CN219824351U - 一种石英舟及镀膜炉管 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种石英舟及镀膜炉管，属于太阳能电池技术领域，包括舟托、多个石英挡板、多个石英隔板组、介质入口和介质出口；多个石英挡板均固定安装于舟托的上端，石英隔板组包括多个间隔平行布置的石英隔板，石英隔板与对应的石英挡板的侧面固定连接，且相邻的两个石英隔板之间形成安装槽；石英挡板和石英隔板内均设有中空腔，介质入口和介质出口分别与各石英挡板中的中空腔相连通，低温介质自介质入口进入到各石英挡板和各石英隔板内的中空腔内，并在硅片周围形成低温环境。本实用新型提供的石英舟，低温介质借助介质入口进入到石英隔板和石英挡板上的中空腔，并对硅片进行降温，避免硅片出现绕镀现象。

Description

一种石英舟及镀膜炉管

技术领域

本实用新型属于太阳能电池技术领域，更具体地说，是涉及一种石英舟及镀膜炉管。

背景技术

N型太阳能电池具有良好的稳定性和更高的效率潜能，P型多晶硅电池和P型单晶电池近两年由于perc技术的逐渐推广，其效率及成本优势不断显露出来。N型电池需要进一步提升其成本优势才能在市场竞争中取得胜利。而目前的主流技术就是TOPCon技术，即Tunnel Oxide Passivated Contact技术，是一种新型钝化接触技术，该技术在电池表面使用一层超薄的氧化层和掺杂的薄膜硅进行钝化。同时，超薄氧化硅减少了表面态保持了较低的隧穿电阻，掺杂薄膜硅提供了场致钝化并对载流子选择性透过，与硅基底形成良好的钝化接触。TOPCon电池是目前高效N型电池的发展趋势。

在现有TOPCon电池工艺中，超薄氧化层和多晶硅沉积的步骤中，两片硅片在高温炉中工艺过程中不可能完全贴合，造成边缘位置绕镀膜。在完成背面磷掺杂步骤后，硅片正面会有一定的绕镀边缘，这层绕镀边缘有硼硅玻璃层、Poly-Si层和磷硅玻璃层共同构成，由于不同膜层在化学反应时腐蚀速率各不相同，因此在正面去绕镀步骤中化学清洗后常常会由于未清洗干净或者过刻蚀造成表面不合格的情况，但是这种方式不可避免造成成本的增加以及设备初期投入数量的翻倍，不利于技术发展。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石英舟及镀膜炉管，以解决现有技术中存在的处理硅片上绕镀现象造成成本增加、设备投入增大的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种石英舟，包括舟托、多个石英挡板、多个石英隔板组、介质入口和介质出口；多个所述石英挡板均固定安装于舟托的上端，且多个所述石英挡板呈线性沿所述舟托的长度方向依次布置；多个石英隔板组与多个所述石英挡板一一对应，所述石英隔板组包括多个间隔平行布置的石英隔板，所述石英隔板与对应的所述石英挡板的侧面固定连接，且相邻的两个所述石英隔板之间形成用于安装硅片的安装槽；所述石英挡板和所述石英隔板内均设有中空腔，所述介质入口和所述介质出口分别与各所述石英挡板中的中空腔相连通，低温介质自所述介质入口进入到各所述石英挡板和各所述石英隔板内的中空腔内，并在硅片周围形成低温环境。

在一种可能的实现方式中，所述石英隔板内的中空腔与对应的所述石英挡板内的中空腔相连通。

在一种可能的实现方式中，相邻的两个所述石英挡板内的中空腔相连通，所述介质入口和所述介质出口分别与两端的两个所述石英挡板的中空腔相连通。

在一种可能的实现方式中，所述舟托设有流入通道、流出通道及多个连接通道，所述流入通道和流出通道的一端分别与所述介质入口和所述介质出口相连接，另一端分别与两端的两个所述石英挡板的中空腔连通，的流入通道和与所述介质出口相连接的流出通道，所述连接通道呈U型设置，且多个所述连接通道与相邻的两个所述石英挡板的中空腔相连通。

