CN220635465U - 一种晶圆清洗结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆清洗结构，包括：清洗刷，清洗刷包括内部设置的中空部件和与中空部件连通的出口，中空部件供清洗液通过并自出口流出至外部；进液轴，进液轴的内部设置有进液通道，进液通道与中空部件连通，用于供流向中空部件的清洗液通过；第一轴承，包括外圈和内圈，清洗刷的第一端套设在外圈外侧，内圈套设在进液轴外侧，清洗刷受外力在第一轴承作用下能够相对于进液轴转动。本实用新型通过将清洗刷的一端设轴承，使得与之对接的进液轴及其配套结构可以简化结构，且在本申请的方案中避免了进液轴参与转动，其使用寿命更长。

Description

一种晶圆清洗结构

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗结构。

背景技术

在半导体加工领域，晶圆的表面清洁在所有的加工工艺中占据着极大的比重，因为在晶圆的制造过程中首先要保证晶圆的表面平整度，这就需要一种CMP(化学机械抛光)工艺对此进行加工。而在此过程中由于使用了大量的化学试剂和研磨剂，不可避免的会在晶圆表面遗留大量的研磨颗粒和其它污染物。此时就需要对晶圆表面进行清洗，而常用的就有物理方面的带清洗刷的清洗结构进行清洗的方案。

现有技术中的清洗结构部件比较复杂，由于部件结构复杂导致清洗刷结构在维护更换进行拆装时需要大量的人力物力，及其浪费时间和成本。

实用新型内容

有鉴于此，本申请实施例为解决背景技术中现有的清洗刷结构存在的至少一个问题而提供一种晶圆清洗结构。

第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆清洗结构，包括：

清洗刷，所述清洗刷包括内部设置的中空部件和与所述中空部件连通的出口，所述中空部件供清洗液通过并自所述出口流出至外部；

进液轴，所述进液轴的内部设置有进液通道，所述进液通道与所述中空部件连通，用于供流向所述中空部件的清洗液通过；

第一轴承，包括外圈和内圈，所述清洗刷的第一端套设在所述外圈外侧，所述内圈套设在所述进液轴外侧，所述清洗刷受外力在所述第一轴承作用下能够相对于所述进液轴转动。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述清洗结构还包括：

第一支撑安装板，具有第一空腔，至少部分所述进液轴位于所述第一空腔内；

伸缩组件，位于所述第一支撑安装板与所述进液轴之间；

所述进液轴至少具有第一状态和第二状态，

所述进液轴处于所述第一状态时，所述进液轴与所述内圈连接，所述进液轴的进液通道与所述清洗刷的所述中空部件连通，所述伸缩组件为保持所述第一状态提供预紧力；

所述进液轴处于所述第二状态时，所述进液轴与所述内圈分离，所述伸缩组件处于压缩状态，所述进液轴的进液通道与所述清洗刷的中空部件分离。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，还包括：

驱动组件，用于提供旋转驱动力，所述驱动组件的输出轴与所述清洗刷的第二端连接；所述第二端为所述第一端的相反端；

驱动组件，用于提供旋转驱动力，所述驱动组件的输出轴与所述清洗刷的第二端连接；所述第二端为所述第一端的相反端；

所述进液轴处于所述第一状态时，所述清洗刷与所述驱动组件连接；

所述进液轴处于所述第二状态时，所述清洗刷与所述驱动组件分离。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述中空部件靠近所述第一端设置为开口端，靠近所述第二端设置为封闭端，所述封闭端设置有连接部，所述连接部用于与所述驱动组件的输出轴连接；所述开口端设置有轴承安装座，所述轴承安装座用于安装所述第一轴承并与所述进液轴连接，以使所述开口端与所述进液通道连通。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述驱动组件包括：

