CN218249171U - 一种用于mocvd设备的过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于MOCVD设备的过滤装置，包括滤筒、隔板、气体入口、屏蔽结构、滤芯以及气体出口，隔板位于滤筒内将滤筒的内部空间分为滤芯过滤区及位于滤芯过滤区下方的粉尘颗粒捕集区，隔板的中间区域开设有通气孔以使来自粉尘颗粒捕集区的气体通过通气孔进入滤芯过滤区；气体入口位于滤筒的侧壁以向粉尘颗粒捕集区输入含粉尘的气体；屏蔽结构位于粉尘颗粒捕集区；滤芯位于滤芯过滤区；气体出口位于滤筒顶部。本实用新型的过滤装置先通过屏蔽结构对气体中的粉尘颗粒进行捕集再通过滤芯对气体中的细小粉尘进行精细过滤，通过改善滤芯的过滤环境以提高滤芯的过滤效率及使用寿命，在降低生产成本的同时有效减少废弃滤芯对环境的污染。

Description

一种用于MOCVD设备的过滤装置

技术领域

本实用新型属于集成电路生产设备领域，涉及一种用于MOCVD设备的过滤装置。

背景技术

众所周知，金属有机化合物化学气相沉积(Metal-organic Chemical VaporDeposition，MOCVD)设备在反应腔室内高温真空状态进行气相外延，在外延制程过程中会产生大量细小的颗粒，这种颗粒大都属于易燃、易爆、高温、高腐蚀性的固体颗粒。反应腔工作时排放的气体都含带有这些反应气体的副产物，而这些粉尘颗粒物会严重损伤真空抽气设备，故排放气体进入真空抽气设备前必须对气体中含有的粉尘颗粒物进行预处理。

目前常用的处理方法多数是利用滤芯过滤器对气体粉尘完全隔离后再进入真空设备，在现实使用此类过滤器过滤含粉尘颗粒的气体的过程中，经常发生因粉尘物的堵塞而影响气体的流导通畅，进而影响生产效率的生产状况。此外，由于滤芯过滤器中使用的滤芯为精细滤芯，在过滤含粉尘颗粒的气体时，粉尘中包含的大颗粒粉尘会对滤芯造成不可逆的结构损坏，导致滤芯的过滤效率持续下降并且快速缩减滤芯的使用寿命，需要经常替换滤芯过滤器中的滤芯以提高过滤效率，这大大增加了生产成本，并且更换下来的精细滤芯基本不能二次使用，大量废弃的滤芯还会对环境造成较大的污染。

因此，如何提供一种用于MOCVD设备的过滤装置，以实现提高过滤装置中滤芯的过滤效率且延长滤芯使用寿命，提高生产率的同时减少生产成本并减少对环境的污染，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于MOCVD设备的过滤装置，用于解决现有技术中粉尘中包含的大颗粒粉尘会对滤芯造成不可逆的结构损坏，导致滤芯的过滤效率持续下降并且快速缩减滤芯的使用寿命，需要经常替换滤芯过滤器中的滤芯以提高过滤效率，明显提高了生产成本，并且更换下来的精细滤芯基本不能二次使用，大量废弃的滤芯会对环境造成较大的污染等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于MOCVD设备的过滤装置，包括：

滤筒；

隔板，位于所述滤筒内，将所述滤筒的内部空间分为滤芯过滤区及位于所述滤芯过滤区下方的粉尘颗粒捕集区，所述隔板的中间区域开设有通气孔以使来自所述粉尘颗粒捕集区的气体通过所述通气孔进入所述滤芯过滤区；

气体入口，设置于所述滤筒的侧壁以向所述粉尘颗粒捕集区输入含粉尘的气体；

屏蔽结构，位于所述粉尘颗粒捕集区，所述屏蔽结构用以使所述气体入口输入的气体碰撞到所述屏蔽结构后进入所述滤芯过滤区；

滤芯，位于所述滤芯过滤区；

气体出口，设置于所述滤筒的顶部以排出经所述滤芯过滤后的气体。

可选地，所述屏蔽结构包括垂直屏蔽筒，所述垂直屏蔽筒与所述滤筒的底壁连接，所述垂直屏蔽筒的外侧壁与所述滤筒的内侧壁之间具有间隙，所述气体入口面向所述垂直屏蔽筒的外侧壁。

