CN218621035U - 真空镀膜腔体及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，公开了真空镀膜腔体及真空镀膜设备。公开的真空镀膜腔体包括腔体本体、侧门和两组热丝，腔体本体沿其长度方向的两端设有入口和出口，入口与出口用于进出载板，腔体本体沿其宽度方向的两端均设有开口；侧门配合在腔体本体上且用于封闭开口；两组热丝均设在腔体本体，且分别靠近两个侧门且与侧门间隔设置。这种真空镀膜腔体设置两组热丝，能够提升温度升高的效率，进而提升镀膜效率，且两组热丝均靠近侧门设置，不仅能够加快升温速度，提升真空镀膜效率，还使得人员能够通过侧门对热丝进行状态检查和更换，避免由于热丝问题导致的镀膜效率下降，保证了真空镀膜的正常进行。

Description

真空镀膜腔体及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及真空镀膜腔体及真空镀膜设备。

背景技术

太阳能电池，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，又称为“太阳能芯片”或“光电池”，它只要被满足一定照度条件的光照度，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流，目前以光伏效应工作的晶硅太阳能电池为主流。薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，具有转换效率高、温度系数低等特点，在其制造过程中，需要利用化学气相沉积(CVD)工艺在表面织构化后的N型晶体硅的一面上沉积很薄的I型本征非晶硅薄膜和P型非晶硅薄膜，在另一面沉积薄的I型本征非晶硅薄膜和N型非晶硅薄膜。CAT-CVD(热丝化学气相沉积)是常见的气相沉积设备，其工作原理是工艺气体在热丝的高温和催化作用下，发生裂解后沉积在硅片的表面，从而得到所需的工艺薄膜，热丝是其中的核心元件，且在运行一段时间后需要进行更换，但是常见真空镀膜腔体中只设置单组热丝，且该组热丝通常设置在真空腔体中间，不仅不便于观察热丝的状态和更换热丝，而且这种真空腔体中升温较慢，真空镀膜效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜腔体及真空镀膜设备，该真空镀膜腔体能够提升镀膜效率，且能够便于进行热丝的状态检查及更换，保证镀膜的正常进行。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

真空镀膜腔体，包括：

腔体本体，腔体本体沿其长度方向的两端设有入口和出口，入口与出口用于进出载板，腔体本体沿其宽度方向的两端均设有开口；

侧门，侧门配合在腔体本体上且用于封闭开口；

两组热丝，两组热丝均设在腔体本体，且分别靠近两个侧门且与侧门间隔设置。

作为优选，腔体本体还设置两组热丝电极，两组热丝电极与两组热丝对应设置，热丝电极包括正极与负极，正极与负极分别连接对应热丝的两端。

作为优选，腔体本体还设有两组特气喷淋管，两组特气喷淋管分别靠近两组热丝设置，且两组特气喷淋管均连接外部特气气源。

作为优选，腔体本体还具有进气口，进气口用于将特气喷淋管与特气气源连接。

作为优选，真空镀膜腔体还包括两个阀门，两个阀门可转动地设置于腔体本体且分别用于打开或关闭入口和出口。

作为优选，阀门包括阀门本体和冷却组件，冷却组件设置于阀门本体的一侧，冷却组件用于冷却阀门本体。

作为优选，侧门具有连接孔，腔体本体具有螺纹孔，第一螺栓穿过连接孔与螺纹孔螺接，将侧门连接于腔体本体。

作为优选，腔体本体内部还设置热源，热源与热丝平行且间隔设置，且热源设置于两组热丝之间。

作为优选，腔体本体还设置加热器，加热器用于为热源加热。

本实用新型还采用以下技术方案：

真空镀膜设备，包括上述的真空镀膜腔体，真空镀膜腔体设置有多个，且多个真空镀膜腔体中充入不同种类的特气。

本实用新型的有益效果：

本实用新型公开一种真空镀膜腔体及真空镀膜设备，该真空镀膜腔体包括腔体本体、侧门和两组热丝，腔体本体沿其长度方向的两端设有入口和出口，入口与出口用于进出载板，腔体本体沿其宽度方向的两端均设有开口；侧门配合在腔体本体上且用于封闭开口；两组热丝均设在腔体本体，且分别靠近两个侧门且与侧门间隔设置。这种真空镀膜腔体设置有两组热丝，能够提升镀膜效率，且热丝靠近侧门设置，人员能够通过侧门对热丝进行状态检查和更换，能够避免由于热丝问题导致的镀膜效率下降，保证了镀膜的正常进行。并且该真空镀膜设备能够提升真空镀膜效率，以及提升热丝更换的便利性。