第二支撑安装板，所述第二支撑安装板具有第二空腔；

第二轴承，安装在所述第二空腔内；

主动端定位轴，安装在所述第二空腔内且穿过所述第二轴承设置；

主动端轴套，安装在所述清洗刷的第二端，所述主动端轴套具有卡合部，所述主动端定位轴通过所述卡合部与所述清洗刷卡合或脱离；

伺服电机，包括机身和驱动轴，至少部分所述机身固定在所述第二支撑安装板内，所述驱动轴与所述主动端定位轴对接。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，还包括通气接头；

所述第二支撑安装板上设置有与所述第二空腔连通的进气孔，所述通气接头与所述进气孔连通，以使所述第二空腔内充满气体介质。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述进液轴的两端设有凹槽，所述凹槽内分别设有第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和所述第二密封圈的外侧抵靠所述第一空腔的内壁。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述第一空腔的内壁远离所述清洗刷的一端向内凸出有第一台阶面，所述进液轴的外壁向外凸出有第二台阶面；

所述伸缩组件包括弹簧，所述弹簧套设在所述进液轴上且所述弹簧的两端分别抵靠所述第一台阶面和所述第二台阶面。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述第一空腔的内壁还向内凸出有第三台阶面，所述进液轴的外壁还向外凸出有第四台阶面；所述第三台阶面用于限制所述第四台阶面远离所述清洗刷缩回的距离。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述进液轴远离所述清洗刷的一端连接有进液转接头。

本申请实施例所提供的晶圆清洗结构通过将清洗刷的一端设轴承，使得与之对接的进液轴及其配套结构可以简化结构，且在本申请实施例的方案中避免了进液轴参与转动，其使用寿命更长。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本实施例提供的晶圆清洗刷外部结构示意图；

图2为本实施例提供的晶圆清洗刷剖面示意图；

图3为图2的第一支撑安装板处局部放大图；

图4为图2的第二支撑安装板处局部放大图。

图中的附图标记为：

1 伺服电机；

2 第二支撑安装板；

4 主动端轴套；

5 清洗刷；

6 第一支撑安装板；

8 通气接头；

9 主动端定位轴；

10 第二轴承；

11 第一轴承；

12 第一密封圈；

13 进液轴；

14 弹簧；

15 第二密封圈；

16 进液转接头；

51 封闭端；

52 开口端；

61 第一台阶面；

62 第三台阶面；

131 第二台阶面；

132 第四台阶面；

A 区域。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本申请公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本申请的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请，而不应被这里阐述的具体实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本申请更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本申请可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本申请发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述；即，这里不描述实际实施例的全部特征，不详细描述公知的功能和结构。

空间关系术语例如“在……下”、“在……下面”、“下面的”、“在……之下”、“在……之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。示例性术语“在……下面”和“在……下”可包括上和下两个取向。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本申请的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

为了彻底理解本申请，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本申请的技术方案。本申请的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本申请还可以具有其他实施方式。

本实施例提供一种晶圆清洗结构，如图1-3所示，包括：

清洗刷5，所述清洗刷5包括内部设置的中空部件和与所述中空部件连通的出口，所述中空部件供清洗液通过并自所述出口流出至外部；

进液轴13，所述进液轴13的内部设置有进液通道，所述进液通道与所述中空部件连通，用于供流向所述中空部件的清洗液通过；

第一轴承11，包括外圈和内圈，所述清洗刷5的第一端套设在所述外圈外侧，所述内圈套设在所述进液轴13外侧，所述清洗刷5受外力在所述第一轴承11作用下能够相对于所述进液轴13转动。

本实施例的清洗结构，将第一轴承11安装在清洗刷5的一端，取消了在进液轴13及其配套结构之间设置的轴承安装位置以及轴承，清洗刷5转动时，由于第一轴承11的外圈是转动的，而内圈是静止的，进而清洗刷5转动时，进液轴13不再需要进行从动的转动，实现了结构的简化。