可选地，所述垂直屏蔽筒侧壁的靠下部分包括预设数量的粉尘通孔。

可选地，所述屏蔽结构还包括V型屏蔽筒，所述V型屏蔽筒与所述滤筒的内壁连接，所述V型屏蔽筒具有顶部开口及底部开口，所述V型屏蔽筒的顶部开口高于所述垂直屏蔽筒的顶部，所述V型屏蔽筒的底部开口伸入所述垂直屏蔽筒内，所述V型屏蔽筒的外侧壁与所述垂直屏蔽筒的顶部之间存在间隙以使气体进入所述垂直屏蔽筒内。

可选地，所述屏蔽结构还包括屏蔽板，所述屏蔽板固定于所述V型屏蔽筒上以使进入所述V型屏蔽筒内的气体与所述屏蔽板发生碰撞而使气体中的粉尘颗粒下落。

可选地，所述屏蔽板包括在水平方向上排列并间隔设置的多片屏蔽件，所述屏蔽件相对于水平面倾斜设置。

可选地，所述屏蔽板包括上屏蔽板及下屏蔽板，所述下屏蔽板固定于所述V型屏蔽筒上，所述上屏蔽板位于所述下屏蔽板的上方并固定于所述下屏蔽板或所述V型屏蔽筒。

可选地，所述滤芯呈筒状并具有顶部开口及底部开口，所述滤芯设置于所述隔板上；所述过滤装置还包括盖板，所述盖板遮盖所述滤芯的顶部开口以使从所述滤芯的底部开口进入所述滤芯内部的气体依次穿过所述滤芯的内侧壁与外侧壁后到达所述气体出口，其中，所述隔板与所述盖板之间通过连接件固定连接。

可选地，所述滤芯与所述隔板之间设有密封圈。

可选地，所述滤芯的外表面设有用以降低过滤过程中气流对滤芯表面冲击的加固件，所述加固件包括金属条或网框。

可选地，所述过滤装置还包括粉尘排放口，所述粉尘排放口设置于所述滤筒的底部用于排放经所述屏蔽结构收集的粉尘。

如上所述，本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置，包括滤筒、隔板、气体入口、屏蔽结构、滤芯以及气体出口，所述隔板位于所述滤筒内将所述滤筒的内部空间分为滤芯过滤区及位于所述滤芯过滤区下方的粉尘颗粒捕集区，所述隔板的中间区域开设有通气孔以使来自所述粉尘颗粒捕集区的气体通过所述通气孔进入所述滤芯过滤区；所述气体入口设置于所述滤筒的侧壁以向所述粉尘颗粒捕集区输入含粉尘的气体；所述屏蔽结构位于所述粉尘颗粒捕集区，所述屏蔽结构用以使所述气体入口输入的气体碰撞到所述屏蔽结构后进入所述滤芯过滤区；所述滤芯位于所述滤芯过滤区；所述气体出口设置于所述滤筒的顶部以排出经所述滤芯过滤后的气体。本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置先通过屏蔽结构对气体中的粉尘颗粒进行预捕集再通过滤芯进行气体的精细过滤，不仅改善了滤芯的过滤环境进而提高了滤芯的过滤效率及使用寿命，还在降低生产成本的同时有效减少了废弃滤芯对环境的污染。

