CN220627764U - 晶圆盒开盖转移装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的盖板中分别对盖板进行定位及配合操作块转动解锁以取下盖板，操作块与移动支架之间还设有转动导向机构。本实用新型能够实现单人快速开盖、快速锁盖，晶圆盒位置绝对固定，开盖后盖板无需另外存放，锁盖时无需校准位置，可以快速、准确、安全的锁盖。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体材料搬运技术领域，尤其涉及一种晶圆盒开盖转移装置。
背景技术
通常晶圆盒的开盖、锁盖需要两人配合操作，开盖时，晶圆盒不固定位置，会导致开盖后取盖时用力过大导致晶圆盒倾斜，晶圆有滑落的风险；开盖后，开盖工具和盖板需要另外单独存放，容易造成盖板丢失，保存不当也容易损伤工具和盖板；锁盖时，还需要提前校准位置，如果卡扣没有到位，强行锁盖，容易损伤盖板，甚至损伤晶圆。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆盒开盖转移装置，旨在解决现有技术中存在的开盖、锁盖需要两人配合操作，晶圆盒不固定会导致晶圆有滑落风险，开盖后开盖工具和盖板需另外放置，锁盖时需提前校准位置才能锁盖等技术问题。
本实用新型的技术方案是：一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的盖板中分别对盖板进行定位及配合操作块转动解锁以取下盖板，操作块与移动支架之间还设有转动导向机构。
进一步的，本实用新型中所述水平定位机构包括多个竖直定位销，竖直定位销分布安装在固定底座上。
进一步的，本实用新型中所述移动支架通过滑块与滑轨连接。
进一步的，本实用新型中所述滑块上连接有滑杆，滑杆上滑动安装有升降块，移动支架与升降块连接。
进一步的，本实用新型中所述垂直定位机构包括多个水平定位销，水平定位销上下分布安装在移动支架上，盖板上设有与多个水平定位销一一对应配合的多个定位孔。
进一步的，本实用新型中所述解锁组件包括两个解锁块，解锁块和操作块均转动安装在移动支架上，解锁块和操作块上还分别连接有同步块，所述联动机构包括横向设置的联动杆，各同步块分别与联动杆铰接，盖板上设有分别供两个解锁块插入的两个解锁孔。
进一步的，本实用新型中所述转动导向机构包括开设在移动支架上的导向槽，操作块上设有滑动设置在所述导向槽内的导向件。
进一步的，本实用新型中所述操作块设置在移动支架的一端，移动支架的另一端设有辅助固定件。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：本实用新型的晶圆盒开盖转移装置采用固定底座加滑轨设计，底座上水平定位机构用于对晶圆盒进行水平方向上的固定，晶圆盒位置就绝对固定，不会发生偏移或倾倒的现象；开盖机构安装在滑轨上，可前后移动，且位置绝对固定，开盖、锁盖不需要另外校准，开盖只需一人单独操作即可，开盖后开盖机构和盖板无需另外放置，也避免了对盖板造成损坏；另外，根据作业要求不同，开盖后对盖板的处理方式不同，一般开盖后盖板留在开盖机构上一起滑动移走，取走晶圆盒即可，若配合Robot使用，开盖后盖板滑出再沿着滑杆上升并固定，作业完成后再下降，滑向晶圆盒锁盖。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的装置使用状态示意图；
图2为本实用新型实施例一的装置整体结构图；
图3为本实用新型实施例一中所述解锁组件的具体安装结构图；
图4为本实用新型实施例一中所述晶圆盒盖板的外观图；
图5为本实用新型实施例一中锁盖时晶圆盒盖板内部锁合机构的状态图；
图6为本实用新型实施例一中开盖时晶圆盒盖板内部锁合机构的状态图；
图7为本实用新型实施例二的装置立体图；
图8为本实用新型实施例二的装置另一视角的立体图。
其中：1、固定底座；2、水平定位机构；3、开盖机构；31、移动支架；32、垂直定位机构；33、解锁组件；33a、解锁块；34、操作块；35、转动导向机构；36、辅助固定件；4、滑轨；5、滑块；6、滑杆；7、升降块；8、同步块；9、联动杆；
10、锁合机构；101、转动板；102、伸缩引导槽；103、方孔；104、伸缩板；
A、晶圆盒；B、盖板；B0、定位孔；B1、解锁孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做具体说明。
实施例一：
结合图1至图6所示为本实用新型一种晶圆盒开盖转移装置的第一种具体实施方式，该装置主要包括固定底座1，固定底座1上设有水平定位机构2，水平定位机构2包括2个竖直定位销，2个竖直定位销对称安装在固定底座1上，用于对晶圆盒A实现水平方向上的定位。
固定底座1的一侧设有开盖机构3，开盖机构3包括移动支架31，移动支架31两侧分别设有滑轨4，移动支架31的底部通过滑块5与滑轨4连接。移动支架31上设有垂直定位机构32，垂直定位机构32包括2个水平定位销，2个水平定位销上下分布安装在移动支架31上，再结合图4所示，晶圆盒A的盖板B上设有上下2个定位孔B0，用于分别与2个水平定位销配合插设定位。
移动支架31上还设有解锁组件33、通过联动机构与解锁组件33连接的操作块34。具体的，结合图2、图3，解锁组件33包括间隔分布的两个解锁块33a，解锁块33a和操作块34均转动安装在移动支架31上，解锁块33a和操作块34上还分别连接有同步块8，联动机构包括横向设置的联动杆9，各同步块8分别与联动杆9铰接。通过转动操作块34，在同步块8与联动杆9的配合下，能够带动两个解锁块33a同步转动。
