CN220468115U - 上料装置以及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种上料装置以及真空镀膜设备，其中上料装置包括：顶杆以及驱动机构。顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，支撑件连接于推杆，用于承载靶材，推杆由耐高温高强度的材料制成，支撑件为耐高温绝缘结构，驱动机构连接于推杆，用于驱动顶杆移动，以输送靶材。由于支撑件为耐高温绝缘材料制成，使得顶杆能够与靶材绝缘。由于推杆由耐高温高强度材料制成，使得推杆在安装过程中安装不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，而无需采用同种材料加工形成一体式结构。以使顶杆在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，安装方便不易损坏，从而降低上料装置的制造成本以及维护成本。

Description

上料装置以及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种上料装置以及真空镀膜设备。

背景技术

靶材是镀膜工艺中不可或缺的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要通过上料装置的顶杆持续地添加靶材。因此，顶杆需要耐高温，并且与靶材接触需要绝缘等特性。相关技术中，顶杆由脆性非金属材料制成。然而，脆性非金属工件在安装固定过程中容易碎裂。因此导致上料装置的制造成本以及维护成本较高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种上料装置，能够降低上料装置的制造成本以及维护成本。

本实用新型还提供了一种包括上述上料装置的真空镀膜设备。

根据本实用新型的第一方面实施例的上料装置，包括：顶杆以及驱动机构。

顶杆，所述顶杆包括推杆以及支撑件，所述推杆与所述支撑件为分体式结构，所述支撑件连接于所述推杆，并用于承载靶材，所述推杆由高强度耐高温材料制成，所述支撑件由耐高温绝缘材料制成，所述驱动机构连接于所述推杆，用于驱动所述顶杆移动，以输送靶材。

根据本实用新型实施例的上料装置，至少具有如下有益效果：

顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，其中支撑件为耐高温绝缘材料制成，用于支撑靶材，以使顶杆与靶材绝缘，并满足镀膜工艺的高温需求。驱动机构连接于推杆，由于推杆由耐高温高强度材料制成，以使得推杆在安装过程中不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，以使顶杆在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，安装方便不易损坏，从而降低上料装置的制造成本以及维护成本。

根据本实用新型的一些实施例，所述支撑件与所述推杆可拆卸连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述支撑件具有安装孔，所述推杆具有安装部，所述安装部连接于所述安装孔内。

根据本实用新型的一些实施例，所述安装部的直径小于所述安装孔的直径，所述安装部还具有第一连接孔，所述第一连接孔贯穿所述安装部，所述支撑件还具有与所述安装孔连通的第二连接孔，所述顶杆还包括锁紧件；

所述锁紧件穿设于所述第二连接孔，并连接于所述第一连接孔内，且所述锁紧件抵紧于所述支撑件的外壁；或者，

所述锁紧件能够穿过所述第二连接孔以伸入所述第一连接孔，且所述锁紧件自所述第一连接孔背离所述第二连接孔的一端凸出以抵紧所述支撑件的内壁。

根据本实用新型的一些实施例，所述上料装置还包括均力件，所述均力件夹持于所述安装孔的内壁与所述安装部之间，所述锁紧件抵持于所述均力件。

根据本实用新型的一些实施例，所述均力件套设于所述安装部的外部，所述均力件具有缺口，所述缺口位于所述第一连接孔的一端开口处，所述锁紧件能够自所述缺口穿过并伸入所述第一连接孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述上料装置还包括支架，所述支架具有导向孔，所述驱动机构安装于所述支架，所述驱动机构还包括移动件，所述顶杆的一端连接于所述移动件，另一端穿设于所述导向孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述上料装置还包括柔性套，所述柔性套套设于所述顶杆的外部，且所述柔性套的一端与所述支架密封连接，另一端与所述移动件密封连接，所述柔性套能够随所述移动件的移动而压缩或者伸展。

根据本实用新型的一些实施例，所述推杆沿长度方向包括相互连接的第一段和第二段，所述支撑件连接于所述第一段，所述第一段的直径小于所述第二段的直径。

根据本实用新型的第二方面实施例的真空镀膜设备，包括：第一方面实施例所述的上料装置。

根据本实用新型实施例的真空镀膜设备，至少具有如下有益效果：

采用第一方面实施例的顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，其中支撑件为耐高温绝缘材料制成，用于支撑靶材，以使顶杆与靶材绝缘。驱动机构连接于推杆，由于推杆由耐高温高强度材料制成，以使得推杆在安装过程中安装不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，而无需采用同种材料加工形成一体式结构。以使顶杆在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，安装方便不易损坏，从而降低上料装置的制造成本以及维护成本。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型第一方面实施例一种上料装置的结构示意图；

