CN220709539U - 一种纳米压印装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及纳米压印技术领域，且公开了一种纳米压印装置，包括工作台，工作台的顶部设置有减震座，减震座的顶部设置有支架，通过减震座减小支架与工作台之间的震动，支架的正面活动安装有活动面板，支架的外部与工作台顶部之间设置有电磁升降压辊机构，活动面板的背部与支架之间设置有软模板张紧机构，支架的内部设置有辅助单元。该纳米压印装置，通过设置的软模板张紧机构，在使用过程中，通过可以调节两个卷模辊的高度，进而调节软模片与基片之间的角度，使得在压印过程中，不会形成气泡，以及在进行脱模时，不会损伤定型的凹凸微结构图案，同时还能根据使用频次对压印段次进行调整，减少频繁更换模板带来的麻烦。

Description

一种纳米压印装置

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种纳米压印装置。

背景技术

纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。该技术通过机械转移的手段，达到了超高的分辨率，有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手段。

根据专利网公开的一种纳米模板压印装置(授权公告号为：CN 218767797U)中所描述“本实用新型公开了一种纳米模板压印装置，包括底座，所述底座顶部的两侧均安装有支柱，所述支柱的顶部安装有顶板；所述顶板的底部安装有电动推杆，所述电动推杆的伸缩端安装有连接板，所述连接板的底部安装有固定机构，所述固定机构的内部安装有纳米模板本体；本实用新型通过设置固定机构，能够方便将纳米模板本体从框架内进行拆卸，起到便于对纳米模板本体进行更换的目的，提高了压印的灵活性，框架内能够方便更换不同样式的纳米模板本体，提高了适用性；通过移动支撑板，可以根据不同样式的纳米模板本体对支撑板的位置分别进行对应的调节，在调节之后，通过限位组件进行定位，从而提高该压印转轴的灵活性”。

针对上述描述内容，申请人认为存在以下问题：

该实用新型在使用过程中，通过将纳米模板本体压印在底衬上，从而实现纳米转印，但是该结构在实际使用过程中，使纳米模板本体直接与底衬进行压力贴合以及脱模，使得纳米模板本体与底衬之间容易出现气泡，从而导致压印效果变差，因此需要改进出一种纳米压印装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种纳米压印装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种纳米压印装置，包括工作台，所述工作台的顶部设置有减震座，所述减震座的顶部设置有支架，通过减震座减小支架与工作台之间的震动，所述支架的正面活动安装有活动面板，通过设置的活动面板，可以便于后期对软模板进行更换，同时便于位移台进行进出，从而带动了便于进行上下料的效果，所述支架的外部与工作台顶部之间设置有电磁升降压辊机构，所述活动面板的背部与支架之间设置有软模板张紧机构，所述支架的内部设置有辅助单元。

所述电磁升降压辊机构包括往返组件与压辊组件，所述压辊组件设置在往返组件的内侧。

优选的，所述往返组件包括位移台，所述位移台滑动安装在工作台的顶部，所述位移台的顶部设置有基片，通过设置的位移台便于控制基板的进料与出料，所述支架的顶部固定安装有两个支撑板，所述支撑板的内侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有第一螺杆，所述支撑板的内侧固定安装有限位杆，所述限位杆的外部滑动安装有滑动座，便于通过滑动座带动压模辊进行移动压模。

优选的，所述滑动座与第一螺杆的对应位置处开设有螺纹孔，且所述第一螺杆螺纹安装在螺纹孔中，便于使第一螺杆驱动滑动座进行横向移动。

优选的，所述压辊组件包括压力传感器，所述压力传感器固定安装在滑动座的底部，便于通过压力传感器监测压模辊压力的大小，所述压力传感器的底部固定安装有电磁伸缩杆，所述电磁伸缩杆远离压力传感器的一端内部活动安装有主体，所述主体的外部与电磁伸缩杆的内壁之间设置有线圈，所述主体的内侧设置有压模辊，便于在压动过程中提高压辊的稳定性，所述电磁伸缩杆的外部固定安装有UV光固装置，从而使滑动座带动底部的压模辊进行压动转印，同时通过设置的压力传感器检测压力大小，便于及时调整压力，并且通过设置的电磁伸缩杆，采用电磁线圈结构，在压动过程中提高压辊的稳定性。

