CN210974871U - 光伏电池镀膜反应炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。

Description

光伏电池镀膜反应炉

技术领域

本实用新型涉及光伏电池镀膜设备技术领域，尤其涉及一种光伏电池镀膜反应炉。

背景技术

现有应用在半导体等行业中，均需要卧式或立式的真空密封管式设备做工艺或实验，在工艺或者实验过程中，对于气体的进气位置以及抽气位置需要由设备的设计情况确定，进气和抽气位置若设计不当，在安装、调试、使用过程中会对于实验以及批量生产造成较严重的影响，如：气体不能及时抽出导致局部气体残留较多，薄膜生长不均匀，导致生产效率下降、影响生产效率、增加维护成本。

PECVD装置是太阳能电池片生产过程中用于镀反减膜的设备，减反膜能有效提高电池片的效率，因此控制好电池片膜厚的片间均匀性很重要，做工艺时，工艺气体一直是流动的，从石英管口进入，流入石英管发生化学反应，然后被真空泵抽走，由于气体进入石英管前温度比石英管内部温度低，所以工艺气体进入石英管后必然会影响石英管内的温度，导致整个温度场不均匀，(膜厚的均匀性主要由外部环境、工艺气体温度、炉体加热强度有关)。现有的技术是由炉口进气，一方面石英管前端温度比石英管内部温度低，导致膜厚不均匀，工作效率降低，另一方面石英管前段工艺气体流速相对较快，气体堆积程度相对较高，导致石英管前后工艺气体均匀性较差，从而影响成膜均匀性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生的光伏电池镀膜反应炉。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，所述加热炉体的一端具有炉口，所述炉口处设有法兰组，所述法兰组内设有多个进气管道，所述进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，所述分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，所述分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个所述分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。

作为上述技术方案的进一步改进：

多个所述分流孔均匀间隔分布。

所述法兰组包括依次叠合的支撑法兰、进气法兰和水冷法兰，所述支撑法兰靠近炉口设置，所述进气管道设于进气法兰内。

所述水冷法兰的一侧设有进水接头、另一侧设有出水接头。

所述水冷法兰的表面绕水冷法兰的中心轴一周设有用于安装密封圈的燕尾槽。

所述加热炉体内设有不锈钢桶，所述不锈钢桶的开口端从炉口伸出，所述法兰组设于不锈钢桶的开口端，所述分流气管设于不锈钢桶内。

所述不锈钢桶的底壁上设有固定件，所述分流气管远离进气管道的一端固定于固定件上。

所述不锈钢桶的底壁上开设有抽气口。

所述抽气口处设有真空管接头。

所述进气管道和分流气管均设为六根。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。镀膜反应时，反应气体从进气管道进入，经过分流气管和分流孔进入加热炉体内，由于分流气管沿着加热炉体的轴向设置，能够将反应气体沿着分流气管引入加热炉体内，避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。

附图说明

图1是本实用新型光伏电池镀膜反应炉的主视结构示意图。

图2是图1中A-A线的剖视图。

图3是本实用新型光伏电池镀膜反应炉的俯视结构示意图。

图4是图2中B处的放大图。

图5是图2中C处的放大图。

图6是图2中D处的放大图。

图中各标号表示：

1、加热炉体；11、炉口；2、法兰组；21、支撑法兰；22、进气法兰；23、水冷法兰；231、进水接头；232、出水接头；233、燕尾槽；3、进气管道；4、分流气管；41、分流孔；5、不锈钢桶；51、抽气口；6、固定件；7、真空管接头。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

图1至图6示出了本光伏电池镀膜反应炉的一种实施例，本光伏电池镀膜反应炉包括加热炉体1，加热炉体1的一端具有炉口11，炉口11处设有法兰组2，法兰组2内设有多个进气管道3，进气管道3的一端从法兰组2的周侧伸出、另一端伸入加热炉体1内且连接有分流气管4，分流气管4沿着加热炉体1的轴向设于加热炉体1内，且各分流气管4环绕加热炉体1的中心轴阵列分布，分流气管4朝向加热炉体1中心轴的一侧开设有多个分流孔41，多个所述分流孔41沿分流气管4的轴向间隔分布。镀膜反应时，反应气体从进气管道3进入，经过分流气管4和分流孔41进入加热炉体1内，由于分流气管4沿着加热炉体1的轴向间隔分布，能够将反应气体沿着分流气管4引入加热炉体1内，避免反应气体进入加热炉体1后，造成加热炉体1内沿轴向出现温差，影响加热炉体1内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生具体地，分流气管4为石英管，分流气管4与进气管道3之间通过管道接头连接。