图2为图1的剖视图；

图3为图1的爆炸示意图；

图4为图3中顶杆的爆炸示意图；

图5为图4中支撑件的结构示意图；

图6为图1中顶杆的剖视图；

图7为图6中A区域的放大示意图；

图8为图1中上料装置的顶杆位于另一工作位置的结构示意图。

附图标记：

顶杆100，推杆110，安装部111，第一连接孔1112，第一段112，第二段113，支撑件120，安装孔121，第二连接孔122，锁紧件130，均力件140，缺口141；

驱动机构200，移动件210，动力件220，滑块230；

支架300，导向孔310；

柔性套400，凸缘410；

连接件500，密封件600。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

靶材是镀膜工艺中不可或缺的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要通过上料装置的顶杆持续地添加靶材。因此，顶杆需要耐高温，并且与靶材接触需要绝缘等特性。相关技术中，顶杆由脆性非金属材料制成。然而，脆性非金属工件在安装固定过程中容易碎裂。因此导致上料装置的制造成本以及维护成本较高。

基于上述问题，本实用新型提出了一种上料装置，参照图1至图3，图1为本实用新型第一方面实施例一种上料装置的结构示意图，图2为图1的剖视图，图3为图1的爆炸示意图，本实施例的上料装置包括：顶杆100以及驱动机构200。

其中，顶杆100包括推杆110以及支撑件120，推杆110与支撑件120为分体式结构。支撑件120连接于推杆110的轴向的一个端部，支撑件120由耐高温绝缘材料制成。例如支撑件120可以由陶瓷、石英或者聚醚醚酮等材料制成。支撑件120用于承载靶材，以使顶杆100与靶材之间满足绝缘要求。驱动机构200连接于推杆110，用于驱动顶杆100移动，以将靶材输送至设定位置。驱动机构200可以包括移动件210、动力件220(例如气缸，液压缸或者电机等)以及传动件(例如滑块230或者传动带等)。以图1中所示为例，动力件220连接有滑块230，滑块230与移动件210连接，从而能够驱动顶杆100沿竖直方向运动。推杆110由高强度耐高温材料制成。例如，推杆110由不锈钢，铝合金等材料制成，以使推杆110在满足耐高温的前提下还具有一定的强度，以保证推杆110的支撑能力，同时使得推杆110在与驱动机构200安装过程中不易损坏，并且不锈钢的加工相对于脆性材料的加工更加简单，从而降低顶杆100的制造成本，使得上料装置的成本更低。具体而言，本实施例的上料装置中的顶杆100采用分体式结构。支撑件120与推杆110根据不同的使用要求选用不同的材料制成，而无需采用同种材料加工形成一体式结构。以使顶杆100在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，加工更加简单，且安装方便不易损坏。需要说明的是，本实施例中所描述的耐高温是指支撑件120以及推杆110能够在200℃以上的温度中具有较强的耐久度，以满足将本实施例的上料装置应用于真空镀膜设时顶杆100的使用要求。本实施例中所描述的高强度是指，应用该高强度材料制成的构件所具有的屈服极限、弹性极限与强度极限，远高于在真空镀膜环境下，支撑件120所承受的抗变形力、弹性变形量及外力负载。

参照图4和图5，图4为图3中顶杆的爆炸示意图，图5为图4中支撑件的结构示意图，在上述实施例基础上，支撑件120与推杆110通过螺纹连接，插接等可拆卸的方式连接。例如，支撑件120上设置有安装孔121(如图5所示)，推杆110具有与安装孔121适配的安装部111(如图4所示)，安装部111插接于安装孔121内，以方便顶杆100的维护以及更换。例如，安装孔121的内壁设置有内螺纹，安装部111侧面设置有外螺纹，在拆卸或者安装时仅需要使支撑件120相对安装部111转动即可，拆卸或者安装方便。具体而言，支撑件120与推杆110可拆卸连接，一方面，在顶杆100长时间使用后，当顶杆100与靶材接触位置有靶材残留时，仅需要将体积较小的支撑件120拆卸下来维护即可，而无需对整根顶杆100进行拆卸，以简化顶杆100的维护过程。另一方面，当使用过程中，支撑件120或者推杆110损坏时，能够单独替换支撑件120或者推杆110，而无需整根顶杆100替换，以节省维护成本。

