CN220672525U - 一种晶圆处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆处理设备，包括箱体，所述箱体前侧外壁连接有箱门和控制器，所述箱体内部连接有导水箱，所述导水箱上端对称连接有横截面呈凹字形布置的第一防护板和第二防护板，所述第一防护板与第二防护板内部分别连接有电机和电动伸缩杆，所述电机与电动伸缩杆相对应的一端均连接有输出端，所述输出端分别贯穿第一防护板和第二防护板，所述输出端贯穿第一防护板或第二防护板的一端均连接有夹持座，所述箱体上端连接有储水箱、烘干风机和加热箱。本实用新型通过设置的第一防护板与第二防护板，对电机和电动伸缩杆进行保护，避免在对晶圆清洗的过程中水分飘落至电机和电动伸缩杆外表面，从而有效避免造成短路的问题。

Description

一种晶圆处理设备

技术领域

本实用新型属于晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆处理设备。

背景技术

晶圆生产过程中需要对其表面进行处理，如清洗、电镀或者蚀刻。常用的一种表面清洗方法是将晶圆固定于清洗槽内，清洗液喷向晶圆。清洗液的喷洒装置不断运动以全面清洗晶圆。电镀或者蚀刻也是同样方法。这种装置虽然能够对晶圆表面进行一定的处理，但晶圆无法旋转，无法保证表面均匀处理。这种表面装置很难实现水平清洗、电镀或蚀刻，即晶圆水平地设置在清洗液、电镀液或蚀刻液上方，清洗液、电镀液或蚀刻液自下而上流动至与晶圆接触以清洗晶圆表面。

例如申请号为202122874340.5的中国专利，本实用新型公开了一种晶圆表面处理设备，包括加工箱，所述加工箱内腔固定安装有收集箱，所述加工箱两侧固定安装有夹持机构，所述收集箱上端固定安装有水箱，所述水箱下端设有出水管，所述出水管另一端连接有喷头，所述加工箱上端固定安装有烘干风机，所述烘干风机一端固定连接有排气管，所述排气管另一端固定连接有排气嘴；所述夹持机构包括有安装板，所述安装板一侧固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板另一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆，所述连接杆另一端固定连接有夹具，本实用新型具有烘干效果，且在加工时可将晶圆变换角度进行清理。

然而现有技术存在一些问题：晶圆加工过程中，需要将水箱内部的水导出对晶圆进行清洗，但是清洗的过程中，水分与电气设备接触，导致短路，从而需要工作人员进行维修，费时费力，因此我们提出一种晶圆处理设备。

实用新型内容

针对上述技术存在的问题，本实用新型提供了一种晶圆处理设备，本实用新型通过设置的第一防护板与第二防护板，对电机和电动伸缩杆进行保护，避免在对晶圆清洗的过程中水分飘落至电机和电动伸缩杆外表面，从而有效避免造成短路的问题，解决了晶圆加工过程中，需要将水箱内部的水导出对晶圆进行清洗，但是清洗的过程中，水分与电气设备接触，导致短路，从而需要工作人员进行维修，费时费力的问题。

本实用新型是这样实现的，一种晶圆处理设备，包括箱体，所述箱体前侧外壁连接有箱门和控制器，所述箱体左右两侧设有通风网板，所述箱体内部连接有导水箱，所述导水箱上端对称连接有横截面呈凹字形布置的第一防护板和第二防护板，所述第一防护板与第二防护板内部分别连接有电机和电动伸缩杆，所述电机与电动伸缩杆相对应的一端均连接有输出端，所述输出端分别贯穿第一防护板和第二防护板，所述输出端贯穿第一防护板或第二防护板的一端均连接有夹持座，所述箱体上端连接有储水箱、烘干风机和加热箱，所述储水箱下端连接有出水管，所述出水管延伸至箱体内部，所述烘干风机外壁连接有导风管，所述导风管延伸至箱体内部，所述加热箱外壁连接有导热管，所述导热管与导风管连通。