再结合图4所示，盖板B上左右间隔布置有两个解锁孔B1，用于分别供两个解锁块33a插入，对盖板B进行解锁。
需要说明的是，盖板B内部具有两个锁合机构10，分别布置在两侧，与两个解锁孔B1对应设置，解锁块33a能够插入解锁孔B1中，控制锁合机构10的伸缩，从而实现开盖和锁盖。具体的，锁合机构10的结构如图5所示，包括转动板101，转动板101的中心设有方孔103，转动板101上设有两条中心对称的伸缩引导槽102，两条伸缩引导槽102内分别连接有伸缩板104。图5所示为伸缩板104伸出状态，伸缩板104插入晶圆盒A中实现锁盖，解锁块33a可通过解锁孔B1插入方孔103内，解锁块33a转动时可带动转动板101转动，上下两块伸缩板104在伸缩引导槽102的引导下向内缩回，缩回后如图6所示，此时伸缩板104从晶圆盒A中脱出，实现开盖。
此外，本实施例中，操作块34与移动支架31之间还设有转动导向机构35，转动导向机构35包括开设在移动支架31上的导向槽，操作块34上设有滑动设置在导向槽内的导向件。操作块34从导向槽的一端滑至另一端时，可完成开盖和锁盖动作。
本实施例中，操作块34设置在移动支架31的一端，移动支架31的另一端还设有辅助固定件36。
本实施例的开盖转移装置具体操作时，晶圆盒A对准两个竖直定位销放置在固定底座1上，操作者两手分别拉住操作块34和辅助固定件36，将移动支架31沿着滑轨4滑向晶圆盒A，使上下两个水平定位销、左右两个解锁块33a分别插入盖板B的两个定位孔B0和两个解锁孔B1中；接着逆时针转动操作块34，带动两个解锁块33a同步转动至水平状态，盖板B内部锁合机构10由状态1(图5)变为状态2(图6)，上下两个伸缩板104缩回，完成开盖动作。开盖后，开盖机构3和盖板B先沿着导轨4滑出，晶圆盒A移走，盖板B留在开盖机构3上；锁盖时，移动开盖机构3滑向晶圆盒A就可以准确快速锁盖，无需校准位置和寻找盖板B，锁盖只需要顺时针转动操作块34即可。
实施例二：本实施例中，结合图7、图8所示，与实施例一的不同之处在于，滑块5上还连接有滑杆6，滑杆6上滑动安装有升降块7，移动支架31与升降块7连接。
本实施例中，开盖转移装置配合Robot使用，开盖锁盖方式与实施例一相同，在此不做赘述。开盖后，开盖机构3和盖板B先沿着导轨4滑出，然后沿着滑杆6上升并固定，固定方式可采用螺丝拧紧固定；待作业完成后，开盖机构3和盖板B下降，再沿着导轨4滑向晶圆盒A，锁盖，开盖机构3退出。
当然上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型主要技术方案的精神实质所做的修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：包括固定底座(1)，固定底座(1)上设有用于定位安装晶圆盒(A)的水平定位机构(2)，固定底座(1)的一侧设有开盖机构(3)，开盖机构(3)可滑动安装在滑轨(4)上；所述开盖机构(3)包括移动支架(31)、设于移动支架(31)上的垂直定位机构(32)和解锁组件(33)、通过联动机构与解锁组件(33)连接的操作块(34)，垂直定位机构(32)和解锁组件(33)能够伸入晶圆盒(A)的盖板(B)中分别对盖板(B)进行定位及配合操作块(34)转动解锁以取下盖板(B)，操作块(34)与移动支架(31)之间还设有转动导向机构(35)。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述水平定位机构(2)包括多个竖直定位销，竖直定位销分布安装在固定底座(1)上。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述移动支架(31)通过滑块(5)与滑轨(4)连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述滑块(5)上连接有滑杆(6)，滑杆(6)上滑动安装有升降块(7)，移动支架(31)与升降块(7)连接。
5.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述垂直定位机构(32)包括多个水平定位销，水平定位销上下分布安装在移动支架(31)上，盖板(B)上设有与多个水平定位销一一对应配合的多个定位孔(B0)。
6.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述解锁组件(33)包括两个解锁块(33a)，解锁块(33a)和操作块(34)均转动安装在移动支架(31)上，解锁块(33a)和操作块(34)上还分别连接有同步块(8)，所述联动机构包括横向设置的联动杆(9)，各同步块(8)分别与联动杆(9)铰接，盖板(B)上设有分别供两个解锁块(33a)插入的两个解锁孔(B1)。
7.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述转动导向机构(35)包括开设在移动支架(31)上的导向槽，操作块(34)上设有滑动设置在所述导向槽内的导向件。
8.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述操作块(34)设置在移动支架(31)的一端，移动支架(31)的另一端设有辅助固定件(36)。
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2023
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