CN220602203U - 一种炉内补气结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光伏技术领域，公开了一种炉内补气结构，包括反应炉、进气机构、补气机构和控制模块；其中，所述进气机构固定于所述反应炉炉口，用于将气体引入所述反应炉内；所述补气机构固定于所述反应炉炉尾，以向所述反应炉内补充气体；所述控制模块分别与所述进气机构、所述补气机构连接，用于控制气体的通入状态。本实用新型增加炉尾补气机构，可以根据反应炉内的反应需求，满足不同场景的调试需求，为后续工艺调试新增加大了可行性和便利性；并且通过控制模块可以分别控制补气机构中每路气管中气体的流速，实现气体量的实时调控；以及进气机构可以使得气体流动更加均匀，进而气体实际使用效果更加均衡，反应炉内反应更加充分。

Description

一种炉内补气结构

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，特别是涉及一种炉内补气结构。

背景技术

在各种太阳能电池中，硅太阳能电池因其可靠性高、寿命长、能承受各种环境变化等优点成为太阳能电池的主要品种。太阳电池产业化所面临的主要问题之一是如何在保证电池高转换效率前提下提高产能。制作P-N结是晶体硅太阳电池的核心，也是电池质量好坏的关键之一。对于扩散、沉积等工序，最大的问题是如何提高气体扩散的均匀性。气体扩散的均匀性直接体现在硅片镀膜的均匀性上，影响硅片工艺后PN结结深的差异性，镀膜均匀性好则结深的差异性小，反之亦然。均匀性好的硅片形成电池片的转换效率也就更稳定。并且，电池片与电池片之间的电性能参数一致性好，也有利于组件的稳定性和防衰减性，从而提高了太阳电池的使用寿命。因此，如何来提高反应气体扩散的均匀性就显得非常有必要。

现有制备薄膜的高温气相沉积反应炉大多是单气管补气，高温气相沉积反应炉内气体分布不均匀且不平稳，影响薄膜的均匀度且翘曲度较高；并且现有高温气相沉积反应炉大多是从炉口直接进气，容易造成腔内气体不均匀从而影响反应效果。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种炉内补气结构，以解决现有高温反应炉腔内气体分布不均匀影响反应效果的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种炉内补气结构，包括反应炉、进气机构、补气机构和控制模块；

其中，所述进气机构固定于所述反应炉炉口，用于将气体引入所述反应炉内；所述补气机构固定于所述反应炉炉尾，以向所述反应炉内补充气体；所述控制模块分别与所述进气机构、所述补气机构连接，用于控制气体的通入状态。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述补气机构包括若干补气管，所述补气管一端固定于所述反应炉炉尾，另一端延伸至所述反应炉炉口，以向所述反应炉内输送气体。

优选的，在上述炉内补气结构中，每个所述补气管均与所述控制模块连接，用于控制每个所述补气管内气体的流通状态。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述进气机构包括进气装置和进气管路；

其中，所述进气装置固定于所述反应炉的炉口法兰上；所述进气管路设置于所述反应炉外侧，所述进气管路的出气口与所述进气装置的进气口连通。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述进气装置包括进气部和喷气部；

其中，所述进气部与所述进气管路连通；所述喷气部通过连接部与所述进气部一体成型。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述连接部包括第一连接部和第二连接部；

其中，所述第一连接部与所述进气部顶部连通，且所述第一连接部与所述进气部之间的角度≥90°；所述第二连接部一端与所述第一连接部连接，另一端与所述喷气部连接，且所述第二连接部与所述第一连接部位于同一水平面。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述第一连接部与所述第二连接部之间呈60-150°的夹角。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述喷气部开设有连接口，所述第二连接部与所述连接口连通。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述喷气部开设有若干喷气孔。

优选的，在上述炉内补气结构中，所述进气管路与所述控制模块连接，用于控制所述进气装置内气体的流通状态。

本实用新型提供了一种炉内补气结构，与现有技术相比，其有益效果在于：

（1）本实用新型增加炉尾补气机构，可以根据反应炉内的反应需求，满足不同场景的调试需求，为后续工艺调试新增加大了可行性和便利性；并且通过控制模块可以分别控制补气机构中每路气管中气体的流速，实现气体量的实时调控；

（2）本实用新型的进气机构相对于传统的进气结构，由于气体通过一个管路进入，使得气体流动更加均匀，进而气体实际使用效果更加均衡，反应炉内反应更加充分。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1是本实用新型炉内补气结构的整体示意图；

图2是本实用新型反应炉的俯视剖面示意图；

图3是本实用新型进气装置的结构示意图；

图4是图1的局部结构放大示意图。

在图中：

100、反应炉；200、进气机构；210、进气装置；220、进气管路；211、进气部；212、喷气部；2121、喷气孔；213、连接部；2131、第一连接部；2132、第二连接部；300、补气管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