在一种可能的实现方式中，所述舟托上设有第一横向管道、第二横向管道、多个第一竖向管道和多个第二竖向管道，所述第一横向管道的一端与所述介质入口连接，多个所述第一竖向管道与多个所述石英挡板一一对应，且两端分别与所述第一横向管道和对应的所述石英挡板连接；所述第二横向管道的一端与所述介质出口连接，多个所述第二竖向管道与多个所述石英挡板一一对应，且两端分别与所述第二横向管道和对应的所述石英挡板连接。

在一种可能的实现方式中，所述第一竖向管道和所述第二竖向管道上均设有单向阀，且与同一个所述石英挡板相连接的第一竖向管道和所述第二竖向管道上的单向阀的连通方向相反。

在一种可能的实现方式中，所述第一横向管道和所述第二横向管道沿所述舟托的长度方向设置，所述第一竖向管道和所述第二竖向管道沿所述舟托的高度方向设置。

在一种可能的实现方式中，所述石英挡板和所述石英隔板上的中空腔均靠近所述安装槽设置。

在一种可能的实现方式中，所述舟托、多个所述石英挡板及多个所述石英隔板为一体成型。

本实用新型提供的石英舟的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型石英舟，使用时，将硅片两两为一组插入至两个石英隔板形成的安装槽内，且硅片的正面与安装槽的侧壁相贴合，在硅片背面进行镀膜；而冷却介质自介质入口进入到石英挡板和石英隔板的中空腔内，并从介质出口排出，形成冷却介质的循环流动；因而，石英挡板和石英隔板靠近安装槽的侧面形成低温环境，从而达到对硅片的正面降温的目的，防止硅片正面绕镀现象的发生；通过这种方式，低温介质借助介质入口进入到石英隔板和石英挡板上的中空腔，并对硅片进行降温，避免硅片出现绕镀现象，而无需再进行处理硅片出现的绕镀，缩减了生产成本和设备投入。

本实用新型的另一个目的在于提供一种镀膜炉管，包括任意一项上述的石英舟。

本实用新型提供的镀膜炉管，采用了上述的石英舟，低温介质借助介质入口进入到石英隔板和石英挡板上的中空腔，并对硅片进行降温，避免硅片出现绕镀现象，而无需再进行处理硅片出现的绕镀，缩减了生产成本和设备投入。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的石英舟的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的石英舟的内部结构示意图一；

图3为图2的局部示意图；

图4为本实用新型实施例提供的石英舟的内部结构示意图二；

图5为图4的局部示意图；

图6为本实用新型实施例提供的石英挡板和石英隔板组的连接示意图。

其中，图中各附图标记：

1、舟托；11、流入通道；12、流出通道；13、连接通道；14、第一横向管道；15、第二横向管道；16、第一竖向管道；17、第二竖向管道；18、单向阀；2、石英挡板；21、中空腔；3、石英隔板组；31、石英隔板；32、安装槽；4、介质入口；5、介质出口。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图6，现对本实用新型提供的石英舟进行说明。一种石英舟，包括舟托1、多个石英挡板2、多个石英隔板组3、介质入口4和介质出口5；多个石英挡板2均固定安装于舟托1的上端，且多个石英挡板2呈线性沿舟托1的长度方向依次布置；多个石英隔板组3与多个石英挡板2一一对应，石英隔板组3包括多个间隔平行布置的石英隔板31，石英隔板31与对应的石英挡板2的侧面固定连接，且相邻的两个石英隔板31之间形成用于安装硅片的安装槽32；石英挡板2和石英隔板31内均设有中空腔21，介质入口4和介质出口5分别与各石英挡板2中的中空腔21相连通，低温介质自介质入口4进入到各石英挡板2和各石英隔板31内的中空腔21内，并在硅片周围形成低温环境。

本实用新型提供的石英舟，与现有技术相比，使用时，将硅片两两为一组插入至两个石英隔板31形成的安装槽32内，且硅片的正面与安装槽32的侧壁相贴合，在硅片背面进行镀膜；而冷却介质自介质入口4进入到石英挡板2和石英隔板31的中空腔21内，并从介质出口5排出，形成冷却介质的循环流动；因而，石英挡板2和石英隔板31靠近安装槽32的侧面形成低温环境，从而达到对硅片的正面降温的目的，防止硅片正面绕镀现象的发生；通过这种方式，低温介质借助介质入口4进入到石英隔板31和石英挡板2上的中空腔21，并对硅片进行降温，避免硅片出现绕镀现象，而无需再进行处理硅片出现的绕镀，缩减了生产成本和设备投入。

