CN220680023U - 一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，包括部件放置板，所述部件放置板具有依次间隔排列的多个部件放置腔，所述部件放置腔为由部件放置板顶部向底部延伸的与密封排气螺套形状相匹配的槽孔，且部件放置板前后两侧对应于每个部件放置腔位置分别开设有多对前后对称的加工孔，每对加工孔与其对应的部件放置腔连通，用以供加工设备伸入对部件放置腔内的密封排气螺套钻孔操作。该夹具能够为密封排气螺套工件在加工过程中提供精确定位和稳定固定，保证了半导体密封排气螺套的钻孔效率、精度和准确性。

Description

一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具

技术领域

本实用新型属于半导体零件加工技术领域，具体为一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具。

背景技术

密封排气螺套是一种半导体设备中的关键密封连接元件，其关键作用在于为半导体设备提供可靠的密封，确保设备内部气压的稳定。如图1、图2所示为密封排气螺套工件，其主体为六方螺栓体，加工过程中要求在六方体中钻孔，以在需要时调节气压平衡。工件钻孔的位置和对称度要求非常严格，但在目前的加工过程中，由于缺乏适配的定位基准，工件的钻孔位置和对称性很难达到所需的高标准。

实用新型内容

为了克服现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，能够为密封排气螺套工件在加工过程中提供精确定位和稳定固定，保证了半导体密封排气螺套的钻孔效率、精度和准确性。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，包括部件放置板，所述部件放置板具有依次间隔排列的多个部件放置腔，所述部件放置腔为由部件放置板顶部向底部延伸的与密封排气螺套形状相匹配的槽孔，且部件放置板前后两侧对应于每个部件放置腔位置分别开设有多对前后对称的加工孔，每对加工孔与其对应的部件放置腔连通，用以供加工设备伸入对部件放置腔内的密封排气螺套钻孔操作。

基于以上方案，通过设置多个与密封排气螺套形状相匹配的部件放置腔，能够确保螺套工件在加工过程中得到精确定位和稳定固定，提高加工精度；多对前后对称的加工孔能够保障加工过程中密封排气螺套钻孔的对称性，从而满足产品制造的严格要求；加工设备基于由部件放置板提供的精准定位，可以方便地进入部件放置腔内进行钻孔操作，简化了加工过程，降低了操作的复杂性，提高半导体密封排气螺套的钻孔效率和准确性。

进一步的，还包括承托于部件放置板底部且与部件放置板固定连接的下底座，以及固定安装于部件放置板顶部的上压板；所述上压板具有与多个部件放置腔一一对应连通的多个紧固孔，每个紧固孔内均设有紧固顶丝，用以锁紧密封排气螺套在部件放置腔内的位置。

基于以上方案，通过将密封排气螺套放置在部件放置腔中，然后使用上压板紧固孔内的紧固顶丝将工件牢固固定，以确保密封排气螺套位置的稳定性和固定性，防止其在加工过程中移动或晃动，确保加工精度和品质的一致性；这种固定设计有助于提高钻孔操作的准确性和一致性；下底座作为夹具的一部分，承托在部件放置板的底部，为整个夹具提供了稳固的支撑，充当夹具和机床加工平台之间的缓冲层，减少了可能对夹具产生损坏的冲击和压力。

进一步的，所述下底座与部件放置板之间以及上压板与部件放置板之间均是通过若干垂直设置的紧固螺栓压紧连接的。

基于以上方案，紧固螺栓垂直压紧的设计增加了夹具的稳定性和刚性，通过使用垂直设置的紧固螺栓，夹具的各个组件可以被牢固地连接在一起，防止在钻孔操作过程中发生意外松动或移位，有助于确保加工过程的稳定性和钻孔操作的准确性。这种连接方式还可以方便地进行组装和拆卸。

进一步的，所述紧固螺栓为内六角螺栓。

使用内六角螺栓作为紧固螺栓具有更好的工具匹配性、紧固力分布均匀、紧固效果可控、紧固速度快捷以及防止滑动等优势。利用紧固螺栓垂直压紧，并且是内六角螺栓，从而能够避免工件的装夹变形，保证了此类工件的加工尺寸稳定性及各处形位公差，装卸方便。

进一步的，所述上压板紧固孔的内径大于密封排气螺套的直径。

通过使上压板紧固孔的内径大于密封排气螺套的直径，能够在不拆卸上压板的情况下方便地放入或取出密封排气螺套工件，节约了操作工序。

进一步的，还包括主体垫板，主体垫板连接锁紧于机床加工平台上，部件放置板通过定位锁紧螺栓与主体垫板固定连接。

主体垫板作为连接加工夹具和机床加工平台的中间层，为加工夹具提供了可靠的位置固定，确保部件放置板的位置精准，减少了在加工过程中因位置变动而引起的加工误差；主体垫板能够提供稳固的支撑，确保整个夹具在加工过程中保持稳定，提高加工的准确性和一致性。主体垫板的设置使得加工夹具可以更容易地放置在机床加工平台上，简化了操作过程。

