CN220740690U - 一种用于晶圆研磨的研磨机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆研磨的研磨机，包括加工台、框架、第一驱动组件、研磨轮和研磨台，所述加工台顶部的一侧固定连接有气缸，且气缸输出轴的一端与研磨台的一侧固定连接，所述框架内壁的顶部设置有下料机构，本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该用于晶圆研磨的研磨机，研磨完成后气缸将研磨台移动至夹板的下方，通过第二驱动组件和电动伸缩杆对夹板的位置进行调节，双向液压杆带动两个夹板对研磨台上的晶圆进行夹持，然后通过第二驱动组件将晶圆移动至收集台的上方，电动伸缩杆带动晶圆向下移动至收集台上，便于自动对晶圆进行下料，无需人工进行下料转移，提升安全性的同时，降低了工作强度，节省了人力成本，提高工作效率。

Description

一种用于晶圆研磨的研磨机

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种用于晶圆研磨的研磨机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

根据专利申请号为CN202221812169.3的一种电子芯片加工用晶圆研磨装置，包括主体，所述主体的顶面开设有回收腔，所述回收腔内设有过滤板，且过滤板与回收腔活动连接，所述主体的顶面设有支撑架，所述支撑架的顶面设有储液箱，所述主体的内部设有循环泵，所述循环泵的输出端设有输液管，且输液管分别贯穿主体和储液箱，过滤板可以将研磨液中的细微颗粒过滤掉，而主体内设有循环泵，通过循环泵可以将过滤后的研磨液输送至储液箱内进行回收再利用，这些设计使研磨液在使用后可以将颗粒进行过滤从而回收利用，节约了资源，但该参考专利存在以下不足：

晶圆在研磨完成后，需要人工手动将晶圆从承载板上取下，无法对晶圆进行自动下料，增加了工作人员的工作量和劳动强度，人力投入成本更高，工作效率较低。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于晶圆研磨的研磨机，解决了无法对晶圆进行自动下料，增加了工作人员的工作量和劳动强度，人力投入成本更高，工作效率较低的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种用于晶圆研磨的研磨机，包括加工台、框架、第一驱动组件、研磨轮和研磨台，所述加工台顶部的一侧固定连接有气缸，且气缸输出轴的一端与研磨台的一侧固定连接，所述框架内壁的顶部设置有下料机构；

所述下料机构包括第二驱动组件，所述第二驱动组件的顶部与框架内壁的顶部固定连接，所述第二驱动组件的底部设置有电动伸缩杆，且电动伸缩杆输出轴的一端固定连接有外壳，所述外壳内壁的底部固定连接有双向液压杆，且双向液压杆输出轴的两端均固定连接有支撑杆，两个所述支撑杆相背离的一端均贯穿外壳并延伸至外壳的外部，所述支撑杆延伸至外壳外部的一端固定连接有夹板，且夹板内侧的底部固定连接有凸板，所述加工台的一侧设置有收集台。

优选的，所述第二驱动组件包括架体，所述架体的顶部与框架内壁的顶部固定连接，所述架体内壁的一侧固定连接有电机，且电机输出轴的一端固定连接有丝杆，所述丝杆远离电机的一端与架体内壁的另一侧转动连接。

优选的，所述丝杆的表面螺纹连接有套筒，且套筒的背面通过滑块与架体内壁的背面滑动连接，所述套筒的底部与电动伸缩杆的顶端固定连接，所述收集台底部的四角均固定连接有万向轮。

优选的，所述加工台的顶部与框架的底部固定连接，所述第一驱动组件的设置在框架的顶部，所述研磨台的底部与加工台的顶部滑动连接，所述研磨台的顶部设置有真空吸盘。

优选的，所述研磨轮通过安装机构设置在第一驱动组件的底端，所述安装机构包括筒体，所述第一驱动组件的底端通过安装杆与筒体内壁的底部活动连接，所述筒体的底部与研磨轮的顶部固定连接。

优选的，所述筒体的正面螺纹连接有螺栓，所述螺栓的螺纹端贯穿安装杆并延伸至筒体的外部，所述螺栓延伸至筒体外部的一端螺纹连接有螺母。

有益效果

本实用新型提供了一种用于晶圆研磨的研磨机。与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该用于晶圆研磨的研磨机，研磨完成后气缸将研磨台移动至夹板的下方，通过第二驱动组件和电动伸缩杆对夹板的位置进行调节，双向液压杆带动两个夹板对研磨台上的晶圆进行夹持，然后通过第二驱动组件将晶圆移动至收集台的上方，电动伸缩杆带动晶圆向下移动至收集台上，便于自动对晶圆进行下料，无需人工进行下料转移，提升安全性的同时，降低了工作强度，节省了人力成本，提高工作效率。

