CN220651964U - 一种虚拟像素固晶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于固晶设备领域，尤其涉及一种虚拟像素固晶机，包括：固晶载台，所述固晶载台用于承载目标基板；供晶组件，所述供晶组件的数量至少为四个，所述供晶组件分别设置在所述固晶载台四周对应位置，所述供晶组件用于提供像素晶圆，且至少两个供晶组件所提供的像素晶圆的颜色相同；摆臂组件，所述摆臂组件的数量与所述供晶组件的数量相匹配，且所述摆臂组件分别位于所述供晶组件对应位置。本实用新型通过摆臂组件的输出端分别将与其对应的供晶组件所提供的像素晶圆搬运至固晶载台上的目标基板上，从而能够一次性装夹多个像素晶圆，实现虚拟像素模组的多个像素晶圆的固晶，提高工作效率。

Description

一种虚拟像素固晶机

技术领域

本实用新型属于固晶设备领域，尤其涉及一种虚拟像素固晶机。

背景技术

固晶设备是一种固定晶体，半导体封装的机械设备，它能够将蓝膜上的晶圆转移并贴合到目标基板上，完成芯片贴装，广泛应用于LED直显屏、半导体分立器件、DIP和SOP等产品的生产。由于像素是由红色、绿色、蓝色三种不同颜色的晶圆所组成，因此传统的虚拟像素固晶机一般是通过将三种颜色的晶圆分别放置在目标基板上，从而实现像素的固晶，但是，对于一些特殊的排列，例如RGGB等，由于需要的像素晶圆的数量较多，因此，在生产一个像素模组过程中需要多次搬运像素晶圆，从而导致生产效率降低，不能满足正常生产需求。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种虚拟像素固晶机，具备工作效率高的优点，解决了生产效率低的问题。

为解决上述的技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种虚拟像素固晶机，包括：

固晶载台，所述固晶载台用于承载目标基板；

供晶组件，所述供晶组件的数量至少为四个，所述供晶组件分别设置在所述固晶载台四周对应位置，所述供晶组件用于提供像素晶圆，且至少两个供晶组件所提供的像素晶圆的颜色相同；

摆臂组件，所述摆臂组件的数量与所述供晶组件的数量相匹配，且所述摆臂组件分别位于所述供晶组件对应位置，所述摆臂组件的输出端将所述供晶组件上的像素晶圆搬运至所述固晶载台上的目标基板上。

进一步地，所述供晶组件包括晶圆盘，所述晶圆盘的底部设置有顶针机构，所述顶针机构的输出端朝向所述晶圆盘方向。

进一步地，所述摆臂组件包括安装支架，所述安装支架上设置有升降驱动装置和旋转驱动装置，所述升降驱动装置的输出端固定连接有摆臂本体，所述摆臂本体远离所述升降驱动装置一端固定连接有搬运吸嘴，所述摆臂本体与所述旋转驱动装置的输出端滑动连接。

进一步地，所述升降驱动装置包括第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有驱动部件，所述驱动部件上设置有连接部件，所述连接部件与所述驱动部件转动连接，所述连接部件远离所述驱动部件一端设置有驱动支架，所述连接部件与所述驱动支架转动连接，所述驱动支架与所述摆臂本体固定连接，且所述驱动支架与所述安装支架滑动连接。

进一步地，所述驱动部件包括驱动板，所述驱动板与所述第一驱动电机的输出端固定连接，所述驱动板的一端固定连接驱动柱，所述连接部件套设在所述驱动柱的外表面，且所述连接部件与所述驱动柱转动连接。

进一步地，所述旋转驱动装置包括第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定连接有旋转支架，所述摆臂本体与所述旋转支架滑动连接。

进一步地，所述固晶载台上方还设置有图像采集组件，所述图像采集组件的采集端朝向所述固晶载台上的目标基板。

借由上述技术方案，本实用新型提供了一种虚拟像素固晶机，至少具备以下有益效果：

该虚拟像素固晶机，通过设置供晶组件，供晶组件的数量至少为四个，摆臂组件的数量与供晶组件的数量相匹配，摆臂组件的输出端分别将与其对应的供晶组件所提供的像素晶圆搬运至固晶载台上的目标基板上，从而能够一次性装夹多个像素晶圆，实现虚拟像素模组的多个像素晶圆的固晶，提高工作效率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分：