附图说明

图1显示为本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置的剖面结构示意图。

图2显示为本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置中垂直屏蔽筒的结构示意图。

图3显示为本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置中屏蔽板的第一种俯视结构示意图。

图4显示为图3中屏蔽板沿Ⅰ方向的剖面结构示意图。

图5显示为第二种屏蔽板的剖面结构示意图。

图6显示为第三种屏蔽板的剖面结构示意图。

图7显示为第四种屏蔽板的剖面结构示意图。

元件标号说明

1 滤筒

2 隔板

3 气体入口

4 气体出口

5 滤芯过滤区

6 粉尘颗粒捕集区

7 滤芯

8 粉尘排放口

9 垂直屏蔽筒

10 粉尘通孔

11 定位螺钉

12 V型屏蔽筒

13 屏蔽板

1301 屏蔽件

131 上屏蔽板

132 下屏蔽板

14 盖板

15 固定螺杆

16 螺帽

Ⅰ 方向

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一

本实施例提供一种用于MOCVD设备的过滤装置，请参阅图1，显示为本实施例的过滤装置的剖视结构示意图，包括滤筒1、隔板2、气体入口3、屏蔽结构、滤芯7以及气体出口4，所述隔板2位于所述滤筒1内将所述滤筒1的内部空间分为滤芯过滤区5及位于所述滤芯过滤区5下方的粉尘颗粒捕集区6，所述隔板2的中间区域开设有通气孔以使来自所述粉尘颗粒捕集区6的气体通过所述通气孔进入所述滤芯过滤区5；所述气体入口3设置于所述滤筒1的侧壁以向所述粉尘颗粒捕集区6输入含粉尘的气体；所述屏蔽结构位于所述粉尘颗粒捕集区6，所述屏蔽结构用以使所述气体入口3输入的气体碰撞到所述屏蔽结构后进入所述滤芯过滤区5；所述滤芯7位于所述滤芯过滤区5。

作为示例，所述隔板2可通过焊接或其他合适的工艺方法实现与所述滤筒1内部的连接。

作为示例，所述屏蔽结构包括垂直屏蔽筒9，所述垂直屏蔽筒9与所述滤筒1的底壁连接且所述垂直屏蔽筒9的外侧壁与所述滤筒1的内侧壁之间具有间隙，所述气体入口3面向所述垂直屏蔽筒9的外侧壁。

作为示例，请参阅图2，显示为本实施例中所述垂直屏蔽筒9的结构示意图，所述垂直屏蔽筒9侧壁的靠下部分包括预设数量的粉尘通孔10。所述粉尘通孔10的数量为1～20个，所述粉尘通孔10的具体数量分布、位置分布及孔径大小可以根据实际情况进行设置，例如，为了达到较好的垂直屏蔽筒9导流效果，所述粉尘通孔10的孔径可以设置得稍微小一点，避免因其孔径过大导致进入所述垂直屏蔽筒9内部的气体又透过所述粉尘通孔10到达所述垂直屏蔽筒9的外部区域产生气流循环，影响所述过滤装置的工作效率。

作为示例，所述垂直屏蔽筒9可通过设置于所述粉尘颗粒捕集区6内壁上的若干个定位螺钉11进行定位。

作为示例，所述屏蔽结构还包括V型屏蔽筒12，所述V型屏蔽筒12与所述滤筒1的内壁连接，所述V型屏蔽筒12具有顶部开口及底部开口，所述V型屏蔽筒12的顶部开口高于所述垂直屏蔽筒9的顶部，所述V型屏蔽筒12的底部开口伸入所述垂直屏蔽筒9内，所述V型屏蔽筒12的外侧壁与所述垂直屏蔽筒9的顶部之间存在间隙以使气体进入所述垂直屏蔽筒9内。

作为示例，所述V型屏蔽筒12包括多层结构。

作为示例，所述屏蔽结构还包括屏蔽板13，所述屏蔽板13固定于所述V型屏蔽筒12上以使气体与所述屏蔽板13发生碰撞而使气体中的粉尘颗粒下落。

作为示例，请参阅图3，显示为本实施例中所述屏蔽板13的俯视结构示意图，所述屏蔽板13包括在水平方向上排列并间隔设置的多片屏蔽件1301，所述屏蔽件1301相对于水平面倾斜设置，请参阅图4，显示为图3中屏蔽板13沿着Ⅰ方向的剖面结构示意图，所述屏蔽件1301沿着同一方向倾斜一定角度平行分布。进一步的，所述屏蔽板13上所述屏蔽件1301不限于上述分布方式，请参阅图5至图7，显示为本实用新型的过滤装置中屏蔽板13的其他三种分布方式的剖面结构示意图。此外，相邻两所述屏蔽件1301之间的间距、所述屏蔽件1301的倾斜角度、片数以及形状可根据实际情况合理设置，满足气体在所述屏蔽件1301之间间隙的流动畅通的同时能够使气体在流动过程中与所述屏蔽件1301发生碰撞以收集粉尘颗粒。

作为示例，所述屏蔽板13包括上屏蔽板131及下屏蔽板132，所述下屏蔽板132固定于所述V型屏蔽筒12上，所述上屏蔽板131位于所述下屏蔽板132的上方并固定于所述下屏蔽板132或所述V型屏蔽筒12上，进一步的，所述屏蔽板13不限于上述两层结构，可设置为一层或多层结构以满足实际过滤需求。本实施例中为两层结构，其中，所述上屏蔽板131和下屏蔽板132上的所述屏蔽件1301均可采用上述几种分布方式分布，可以为单一分布方式或者两种不同分布方式的组合。所述屏蔽板13的形状包括圆形、多边形等形状，在此不作具体限制。

