CN220446463U - 一种搬运机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆技术领域，具体涉及一种搬运机械手，包括工作台，所述工作台上方设置有机械手座机构，所述机械手座机构上方设置有机械手执行机构。通过设置的机械手座机构与机械手执行机构，有效的将晶圆进行自动化搬运，通过设置的旋转底台与旋转圆柱台带动第一活动旋转组件、第二活动旋转组件、第三活动旋转组件相互配合，实现联动，并通过述机械手执行组件中的第四电机带动电磁夹爪旋转同时带动晶圆可实现翻面操作，整个设备体积小，控制简单，运动平稳，改变高度、角度，从而使机械手的结构简单化，操作简单，使用方便。

Description

一种搬运机械手

技术领域

本实用新型属于晶圆技术领域，具体涉及一种搬运机械手。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在制造加工过程中，需要通过机械手臂对其进行位置的更改。

经检索，中国专利授权公告号CN215920479U的中国实用新型专利申请文件公开了，一种晶圆搬运机械手，该机械手包括主体框架、升降机构、通过连接组件连接的搬运机构和旋转机构；主体框架包括底板、与底板通过若干导向轴连接的升降机构固定架；搬运机构包括驱动牙叉组件直线运动的第一驱动部件、数显压力开关、驱动激光传感器直线运动的第二驱动部件。

针对上述中的相关技术，该晶圆搬运机械手存在运行平稳性差、无法实现晶圆翻面操作，所以亟需设计一种搬运机械手来处理这些问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种搬运机械手。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种搬运机械手，包括工作台，所述工作台上方设置有机械手座机构，所述机械手座机构上方设置有机械手执行机构。

所述机械手执行机构包括固定设置在所述机械手座机构上方的第一活动旋转组件，所述第一活动旋转组件一端设置有第二活动旋转组件，所述第二活动旋转组件另一端设置在第三活动旋转臂连接台一端，所述第三活动旋转臂连接台另一端设置在第三活动旋转组件一端，所述第三活动旋转组件另一端设置有机械手执行组件，所述机械手执行组件设置在第四电机动力端。

优选地，所述机械手座机构包括固定设置在所述工作台上方的承载台，所述承载台上方设置有底台旋转组件，所述工作台两端设置有定位支撑台。

优选地，所述机械手执行组件包括固定设置在所述第四电机动力端的连接盘，所述连接盘一侧设置有旋转盘，所述旋转盘一侧设置在机械手支撑盘一侧，所述机械手支撑盘另一侧设置有电磁夹爪。

优选地，所述旋转盘与所述机械手支撑盘通过螺栓连接，所述电磁夹爪一侧设置有防滑垫。

优选地，所述底台旋转组件包括设置在所述承载台上方的旋转底台，所述旋转底台上方旋转设置有旋转圆柱台。

优选地，所述承载台一侧设置有配重块，所述承载台另一侧固定设置有产品箱。

有益效果在于：

本实用新型公开了一种搬运机械手，通过设置的机械手座机构与机械手执行机构，有效的将晶圆进行自动化搬运，通过设置的旋转底台与旋转圆柱台带动第一活动旋转组件、第二活动旋转组件、第三活动旋转组件相互配合，实现联动，并通过述机械手执行组件中的第四电机带动电磁夹爪旋转，同时带动晶圆可实现翻面操作，整个设备体积小，控制简单，运动平稳，改变高度、角度，从而使机械手的结构简单化，操作简单，使用方便。

附图说明

图1是本实用新型的轴等侧结构示意图；

图2是本实用新型的正视结构示意图；

图3是本实用新型的第一结构示意图；

图4是本实用新型的第二结构示意图；

图5是本实用新型的第三结构示意图；

图6是图5中A处的结构示意图。

图中：1、工作台；

2、机械手座机构；201、承载台；202、加强筋；203、旋转底台；204、旋转圆柱台；205、配重块；206、移动轮；207、定位支撑台；208、产品箱；

3、机械手执行机构；301、第一活动旋转臂；302、第一电机；303、第一旋转轴；304、第二活动旋转臂；305、第二旋转轴；306、第二电机；307、第三活动旋转臂连接台；308、第三电机；309、第三活动旋转臂连接柱；310、第三活动旋转臂；311、第四电机；312、机械手执行组件；3121、连接盘；3122、旋转盘；3123、机械手支撑盘；3124、电磁夹爪。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-6，本实用新型提供的一种实施例：一种搬运机械手，包括工作台1，工作台1上方设置有机械手座机构2，机械手座机构2上方设置有机械手执行机构3。

