CN220491846U - 一种涂胶去边机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种涂胶去边机构，包括支撑台，所述支撑台上表面中心位置开设有移动槽，所述支撑台上表面左侧固定连接有去边箱，所述去边箱左侧内壁中心位置固定连接有可调节去边刀，所述去边箱上侧内壁固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆一端通过轴承转动连接有保护板，所述去边箱一边侧板内壁固定连接有喷气机，所述喷气机上表面固定连接有喷气管，所述喷气管一端固定连接有喷头。本实用新型将晶圆移动到左侧去边箱内，晶圆移动到保护板下方停止移动，启动可调节去边刀接触晶圆边缘，启动第二电动机带动晶圆转动，可调节去边刀对晶圆周围的胶体进行去除，启动喷气机通过喷气管将气体从喷头喷出，对可调节去边刀去除的的胶体进行吹落。

Description

一种涂胶去边机构

技术领域

本实用新型涉及涂胶去边机构技术领域，具体为一种涂胶去边机构。

背景技术

目前对圆形晶圆涂胶是利用旋转涂胶机来完成的，将圆形晶圆放在旋转涂胶台上进行涂胶，在涂胶过程中会在晶圆边缘残留胶体，对边缘残留的胶体需要进行清理以免影响晶圆的使用性能和安装。

但是现有技术在实际使用时，在进行晶圆边缘胶体清理时大多采用人工手动清理，工作效率低而且容易存在清理不良的现象，自动化程度低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种涂胶去边机构，以解决背景技术中提到的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括支撑台，所述支撑台下表面四个加均分别固定连接有支架，所述支撑台上表面中心位置开设有移动槽，所述支撑台上表面左侧固定连接有去边箱，所述去边箱左侧内壁中心位置固定连接有可调节去边刀，所述去边箱上侧内壁固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆一端通过轴承转动连接有保护板，所述去边箱一边侧板内壁固定连接有喷气机，所述喷气机上表面固定连接有喷气管，所述喷气管一端固定连接有喷头，所述支撑台上表面相对应去边箱右侧固定连接有涂胶架，所述涂胶架中心位置活动连接有连接柱，所述连接柱上侧固定连接有固定板，所述固定板下表面相对应连接柱外壁两侧均分别固定连接有液压缸，所述连接柱下侧表面固定连接有存胶箱，所述存胶箱下表面均匀分布连接有多个喷胶头，所述支撑台上表面相对应涂胶架右侧固定连接有烘干箱。

优选的，所述存胶箱前后两侧外壁均分别固定连接有安装板，两个所述安装板内壁通过轴承活动连接有涂胶辊筒，所述涂胶辊筒内层固定连接有加热层。

优选的，两个长边所述支架内壁中间均分别固定连接有定位杆，两个所述定位杆外壁活动连接有移动框，所述移动框前后两侧相对应定位杆下侧均分别螺纹连接有螺纹杆。

优选的，所述螺纹杆一端与左侧一角支架通过轴承活动连接，两个所述螺纹杆另一端活动贯穿并延伸至支架外侧固定连接有第一电动机。

优选的，所述移动框底板上表面通过轴承活动连接有转动轴，所述转动轴一端固定连接有斜齿轮套筒，所述移动框底板上表面相对应斜齿轮套筒左侧固定连接有第二电动机。

优选的，所述第二电动机输出轴固定连接有锥齿轮，所述锥齿轮外表面与斜齿轮套筒外表面啮合，所述斜齿轮套筒内壁固定连接有抽气机。

优选的，所述抽气机出风口固定连接有气管，所述气管一端固定连接有真空吸盘，所述真空吸盘上侧活动连接有晶圆。

优选的，所述气管外侧固定连接有支撑管，所述支撑管外壁与移动槽内壁活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过将去边箱、涂胶架和烘干箱一体化实现了对晶体进行涂胶、烘干、去边的自动一体化操作，提高了工作效率，同时设置可调节去边刀，可根据晶圆不同的厚度调节可调节去边刀的刀头实现对不同晶圆的去边处理，增强了整体装置的实用性；

2、本实用新型同时还增设涂胶辊筒，涂胶辊筒将胶体均匀的涂抹到晶体表面，涂胶辊筒内部具有加热装置，放置在对晶圆涂胶过程中胶体发生冷凝，从而造成对晶体表面涂胶的不均匀。