优选的，所述支架的顶部与电磁伸缩杆的对应位置处开设有通槽，所述电磁伸缩杆穿过通槽，且通槽内部固定安装有防尘橡胶条，避免外部灰尘通过通槽进入到支架的内部。

优选的，所述软模板张紧机构包括第一滑轨，所述第一滑轨固定安装在支架的背部内侧，所述第一滑轨的内部滑动安装有第一滑块，所述工作台的顶部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出输出端固定安装有第二螺杆，且所述第二螺杆螺纹安装在第一滑块的内部，所述活动面板的背部固定安装有第二滑轨，所述第二滑轨的内部滑动安装有第二滑块，所述第二滑块的内部固定安装有第三电机，所述第三电机的输出端固定安装有卷模辊，且所述卷模辊远离第三电机的一端转动安装在第一滑块的正面，便于使第三电机驱动卷模辊进行转动放料与收料。

优选的，所述软模板张紧机构设置有两组，且两组所述软模板张紧机构以活动面板正面中心线为对称轴对称分布，便于通过两组软模板张紧机构调节软模片与基片之间的角度。

优选的，所述辅助单元包括视觉对准系统，所述视觉对准系统固定安装在支架的顶部内侧，通过视觉对准系统实现软模片与基板的对齐定位，所述支架的左右两端内侧均固定安装有除静电装置，避免内部存在静电从而吸附灰尘，所述支架的顶端内部固定安装有空气过滤装置，避免可以对内容空气进行过滤，避免灰尘存留在装置内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种纳米压印装置，具备以下有益效果：

1、该纳米压印装置，通过设置的软模板张紧机构，在使用过程中，通过可以调节两个卷模辊的高度，进而调节软模片与基片之间的角度，使得在压印过程中，不会形成气泡，以及在进行脱模时，不会损伤定型的凹凸微结构图案，同时还能根据使用频次对压印段次进行调整，减少频繁更换模板带来的麻烦。

2、该纳米压印装置，通过设置的电磁升降压辊机构，在使用过程中，通过第一螺杆驱动滑动座进行移动，从而使滑动座带动底部的压模辊进行压动转印，同时通过设置的压力传感器检测压力大小，便于及时调整压力，并且通过设置的电磁伸缩杆，采用电磁线圈结构，在压动过程中提高压辊的稳定性。

3、该纳米压印装置，通过设置的活动面板，在使用过程中，可以便于后期对软模板进行更换，同时便于位移台进行进出，从而带动了便于进行上下料的效果，通过设置在支架上的壳体结构，不仅便于使软模板张紧机构进行安装，通过使装置处于一个相对封闭的环境中，提升压印环境的洁净度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1为本实用新型外观结构示意图；

图2为本实用新型分解结构示意图；

图3为本实用新型电磁升降压辊机构外观结构示意图；

图4为本实用新型软模板张紧机构外观结构示意图；

图5为本实用新型第二滑块及所连机构剖视示意图；

图6为本实用新型压模辊及所连机构剖视结构示意图；

图7为本实用新型工作台及所连机构剖视示意图；

图8为本实用新型工作状态结构示意图；

图9为本实用新型压合过程结构示意图；

图10为本实用新型压合完毕结构示意图；

图11为本实用新型脱模过程结构示意图。

图中：1、工作台；2、减震座；3、支架；4、活动面板；5、电磁升降压辊机构；51、往返组件；511、位移台；512、基片；513、支撑板；514、第一电机；515、第一螺杆；516、限位杆；517、滑动座；52、压辊组件；521、压力传感器；522、电磁伸缩杆；523、主体；524、线圈；525、压模辊；526、UV光固装置；6、软模板张紧机构；61、第一滑轨；62、第一滑块；63、第二电机；64、第二螺杆；65、第二滑轨；66、第二滑块；67、第三电机；68、卷模辊；7、辅助单元；71、视觉对准系统；72、除静电装置；73、空气过滤装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

