CN220724340U - 一种单晶perc电池pecvd进气管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶PERC电池PECVD进气管，包括进气管，进气管的一端直角弯曲形成弯头部，进气管的另一端嵌套设置有密封套，进气管底部的一端开设有多个首端孔，进气管底部的另一端开设有多个尾端孔，进气管底部的中间开设有多个中间孔，尾端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，中间孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，首端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部。本实用新型中的通过炉管内设置根进气管，并且从炉尾往炉口靠，进气管依次共开多排圆形孔，每排开五个孔，且越靠炉口位置开孔直径约大，达到气体扩散全管内速率和均匀性，减少炉口、炉尾和中间的电池片色差均匀不佳的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种单晶PERC电池PECVD进气管。
背景技术
光电转换的太阳能电池可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。当阳光照射在硅片表面时，反射会使光损失约三分之一。如果在硅表面有一层或多层合适的薄膜，利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，这种膜称为太阳电池的减反射膜。所以太阳能电池的制造过程中，很重要的一个步骤就是PECVD镀膜，P管式PECVD的原理就是通过脉冲射频激发受热的稀薄气体进行辉光放电形成等离子体，通过两片相对应的石墨片加相反的交变电压使等离子在极板间加速撞击气体，运动到硅片表面完成镀膜过程。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜；
目前，炉管气体扩散全管时间和局部气体浓度不同，会导致硅片的镀膜厚度不均匀，影响产品质量，镀膜厚度不均匀会影响电池片电性能参数的稳定性，导致低效电池片比例升高。当真空管道中的气体内部存在压力差时，气体就会由压力高处向压力低处流动，通过实际应用炉管内的压强越低，炉管内气体的湍流现象会减少，管内气流均匀性增加，气体扩散全管的速率和气体均匀性会更好，导致炉口和炉尾的硅片片间色差差异大，均匀性不好的问题，因此需要提供一种单晶PERC电池PECVD进气管
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中的炉口和炉尾的硅片片间色差差异大，均匀性不好的问题，从而提出一种单晶PERC电池PECVD进气管。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种单晶PERC电池PECVD进气管，包括进气管，所述进气管的一端直角弯曲形成弯头部，进气管的另一端嵌套设置有密封套，进气管底部的一端开设有多个首端孔，进气管底部的另一端开设有多个尾端孔，进气管底部的中间开设有多个中间孔。
进一步优选的，所述尾端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，中间孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，首端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部。
进一步优选的，所述尾端孔之间的间距大于中间孔之间的间距，中间孔之间的间距大于首端孔之间的间距。
进一步优选的，所述尾端孔的孔径大于中间孔的孔径，中间孔的孔径大于首端孔的孔径。
进一步优选的，所述尾端孔的孔径为4mm-5mm，中间孔的孔径为3mm-4mm，首端孔的孔径为2mm-3mm，尾端孔、中间孔和首端孔共设置有10排至20排。
本实用新型的有益效果是：通过炉管内设置根进气管，并且从炉尾往炉口靠，进气管依次共开多排圆形孔，每排开五个孔，且越靠炉口位置开孔直径约大，达到气体扩散全管内速率和均匀性，减少炉口、炉尾和中间的电池片色差均匀不佳的问题。
附图说明
图1为本实用新型整体的安装示意图；
图2为本实用新型进气管的结构示意图；
图3为本实用新型进气管的放大示意图。
图中：进气管1、密封套2、弯头部3、尾端孔4、中间孔5、首端孔6、炉管A。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1至图3，一种单晶PERC电池PECVD进气管，包括进气管1，进气管1的一端直角弯曲形成弯头部3，进气管1的另一端嵌套设置有密封套2，进气管1底部的一端开设有多个首端孔6，进气管1底部的另一端开设有多个尾端孔4，进气管1底部的中间开设有多个中间孔5。
优选的，尾端孔4五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管1的底部，中间孔5五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管1的底部，首端孔6五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管1的底部，尾端孔4之间的间距大于中间孔5之间的间距，中间孔5之间的间距大于首端孔6之间的间距，尾端孔4的孔径大于中间孔5的孔径，中间孔5的孔径大于首端孔6的孔径，炉管A内设置进气管1，并且从炉尾往炉口靠，进气管1依次共开多排圆形孔，每排开五个孔，且越靠炉口位置开孔直径约大，达到气体扩散全管内速率和均匀性。
尾端孔4的孔径为4mm-5mm，中间孔5的孔径为3mm-4mm，首端孔6的孔径为2mm-3mm，尾端孔4、中间孔5和首端孔6共设置有10排至20排，其中尾端孔4的孔径为5mm，中间孔5的孔径为4mm，首端孔6的孔径为3mm，采用炉尾进气，进气管1端口封闭，挂靠在炉壁上，开孔方式为越靠近炉口开孔数量越多，孔径越大，且孔洞越靠近炉口孔的间距越大，使炉管A各处压强均匀，减少炉口、炉尾和中间的电池片色差均匀不佳的问题。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种单晶PERC电池PECVD进气管，包括进气管（1），其特征在于：所述进气管（1）的一端直角弯曲形成弯头部（3），进气管（1）的另一端嵌套设置有密封套（2），进气管（1）底部的一端开设有多个首端孔（6），进气管（1）底部的另一端开设有多个尾端孔（4），进气管（1）底部的中间开设有多个中间孔（5）；
所述尾端孔（4）五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管（1）的底部，中间孔（5）五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管（1）的底部，首端孔（6）五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管（1）的底部；
所述尾端孔（4）之间的间距大于中间孔（5）之间的间距，中间孔（5）之间的间距大于首端孔（6）之间的间距；
所述尾端孔（4）的孔径大于中间孔（5）的孔径，中间孔（5）的孔径大于首端孔（6）的孔径。
2.根据权利要求1所述的单晶PERC电池PECVD进气管，其特征在于，所述尾端孔（4）的孔径为4mm-5mm，中间孔（5）的孔径为3mm-4mm，首端孔（6）的孔径为2mm-3mm，尾端孔（4）、中间孔（5）和首端孔（6）共设置有10排至20排。
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