介质入口4和介质出口5均位于舟托1的同一端，低温介质为低温气体或者低温液体。气体包括且不限于低温压缩空气、低温氮气等；液体包括且不限于冷却水。LPCVD沉积氧化硅及多晶硅的工艺温度约600摄氏度，将硅片正面的温度控制在500摄氏度以下，可大大降低其沉积速率，进而避免在硅片正面特别是边缘位置形成绕镀。

请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，石英隔板31内的中空腔21与对应的石英挡板2内的中空腔21相连通，因而介质出口5和介质入口4与石英隔板31或者石英挡板2的中空腔21相连通即可，而不需同时与石英隔板31、石英挡板2均连通。

请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，相邻的两个石英挡板2内的中空腔21相连通，介质入口4和介质出口5分别与两端的两个石英挡板2的中空腔21相连通；即，介质入口4与位于端部的石英挡板2相连通后，低温介质进入到该石英挡板2内的中空腔21后，再借助相邻的两个石英挡板2的连通路线而依次进入到其他的石英挡板2内的中空腔21中，最后从另一端的石英挡板2内流动至介质出口5而被排出，这种方式，使借枝入口、介质出口5与多个石英挡板2之间的连接结构较为简单，且低温介质的流动更为平稳、可靠。

请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，舟托1设有流入通道11、流出通道12及多个连接通道13，流入通道11和流出通道12的一端分别与介质入口4和介质出口5相连接，另一端分别与两端的两个石英挡板2的中空腔21连通，的流入通道11和与介质出口5相连接的流出通道12，连接通道13呈U型设置，且多个连接通道13与相邻的两个石英挡板2的中空腔21相连通；流入通道11沿舟托1的长度方向设置，与最内侧的石英挡板2连接，在舟托1上设置多个间隔布置的连接通道13，且U型的连接通道13位于相邻的两个石英挡板2之间，且连接通道13的两端开口分别与相邻的两个石英挡板2的中空腔21相连通；流出通道12位于舟托1的外端。

请参阅图4和图5，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，舟托1上设有第一横向管道14、第二横向管道15、多个第一竖向管道16和多个第二竖向管道17，第一横向管道14的一端与介质入口4连接，多个第一竖向管道16与多个石英挡板2一一对应，且两端分别与第一横向管道14和对应的石英挡板2连接；第二横向管道15的一端与介质出口5连接，多个第二竖向管道17与多个石英挡板2一一对应，且两端分别与第二横向管道15和对应的石英挡板2连接；第一横向管道14和第二横向管道15设置于舟托1内，并且第一横向管道14的一端与介质入口4连接，第二横向管道15的一端与介质出口5连接，而第一竖向管道16的下端与第一横向管道14连接，上端与石英挡板2连接，而第二竖向管道17的下端与第二横向管道15连接，上端与石英挡板2连接，因此形成了多个循环通路，用于向多个石英挡板2独立的加入冷却介质。使用时冷却介质穿过介质入口4而进入到第一横向管道14中，进而再穿过多个第一竖向管道16分别进入到对应的石英挡板2、石英隔板31内的中空腔21，从而对硅片进行降温，然后穿入第二竖向管道17、第二横向管道15而从介质出口5排出。这种方式下，每个石英挡板2和石英隔板组3的降温冷却独立进行，不会相互干扰。第一横向管道14和第二横向管道15的另一端为堵头。

请参阅图4和图5，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，第一竖向管道16和第二竖向管道17上均设有单向阀18，且与同一个石英挡板2相连接的第一竖向管道16和第二竖向管道17上的单向阀18的连通方向相反；设置单向阀18在第一竖向管道16和第二竖向管道17上，使第一横向管道14内的冷却介质只能朝向第一竖向管道16流动，而自中空腔21进入到第二竖向管道17中的冷却介质只能朝向第二横向管道15流动而从介质出口5排出。