本实用新型的有益效果包括：

该加工夹具的结构简单，易于操作和维护。通过使用该夹具，能够为密封排气螺套工件在加工过程中提供精确定位和稳定固定，保证了半导体密封排气螺套的钻孔效率、精度和准确性，从而满足产品制造的严格要求。

附图说明

图1是密封排气螺套工件结构剖视图；

图2是密封排气螺套工件结构横截面图；

图3是本实用新型夹具整体装配结构剖视图；

图4是部件放置板结构侧视图；

图5是部件放置板结构俯视图；

图6是下底座结构侧视图；

图7是下底座结构俯视图；

图8是上压板结构俯视图；

图9是上压板结构侧视图；

图10是主体垫板结构主视图；

图11是主体垫板结构侧视图；

图12是定位锁紧螺栓结构示意图。

图中：1、下底座；2、部件放置板；2.1、部件放置腔；2.2、加工孔；2.3、定位螺栓锁紧孔b；3、上压板；3.1、紧固顶丝；4、紧固螺栓；5、主体垫板；5.1、定位螺栓锁紧孔a；5.2、固定孔；6、定位锁紧螺栓。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，包括下底座1、部件放置板2、上压板3和主体垫板5；

如图10和图11所示，主体垫板5四角处各设有一固定孔5.2，主体垫板5与机床加工平台相贴合通过四处固定孔5.2内的紧固螺钉连接锁紧；主体垫板5上左右两侧各开设有一个定位螺栓锁紧孔a5.1，部件放置板2上开设有与两个定位螺栓锁紧孔a5.1一一对应的两个定位螺栓锁紧孔b2.3，定位锁紧螺栓6锁紧于对应的定位螺栓锁紧孔a5.1和定位螺栓锁紧孔b2.3内将部件放置板2固定安装在主体垫板5上；

如图4和图5所示，密封排气螺套工件放置在部件放置板2的部件放置腔2.1内，通过紧固螺栓4将部件放置板2与下底座1和上压板3锁紧在一起，通过上压板3紧固孔内的紧固顶丝3.1锁紧工件，固定完成后加工设备由加工孔2.2伸入部件放置腔2.1对部件放置腔2.1内的密封排气螺套钻孔操作。

该夹具的使用方法如下：

A、装配主体垫板5与部件放置板2；

B、将主体垫板5与机床加工平台相贴合，通过四处紧固螺钉连接锁紧；

C、将密封排气螺套工件放置在部件放置板2中，通过紧固螺栓4将部件放置板2与下底座1和上压板3锁紧在一起；

C、紧固顶丝3.1锁紧工件，固定后加工；

D、启动加工设备加工工件的φ2.55±0.02mm的孔；

E、加工完毕，拧下紧固顶丝3.1，将工件取出。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (6)

1.一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，其特征在于，包括部件放置板(2)，所述部件放置板(2)具有依次间隔排列的多个部件放置腔(2.1)，所述部件放置腔(2.1)为由部件放置板(2)顶部向底部延伸的与密封排气螺套形状相匹配的槽孔，且部件放置板(2)前后两侧对应于每个部件放置腔(2.1)位置分别开设有多对前后对称的加工孔(2.2)，每对加工孔(2.2)与其对应的部件放置腔(2.1)连通，用以供加工设备伸入对部件放置腔(2.1)内的密封排气螺套钻孔操作。

2.根据权利要求1所述的一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，其特征在于，还包括承托于部件放置板(2)底部且与部件放置板(2)固定连接的下底座(1)，以及固定安装于部件放置板(2)顶部的上压板(3)；所述上压板(3)具有与多个部件放置腔(2.1)一一对应连通的多个紧固孔，每个紧固孔内均设有紧固顶丝(3.1)，用以锁紧密封排气螺套在部件放置腔(2.1)内的位置。

3.根据权利要求2所述的一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，其特征在于，所述下底座(1)与部件放置板(2)之间以及上压板(3)与部件放置板(2)之间均是通过若干垂直设置的紧固螺栓(4)压紧连接的。

4.根据权利要求3所述的一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，其特征在于，所述紧固螺栓(4)为内六角螺栓。

5.根据权利要求2所述的一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，其特征在于，所述上压板(3)紧固孔的内径大于密封排气螺套的直径。

6.根据权利要求1所述的一种半导体密封排气螺套钻孔加工夹具，其特征在于，还包括主体垫板(5)，主体垫板(5)连接锁紧于机床加工平台上，部件放置板(2)通过定位锁紧螺栓(6)与主体垫板(5)固定连接。