附图说明

图1是本实用新型真空镀膜腔体的示意图；

图2是本实用新型真空镀膜腔体的内部的示意图；

图3是本实用新型真空镀膜腔体的顶部示意图；

图4是本实用新型热丝的结构示意图。

图中：

1、真空镀膜腔体；2、硅片；

10、腔体本体；11、阀门；111、阀门本体；112、冷却组件；12、侧门；13、热丝；131、热丝电极；14、特气喷淋管；15、抽气口；16、进气口；17、热源；18、加热器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

热丝化学气相沉积是常见的气相沉积设备，热丝是其中的核心元件，能够为工艺气体提供高温，保证真空镀膜的正常进行。热丝是易损件，在运行一段时间后需要进行更换，否则会导致镀膜效率降低，镀膜质量下降。但是，现有技术中的热丝通常设置在真空镀膜腔体的中间，不仅不便于进行热丝状态的观察，导致热丝加热状态不佳，影响真空镀膜效果，而且通常也不便进行热丝的更换，导致更换热丝的工作效率低，进而影响真空镀膜的正常进行。

据此，本实施例提供一种真空镀膜腔体。

如图1至图4所示，本实施例提供的真空镀膜腔体1包括腔体本体10、侧门12和两组热丝13，腔体本体10沿其长度方向的两端设有入口和出口，入口与出口用于进出载板，腔体本体10沿其宽度方向的两端均设有开口；侧门12配合在腔体本体10上且用于封闭开口；两组热丝13均设在腔体本体10，且分别靠近两个侧门12且与侧门12间隔设置。具体地，在本实施例中，热丝13呈S型迂回弯折状态，能够具有较好的加热性能，且热丝13形成的平面与侧门12平行，设置两组热丝13能够缩短温度升高时间，提升镀膜效率，且热丝13靠近侧门12设置能够便于人员通过侧门12对热丝13的状态进行观察并能够通过侧门12对热丝13进行更换及检修，提升热丝13的更换效率，保证真空镀膜的正常进行。

进一步地，腔体本体10还设置两组热丝电极131，两组热丝电极131与两组热丝13对应设置，热丝电极131包括正极与负极，正极与负极分别连接于对应热丝13的两端。具体地，本实施例中，热丝13通过热丝电极131加热，热丝电极131设置于腔体本体10的顶部便于进行布线。该设置能够保证热丝电极131对热丝13进行加热，保证真空镀膜的温度。

进一步地，腔体本体10还设有两组特气喷淋管14，两组特气喷淋管14分别靠近两组热丝13设置，且两组特气喷淋管14均用于连接外部特气气源。具体地，在本实施例中，特气喷淋管14与侧门12、热丝13形成的平面均平行，且特气喷淋管14设置为靠近热丝13设置能够使得特气喷淋管14提供的特气能够受热均匀，保证良好的镀膜效果，且能够提升镀膜效率；两组特气喷淋管14均呈环形设置，具体地，特气喷淋管14呈口字型，且圆滑过渡，减小气体流通阻力，保证气体具有较好的流动性能。

进一步地，腔体本体10还具有进气口16，进气口16用于将特气喷淋管14与特气气源连接。具体地，进气口16将特气喷淋管14与特气气源连接，保证了真空镀膜腔体1中的特气供应，保证真空镀膜的正常进行，在本实施例中，一个特气喷淋管14设置2个进气口16，两个进气口16相对设置，能够使得特气喷淋管14中的特气尽量均匀地布置到整个腔体本体10的内部，提升真空镀膜质量。且两个进气口16均穿过腔体本体10并凸出，能够便于与外部特气气源进行连接，且设置两个进气口16能够保证特气供应足够，保证镀膜效果和镀膜效率。在其他实施例中，也可以根据实际情况将进气口16的数量进行增减。

具体地，腔体本体10还设有多个抽气口15，多个抽气口15设置于腔体本体10的顶部和/或底部，且多个抽气口15用于连接外部抽气设备。具体的，在本实施例中，抽气孔设置有两个，两个抽气口15分别设置于腔体本体10的顶部和底部，在实际生产中，两个抽气口15均连接外部抽气设备，例如：抽真空设备，能够快速对真空镀膜腔体1进行抽真空，确保真空镀膜的正常进行，且设置两个抽气口15能够增加抽气效率，提升真空镀膜的整体效率。在其他实施例中，也可以根据实际需要或者是外部抽气设备的不同进行抽气口15数量的增减，在此不做具体限制。