请参阅图1-11，本实用新型提供一种技术方案：一种纳米压印装置，包括工作台1，工作台1的顶部设置有减震座2，减震座2的顶部设置有支架3，通过减震座2减小支架3与工作台1之间的震动，支架3的正面活动安装有活动面板4，通过设置的活动面板4，可以便于后期对软模板进行更换，同时便于位移台511进行进出，从而带动了便于进行上下料的效果，支架3的外部与工作台1顶部之间设置有电磁升降压辊机构5，活动面板4的背部与支架3之间设置有软模板张紧机构6，支架3的内部设置有辅助单元7。

电磁升降压辊机构5包括往返组件51与压辊组件52，压辊组件52设置在往返组件51的内侧。

进一步的，往返组件51包括位移台511，位移台511滑动安装在工作台1的顶部，位移台511的顶部设置有基片512，通过设置的位移台511便于控制基板的进料与出料，支架3的顶部固定安装有两个支撑板513，支撑板513的内侧固定安装有第一电机514，第一电机514的输出端固定安装有第一螺杆515，支撑板513的内侧固定安装有限位杆516，限位杆516的外部滑动安装有滑动座517，便于通过滑动座517带动压模辊525进行移动压模。

进一步的，滑动座517与第一螺杆515的对应位置处开设有螺纹孔，且第一螺杆515螺纹安装在螺纹孔中，便于使第一螺杆515驱动滑动座517进行横向移动。

进一步的，压辊组件52包括压力传感器521，压力传感器521固定安装在滑动座517的底部，便于通过压力传感器521监测压模辊525压力的大小，压力传感器521的底部固定安装有电磁伸缩杆522，电磁伸缩杆522远离压力传感器521的一端内部活动安装有主体523，主体523的外部与电磁伸缩杆522的内壁之间设置有线圈524，主体523的内侧设置有压模辊525，便于在压动过程中提高压辊的稳定性，电磁伸缩杆522的外部固定安装有UV光固装置526，从而使滑动座517带动底部的压模辊525进行压动转印，同时通过设置的压力传感器521检测压力大小，便于及时调整压力，并且通过设置的电磁伸缩杆522，采用电磁线圈524结构，在压动过程中提高压辊的稳定性。

进一步的，支架3的顶部与电磁伸缩杆522的对应位置处开设有通槽，电磁伸缩杆522穿过通槽，且通槽内部固定安装有防尘橡胶条，避免外部灰尘通过通槽进入到支架3的内部。

进一步的，辅助单元7包括视觉对准系统71，视觉对准系统71固定安装在支架3的顶部内侧，通过视觉对准系统71实现软模片与基板的对齐定位，支架3的左右两端内侧均固定安装有除静电装置72，避免内部存在静电从而吸附灰尘，支架3的顶端内部固定安装有空气过滤装置73，避免可以对内容空气进行过滤，避免灰尘存留在装置内部。

实施例二：

请参阅图4与图5，并结合实施例一，进一步得到，软模板张紧机构6包括第一滑轨61，第一滑轨61固定安装在支架3的背部内侧，第一滑轨61的内部滑动安装有第一滑块62，工作台1的顶部固定安装有第二电机63，第二电机63的输出输出端固定安装有第二螺杆64，且第二螺杆64螺纹安装在第一滑块62的内部，活动面板4的背部固定安装有第二滑轨65，第二滑轨65的内部滑动安装有第二滑块66，第二滑块66的内部固定安装有第三电机67，第三电机67的输出端固定安装有卷模辊68，且卷模辊68远离第三电机67的一端转动安装在第一滑块62的正面，便于使第三电机67驱动卷模辊68进行转动放料与收料。

进一步的，软模板张紧机构6设置有两组，且两组软模板张紧机构6以活动面板4正面中心线为对称轴对称分布，便于通过两组软模板张紧机构6调节软模片与基片512之间的角度。

在实际操作过程中，当此装置使用时，首先将基片512放置在位移台511上，随后使位移台511移动到支架3的内部，随后通过第二电机63驱动第二螺杆64进行转动，使第二螺杆64带动第一滑块62在第一滑轨61的内部进行升降滑动，从而使第一滑块62带动卷模辊68进行升降调节，同时使第三电机67带动卷模辊68进行转动放模，通过视觉对准系统71进行对准，从而使左侧的卷模辊68向上移动，使右侧的卷模辊68向下移动，使卷模辊68上的软模片与基板进行接触，随后通过电磁伸缩杆522带动压模辊525向下移动，使压模辊525带向下移动，使其压动在软模片上，使软模片与基板进行贴合转印，随后通过第一电机514驱动第一螺杆515进行转动，使滑动座517带动压模辊525进行横向移动，从而使压模辊525向左侧进行压动，使软模片与基板进行逐步贴合转印；