由于本实施例的清洗结构中，进液轴13不再需要进行从动的转动，所以进液轴13的密封性相比传统的可转动的进液轴要更好，同时在使用上磨损更小，使用寿命就更长。

而且，清洗刷5转动时，由于进液轴13不需要转动，进液轴13的出液口是静止的，因此，进液轴13的出液口与清洗刷5的连接较为稳定，有利于提高供液的稳定性。

进液轴13的进液通道用于供流向所述清洗刷5中空部件的清洗液通过，进液轴13的出液口和清洗刷5中空部件的进液口对接，实现清洗液向中空部件内的输送。晶圆被放置到位后，可使清洗刷5与晶圆接触，控制清洗刷5转动，使清洗刷5擦洗晶圆，中空部件内的清洗液可以从中空部件的出口流出至清洗刷5与晶圆的接触面，提高清洗效果。

可选地，在一些可选实施例中，晶圆清洗结构还包括：喷淋机构，所述喷淋机构的喷嘴的喷液方向朝向晶圆，可向喷嘴提供清洗液，利用喷嘴喷淋晶圆，进一步提高对晶圆的清洗效果。喷淋机构独立设置，所述喷淋机构的喷嘴可以设置于清洗刷5的上方。

如图1所示，清洗刷5还可以包括刷毛，刷毛位于中空部件外，清洗刷5通过刷毛与晶圆接触，刷毛可以提升清洁效果。由中空部件出口流出的清洗液可以将刷毛浸湿。

示例性地，刷毛可以是胶毛，也可以是如图1所示的柔性凸起，不会对晶圆造成损伤。

可选地，本实施例的清洗结构，如图1-4所示，所述清洗结构还包括：

第一支撑安装板6，具有第一空腔，至少部分所述进液轴13位于所述第一空腔内；

伸缩组件，位于所述第一支撑安装板6与所述进液轴13之间；

所述进液轴13至少具有第一状态和第二状态，

所述进液轴13处于所述第一状态时，所述进液轴13与所述内圈连接，所述进液轴13的进液通道与所述清洗刷5的所述中空部件连通，所述伸缩组件为保持所述第一状态提供预紧力；

所述进液轴13处于所述第二状态时，所述进液轴13与所述内圈分离，所述伸缩组件处于压缩状态，所述进液轴13的进液通道与所述清洗刷5的中空部件分离。

在该可选实施例中，采用了伸缩组件连接第一支撑安装板6和所述进液轴13，实现进液轴13的可伸缩状态。一般地，清洗刷5的轴向方向上的安装空间的长度是相对固定的，通过压缩伸缩组件，进液轴13和内圈之间可拆卸，可为拆卸清洗刷5提供可操作空间。

所述伸缩组件处于压缩状态，所述进液轴13的进液通道与所述清洗刷5的中空部件分离之后，所述伸缩组件还可以复原。

可选地，本实施例的清洗结构，如图1-4所示，还包括：

驱动组件，用于提供旋转驱动力，所述驱动组件的输出轴与所述清洗刷5的第二端连接；所述第二端为所述第一端的相反端；

所述进液轴13处于所述第一状态时，所述清洗刷5与所述驱动组件连接；

所述进液轴13处于所述第二状态时，所述清洗刷5与所述驱动组件分离。

进液轴13伸出时，能够如图2所示的将清洗刷5往右顶紧，使清洗刷5卡合驱动组件，满足旋转功能和供液功能；而当进液轴13向左缩回时，进液轴13与驱动组件之间的距离就增大了，也即清洗刷5有足够大的空间可以从进液轴13与驱动组件之间拆除，以上操作可以单手完成。比如拆卸清洗刷5只需单手握住清洗刷5向左推动或者单手操作进液轴部分向左施力，即可撤除驱动组件与清洗刷5第二端之间互相抵持的力，或者先撤除进液轴抵持清洗刷的力，从而使得驱动组件与清洗刷的第二端分离，进而实现了操作人员的对清洗刷5与驱动组件的快速拆装。