图1为本申请实施例提供的虚拟像素固晶机的立体结构示意图；

图2为本申请实施例提供的虚拟像素固晶机的供晶组件结构示意图；

图3为本申请实施例提供的虚拟像素固晶机的摆臂组件结构示意图；

图4为本申请实施例提供的虚拟像素固晶机的升降驱动装置结构示意图；

图5为本申请实施例提供的虚拟像素固晶机的驱动部件结构示意图；

图6为本申请实施例提供的虚拟像素固晶机的旋转驱动装置结构示意图。

图中：100、供晶组件；110、晶圆盘；120、顶针机构；200、摆臂组件；210、安装支架；220、升降驱动装置；221、第一驱动电机；222、驱动部件；2221、驱动板；2222、驱动柱；223、连接部件；224、驱动支架；230、旋转驱动装置；231、第二驱动电机；232、旋转支架；240、摆臂本体；250、搬运吸嘴；300、图像采集组件。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本申请实施例提供的虚拟像素固晶机主要包括固晶载台（图中未示出）、供晶组件100和摆臂组件200。其中，固晶载台用于承载目标基板，供晶组件100用于提供像素晶圆，摆臂组件200用于将供晶组件100所提供的像素晶圆搬运至固晶载台上的目标基板上，从而实现像素晶圆的固晶。固晶载台上设置有驱动机构（图中未示出），驱动机构用于驱动目标基板移动，从而能够在目标基板上不同位置进行固晶。供晶组件100的数量为四个，四个供晶组件100分别设置在固晶载台四周对应位置。其中，一个供晶组件100用于提供红色像素晶圆，两个供晶组件100用于提供绿色像素晶圆，另外一个供晶组件100用于提供蓝色像素晶圆。摆臂组件200的数量与供晶组件100的数量相匹配，且摆臂组件200分别设置在供晶组件100对应位置，各摆臂组件200分别将与其对应的供晶组件100所提供的像素晶圆搬运至固晶载台上，从而能够一次性装夹多个像素晶圆，实现虚拟像素模组的多个像素晶圆的固晶，提高工作效率。

需要说明的是，供晶组件100还可以根据实际生产需求提供其它颜色的像素晶圆，例如，一个供晶组件100提供红色像素晶圆，两个供晶组件100提供黄色像素晶圆，一个供晶组件100提供蓝色像素晶圆。另外，需要注意的是，供晶组件100的数量也可以根据实际生产需求进行增加，即供晶组件100的数量也可以大于四个，此时，至少有两个供晶组件100所提供的像素晶圆颜色相同。当供晶组件100的数量增加时，摆臂组件200的数量随之增加，从而使摆臂组件200与供晶组件100一一对应，提高工作效率。

请结合图1并参阅图2，具体的，供晶组件100包括晶圆盘110和顶针机构120，顶针机构120位于晶圆盘110的正下方，晶圆盘110用于存储像素晶圆，顶针机构120的输出端朝向晶圆盘110方向，顶针机构120用于将晶圆盘110上的像素晶圆顶起，以便摆臂组件200200吸取。

请结合图1并参阅图3，摆臂组件200包括安装支架210，安装支架210上设置有升降驱动装置220和旋转驱动装置230，升降驱动装置220的输出端固定连接摆臂本体240，摆臂本体240远离升降驱动装置220一端固定连接搬运吸嘴250，搬运吸嘴250用于吸取像素晶圆，且摆臂本体240与旋转驱动装置230的输出端滑动连接。使用时，升降驱动装置220的输出端驱动摆臂本体240上下运动，从而实现像素晶圆的取放，旋转驱动装置230的输出端驱动摆臂本体240旋转运动，从而使摆臂本体240带动搬运吸嘴250在固晶载台与供晶机构之间往复运动，实现像素晶圆的搬运。

请结合图3并参阅图4，升降驱动装置220包括第一驱动电机221，第一驱动电机221的输出端固定连接有驱动部件222，驱动部件222上设置有连接部件223，连接部件223与驱动部件222转动连接，连接部件223上远离驱动部件222一端还设置有驱动支架224，连接部件223与驱动支架224转动连接，驱动支架224与摆臂本体240固定连接，且驱动支架224与安装支架210滑动连接。第一驱动电机221的输出端带动驱动部件222转动，驱动部件222通过连接部件223带动驱动支架224在安装支架210上滑动，从而使驱动支架224带动摆臂本体240上下运动。