本实施例中：机械手座机构2包括固定设置在工作台1上方的承载台201，承载台201上方设置有底台旋转组件，工作台1两端设置有定位支撑台207。底台旋转组件包括设置在承载台201上方的旋转底台203，旋转底台203上方旋转设置有旋转圆柱台204。承载台201一侧设置有配重块205，承载台201另一侧固定设置有产品箱208。承载台201四周等距设置有加强筋202，工作台1下方固定设置有移动轮206。旋转底台203与旋转圆柱台204配合用于带动机械手执行机构3，配重块205用于对装置的重力平衡。

本实施例中：机械手执行机构3包括固定设置在机械手座机构2上方的第一活动旋转组件，第一活动旋转组件一端设置有第二活动旋转组件，第二活动旋转组件另一端设置在第三活动旋转臂连接台307一端，第三活动旋转臂连接台307另一端设置在第三活动旋转组件一端，第三活动旋转组件另一端设置有机械手执行组件312，机械手执行组件312设置在第四电机311动力端。机械手执行组件312包括固定设置在第四电机311动力端的连接盘3121，连接盘3121一侧设置有旋转盘3122，旋转盘3122一侧设置在机械手支撑盘3123一侧，机械手支撑盘3123另一侧设置有电磁夹爪3124。旋转盘3122与机械手支撑盘3123通过螺栓连接，电磁夹爪3124一侧设置有防滑垫。第一活动旋转组件包括设置在旋转圆柱台204上方的第一活动旋转臂301，第一活动旋转臂301一侧设置有第一电机302，第一电机302动力端设置有第一旋转轴303，第二活动旋转组件包括设置在有第一旋转轴303一端的第二活动旋转臂304，第二活动旋转臂304另一端设置有第二旋转轴305，第二旋转轴305设置在第二电机306动力端，第三活动旋转组件包括设置在第三活动旋转臂连接台307一侧的第三活动旋转臂连接柱309，第三活动旋转臂连接柱309一端设置在第三活动旋转臂310一端，第三活动旋转臂310另一端设置有第三电机308。旋转盘3122与机械手支撑盘3123通过螺栓进行连接，可随时拆卸更换。

工作原理：使用本装置时，将机械手装置通过移动轮206移动至指定位置，启动定位支撑台207对装置进行定位，当时需要晶圆需要搬运时，启动第一电机302通过第一旋转轴303带动第二活动旋转臂304运动，同时启动第二电机306带动第三活动旋转臂连接柱309旋转，启动第三电机308通过带动第三活动旋转臂连接柱309并与第三活动旋转臂310旋转，第三活动旋转臂310的一端铰接有第四电机311，第四电机311的动力输出端与机械手执行组件312连接，这样机械手执行组件312中电磁夹爪3124灵活配合旋转运动，将晶圆可方便自动化的进行翻转，旋转盘3122与机械手支撑盘3123通过螺栓进行连接，可随时拆卸更换，使得设备的柔性和使用灵活性更加敏捷，从而可以保证装置在进行工作的安全性的目的，自动化程度较高，从而提高了生产效率，降低生产成本，更适合流水线上的大规模自动化搬运。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种搬运机械手，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)上方设置有机械手座机构(2)，所述机械手座机构(2)上方设置有机械手执行机构(3)；

所述机械手执行机构(3)包括固定设置在所述机械手座机构(2)上方的第一活动旋转组件，所述第一活动旋转组件一端设置有第二活动旋转组件，所述第二活动旋转组件另一端设置在第三活动旋转臂连接台(307)一端，所述第三活动旋转臂连接台(307)另一端设置在第三活动旋转组件一端，所述第三活动旋转组件另一端设置有机械手执行组件(312)，所述机械手执行组件(312)设置在第四电机(311)动力端。

2.根据权利要求1所述的一种搬运机械手，其特征在于：所述机械手座机构(2)包括固定设置在所述工作台(1)上方的承载台(201)，所述承载台(201)上方设置有底台旋转组件，所述工作台(1)两端设置有定位支撑台(207)。

3.根据权利要求1所述的一种搬运机械手，其特征在于：所述机械手执行组件(312)包括固定设置在所述第四电机(311)动力端的连接盘(3121)，所述连接盘(3121)一侧设置有旋转盘(3122)，所述旋转盘(3122)一侧设置在机械手支撑盘(3123)一侧，所述机械手支撑盘(3123)另一侧设置有电磁夹爪(3124)。

4.根据权利要求3所述的一种搬运机械手，其特征在于：所述旋转盘(3122)与所述机械手支撑盘(3123)通过螺栓连接，所述电磁夹爪(3124)一侧设置有防滑垫。

5.根据权利要求2所述的一种搬运机械手，其特征在于：所述底台旋转组件包括设置在所述承载台(201)上方的旋转底台(203)，所述旋转底台(203)上方旋转设置有旋转圆柱台(204)。

6.根据权利要求2所述的一种搬运机械手，其特征在于：所述承载台(201)一侧设置有配重块(205)，所述承载台(201)另一侧固定设置有产品箱(208)。