附图说明

图1为本实用新型一种涂胶去边机构整体结构示意图；

图2为本实用新型一种涂胶去边机构整体结构侧剖图；

图3为本实用新型一种涂胶去边机构整体结构局部剖图；

图4为本实用新型一种涂胶去边机构去边装置局部剖图；

图5为本实用新型一种涂胶去边机构涂胶装置驱动部分结构示意图。

图中：1、支架；2、支撑台；3、去边箱；4、涂胶架；5、液压缸；6、固定板；7、连接柱；8、烘干箱；9、安装板；10、第一电动机；11、移动框；12、斜齿轮套筒；13、晶圆；14、移动槽；15、螺纹杆；16、定位杆；17、涂胶辊筒；18、支撑管；19、抽气机；20、第二电动机；21、锥齿轮；22、转动轴；23、气管；24、喷气管；25、保护板；26、可调节去边刀；27、喷头；28、电动伸缩杆；29、存胶箱；30、真空吸盘；31、喷气机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：包括支撑台2，支撑台2下表面四个加均分别固定连接有支架1，支撑台2上表面中心位置开设有移动槽14，支撑台2上表面左侧固定连接有去边箱3，去边箱3左侧内壁中心位置固定连接有可调节去边刀26，可调节去边刀26可根据不同晶圆13的厚度调节刀片的漏出范围，对不同厚度的晶圆13实现去边处理，去边箱3上侧内壁固定连接有电动伸缩杆28，电动伸缩杆28一端通过轴承转动连接有保护板25，保护板25下表面具有晶圆13保护层，在对晶圆13进行去边时防止破坏到晶圆13内部涂胶层，去边箱3一边侧板内壁固定连接有喷气机31，喷气机31上表面固定连接有喷气管24，喷气管24一端固定连接有喷头27，通过喷头27喷出的气体可将可调节去边刀26去除的胶体吹落，防止去除的胶体粘附在可调节去边刀26刀体表面造成对晶体去边效果差的问题，支撑台2上表面相对应去边箱3右侧固定连接有涂胶架4，涂胶架4中心位置活动连接有连接柱7，连接柱7上侧固定连接有固定板6，固定板6下表面相对应连接柱7外壁两侧均分别固定连接有液压缸5，连接柱7下侧表面固定连接有存胶箱29，存胶箱29下表面均匀分布连接有多个喷胶头，支撑台2上表面相对应涂胶架4右侧固定连接有烘干箱8，烘干箱8对涂胶完成后的晶圆13进行多次不同阶段的烘干。

如图2、图3所示，存胶箱29前后两侧外壁均分别固定连接有安装板9，两个安装板9内壁通过轴承活动连接有涂胶辊筒17，所述涂胶辊筒17内层固定连接有加热层，涂胶辊筒17内部加热层对喷附到表面的胶体进行加热，防止胶体在对晶圆13涂胶过程中出现冷凝的问题，造成对晶圆13表面涂胶不均匀的状态。

如图2、图3、图4所示，两个长边支架1内壁中间均分别固定连接有定位杆16，两个定位杆16外壁活动连接有移动框11，移动框11前后两侧相对应定位杆16下侧均分别螺纹连接有螺纹杆15，螺纹杆15一端与左侧一角支架1通过轴承活动连接，两个螺纹杆15另一端活动贯穿并延伸至支架1外侧固定连接有第一电动机10，第一电动机10驱动螺纹杆15使得移动框11在定位杆16上滑动到不同位置，实现不同工作内容。

如图2、图3、图5所示，移动框11底板上表面通过轴承活动连接有转动轴22，转动轴22一端固定连接有斜齿轮套筒12，转动轴22对斜齿轮套筒12起到支撑作用，移动框11底板上表面相对应斜齿轮套筒12左侧固定连接有第二电动机20，第二电动机20输出轴固定连接有锥齿轮21，锥齿轮21外表面与斜齿轮套筒12外表面啮合，斜齿轮套筒12内壁固定连接有抽气机19，第二电动机20驱动锥齿轮21转动，锥齿轮21与斜齿轮套筒12啮合转动，从而带动抽气机19发生转动，抽气机19出风口固定连接有气管23，气管23一端固定连接有真空吸盘30，真空吸盘30上侧活动连接有晶圆13，真空吸盘30对晶圆13进行吸附固定，防止晶圆13在涂胶过程中发生位移或脱落造成涂胶的不完整，降低涂胶效率，气管23外侧固定连接有支撑管18，支撑管18对真空吸盘30起到固定作用，支撑管18外壁与移动槽14内壁活动连接，抽气机19通过支撑管18使得真空吸盘30发生转动。