请参阅图6，具体的，驱动部件222包括驱动板2221，驱动板2221与第一驱动电机221的输出端固定连接，驱动板2221为矩形板状结构，驱动板2221的一端固定连接有驱动柱2222，驱动柱2222为圆形柱状结构，且驱动柱2222的轴心与第一驱动电机221的轴心不在同一虚拟的直线上，连接部件223套设在驱动柱2222的外表面，且连接部件223与驱动柱2222转动连接，当第一驱动电机221的输出端转动时，驱动板2221带动驱动柱2222以第一驱动电机221输出端的轴心旋转，驱动柱2222的高度改变，从而通过驱动柱2222带动连接部件223上下运动，连接部件223通过驱动支架224带动摆臂本体240上下运动。

请结合图3并参阅图5，旋转驱动装置230包括第二驱动电机231，第二驱动电机231的输出端固定连接有旋转支架232，旋转支架232与安装支架210转动连接，且摆臂本体240与旋转支架232上下滑动连接。旋转支架232为弧形结构，旋转支架232的内侧设置有滑轨，且滑轨为竖直设置，摆臂本体240上与滑轨对应位置固定连接有滑块，滑块与滑轨滑动连接，摆臂本体240通过滑块与滑轨的相互配合与旋转支架232滑动连接。使用时，第二驱动电机231的输出端驱动旋转支架232转动，旋转支架232带动摆臂本体240旋转运动，使摆臂本体240上的搬运吸嘴250在固晶载台与供晶机构之间运动，实现像素晶圆的搬运。

请在此参阅图1，固晶载台的上方还设置有图像采集组件300，图像采集组件300的采集端朝向固晶载台上的目标基板，图像采集组件300用于实时采集目标基板上像素晶圆的位置信息。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种虚拟像素固晶机，其特征在于，包括：

固晶载台，所述固晶载台用于承载目标基板；

供晶组件（100），所述供晶组件（100）的数量至少为四个，所述供晶组件（100）分别设置在所述固晶载台四周对应位置，所述供晶组件（100）用于提供像素晶圆，且至少两个供晶组件（100）所提供的像素晶圆的颜色相同；

摆臂组件（200），所述摆臂组件（200）的数量与所述供晶组件（100）的数量相匹配，且所述摆臂组件（200）分别位于所述供晶组件（100）对应位置，所述摆臂组件（200）的输出端分别将与其对应的所述供晶组件（100）上的像素晶圆搬运至所述固晶载台上的目标基板上。

2.根据权利要求1所述的虚拟像素固晶机，其特征在于，所述供晶组件（100）包括晶圆盘（110），所述晶圆盘（110）的底部设置有顶针机构（120），所述顶针机构（120）的输出端朝向所述晶圆盘（110）方向。

3.根据权利要求1所述的虚拟像素固晶机，其特征在于，所述摆臂组件（200）包括安装支架（210），所述安装支架（210）上设置有升降驱动装置（220）和旋转驱动装置（230），所述升降驱动装置（220）的输出端固定连接有摆臂本体（240），所述摆臂本体（240）远离所述升降驱动装置（220）一端固定连接有搬运吸嘴（250），所述摆臂本体（240）与所述旋转驱动装置（230）的输出端滑动连接。

4.根据权利要求3所述的虚拟像素固晶机，其特征在于，所述升降驱动装置（220）包括第一驱动电机（221），所述第一驱动电机（221）的输出端固定连接有驱动部件（222），所述驱动部件（222）上设置有连接部件（223），所述连接部件（223）与所述驱动部件（222）转动连接，所述连接部件（223）远离所述驱动部件（222）一端设置有驱动支架（224），所述连接部件（223）与所述驱动支架（224）转动连接，所述驱动支架（224）与所述摆臂本体（240）固定连接，且所述驱动支架（224）与所述安装支架（210）滑动连接。

5.根据权利要求4所述的虚拟像素固晶机，其特征在于，所述驱动部件（222）包括驱动板（2221），所述驱动板（2221）与所述第一驱动电机（221）的输出端固定连接，所述驱动板（2221）的一端固定连接驱动柱（2222），所述连接部件（223）套设在所述驱动柱（2222）的外表面，且所述连接部件（223）与所述驱动柱（2222）转动连接。

6.根据权利要求5所述的虚拟像素固晶机，其特征在于，所述旋转驱动装置（230）包括第二驱动电机（231），所述第二驱动电机（231）的输出端固定连接有旋转支架（232），所述摆臂本体（240）与所述旋转支架（232）滑动连接。

7.根据权利要求1所述的虚拟像素固晶机，其特征在于，所述固晶载台上方还设置有图像采集组件（300），所述图像采集组件（300）的采集端朝向所述固晶载台上的目标基板。