伸缩组件能够为清洗刷5提供保持与所述驱动组件连接的预紧力，以保证清洗刷5与驱动组件连接的可靠性。

伸缩组件也能够为进液轴13提供保持在第一状态的预紧力，进而保证第一状态下，进液轴13与内圈连接的可靠性。伸缩组件被压缩时(即进液轴13处于所述第二状态时)，伸缩组件无法提供预紧力，进液轴13可以与内圈分离。

因此，随着伸缩组件的被压缩，可以实现对清洗刷5两端的拆卸。

拆卸清洗刷5时，可以先拆卸清洗刷5靠近进液轴13的一端，也可也先拆卸清洗刷5靠近驱动组件的另一端。在该可选方案中，进液轴13能够和清洗刷5分离，同时供液的管路也能够分离。

可选地，本实施例的清洗结构，如图2-4所示，所述中空部件靠近所述第一端设置为开口端52，靠近所述第二端设置为封闭端51，所述封闭端51设置有连接部，所述连接部用于与所述驱动组件的输出轴连接；所述开口端52设置有轴承安装座，所述轴承安装座用于安装所述第一轴承11并与进液轴13连接，以使所述开口端52与所述进液通道连通。

具体的，作为其一的方案，所述中空部件一端是开口端52，另一端为所述封闭端51，封闭端51复用为连接部。该方案下中空部件的一端做成封闭端对于通过接头来封闭腔体的方案来说，密封性更好。并且，封闭端51复用为连接部，使中空部件直接可以和所述驱动组件的输出轴连接，结构简单。

作为其二的方案，所述中空部件和连接部是相互独立的两个部件。中空部件一端是具有开口的开口端52，另一端为封闭端51。连接部连接于封闭端51，并与驱动组件的输出轴连接。该方案下，由于连接部是独立的，可以在制造时单独制造，便于与所述输出轴匹配。

作为其三的方案，中空部件和连接部是相互独立的两个部件。中空部件是一个两端开口的结构，其中靠近所述第二端通过连接部进行封闭。其次，靠近所述第一端也可以通过独立的轴承安装座连接，该轴承安装座也需要开设开口以供清洗液流过。采用这种分体结构，使清洗刷的中空部件的打孔工艺更加简单，分体的连接部可以在后续安装，这样打孔的工艺就可以打通孔而不需要打盲孔，盲孔的加工工艺要难于通孔，所以综上所述清洗刷5分体的结构，有利于减小工艺难度。

可选地，本实施例的清洗结构，如图2、4所示，所述驱动组件包括：

第二支撑安装板2，所述第二支撑安装板2具有第二空腔；

第二轴承10，安装在所述第二空腔内；

主动端定位轴9，安装在所述第二空腔内且穿过所述第二轴承10设置；

主动端轴套4，安装在所述清洗刷5的第二端，所述主动端轴套4具有卡合部，所述主动端定位轴9通过所述卡合部与所述清洗刷5卡合(此处的卡合即上述的进液轴13处于所述第一状态时)或脱离(此处的脱离卡合即上述的进液轴13处于所述第二状态时)；

伺服电机1，包括机身和驱动轴，至少部分所述机身固定在所述第二支撑安装板2内，所述驱动轴与所述主动端定位轴9对接。

该可选方案中，通过设置第二支撑安装板2起到一个支撑整体的作用，基于第二支撑安装板2完成伺服电机1、主动端定位轴9、第二轴承10和主动端轴套4的连接固定，实现了主动端轴套4的转动功能，进而可以带动清洗刷5转动。具体的，所述主动端定位轴9与所述主动端轴套4的连接位置是方形的(即不发生相对转动)，所述封闭端51通过键与所述主动端轴套4连接，或所述封闭端51为多边形轮廓，或所述封闭端51可以是花键。

