芯，能够保证较好的过滤效果。

作为示例，当多个所述滤芯61分立设置时，所述装置还包括导气盖板14，所述导气盖板14通过固定件(如螺杆)安装于所述隔板2上且所述导气盖板14位于所述过滤组件6上方，所述导气盖板14中设置有至少一导气孔，所述导气孔与所述滤芯61内部相连通。也就是当多个所述滤芯61分立设置时，相邻的所述滤芯61之间存在空隙，若不设置所述导气盖板14，则进入所述过滤区4的部分气体会在没有经过滤芯61过滤下经由相邻滤芯之间的间隙处直接流向所述出气管8；而在设有所述导气盖板14的情况下，所述滤芯61的顶部密封圈位于所述滤芯61的顶部及所述导气盖板14之间，气体必须经过滤芯61过滤后才能够经由滤芯61内部的滤芯通孔到达所述出气管，从而保障了进入过滤区4的气体所含的剩余悬浮物被滤芯61全部过滤收集后排出，以达清洁处理的最终要求。所述导气孔的数量优选为小于所述滤芯61的数量，可以使得气体经过多个滤芯61过滤后才流出所述过滤区4，从而实现较好的过滤效果。

本实施例的装置，在实施例一及实施例二基础上将多个滤芯由嵌套设置更换为分立设置，能够满足不同使用需求。

实施例四

本实施例提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统，所述系统包括至少一如实施例一至实施例三任一实施例中所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置。

作为示例，所述系统包括多个所述供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，即将多个所述悬浮物捕集过滤系统组合以应用于工业设备的含悬浮物气体过滤，具体组合方式可以为：将若干个过滤装置排列分布，将所有过滤悬浮物捕集装置的进气管通过连接管道或其他管状连接零部件引出至同一气体进入管道中，该气体进入管道与工业设备(包括多个)的气体排放口(含悬浮物气体的源头)连通；将所述供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置的气体出口按照上述方式引出至同一气体排放管道中，该气体管道与真空抽气装置连通，通过上述分立连接形成用于所述悬浮物捕集过滤系统。该所述悬浮物捕集过滤系统可应用于大型工业设备排出的含悬浮物气体的捕集过滤，提高工作效率。

本实施例的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统，可供各种不同需求的设备尤其半导体设备对排出的含悬浮物气体的过滤需求选择，能够实现对某些工业设备排出的含悬浮物较多气体的捕集过滤，提高工作效率及控制生产成本，具有较强的市场竞争力。

综上所述，本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置包括容器，容器由含通气孔的隔板分给为捕集区及过滤区，捕集区中设有捕集组件且过滤区中设有过滤组件，在含悬浮物气体通过进气管进入容器内部时先通过捕集组件对气体中的悬浮物颗粒进行预捕集再通过过滤组件对气体中的悬浮物颗粒进行精细过滤，能够在保证良好工作效率及过滤效果的同时，显著提高过滤装置内过滤滤芯的寿命及过滤装置的整体使用寿命。此外，过滤组件可由一个滤芯及多个滤芯构成，多个滤芯可基于实际需要进行嵌套设置或分立设置，能够满足不同的需求选择；进气管除了设置于容器侧壁之外还可以设置于容器顶部，便于连接及拆装，提高使用便捷性和面积利用率。本实用新型的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统能够实现对大型工业设备排出的含悬浮物气体的捕集过滤，提高工作效率及控制生产成本，具有较强的市场竞争力。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (15)

1.一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于，包括：

容器；

隔板，位于所述容器内以将所述容器的内部空间分隔为捕集区及位于所述捕集区上方的过滤区，所述隔板设有通气孔以使所述捕集区与所述过滤区连通；

捕集组件，位于所述捕集区内以对进入所述捕集区的气体中的悬浮物进行捕集；

过滤组件，位于所述过滤区内以对由所述捕集区进入所述过滤区的气体中的悬浮物进行过滤；

进气管，设置于所述容器的侧壁或所述容器的顶部并与所述捕集区连通以向所述捕集区通入含悬浮物气体；

出气管，设置于所述容器的顶部并与所述过滤区连通以排出依次经过所述捕集区捕集及所述过滤区过滤后的气体。

2.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述进气管位于所述容器的顶部时，所述装置还包括气体导入管，所述气体导入管贯穿所述隔板以由所述过滤区延伸至所述捕集区中，所述气体导入管的一端与所述进气管连通，所述气体导入管的另一端位于所述捕集区中以使所述进气管与所述捕集区连通。

3.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述过滤组件包括至少一滤芯，所述滤芯包括中空结构，所述滤芯设置于所述隔板上方。

4.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯嵌套设置。

5.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯分立设置。

6.根据权利要求5所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括导气盖板，所述导气盖板通过固定件安装于所述隔板上且所述导气盖板位于所述过滤组件上方，所述导气盖板中设置有至少一导气孔，所述导气孔与所述滤芯内部相连通。

7.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述滤芯包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种。

8.根据权利要求7所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述粗滤滤芯的过滤精度大于10μm且小于或等于100μm，所述精滤滤芯的过滤精度小于或等于10μm。

9.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述滤芯的内表面及外表面均设有加固件，所述加固件包括金属窄条及网框中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述捕集组件包括至少一捕集件，所述捕集件包括多个间隔设置的屏蔽板，所述屏蔽板相对于水平面之间具有预设倾斜角度。

11.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括气体导向组件，所述气体导向组件位于所述捕集区内且一端与所述容器的内侧壁处相接，所述气体导向组件位于所述捕集组件的下方以使进入所述捕集区的气体穿过所述捕集组件向所述过滤区扩散，所述气体导向组件包括V型。

12.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括冷却装置，所述冷却装置环绕所述容器外壁设置以对进入所述容器内的气体进行降温处理。

13.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括悬浮物排放口，所述悬浮物排放口位于所述容器的底部并与所述捕集区连通以对被所述捕集区捕集的悬浮物进行收集。

14.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述容器呈敞口结构，所述装置还包括容器盖板，所述容器盖板位于所述容器的上方以与所述容器构成密闭空间，所述容器盖板设有气体排放孔，所述气体排放孔与所述出气管连通。

15.一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统，其特征在于：所述系统包括至少一如权利要求1-14任一项所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置。