进一步地，真空镀膜腔体1还包括两个阀门11，两个阀门11可转动地设置于腔体本体10且分别用于打开或关闭入口和出口。具体地，在进行镀膜的过程中，阀门11用于真空镀膜腔体1的密封性，能够防止外界气体影响镀膜效果，也能够避免特气逸出至空气中对外界空气造成污染。阀门11的具体结构为现有技术，在此不做过多介绍。

进一步地，阀门11包括阀门本体111和冷却组件112，冷却组件112设置于阀门本体111的一侧，冷却组件112用于冷却阀门本体111。具体地，由于真空镀膜腔体1在进行工作时内部温度较高，阀门本体111可能会由于温度较高出现变形，导致阀门11对真空镀膜腔体1的密封效果变差，影响真空镀膜效果。在阀门本体111上设置冷却组件112对阀门本体111进行冷却，能够避免阀门本体111由于高温产生变形导致的真空镀膜腔体1密封性能变差的问题，保证真空镀膜的效果。

进一步地，侧门12具有连接孔，腔体本体10具有螺纹孔，第一螺栓穿过连接孔与螺纹孔螺接，将侧门12连接于腔体本体10。具体地，在本实施例中，侧门12通过第一螺栓与腔体本体10连接，既能够保证真空镀膜腔体1的密封性能，又能够保证在需要对热丝13进行观察及更换时能够较为便捷地将侧门12进行拆卸，增加了真空镀膜腔体1的灵活性。

进一步地，腔体本体10内部还设置热源17，热源17与热丝13平行且间隔设置，且热源17设置于两组热丝13之间。具体的，在腔体本体10内部增设热源17能够提升真空镀膜腔体1的温度升高效率，进而提升真空镀膜效率，在本实施例中，将热源17设置于腔体本体10内部的中间，能够保证特气升温快，且能够保证特气受热均匀，提升真空镀膜的效率，且热源17也呈S型迂回弯折状态，能够提升真空镀膜腔体1的升温效率。

进一步地，腔体本体10还设置加热器18，加热器18用于为热源17加热。具体地，设置加热器18能够为热源17加热，保证腔体本体10内部温度，确保真空镀膜效果，提升真空镀膜质量，在本实施例中，加热器18也包括正极与负极，正极与负极分别与热源17的两端连接。

本实用新型还提供一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括多个上述的真空镀膜腔体1，且多个真空镀膜腔体1内部充入不同种类的特气，硅片2依次经过充入不同的特气的真空镀膜腔体1，分别进行不同的化学反应，完成镀膜工艺。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.真空镀膜腔体，其特征在于，包括：

腔体本体(10)，所述腔体本体(10)沿其长度方向的两端设有入口和出口，所述入口与所述出口用于进出载板，所述腔体本体(10)沿其宽度方向的两端均设有开口；

侧门(12)，所述侧门(12)配合在所述腔体本体(10)上且用于封闭所述开口；

两组热丝(13)，两组所述热丝(13)均设在所述腔体本体(10)，且分别靠近两个所述侧门(12)且与所述侧门(12)间隔设置。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述腔体本体(10)还设置两组热丝电极(131)，两组所述热丝电极(131)与两组所述热丝(13)对应设置，所述热丝电极(131)包括正极与负极，所述正极与所述负极分别连接对应所述热丝(13)的两端。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述腔体本体(10)还设有两组特气喷淋管(14)，两组所述特气喷淋管(14)分别靠近两组所述热丝(13)设置，两组所述特气喷淋管(14)均连接外部特气气源。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述腔体本体(10)还具有进气口(16)，所述进气口(16)用于将所述特气喷淋管(14)与特气气源连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述真空镀膜腔体还包括两个阀门(11)，两个所述阀门(11)可转动地设置于所述腔体本体(10)且分别用于打开或关闭所述入口和所述出口。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述阀门(11)包括阀门本体(111)和冷却组件(112)，所述冷却组件(112)设置于所述阀门本体(111)的一侧，所述冷却组件(112)用于冷却所述阀门本体(111)。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述侧门(12)具有连接孔，所述腔体本体(10)具有螺纹孔，第一螺栓穿过所述连接孔与所述螺纹孔螺接，将所述侧门(12)连接于所述腔体本体(10)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述腔体本体(10)内部还设置热源(17)，所述热源(17)与所述热丝(13)平行且间隔设置，且所述热源(17)设置于两组所述热丝(13)之间。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜腔体，其特征在于，所述腔体本体(10)还设置加热器(18)，所述加热器(18)用于为所述热源(17)加热。

10.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的真空镀膜腔体，所述真空镀膜腔体设置有多个，且多个所述真空镀膜腔体中充入不同种类的特气。

Images