作为本实用新型优选的，所述导水箱上端连接有滤网。

作为本实用新型优选的，所述导水箱左侧连接有排水管，所述排水管贯穿箱体内部延伸至外部。

作为本实用新型优选的，所述输出端之间相对应的一端面均设有定位孔。

作为本实用新型优选的，所述输出端内壁设有圆形槽，所述圆形槽与定位孔连通，且所述圆形槽的直径大于定位孔的直径。

作为本实用新型优选的，所述夹持座直径相反的一端面均连接有与定位孔连接的螺纹轴。

作为本实用新型优选的，所述螺纹轴外壁连接有多个伸缩机构，所述伸缩机构包括设置在螺纹轴外壁的台阶孔，所述台阶孔内部连接有伸缩块，所述伸缩块位于台阶孔内部的一端连接有伸缩弹簧，所述伸缩块伸入至台阶孔的一端延伸至圆形槽内部。

作为本实用新型优选的，所述夹持座上端的内侧外壁一体成型有内翻，所述夹持座与内翻横截面呈L形布置，所述内翻下端面设有调节槽，所述调节槽内壁连接有固定轴，所述固定轴外壁套设有滑套，所述滑套的外壁连接有第一弹簧，所述第一弹簧另一端与调节槽内壁连接，所述第一弹簧套设在固定轴外壁。

作为本实用新型优选的，所述滑套延伸至调节槽外部的一端连接有夹持块，所述夹持块靠近夹持座的一端面连接有多个第二弹簧，所述第二弹簧另一端与夹持座外壁连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置的第一防护板与第二防护板，对电机和电动伸缩杆进行保护，避免在对晶圆清洗的过程中水分飘落至电机和电动伸缩杆外表面，从而有效避免造成短路的问题；

2、本实用新型通过设置的滤网，在对晶圆清洗的过程中，便于过滤残渣，方便后续清理，且利用设置的排水管，便于将导水箱内部的水排出，配合烘干风机与加热箱，便于对箱体内部进行快速烘干；

3、本实用新型通过螺纹轴与定位孔连接，便于夹持座与输出端固定连接，且通过伸缩块伸入至圆形槽内部，提高连接的稳固性，从而便于夹持座拆卸安装，方便进行更换维护，或者清理；

4、本实用新型通过晶圆伸入至夹持块内部，夹持块受力的影响下带动滑套在固定轴上移动，对第一弹簧收缩，同时带动第二弹簧收缩，配合电动伸缩杆输出，便于对晶圆进行夹持固定，同时便于根据晶圆的大小进行夹持，且利用电机运作，便于带动夹持座转动，从而带动夹持的晶圆转动，便于清理晶圆外表面。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的剖视示意图；

图3是本实用新型实施例提供的夹持座剖视示意图；

图4是本实用新型实施例提供的输出端局部剖视示意图；

图5是本实用新型实施例提供的螺纹轴剖视示意图。

图中：1、箱体；2、导水箱；3、电动伸缩杆；4、电机；5、伸缩机构；11、箱门；12、控制器；13、通风网板；14、储水箱；141、出水管；15、烘干风机；151、导风管；16、加热箱；161、导热管；21、排水管；22、滤网；23、第一防护板；24、第二防护板；31、夹持座；311、螺纹轴；312、调节槽；313、固定轴；314、第一弹簧；315、滑套；316、夹持块；317、第二弹簧；318、内翻；32、输出端；321、定位孔；322、圆形槽；51、台阶孔；52、伸缩弹簧；53、伸缩块。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1所示，本实用新型实施例提供的一种晶圆处理设备，包括箱体1，所述箱体1前侧外壁连接有箱门11和控制器12，所述箱体1左右两侧设有通风网板13，所述箱体1内部连接有导水箱2，所述导水箱2上端对称连接有横截面呈凹字形布置的第一防护板23和第二防护板24，所述第一防护板23与第二防护板24内部分别连接有电机4和电动伸缩杆3，所述电机4与电动伸缩杆3相对应的一端均连接有输出端32，所述输出端32分别贯穿第一防护板23和第二防护板24，所述输出端32贯穿第一防护板23或第二防护板24的一端均连接有夹持座31，所述箱体1上端连接有储水箱14、烘干风机15和加热箱16，所述储水箱14下端连接有出水管141，所述出水管141延伸至箱体1内部，所述烘干风机15外壁连接有导风管151，所述导风管151延伸至箱体1内部，所述加热箱16外壁连接有导热管161，所述导热管161与导风管151连通。本实用新型通过设置的第一防护板23与第二防护板24，对电机4和电动伸缩杆3进行保护，避免在对晶圆清洗的过程中水分飘落至电机4和电动伸缩杆3外表面，从而有效避免造成短路的问题。