在贴合过程中，通过UV光固装置526使其快速进行固化，随后进行脱模，通过第一电机514驱动第一螺杆515进行反转，使滑动座517带动压模辊525向右侧进行移动，此时左侧的卷模辊68向上逐步移动，使软模片与基板进行逐步分离，待分离完毕后，通过位移台511将转印后的基板移出。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (8)

1.一种纳米压印装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部设置有减震座(2)，所述减震座(2)的顶部设置有支架(3)，所述支架(3)的正面活动安装有活动面板(4)，所述支架(3)的外部与工作台(1)顶部之间设置有电磁升降压辊机构(5)，所述活动面板(4)的背部与支架(3)之间设置有软模板张紧机构(6)，所述支架(3)的内部设置有辅助单元(7)；

所述电磁升降压辊机构(5)包括往返组件(51)与压辊组件(52)，所述压辊组件(52)设置在往返组件(51)的内侧。

2.根据权利要求1所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述往返组件(51)包括位移台(511)，所述位移台(511)滑动安装在工作台(1)的顶部，所述位移台(511)的顶部设置有基片(512)，所述支架(3)的顶部固定安装有两个支撑板(513)，所述支撑板(513)的内侧固定安装有第一电机(514)，所述第一电机(514)的输出端固定安装有第一螺杆(515)，所述支撑板(513)的内侧固定安装有限位杆(516)，所述限位杆(516)的外部滑动安装有滑动座(517)。

3.根据权利要求2所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述滑动座(517)与第一螺杆(515)的对应位置处开设有螺纹孔，且所述第一螺杆(515)螺纹安装在螺纹孔中。

4.根据权利要求3所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述压辊组件(52)包括压力传感器(521)，所述压力传感器(521)固定安装在滑动座(517)的底部，所述压力传感器(521)的底部固定安装有电磁伸缩杆(522)，所述电磁伸缩杆(522)远离压力传感器(521)的一端内部活动安装有主体(523)，所述主体(523)的外部与电磁伸缩杆(522)的内壁之间设置有线圈(524)，所述主体(523)的内侧设置有压模辊(525)，所述电磁伸缩杆(522)的外部固定安装有UV光固装置(526)。

5.根据权利要求4所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述支架(3)的顶部与电磁伸缩杆(522)的对应位置处开设有通槽，所述电磁伸缩杆(522)穿过通槽，且通槽内部固定安装有防尘橡胶条。

6.根据权利要求1所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述软模板张紧机构(6)包括第一滑轨(61)，所述第一滑轨(61)固定安装在支架(3)的背部内侧，所述第一滑轨(61)的内部滑动安装有第一滑块(62)，所述工作台(1)的顶部固定安装有第二电机(63)，所述第二电机(63)的输出输出端固定安装有第二螺杆(64)，且所述第二螺杆(64)螺纹安装在第一滑块(62)的内部，所述活动面板(4)的背部固定安装有第二滑轨(65)，所述第二滑轨(65)的内部滑动安装有第二滑块(66)，所述第二滑块(66)的内部固定安装有第三电机(67)，所述第三电机(67)的输出端固定安装有卷模辊(68)，且所述卷模辊(68)远离第三电机(67)的一端转动安装在第一滑块(62)的正面。

7.根据权利要求6所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述软模板张紧机构(6)设置有两组，且两组所述软模板张紧机构(6)以活动面板(4)正面中心线为对称轴对称分布。

8.根据权利要求1所述的一种纳米压印装置，其特征在于：所述辅助单元(7)包括视觉对准系统(71)，所述视觉对准系统(71)固定安装在支架(3)的顶部内侧，所述支架(3)的左右两端内侧均固定安装有除静电装置(72)，所述支架(3)的顶端内部固定安装有空气过滤装置(73)。