(2)、该用于晶圆研磨的研磨机，通过将螺母和螺栓拧出筒体，便于将研磨轮进行拆卸，方便根据晶圆的尺寸对研磨轮的大小进行调节更换，使用更加灵活。

附图说明

图1为本实用新型结构的立体图；

图2为本实用新型研磨台结构的示意图；

图3为本实用新型图1中A处的局部放大图；

图4为本实用新型外壳结构的剖视图；

图5为本实用新型第二驱动组件结构的示意图；

图6为本实用新型筒体内部结构的俯视图。

图中：1、加工台；2、框架；3、第一驱动组件；4、研磨轮；5、研磨台；6、气缸；7、下料机构；71、第二驱动组件；711、架体；712、电机；713、丝杆；714、套筒；72、电动伸缩杆；73、外壳；74、双向液压杆；75、支撑杆；76、夹板；77、凸板；78、收集台；8、万向轮；9、真空吸盘；10、安装机构；101、筒体；102、安装杆；103、螺栓；104、螺母。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

请参阅图1至图5所示，本实用新型提供了一种用于晶圆研磨的研磨机，包括加工台1、框架2、第一驱动组件3、研磨轮4和研磨台5，框架2正面设置有可视窗和控制按钮，加工台1顶部的一侧固定连接有气缸6，气缸6通过外部控制设备进行控制，并通过导线与外部电源连接，气缸6用于带动研磨台5移动至夹板76下方，便于对晶圆进行夹取，且气缸6输出轴的一端与研磨台5的一侧固定连接，框架2内壁的顶部设置有下料机构7；

下料机构7包括第二驱动组件71，第二驱动组件71的顶部与框架2内壁的顶部固定连接，第二驱动组件71的底部设置有电动伸缩杆72，电动伸缩杆72用于带动夹板76上下移动，对晶圆进行夹取和放置，电动伸缩杆72通过外部控制设备进行控制，并通过导线与外部电源连接，且电动伸缩杆72输出轴的一端固定连接有外壳73，外壳73内壁的底部固定连接有双向液压杆74，双向液压杆74通过外部控制设备进行控制，并通过导线与外部电源连接，且双向液压杆74输出轴的两端均固定连接有支撑杆75，两个支撑杆75相背离的一端均贯穿外壳73并延伸至外壳73的外部，支撑杆75延伸至外壳73外部的一端固定连接有夹板76，夹板76为弧形结构，与晶圆相适配，且夹板76内侧的底部固定连接有凸板77，凸板77在夹持时，增加了稳固性，防止晶圆掉落，加工台1的一侧设置有收集台78，收集台78用于对晶圆进行收集；

第二驱动组件71包括架体711，架体711的顶部与框架2内壁的顶部固定连接，架体711内壁的一侧固定连接有电机712，电机712通过外部控制设备进行控制，并通过导线与外部电源连接，且电机712输出轴的一端固定连接有丝杆713，丝杆713远离电机712的一端与架体711内壁的另一侧转动连接，丝杆713的表面螺纹连接有套筒714，且套筒714的背面通过滑块与架体711内壁的背面滑动连接，套筒714的底部与电动伸缩杆72的顶端固定连接；

收集台78底部的四角均固定连接有万向轮8，万向轮8设置为带有刹车锁定结构，便于对收集台78的位置进行固定，加工台1的顶部与框架2的底部固定连接，第一驱动组件3的设置在框架2的顶部，研磨台5的底部与加工台1的顶部滑动连接，研磨台5的顶部设置有真空吸盘9，真空吸盘9通过外部吸真空机构对晶圆进行吸取固定。

通过上述结构的设置，将晶圆置于研磨台5上，真空吸盘9将晶圆进行固定，第一驱动组件3带动研磨轮4对晶圆进行研磨，研磨完成后，启动气缸6，带动研磨台5移动至夹板76的下方，启动电动伸缩杆72，带动夹板76向下移动至晶圆的两侧，然后启动双向液压杆74，通过支撑杆75带动两个夹板76对晶圆进行夹持，凸板77在夹持过程中对晶圆起到支撑稳固的作用，夹持后，带动晶圆上升，然后启动电机712，带动丝杆713转动，在滑块的导向作用下，套筒714在丝杆713上移动，从而带动晶圆移动至收集台78的上方，电动伸缩杆72带动夹板76向下移动至收集台78顶部，然后再次通过双向液压杆74带动两个夹板76朝相反方向移动，将晶圆松开，自动下料至收集台78上，收集完成后，通过万向轮8可推动收集台78，对晶圆进行转运。