参照图6和图7，图6为图1中顶杆的剖视图，图7为图6中A区域的放大示意图，在上述实施例基础上，安装部111的直径小于安装孔121的直径，以使得安装部111更容易插入安装孔121内，以便支撑件120的安装。此外，为了保证支撑件120的稳固性，安装部111还具有第一连接孔1112。支撑件120还具有与安装孔121连通的第二连接孔122，顶杆100还包括锁紧件130。锁紧件130穿设于第二连接孔122，并连接于第一连接孔1112内，且锁紧件130抵紧支撑件120的外壁，以将支撑件120锁紧于安装部111上。例如，第一连接孔1112设置为螺纹孔，锁紧件130可以设置为螺钉，支撑件120通过螺钉锁紧于安装部111。或者，一些实施例中，第一连接孔1112贯穿安装部111，锁紧件130能够穿过第二连接孔122以伸入第一连接孔1112，且锁紧件130自第一连接孔1112的背离第二连接孔122的一端凸出以抵紧支撑件120的内壁，以使支撑件120的内壁与安装部111上抵紧。此外，锁紧件130还可以设置为插销，当支撑件120安装到位后，将锁紧件130插接于第一连接孔1112和第二连接孔122，从而防止支撑件120与安装部111分离。

参照图3和图6，在一些实施例中，支撑件120为脆性材料制成，例如支撑件120由陶瓷制成，上料装置还包括均力件140。均力件140夹持于安装孔121的内壁与安装部111之间(如图6所示)，锁紧件130抵持于均力件140。具体而言，均力件140为硬质结构，例如均力件140由不锈钢制成，锁紧件130通过均力件140将压力传递至支撑件120，以增大支撑件120的受力面积。使得支撑件120受力更加均匀，防止支撑件120受到集中力而容易压坏。均力件140可以设置为与安装孔121的内壁以及安装部111的侧面相适配的半圆弧形结构。半圆弧形结构夹持在安装孔121的与第二连接孔122相对的侧壁与安装部111之间。或者，均力件140可以设置为环形结构，且均力件140具有缺口141，缺口141可以是在均力件140上开设的通孔。或者缺口141可以是均力件140的首尾两端之间形成的间隙(如图4所示)。均力件140套设于安装部111的外部，以使得均力件140的安装更加简单，其中，均力件140的缺口141位于第一连接孔1112的一端开口处，锁紧件130能够自缺口141穿过并伸入第一连接孔1112。在一些实施例中，锁紧件130的朝向第二连接孔122的一端位于第一连接孔1112内。从而防止在工作过程中，锁紧件130的朝向第二连接孔122的一端与支撑件120接触而导致支撑件120损坏。

在一些实施例中，上料装置还包括缓冲件(图中未示出)，缓冲件为柔性结构，例如缓冲件由耐高温的橡胶，硅胶等材料制成，缓冲件夹持于安装孔121的内壁与均力件140之间。以使得脆性的支撑件120与其他部件之间的接触为软接触，进一步降低支撑件120碎裂的可能性。

参照图1和图3，在一些实施例中，上料装置还包括支架300，支架300具有导向孔310，驱动机构200安装于支架300，驱动机构200还包括移动件210，顶杆100的一端连接于移动件210，另一端穿设于导向孔310。具体而言，移动件210能够沿导向孔310的轴向移动，以驱动顶杆100沿导向孔310移动。在顶杆100移动过程，导向孔310的侧壁能够对顶杆100起到导向作用，从而提高顶杆100在移动过程中的稳定性。