可选地，本实施例的清洗结构，如图4所示，还包括通气接头8；

所述第二支撑安装板2上设置有与所述第二空腔连通的进气孔，所述通气接头与所述进气孔连通，以使所述第二空腔内充满气体介质。通气接头8用于连接如气泵等气体产生装置，作用是在如图4所示的区域A位置通入气体，产生正压，通过向通气接头8充入高压气体，使第二支撑安装板2内部形成气体隔膜，这样在清洗刷5通液清洗时的清洗液飞溅时就难以进入被区域A所包围的驱动组件的内部，并且整个晶圆清洗刷外部的液体等也无法进入到被区域A所包围的驱动组件的内部，即第二轴承10、主动端定位轴9、伺服电机1等部件。通气接头8可以是与第二支撑安装板2之间以螺纹连接的方式安装，便于拆装。

可选地，本实施例的清洗结构，如图3所示，所述进液轴13的两端设有凹槽，所述凹槽内分别设有第一密封圈12和第二密封圈15，所述第一密封圈12和所述第二密封圈15的外侧抵靠所述第一空腔的内壁。该可选方案中，通过在进液轴13的两端和第一空腔之间设置密封圈，使清洗刷5通液清洗时的清洗液飞溅时难以进入第一空腔内，保护了进液轴13以及伸缩组件，避免部件腐蚀。

可选地，本实施例的清洗结构，如图3所示，所述第一空腔的内壁远离所述清洗刷5的一端向内凸出有第一台阶面61，所述进液轴13的外壁向外凸出有第二台阶面131；所述伸缩组件包括弹簧14，所述弹簧14套设在所述进液轴13上且所述弹簧14的两端分别抵靠所述第一台阶面61和所述第二台阶面131。在该可选方案中，提供了一种伸缩组件的结构，采用了弹簧这种伸缩性良好，采购成本低的部件，利用设计的第一台阶面61和第二台阶面131与弹簧之间构成可伸缩的整体，方案可行性高，维护成本低。

可选地，本实施例的清洗结构，如图3所示，所述第一空腔的内壁还向内凸出有第三台阶面62，所述进液轴13的外壁还向外凸出有第四台阶面132；所述第三台阶面62用于限制所述第四台阶面132远离所述清洗刷5缩回的距离。该可选方案中，利用设计的第三台阶面62和第四台阶面132的相互限位结构，实际上起到了防止伸缩组件过压缩的问题，避免伸缩组件压缩过度而衰减性能。例如采用弹簧作为伸缩组件，发生过压缩时弹簧可能发生范性形变，导致长期工作后无法使用。

可选地，本实施例的清洗结构，如图2所示，所述进液轴13远离所述清洗刷5的一端连接有进液转接头16。该可选方案中，设置进液转接头16可以便于连接供液设备比如泵。

可选地，本实施例的清洗结构，所述第一轴承11和所述第二轴承10均为陶瓷轴承，耐磨性、抗腐蚀性都很强，适合作为清洗刷的轴承。

应当理解，以上实施例均为示例性的，不用于包含权利要求所包含的所有可能的实施方式。在不脱离本公开的范围的情况下，还可以在以上实施例的基础上做出各种变形和改变。同样的，也可以对以上实施例的各个技术特征进行任意组合，以形成可能没有被明确描述的本申请的另外的实施例。因此，上述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，不对本申请专利的保护范围进行限制。

Claims (10)

1.一种晶圆清洗结构，其特征在于，包括：

清洗刷(5)，所述清洗刷(5)包括内部设置的中空部件和与所述中空部件连通的出口，所述中空部件供清洗液通过并自所述出口流出至外部；

进液轴(13)，所述进液轴(13)的内部设置有进液通道，所述进液通道与所述中空部件连通，用于供流向所述中空部件的清洗液通过；

第一轴承(11)，包括外圈和内圈，所述清洗刷(5)的第一端套设在所述外圈外侧，所述内圈套设在所述进液轴(13)外侧，所述清洗刷(5)受外力在所述第一轴承(11)作用下能够相对于所述进液轴(13)转动。