工作原理：在使用时，该实用新型启动第一电动机10驱动螺纹杆15转动，从而螺纹杆15带动移动框11在定位杆16上滑动，将移动框11滑动到涂胶位置，将晶圆13放置到真空吸盘30上方，启动抽气机19通过气管23将真空吸盘30内部形成真空区域，从而将晶圆13吸附在真空吸盘30上对晶圆13进行固定，防止晶圆13在涂胶过程中发生移动或脱落造成涂胶不均匀，然后启动液压缸5，液压缸5伸缩杆推动固定板6上下移动，从而通过连接柱7带动存胶箱29和存胶箱29底侧的涂胶辊筒17上下移动，将涂胶辊筒17接触晶圆13表面后停止运动，打开存胶箱29放胶开关使得胶水从喷胶头喷到涂胶辊筒17表面，涂胶辊筒17内部具有加热层，对胶水进行加热防止在涂胶过程中胶水冷凝在涂胶辊筒17表面造成涂胶不均，然后启动第二电动机20驱动锥齿轮21转动，锥齿轮21与斜齿轮套筒12啮合转动带动抽气机19转动，从而通过支撑管18带动真空吸盘30和吸附的晶圆13转动进行涂胶，晶圆13通过转动带动涂胶辊筒17发生转动对晶圆13表面进行涂胶，在涂胶完成后涂胶辊筒17复位，启动第一电动机10通过螺纹杆15驱动移动框11进入右侧烘干箱8内对晶圆13表面胶层进行初步烘干处理，在完成初步烘干后将晶圆13移动到左侧去边箱3内部，在晶圆13移动到保护板25下方时停止移动，启动电动伸缩杆28推动保护板25与晶圆13接触，电动伸缩杆28一端通过轴承与保护板25转动连接，然后启动可调节去边刀26接触晶圆13边缘，启动第二电动机20带动晶圆13转动，使得可调节去边刀26对晶圆13周围的多余胶体进行去除，同时启动喷气机31通过喷气管24将气体从喷头27喷出，对可调节去边刀26去除的的胶体进行吹落，防止去除的胶体对可调节去边刀26造成影响。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种涂胶去边机构，包括支撑台(2)，其特征在于：所述支撑台(2)下表面四个角均分别固定连接有支架(1)，所述支撑台(2)上表面中心位置开设有移动槽(14)，所述支撑台(2)上表面左侧固定连接有去边箱(3)，所述去边箱(3)左侧内壁中心位置固定连接有可调节去边刀(26)，所述去边箱(3)上侧内壁固定连接有电动伸缩杆(28)，所述电动伸缩杆(28)一端通过轴承转动连接有保护板(25)，所述去边箱(3)一边侧板内壁固定连接有喷气机(31)，所述喷气机(31)上表面固定连接有喷气管(24)，所述喷气管(24)一端固定连接有喷头(27)，所述支撑台(2)上表面相对应去边箱(3)右侧固定连接有涂胶架(4)，所述涂胶架(4)中心位置活动连接有连接柱(7)，所述连接柱(7)上侧固定连接有固定板(6)，所述固定板(6)下表面相对应连接柱(7)外壁两侧均分别固定连接有液压缸(5)，所述连接柱(7)下侧表面固定连接有存胶箱(29)，所述存胶箱(29)下表面均匀分布连接有多个喷胶头，所述支撑台(2)上表面相对应涂胶架(4)右侧固定连接有烘干箱(8)。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：所述存胶箱(29)前后两侧外壁均分别固定连接有安装板(9)，两个所述安装板(9)内壁通过轴承活动连接有涂胶辊筒(17)，所述涂胶辊筒(17)内层固定连接有加热层。

3.根据权利要求2所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：两个长边所述支架(1)内壁中间均分别固定连接有定位杆(16)，两个所述定位杆(16)外壁活动连接有移动框(11)，所述移动框(11)前后两侧相对应定位杆(16)下侧均分别螺纹连接有螺纹杆(15)。

4.根据权利要求3所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：所述螺纹杆(15)一端与左侧一角支架(1)通过轴承活动连接，两个所述螺纹杆(15)另一端活动贯穿并延伸至支架(1)外侧固定连接有第一电动机(10)。

5.根据权利要求4所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：所述移动框(11)底板上表面通过轴承活动连接有转动轴(22)，所述转动轴(22)一端固定连接有斜齿轮套筒(12)，所述移动框(11)底板上表面相对应斜齿轮套筒(12)左侧固定连接有第二电动机(20)。

6.根据权利要求5所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：所述第二电动机(20)输出轴固定连接有锥齿轮(21)，所述锥齿轮(21)外表面与斜齿轮套筒(12)外表面啮合，所述斜齿轮套筒(12)内壁固定连接有抽气机(19)。

7.根据权利要求6所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：所述抽气机(19)出风口固定连接有气管(23)，所述气管(23)一端固定连接有真空吸盘(30)，所述真空吸盘(30)上侧活动连接有晶圆(13)。

8.根据权利要求7所述的一种涂胶去边机构，其特征在于：所述气管(23)外侧固定连接有支撑管(18)，所述支撑管(18)外壁与移动槽(14)内壁活动连接。