参照图1、图2以及图8，图8为图1中上料装置的顶杆位于另一工作位置的结构示意图，在一些实施例中，上料装置还包括柔性套400。柔性套400套设于顶杆100的外部，且柔性套400的一端与支架300密封连接，另一端与移动件210密封连接。以使得移动210、柔性套400、支架300形成密封空间，使得顶杆100在升降过程始终处于真空状态。当本实施例的上料装置用于真空镀膜设备，能够防止外部空气进入真空镀膜设备。其中柔性套400例如可以为波纹管，但不限于波纹管。柔性套400能够随移动件210的移动而压缩(如图8所示)或者伸展(如图2所示)，以降低柔性套400对移动件210的移动形成的阻碍。具体地，柔性套400轴向的两端均具有沿径向凸出的凸缘410，上料装置还包括连接件500，连接件500套设于柔性套400的外部，并抵持于凸缘410。凸缘410通过螺钉等紧固件与移动件210连接，以使柔性套400的凸缘410夹紧于移动件210与连接件500之间，以实现柔性套400与移动件210密封连接。此外，为了提高柔性套400与移动件210的密封性，在凸缘410与移动件210之间还可以设置密封件600。柔性套400与支架300之间的密封连接，与柔性套400与移动件210之间的密封连接结构以及原理相同，此处不再赘述。

参照图4，在一些实施例中，推杆110沿长度方向包括相互连接的第一段112和第二段113，支撑件120连接于第一段112，第一段112的直径小于第二段113的直径。以使得推杆110在具有较高强度的前提下，能够用于小尺寸外径靶材顶升。

本实用新型的第二方面实施例的真空镀膜设备，包括：第一方面实施例的上料装置。上料装置的顶杆100包括推杆110以及支撑件120，支撑件120用于与靶材接触。推杆110与支撑件120为粉体式结构，其中支撑件120为绝缘结构，且支撑件120与推杆110均为耐高温结构，以使顶杆100满足耐高温，且与靶材绝缘的使用要求，而无需整根顶杆100采用陶瓷制成，以降低顶杆100的制造成本以及维护成本，从而降低真空镀膜设备的制造成本以及维护成本。

需要说明的是，由于本实施例的真空镀膜设备包括第一方面实施例的所有技术特征，因此，本实施例具备第一方面实施例带来的所有有益效果，此处不再赘述。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

Claims (10)

1.上料装置，其特征在于，包括：

顶杆，所述顶杆包括推杆以及支撑件，所述推杆与所述支撑件为分体式结构，所述支撑件连接于所述推杆，并用于承载靶材，所述推杆由高强度耐高温材料制成，所述支撑件由耐高温绝缘材料制成；

驱动机构，所述驱动机构连接于所述推杆，用于驱动所述顶杆移动，以输送靶材。

2.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述支撑件与所述推杆可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的上料装置，其特征在于，所述支撑件具有安装孔，所述推杆具有安装部，所述安装部连接于所述安装孔内。

4.根据权利要求3所述的上料装置，其特征在于，所述安装部的直径小于所述安装孔的直径，所述安装部还具有第一连接孔，所述支撑件还具有与所述安装孔连通的第二连接孔，所述顶杆还包括锁紧件；

所述锁紧件穿设于所述第二连接孔，并连接于所述第一连接孔内，且所述锁紧件抵紧于所述支撑件的外壁；或者，

所述第一连接孔贯穿所述安装部，所述锁紧件能够穿过所述第二连接孔以伸入所述第一连接孔，且所述锁紧件自所述第一连接孔背离所述第二连接孔的一端凸出以抵紧所述支撑件的内壁。

5.根据权利要求4所述的上料装置，其特征在于，所述上料装置还包括均力件，所述均力件夹持于所述安装孔的内壁与所述安装部之间，所述锁紧件抵持于所述均力件。

6.根据权利要求5所述的上料装置，其特征在于，所述均力件套设于所述安装部的外部，所述均力件具有缺口，所述缺口位于所述第一连接孔的一端开口处，所述锁紧件能够自所述缺口穿过并伸入所述第一连接孔。

7.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述上料装置还包括支架，所述支架具有导向孔，所述驱动机构安装于所述支架，所述驱动机构还包括移动件，所述顶杆的一端连接于所述移动件，另一端穿设于所述导向孔。

8.根据权利要求7所述的上料装置，其特征在于，所述上料装置还包括柔性套，所述柔性套套设于所述顶杆的外部，且所述柔性套的一端与所述支架密封连接，另一端与所述移动件密封连接，所述柔性套能够随所述移动件的移动而压缩或者伸展。

9.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述推杆沿长度方向包括相互连接的第一段和第二段，所述支撑件连接于所述第一段，所述第一段的直径小于所述第二段的直径。

10.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的上料装置。