如图2所示，所述导水箱2上端连接有滤网22，所述导水箱2左侧连接有排水管21，所述排水管21贯穿箱体1内部延伸至外部；通过设置的滤网22，在对晶圆清洗的过程中，便于过滤残渣，方便后续清理，且利用设置的排水管21，便于将导水箱2内部的水排出，配合烘干风机15与加热箱16，便于对箱体1内部进行快速烘干。

如图2至图5所示，所述输出端32之间相对应的一端面均设有定位孔321，所述输出端32内壁设有圆形槽322，所述圆形槽322与定位孔321连通，且所述圆形槽322的直径大于定位孔321的直径，所述夹持座31直径相反的一端面均连接有与定位孔321连接的螺纹轴311，所述螺纹轴311外壁连接有多个伸缩机构5，所述伸缩机构5包括设置在螺纹轴311外壁的台阶孔51，所述台阶孔51内部连接有伸缩块53，所述伸缩块53位于台阶孔51内部的一端连接有伸缩弹簧52，所述伸缩块53伸入至台阶孔51的一端延伸至圆形槽322内部；通过螺纹轴311与定位孔321连接，便于夹持座31与输出端32固定连接，且通过伸缩块53伸入至圆形槽322内部，提高连接的稳固性，从而便于夹持座31拆卸安装，方便进行更换维护，或者清理。

如图3所示，所述夹持座31上端的内侧外壁一体成型有内翻318，所述夹持座31与内翻318横截面呈L形布置，所述内翻318下端面设有调节槽312，所述调节槽312内壁连接有固定轴313，所述固定轴313外壁套设有滑套315，所述滑套315的外壁连接有第一弹簧314，所述第一弹簧314另一端与调节槽312内壁连接，所述第一弹簧314套设在固定轴313外壁，所述滑套315延伸至调节槽312外部的一端连接有夹持块316，所述夹持块316靠近夹持座31的一端面连接有多个第二弹簧317，所述第二弹簧317另一端与夹持座31外壁连接；通过晶圆伸入至夹持块316内部，夹持块316受力的影响下带动滑套315在固定轴313上移动，对第一弹簧314收缩，同时带动第二弹簧317收缩，配合电动伸缩杆3输出，便于对晶圆进行夹持固定，同时便于根据晶圆的大小进行夹持，且利用电机4运作，便于带动夹持座31转动，从而带动夹持的晶圆转动，便于清理晶圆外表面。