请参阅图4，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，第一横向管道14和第二横向管道15沿舟托1的长度方向设置，第一竖向管道16和第二竖向管道17沿舟托1的高度方向设置；通过这种方式使第一横向管道14、第二横向管道15、第一竖向管道16及第二竖向管道17的实际工作长度较短，减少了流动距离，使冷却介质在流动过程中不易升温。

作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，石英挡板2和石英隔板31上的中空腔21均靠近安装槽32设置；即，石英挡板2上的容纳腔位于石英挡板2内靠近安装槽32的一侧，进而使冷却介质对硅片的降温效果更好；同样地，石英隔板31上的中空腔21位于石英隔板31靠近安装槽32的一侧，从而提高冷却介质对硅片的降温效果；大多数的石英隔板31位于两个安装槽32之间，因此石英隔板31上的中空腔21居中布置。

请参阅图1和图6，作为本实用新型提供的石英舟的一种具体实施方式，舟托1、多个石英挡板2及多个石英隔板31为一体成型；提高了舟托1、石英挡板2及石英隔板31之间的连接强度和稳定性，也是舟托1、石英挡板2及石英隔板31之间的连通更为平顺和稳定，密封性能也较高。

图中未示，本实用新型实施例还提供了一种镀膜炉管，镀膜炉管包括任意一项上述的石英舟。

本实用新型提供的镀膜炉管，采用了上述的石英舟，低温介质借助介质入口4进入到石英隔板31和石英挡板2上的中空腔21，并对硅片进行降温，避免硅片出现绕镀现象，而无需再进行处理硅片出现的绕镀，缩减了生产成本和设备投入。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石英舟，其特征在于，包括舟托、多个石英挡板、多个石英隔板组、介质入口和介质出口；多个所述石英挡板均固定安装于舟托的上端，且多个所述石英挡板呈线性沿所述舟托的长度方向依次布置；多个石英隔板组与多个所述石英挡板一一对应，所述石英隔板组包括多个间隔平行布置的石英隔板，所述石英隔板与对应的所述石英挡板的侧面固定连接，且相邻的两个所述石英隔板之间形成用于安装硅片的安装槽；所述石英挡板和所述石英隔板内均设有中空腔，所述介质入口和所述介质出口分别与各所述石英挡板中的中空腔相连通，低温介质自所述介质入口进入到各所述石英挡板和各所述石英隔板内的中空腔内，并在硅片周围形成低温环境。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英隔板内的中空腔与对应的所述石英挡板内的中空腔相连通。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，相邻的两个所述石英挡板内的中空腔相连通，所述介质入口和所述介质出口分别与两端的两个所述石英挡板的中空腔相连通。

4.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述舟托设有流入通道、流出通道及多个连接通道，所述流入通道和流出通道的一端分别与所述介质入口和所述介质出口相连接，另一端分别与两端的两个所述石英挡板的中空腔连通，的流入通道和与所述介质出口相连接的流出通道，所述连接通道呈U型设置，且多个所述连接通道与相邻的两个所述石英挡板的中空腔相连通。

5.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述舟托上设有第一横向管道、第二横向管道、多个第一竖向管道和多个第二竖向管道，所述第一横向管道的一端与所述介质入口连接，多个所述第一竖向管道与多个所述石英挡板一一对应，且两端分别与所述第一横向管道和对应的所述石英挡板连接；所述第二横向管道的一端与所述介质出口连接，多个所述第二竖向管道与多个所述石英挡板一一对应，且两端分别与所述第二横向管道和对应的所述石英挡板连接。

6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述第一竖向管道和所述第二竖向管道上均设有单向阀，且与同一个所述石英挡板相连接的第一竖向管道和所述第二竖向管道上的单向阀的连通方向相反。

7.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述第一横向管道和所述第二横向管道沿所述舟托的长度方向设置，所述第一竖向管道和所述第二竖向管道沿所述舟托的高度方向设置。

8.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英挡板和所述石英隔板上的中空腔均靠近所述安装槽设置。

9.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述舟托、多个所述石英挡板及多个所述石英隔板为一体成型。

10.一种镀膜炉管，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的石英舟。