本实施例中，多个分流孔41沿着加热炉体1的轴向均匀间隔分布，反应气体沿着分流气管4流动，沿轴向分布的分流孔41能将反应气体均匀分布至加热炉体1内，避免反应气体在加热炉体1内堆积，增强了前后工艺气体均匀性，提高了镀膜厚度的均匀性。

本实施例中，法兰组2包括依次叠合的支撑法兰21、进气法兰22和水冷法兰23，支撑法兰21靠近炉口11设置，进气管道3设于进气法兰22内。具体地，进气管道3和分流气管4均设为六根，支撑法兰21、进气法兰22和水冷法兰23的中心孔同轴，石墨舟能够从中心孔进入加热炉体1内，各分流气管4靠近加热炉体1的内壁设置，使得各分流气管4之间能够形成供石墨舟进入的空间。

本实施例中，水冷法兰23的一侧设有进水接头231、另一侧设有出水接头232，进水接头231用于与进水管道连接，出水接头232用于与出水管道连接，水冷法兰23内具有冷却管道(图中未示出)，冷却管道的一头与进水接头231连接，另一头与出水接头232连接，流动的水体能够对水冷法兰23进行冷却。

本实施例中，水冷法兰23的外表面绕其中心轴一周设有用于安装密封圈的燕尾槽233，在燕尾槽233内装入密封圈后，外压密封盖就能实现对加热炉体1的密封，提高镀膜时加热炉体1的密闭性。

本实施例中，加热炉体1内设有不锈钢桶5，不锈钢桶5的开口端从炉口11伸出，法兰组2设于不锈钢桶5的开口端，分流气管4设于不锈钢桶5内，不锈钢桶5的底壁上设有固定件6，分流气管4远离进气管道3的一端固定于固定件6上，加强了分流气管4的稳定性。具体地，固定件6为固定板，各分流气管4均固定在固定板上。

本实施例中，不锈钢桶5的底壁上开设有抽气口51，抽气口51处设有真空管接头7，真空管接头7伸出至加热炉体1外部，真空管接头7的伸出端设有接头法兰，用于与外部的真空泵连接。其中，不锈钢桶5包括侧壁和底壁，底壁可以为密封法兰，密封法兰与侧壁焊接，密封法兰的中心孔即为抽气口51。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体(1)，所述加热炉体(1)的一端具有炉口(11)，其特征在于：所述炉口(11)处设有法兰组(2)，所述法兰组(2)内设有多个进气管道(3)，所述进气管道(3)的一端从法兰组(2)的周侧伸出、另一端伸入加热炉体(1)内且连接有分流气管(4)，所述分流气管(4)沿着加热炉体(1)的轴向设于加热炉体(1)内，且各分流气管(4)环绕加热炉体(1)的中心轴阵列分布，所述分流气管(4)朝向加热炉体(1)中心轴的一侧设有多个分流孔(41)，多个所述分流孔(41)沿分流气管(4)的轴向间隔分布。

2.根据权利要求1所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：多个所述分流孔(41)均匀间隔分布。

3.根据权利要求1所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述法兰组(2)包括依次叠合的支撑法兰(21)、进气法兰(22)和水冷法兰(23)，所述支撑法兰(21)靠近炉口(11)设置，所述进气管道(3)设于进气法兰(22)内。

4.根据权利要求3所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述水冷法兰(23)的一侧设有进水接头(231)、另一侧设有出水接头(232)。

5.根据权利要求3所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述水冷法兰(23)的表面绕水冷法兰(23)的中心轴一周设有用于安装密封圈的燕尾槽(233)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述加热炉体(1)内设有不锈钢桶(5)，所述不锈钢桶(5)的开口端从炉口(11)伸出，所述法兰组(2)设于不锈钢桶(5)的开口端，所述分流气管(4)设于不锈钢桶(5)内。

7.根据权利要求6所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述不锈钢桶(5)的底壁上设有固定件(6)，所述分流气管(4)远离进气管道(3)的一端固定于固定件(6)上。

8.根据权利要求7所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述不锈钢桶(5)的底壁上开设有抽气口(51)。

9.根据权利要求8所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述抽气口(51)处设有真空管接头(7)。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述进气管道(3)和分流气管(4)均设为六根。

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