作为示例，所述粉尘颗粒捕集区6中设置的所有部件，如所述垂直屏蔽筒9、所述V型屏蔽筒12及所述屏蔽板13等，均可采用金属材质或者其他合适材质的材料制成。所述屏蔽结构除了用于对气体中粉尘颗粒的捕集之外，还对进入所述滤筒1的含粉尘气体起到流动分配作用。

作为示例，所述滤芯7呈筒状并具有顶部开口及底部开口，所述滤芯7设置于所述隔板2上；所述过滤装置还包括盖板14，所述盖板14遮盖所述滤芯7的顶部开口以使从所述滤芯7的底部开口进入所述滤芯7内部的气体依次穿过所述滤芯7的内侧壁与外侧壁后到达所述气体出口4，其中，所述隔板2与所述盖板14之间通过连接件固定连接。进一步的，所述滤芯7的外侧壁与所述滤芯7过滤区5的内侧壁之间存在间隙以使经所述滤芯7过滤后的气体从该间隙处向上流动至所述气体出口4输出所述过滤装置。在本实施例中，所述连接件包括固定螺杆16和螺帽17的组合结构，其中，所述固定螺杆安装于所述隔板2的中间部位并贯穿所述盖板14后通过螺帽固定。

作为示例，所述滤芯7的材质包括耐高温的玻璃纤维，具有透气量大、集尘率高等优点。

作为示例，所述隔板2包括法兰或其他合适的机械零部件。

作为示例，所述滤芯7与所述隔板2之间设有密封圈，用于避免进入所述滤芯过滤区5的气体未经所述滤芯7过滤就从所述滤芯7与所述隔板2之间的缝隙处离开所述滤芯7内部影响所述过滤装置的工作效率。

作为示例，所述滤芯7的外表面设有用以降低过滤过程中气流对滤芯7表面冲击的加固件，所述加固件包括金属条或网框，使用加固件对所述滤芯7的表面进行加固后能够有效延长所述滤芯7的使用寿命，防止气流的多次冲击对所述滤芯7的表面造成机械损坏。

作为示例，所述过滤装置还包括粉尘排放口8，所述粉尘排放口8设置于所述滤筒1的底部用于排放经所述屏蔽结构收集的粉尘。所述粉尘排放口8在所述过滤装置工作时处于关闭状态以防止所述气体入口3输入的气体从所述粉尘排放口8输出而延长含粉尘气体的过滤时间进而影响所述过滤装置的过滤效率，待所述过滤装置停止工作时可以打开所述粉尘排放口8以将收集的粉尘颗粒排放出所述过滤装置后进行处理。

具体的，本实施例中的所述过滤装置的结构设置满足其内部气流通道的气流流导大于所述气体入口3和所述气体出口4的气体流导，即含粉尘气体经所述气体入口3进入所述滤筒1后，经过所述屏蔽结构对粉尘颗粒的收集以及所述滤芯7对细小粉尘的精细过滤后能够从所述气体出口4输出所述滤筒1，在此过程中不会产生因流导不足丧失流动能力而停滞在所述滤筒内部的状况。

本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置实际应用时可以单个独立使用，也可以成套使用，即多个过滤装置并联组合起来充当过滤组件使用。此外，本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置不仅仅用于MOCVD设备的过滤过程，还可用于其他领域需要进行粉尘过滤的设备的过滤过程。

本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置包括设有屏蔽结构的粉尘颗粒捕集区与设有滤芯的滤芯过滤区的组合结构，先通过屏蔽结构对气体中的粉尘颗粒进行预捕集再通过滤芯进行气体的精细过滤，不仅改善了滤芯的过滤环境进而提高了滤芯的过滤效率及使用寿命，还在降低生产成本的同时有效减少了废弃滤芯对环境的污染。