2.根据权利要求1所述的清洗结构，其特征在于，所述清洗结构还包括：

第一支撑安装板(6)，具有第一空腔，至少部分所述进液轴(13)位于所述第一空腔内；

伸缩组件，位于所述第一支撑安装板(6)与所述进液轴(13)之间；

所述进液轴(13)至少具有第一状态和第二状态；所述进液轴(13)处于所述第一状态时，所述进液轴(13)与所述内圈连接，所述进液轴(13)的进液通道与所述清洗刷(5)的所述中空部件连通，所述伸缩组件为保持所述第一状态提供预紧力；

所述进液轴(13)处于所述第二状态时，所述进液轴(13)与所述内圈分离，所述伸缩组件处于压缩状态。

3.根据权利要求2所述的清洗结构，其特征在于，所述清洗结构还包括：

驱动组件，用于提供旋转驱动力，所述驱动组件的输出轴与所述清洗刷(5)的第二端连接；所述第二端为所述第一端的相反端；

所述进液轴(13)处于所述第一状态时，所述清洗刷(5)与所述驱动组件连接，所述伸缩组件也为保持所述清洗刷(5)与所述驱动组件的连接提供预紧力；

所述进液轴(13)处于所述第二状态时，所述清洗刷(5)与所述驱动组件分离。

4.根据权利要求3所述的清洗结构，其特征在于，所述中空部件靠近所述第一端设置为开口端(52)，靠近所述第二端设置为封闭端(51)，所述封闭端(51)设置有连接部，所述连接部用于与所述输出轴连接；所述开口端(52)设置有轴承安装座，所述轴承安装座用于安装所述第一轴承(11)并与所述进液轴(13)连接，以使所述开口端(52)与所述进液通道连通。

5.根据权利要求3或4所述的清洗结构，其特征在于，所述驱动组件包括：

第二支撑安装板(2)，所述第二支撑安装板(2)具有第二空腔；

第二轴承(10)，安装在所述第二空腔内；

主动端定位轴(9)，安装在所述第二空腔内且穿过所述第二轴承(10)设置；

主动端轴套(4)，连接于所述清洗刷(5)的第二端，所述主动端轴套(4)具有卡合部，所述主动端定位轴(9)通过所述卡合部与所述清洗刷(5)卡合或脱离；

伺服电机(1)，包括机身和驱动轴，至少部分所述机身固定在所述第二支撑安装板(2)内，所述驱动轴与所述主动端定位轴(9)对接。

6.根据权利要求5所述的清洗结构，其特征在于，所述清洗结构还包括通气接头(8)；

所述第二支撑安装板(2)上设置有与所述第二空腔连通的进气孔，所述通气接头(8)与所述进气孔连通，以使所述第二空腔内充满气体介质。

7.根据权利要求2所述的清洗结构，其特征在于，所述进液轴(13)的两端设有凹槽，所述凹槽内分别设有第一密封圈(12)和第二密封圈(15)，所述第一密封圈(12)和所述第二密封圈(15)的外侧抵靠所述第一空腔的内壁。

8.根据权利要求2或7所述的清洗结构，其特征在于，所述第一空腔的内壁远离所述清洗刷(5)的一端向内凸出有第一台阶面(61)，所述进液轴(13)的外壁向外凸出有第二台阶面(131)；

所述伸缩组件套设在所述进液轴(13)上且所述伸缩组件的两端分别抵靠所述第一台阶面(61)和所述第二台阶面(131)。

9.根据权利要求8所述的清洗结构，其特征在于，所述第一空腔的内壁还向内凸出有第三台阶面(62)，所述进液轴(13)的外壁还向外凸出有第四台阶面(132)；所述第三台阶面(62)用于限制所述第四台阶面(132)远离所述清洗刷(5)缩回的距离。

10.根据权利要求1-4或6-7或9中任一项所述的清洗结构，其特征在于，所述进液轴(13)远离所述清洗刷(5)的一端连接有进液转接头(16)。