如图1、2、4所示，本实用新型实施例提供了一种炉内补气结构，包括反应炉100、进气机构200、补气机构和控制模块。

在本实用新型的一些实施例中，所述进气机构200固定于所述反应炉炉口，用于将气体引入所述反应炉100内。

为了保证气体的均匀性，在本实用新型的一些实施例中，所述进气机构200包括进气装置210和进气管路220；

其中，所述进气装置210固定于所述反应炉100的炉口法兰上，并且法兰进气孔通过密封圈进行密封，从而达到与外界密封的状态；所述进气管路220设置于所述反应炉100外侧，所述进气管路220的出气口与所述进气装置210的进气口连通。

如图3所示，在本实用新型的一些实施例中，所述进气装置210包括进气部211和喷气部212；

其中，所述进气部211与所述进气管路220连通，具体的，进气部211与进气管路220呈垂直状态，进气部211贯穿法兰进气孔后与进气管路220连通；喷气部212通过连接部213与所述进气部211一体成型，优选的，连接部213呈水平方向设置。

在本实用新型的一些实施例中，所述连接部213包括第一连接部2131和第二连接部2132；

其中，所述第一连接部2131与所述进气部211顶部连通，且所述第一连接部2131与所述进气部211之间的角度≥90°，优选的，第一连接部2131与进气部211呈垂直状态；所述第二连接部2132一端与所述第一连接部2131连接，另一端与所述喷气部212连接，所述第二连接部2132与所述第一连接部2131位于同一水平面，且第二连接部2132朝向反应炉100中心方向延伸。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一连接部2131与所述第二连接部2132之间呈60-150°的夹角，进一步优选为120°夹角，便于气体流通，并且需要注意的是，可以根据实际情况确定夹角大小。

在本实用新型的一些实施例中，所述喷气部212开设有连接口，喷气部212与第二连接部2132呈T型连接，所述第二连接部2132与所述连接口连通，连接口优选为开设在喷气部212中心，实现气体的均匀喷出。

在本实用新型的一些实施例中，所述喷气部212开设有若干喷气孔2121，优选的，喷气孔2121均匀的分散在喷气部212顶部或侧壁，优选的分散在喷气部212顶部，实现气体利用最大化。

在本实用新型的一些实施例中，所述进气管路220与所述控制模块连接，用于控制所述进气装置210内气体的流通状态。

具体的，进气管路220上设置有控制阀，用于控制进气管路220内气体的流量和流速，根据实时使用情况进行实时调控。

在本实用新型的一些实施例中，所述补气机构固定于所述反应炉炉尾，以向所述反应炉100内补充气体。

具体的，所述补气机构包括若干补气管300，所述补气管300一端固定于所述反应炉炉尾，另一端延伸至所述反应炉炉口，以向所述反应炉100内输送气体，输送的气体一般为硅烷或者氮气等。

可以理解的，补气管300的数量可以设置为两个、三个或者四个等，不同的补气管300通入的气体种类和数量不一致，且补气管300的设置方式可以为在同一水平面上均匀或者不均匀的设置，也可以为在不同水平面上均匀或者不均匀的设置。

在本实用新型的一些实施例中，每个所述补气管300均与所述控制模块连接，用于控制每个所述补气管300内气体的流通状态。

具体的，每个补气管300末端均连接有控制阀，可以单独控制每路补气管300的流速，使得气体量可控，然后根据反应炉100内反应需求，满足不同场景的调试需求。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的方案而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种炉内补气结构，包括反应炉，其特征在于，还包括：

进气机构，固定于所述反应炉炉口，用于将气体引入所述反应炉内；

补气机构，固定于所述反应炉炉尾，以向所述反应炉内补充气体；

控制模块，分别与所述进气机构、所述补气机构连接，用于控制气体的通入状态；

所述补气机构包括若干补气管，所述补气管一端固定于所述反应炉炉尾，另一端延伸至所述反应炉炉口，以向所述反应炉内输送气体；

每个所述补气管均与所述控制模块连接，用于控制每个所述补气管内气体的流通状态。

2.根据权利要求1所述的炉内补气结构，其特征在于，所述进气机构包括：

进气装置，固定于所述反应炉的炉口法兰上；

进气管路，设置于所述反应炉外侧，所述进气管路的出气口与所述进气装置的进气口连通。

3.根据权利要求2所述的炉内补气结构，其特征在于，所述进气装置包括：

进气部，与所述进气管路连通；

喷气部，通过连接部与所述进气部一体成型。

4.根据权利要求3所述的炉内补气结构，其特征在于，所述连接部包括：

第一连接部，与所述进气部顶部连通，且所述第一连接部与所述进气部之间的角度≥90°；

第二连接部，一端与所述第一连接部连接，另一端与所述喷气部连接，且所述第二连接部与所述第一连接部位于同一水平面。

5.根据权利要求4所述的炉内补气结构，其特征在于，所述第一连接部与所述第二连接部之间呈60－150°的夹角。

6.根据权利要求4所述的炉内补气结构，其特征在于，所述喷气部开设有连接口，所述第二连接部与所述连接口连通。

7.根据权利要求3所述的炉内补气结构，其特征在于，所述喷气部开设有若干喷气孔。

8.根据权利要求3所述的炉内补气结构，其特征在于，所述进气管路与所述控制模块连接，用于控制所述进气装置内气体的流通状态。