实施例二

本实施例提供实施例一所述的一种用于MOCVD设备的过滤装置，并将其应用于MOCVD设备的气体过滤。

具体的，将所述过滤装置的所述气体入口3与半导体反应腔室的气体排出口相连，使反应腔室中反应后的含粉尘气体进入所述过滤装置，含粉尘气体中包含大颗粒粉尘和细小粉尘；再将所述气体出口4通过管路与真空抽气装置联结，用以输出经所述过滤装置的过滤后的气体；此外，开始气体的过滤工作之前需要将所过滤装置的所述粉尘排放口关闭，以确保含粉尘气体能够按照过滤装置设定的过滤通道流动使气体中的粉尘得到充分过滤，包括粉尘颗粒捕集过程和气体滤芯7过滤过程，具体过程如下：

含粉尘气体经所述气体入口3中输入所述滤筒1时，气体中的一些大颗粒粉尘在惯性力作用下与所述垂直屏蔽筒9的外侧壁发生碰撞使得气体中较大的粉尘颗粒因碰撞使运行方向改变而脱离气体流动方向并因自身重力作用直接下落至所述滤筒1的内侧壁与所述垂直屏蔽筒9的外侧壁之间的间隙底部，进而完成气体的粉尘颗粒的第一级捕集过程。在第一级粉尘捕集的过程中，仅有部分粉尘颗粒由于所述垂直屏蔽筒9的阻挡作用被收集，其余粉尘颗粒沿所述垂直屏蔽筒9外侧壁的外围周向向上运动并经所述垂直屏蔽筒9的顶部与所述V型屏蔽筒12的外侧壁之间的间隙进入所述垂直屏蔽筒9内部。然后经由所述V型屏蔽筒12的底部开口处进入所述V形屏蔽筒内部区域并向上流动，经过固定于所述V型屏蔽筒12上方的所述屏蔽板13所在区域，通过所述屏蔽件1301之间的间隙向上流动，粉尘颗粒随气体在向上运行时会所述屏蔽件1301发生多次碰撞而改变方向，部分颗粒沿所述屏蔽件1301之间的倾斜间隙向下沉落，落入所述垂直屏蔽筒9的底部后经所述粉尘排放口排出，这一过程视为粉尘颗粒第二级捕集过程；经上述两级粉尘颗粒捕集过程后，稍微大一些的颗粒粉尘基本被捕集完毕，气体中剩余的粉尘为细小粉尘，需经后续的气体滤芯7过滤过程进行精细过滤。

含细小粉尘的气流通过所述滤芯过滤区5的所述隔板2上开设的所述通气孔向上逐渐周向均匀运行进入所述滤芯7的过滤区域，保障了滤芯7整体的使用效果，由于所述滤芯7的的顶部开口遮盖有所述盖板14，使得含细小粉尘的气体不能直接穿过所述滤芯7的顶部开口到达所述气体出口4后排出，而是向周围扩散，依次穿过所述滤芯7的内侧壁与外侧壁后才能向上流动，在穿过所述滤芯7的过程中，气体中包含的细小粉尘被所述滤芯7精细过滤收集，以上过程即为气体滤芯7过滤过程。

在所述过滤装置的整个过滤过程中，所述气体入口3、所述V型屏蔽筒12的外侧壁与所述垂直屏蔽筒9顶部的间隙、所述屏蔽板13上所述屏蔽件1301之间的间隙、所述隔板2上开设的所述通气孔、所述滤芯7的内部空隙以及所述气体出口4形成一个气流通道，使含粉尘气体进入所述过滤装置后，能够按照上述气流通道逐渐流动，从而完成粉尘颗粒捕集过程和气体滤芯7过滤过程，最终向外输出洁净气体。

实施例三

本实施例提供实施例一所述的一种用于MOCVD设备的过滤装置，并将其组合起来应用于MOCVD设备的气体过滤，具体组合方式为：将若干个过滤装置排列分布，将所述若干个过滤装置的气体入口通过连接管道或其他管状连接零部件引出至同一气体输入管道中，该气体输入管道与含粉尘气体的源头连接，即与半导体反应腔室的气体排出口连接；将所述过滤装置的气体出口按照上述方式引出至同一气体输出管道中，该气体输出管道与真空抽气装置联结，通过上述并联连接形成用于MOCVD设备的过滤组件。该过滤组件可应用于大型MOCVD设备排出的含粉尘气体的过滤，提高过滤效率。