本实用新型的工作原理：

在使用时，首先打开箱门11，将两个夹持座31分别与电机4上设置的输出端32和电动伸缩杆3上设置的输出端32连接，夹持座31与电动伸缩杆3上连接的输出端32连接时，螺纹轴311伸入定位孔321内部，使得伸缩块53受力的影响下带动伸缩弹簧52向台阶孔51内部收缩，当台阶孔51与圆形槽322对应时，伸缩弹簧52回弹，使得伸缩块53伸入至圆形槽322内部进行限位；当夹持座31与电机4上连接的输出端32连接时，螺纹轴311伸入定位孔321内部，使得与输出端32螺纹连接，同时伸缩块53受力的影响下带动伸缩弹簧52向台阶孔51内部收缩，当台阶孔51与圆形槽322对应时，伸缩弹簧52回弹，使得伸缩块53伸入至圆形槽322内部进行限位，从而完成夹持座31的安装，让后将晶圆放入至夹持块316内部，夹持块316受力的影响下带动滑套315在固定轴313上移动，对第一弹簧314收缩，同时带动第二弹簧317收缩，配合电动伸缩杆3输出，便于对晶圆进行夹持固定，同时便于根据晶圆的大小进行夹持，且利用电机4运作，便于带动夹持座31转动，从而带动夹持的晶圆转动，配合出水管141将储水箱14内部的水导出，便于清理晶圆外表面，完成清理后，启动烘干风机15和加热箱16，加热向将热气通过导热管161导入至导风管151，导风管151将风雨热气混合的空气导入至箱体1内部，对箱体1内部快速烘干。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种晶圆处理设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)前侧外壁连接有箱门(11)和控制器(12)，所述箱体(1)左右两侧设有通风网板(13)，所述箱体(1)内部连接有导水箱(2)，所述导水箱(2)上端对称连接有横截面呈凹字形布置的第一防护板(23)和第二防护板(24)，所述第一防护板(23)与第二防护板(24)内部分别连接有电机(4)和电动伸缩杆(3)，所述电机(4)与电动伸缩杆(3)相对应的一端均连接有输出端(32)，所述输出端(32)分别贯穿第一防护板(23)和第二防护板(24)，所述输出端(32)贯穿第一防护板(23)或第二防护板(24)的一端均连接有夹持座(31)，所述箱体(1)上端连接有储水箱(14)、烘干风机(15)和加热箱(16)，所述储水箱(14)下端连接有出水管(141)，所述出水管(141)延伸至箱体(1)内部，所述烘干风机(15)外壁连接有导风管(151)，所述导风管(151)延伸至箱体(1)内部，所述加热箱(16)外壁连接有导热管(161)，所述导热管(161)与导风管(151)连通。

2.如权利要求1所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述导水箱(2)上端连接有滤网(22)。

3.如权利要求2所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述导水箱(2)左侧连接有排水管(21)，所述排水管(21)贯穿箱体(1)内部延伸至外部。

4.如权利要求1所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述输出端(32)之间相对应的一端面均设有定位孔(321)。

5.如权利要求4所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述输出端(32)内壁设有圆形槽(322)，所述圆形槽(322)与定位孔(321)连通，且所述圆形槽(322)的直径大于定位孔(321)的直径。

6.如权利要求1所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述夹持座(31)直径相反的一端面均连接有与定位孔(321)连接的螺纹轴(311)。

7.如权利要求6所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述螺纹轴(311)外壁连接有多个伸缩机构(5)，所述伸缩机构(5)包括设置在螺纹轴(311)外壁的台阶孔(51)，所述台阶孔(51)内部连接有伸缩块(53)，所述伸缩块(53)位于台阶孔(51)内部的一端连接有伸缩弹簧(52)，所述伸缩块(53)伸入至台阶孔(51)的一端延伸至圆形槽(322)内部。

8.如权利要求6所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述夹持座(31)上端的内侧外壁一体成型有内翻(318)，所述夹持座(31)与内翻(318)横截面呈L形布置，所述内翻(318)下端面设有调节槽(312)，所述调节槽(312)内壁连接有固定轴(313)，所述固定轴(313)外壁套设有滑套(315)，所述滑套(315)的外壁连接有第一弹簧(314)，所述第一弹簧(314)另一端与调节槽(312)内壁连接，所述第一弹簧(314)套设在固定轴(313)外壁。

9.如权利要求8所述的一种晶圆处理设备，其特征在于：所述滑套(315)延伸至调节槽(312)外部的一端连接有夹持块(316)，所述夹持块(316)靠近夹持座(31)的一端面连接有多个第二弹簧(317)，所述第二弹簧(317)另一端与夹持座(31)外壁连接。