实施例二

结合实施例一，请参阅图2和图6所示，研磨轮4通过安装机构10设置在第一驱动组件3的底端，安装机构10包括筒体101，第一驱动组件3的底端通过安装杆102与筒体101内壁的底部活动连接，第一驱动组件3具体包括液压缸和驱动电机以及输出轴，液压缸用于带动研磨轮4上下移动，驱动电机用于带动研磨轮4旋转，活动连接均指两个连接结构接触但不固定，筒体101的底部与研磨轮4的顶部固定连接，筒体101的正面螺纹连接有螺栓103，螺栓103的螺纹端贯穿安装杆102并延伸至筒体101的外部，螺栓103延伸至筒体101外部的一端螺纹连接有螺母104。

通过上述结构的设置，通过将螺母104拧出螺栓103，螺栓103拧出筒体101，能够将研磨轮4从第一驱动组件3上拆下，方便根据晶圆的尺寸对研磨轮4的大小进行调节更换。

实施例三

请参阅图1至图6所示，将实施例一和实施例二结合得到本实施例。

通过下料机构7的设置，便于自动对晶圆进行下料，无需人工进行下料转移，提升安全性的同时，降低了工作强度，节省了人力成本，提高工作效率，通过安装机构10的设置，便于将研磨轮4进行拆卸，方便根据晶圆的尺寸对研磨轮4的大小进行调节更换，使用更加灵活。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于晶圆研磨的研磨机，包括加工台(1)、框架(2)、第一驱动组件(3)、研磨轮(4)和研磨台(5)，其特征在于：所述加工台(1)顶部的一侧固定连接有气缸(6)，且气缸(6)输出轴的一端与研磨台(5)的一侧固定连接，所述框架(2)内壁的顶部设置有下料机构(7)；

所述下料机构(7)包括第二驱动组件(71)，所述第二驱动组件(71)的顶部与框架(2)内壁的顶部固定连接，所述第二驱动组件(71)的底部设置有电动伸缩杆(72)，且电动伸缩杆(72)输出轴的一端固定连接有外壳(73)，所述外壳(73)内壁的底部固定连接有双向液压杆(74)，且双向液压杆(74)输出轴的两端均固定连接有支撑杆(75)，两个所述支撑杆(75)相背离的一端均贯穿外壳(73)并延伸至外壳(73)的外部，所述支撑杆(75)延伸至外壳(73)外部的一端固定连接有夹板(76)，且夹板(76)内侧的底部固定连接有凸板(77)，所述加工台(1)的一侧设置有收集台(78)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆研磨的研磨机，其特征在于：所述第二驱动组件(71)包括架体(711)，所述架体(711)的顶部与框架(2)内壁的顶部固定连接，所述架体(711)内壁的一侧固定连接有电机(712)，且电机(712)输出轴的一端固定连接有丝杆(713)，所述丝杆(713)远离电机(712)的一端与架体(711)内壁的另一侧转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆研磨的研磨机，其特征在于：所述丝杆(713)的表面螺纹连接有套筒(714)，且套筒(714)的背面通过滑块与架体(711)内壁的背面滑动连接，所述套筒(714)的底部与电动伸缩杆(72)的顶端固定连接，所述收集台(78)底部的四角均固定连接有万向轮(8)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆研磨的研磨机，其特征在于：所述加工台(1)的顶部与框架(2)的底部固定连接，所述第一驱动组件(3)的设置在框架(2)的顶部，所述研磨台(5)的底部与加工台(1)的顶部滑动连接，所述研磨台(5)的顶部设置有真空吸盘(9)。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆研磨的研磨机，其特征在于：所述研磨轮(4)通过安装机构(10)设置在第一驱动组件(3)的底端，所述安装机构(10)包括筒体(101)，所述第一驱动组件(3)的底端通过安装杆(102)与筒体(101)内壁的底部活动连接，所述筒体(101)的底部与研磨轮(4)的顶部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆研磨的研磨机，其特征在于：所述筒体(101)的正面螺纹连接有螺栓(103)，所述螺栓(103)的螺纹端贯穿安装杆(102)并延伸至筒体(101)的外部，所述螺栓(103)延伸至筒体(101)外部的一端螺纹连接有螺母(104)。