综上所述，本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置，包括滤筒、隔板、气体入口、屏蔽结构、滤芯以及气体出口，所述隔板位于所述滤筒内将所述滤筒的内部空间分为滤芯过滤区及位于所述滤芯过滤区下方的粉尘颗粒捕集区，所述隔板的中间区域开设有通气孔以使来自所述粉尘颗粒捕集区的气体通过所述通气孔进入所述滤芯过滤区；所述气体入口设置于所述滤筒的侧壁以向所述粉尘颗粒捕集区输入含粉尘的气体；所述屏蔽结构位于所述粉尘颗粒捕集区，所述屏蔽结构用以使所述气体入口输入的气体碰撞到所述屏蔽结构后进入所述滤芯过滤区；所述滤芯位于所述滤芯过滤区；所述气体出口设置于所述滤筒的顶部以排出经所述滤芯过滤后的气体。本实用新型的用于MOCVD设备的过滤装置先通过屏蔽结构对气体中的粉尘颗粒进行预捕集再通过滤芯进行气体的精细过滤，不仅改善了滤芯的过滤环境进而提高了滤芯的过滤效率及使用寿命，还在降低生产成本的同时有效减少了废弃滤芯对环境的污染。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (11)

1.一种用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于，包括：

滤筒；

隔板，位于所述滤筒内，将所述滤筒的内部空间分为滤芯过滤区及位于所述滤芯过滤区下方的粉尘颗粒捕集区，所述隔板的中间区域开设有通气孔以使来自所述粉尘颗粒捕集区的气体通过所述通气孔进入所述滤芯过滤区；

气体入口，设置于所述滤筒的侧壁以向所述粉尘颗粒捕集区输入含粉尘的气体；

屏蔽结构，位于所述粉尘颗粒捕集区，所述屏蔽结构用以使所述气体入口输入的气体碰撞到所述屏蔽结构后进入所述滤芯过滤区；

滤芯，位于所述滤芯过滤区；

气体出口，设置于所述滤筒的顶部以排出经所述滤芯过滤后的气体。

2.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述屏蔽结构包括垂直屏蔽筒，所述垂直屏蔽筒与所述滤筒的底壁连接，所述垂直屏蔽筒的外侧壁与所述滤筒的内侧壁之间具有间隙，所述气体入口面向所述垂直屏蔽筒的外侧壁。

3.根据权利要求2所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述垂直屏蔽筒侧壁的靠下部分包括预设数量的粉尘通孔。

4.根据权利要求2所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述屏蔽结构还包括V型屏蔽筒，所述V型屏蔽筒与所述滤筒的内壁连接，所述V型屏蔽筒具有顶部开口及底部开口，所述V型屏蔽筒的顶部开口高于所述垂直屏蔽筒的顶部，所述V型屏蔽筒的底部开口伸入所述垂直屏蔽筒内，所述V型屏蔽筒的外侧壁与所述垂直屏蔽筒的顶部之间存在间隙以使气体进入所述垂直屏蔽筒内。

5.根据权利要求4所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述屏蔽结构还包括屏蔽板，所述屏蔽板固定于所述V型屏蔽筒上以使进入所述V型屏蔽筒内的气体与所述屏蔽板发生碰撞而使气体中的粉尘颗粒下落。

6.根据权利要求5所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述屏蔽板包括在水平方向上排列并间隔设置的多片屏蔽件，所述屏蔽件相对于水平面倾斜设置。

7.根据权利要求6所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述屏蔽板包括上屏蔽板及下屏蔽板，所述下屏蔽板固定于所述V型屏蔽筒上，所述上屏蔽板位于所述下屏蔽板的上方并固定于所述下屏蔽板或所述V型屏蔽筒。

8.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述滤芯呈筒状并具有顶部开口及底部开口，所述滤芯设置于所述隔板上；所述过滤装置还包括盖板，所述盖板遮盖所述滤芯的顶部开口以使从所述滤芯的底部开口进入所述滤芯内部的气体依次穿过所述滤芯的内侧壁与外侧壁后到达所述气体出口，其中，所述隔板与所述盖板之间通过连接件固定连接。

9.根据权利要求8所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述滤芯与所述隔板之间设有密封圈。

10.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述滤芯的外表面设有用以降低过滤过程中气流对滤芯表面冲击的加固件，所述加固件包括金属条或网框。

11.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的过滤装置，其特征在于：所述过滤装置还包括粉尘排放口，所述粉尘排放口设置于所述滤筒的底部用于排放经所述屏蔽结构收集的粉尘。

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