CN220406363U - 一种自动式晶圆分选取料结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆分选取料技术领域，具体为一种自动式晶圆分选取料结构，包括操作台，以及固定在操作台外壁两侧的分选机构，所述分选机构的一侧设置有取料机构；所述分选机构包括承载筒。本实用新型经限位杆和限位板便于把晶圆限位在承载筒内，避免出现交错混乱不便于取料，经电动推杆带动衔接板，经穿出口穿入承载筒，并贴合在最下层的晶圆，同时经贴合板组成的凹槽与晶圆相吻合，同时贴合板一侧的锥形块，便于推动晶圆上升后随即滑落至贴合板内，从而便于衔接板复位时带动晶圆脱离承载筒，同时穿出口的大小与衔接板和晶圆的厚度吻合，避免多余的晶圆跟随脱离，从而进行分选避免多组堆积，造成粘合不便取用。

Description

一种自动式晶圆分选取料结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆分选取料技术领域，具体为一种自动式晶圆分选取料结构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆分选机进行分选时，需要通过取料机构把晶圆进行来回的传递和输送，从而推送至下一道加工工序，晶圆分选机能够将不同的晶圆移动至不同的位置。

如公开号为CN216911133U的全自动晶圆分选机旋转取料结构，包括有旋转电机，所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座，在所述摆臂机座上设有摆臂，在所述摆臂的上端设有吸嘴，所述吸嘴连通吸放气缸。本实用新型将将摆臂基座及摆臂旋转到准确的工位，通过吸嘴将细小的晶片吸附，可实现精确的取晶片的工序。可微调摆臂的延伸距离，精确而又稳定。适用于晶圆分选机中应用。

综合上述，可知现有技术中存在以下技术问题：现有的晶圆取料结构，不便于对堆积的晶圆本体分离，从而在取料时可能存在堆积一起，导致无法对取用的晶圆进行分离，影响下一步加工，为此，我们提供了一种自动式晶圆分选取料结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动式晶圆分选取料结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述的技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

一种自动式晶圆分选取料结构，包括操作台，以及固定在操作台外壁两侧的分选机构，所述分选机构的一侧设置有取料机构；

所述分选机构包括承载筒，所述承载筒的外壁一侧开设有穿出口，且承载筒的内壁一侧固定有支撑块，所述承载筒的内部连接有限位杆，且承载筒的内壁另一侧固定有限位板；

所述取料机构包括固定块，所述固定块的外壁一侧固定有连接块，且连接块的内部嵌装有电动推杆，所述固定块的顶端开设有滑槽，且滑槽的内部穿出有滑块，所述滑块的顶端固定有衔接板，且衔接板的顶部一侧安装有贴合板。

优选地，所述限位板通过螺栓与承载筒可拆卸连接，且限位板的结构为半弧形结构。

优选地，所述衔接板通过电动推杆与连接块之间构成伸缩结构，且连接块通过滑槽与滑块之间构成滑动结构。

优选地，所述固定块的内部穿出有双向螺纹杆，且双向螺纹杆的一端连接有电机，所述电机的一侧固定有安装板，所述固定块的底端安装有滚筒，且滚筒的外部套设有引导槽，所述引导槽的外壁设置有承载板；且引导槽的内部底端设置有减震机构；

所述减震机构包括限位架，所述限位架的底端安装有阻尼弹簧。

优选地，所述双向螺纹杆与固定块螺纹连接，且固定块通过电机与双向螺纹杆之间构成滑动结构。

优选地，所述滚筒通过引导槽与承载板之间构成滑动结构，且滚筒通过螺栓与固定块可拆卸连接。

优选地，所述限位架与滚筒紧密贴合，且限位架通过阻尼弹簧与承载板之间构成弹性结构。

上述描述可以看出，通过本申请的上述的技术方案，必然可以解决本申请要解决的技术问题。

同时，通过以上技术方案，本实用新型至少具备以下有益效果：

本实用新型经限位杆和限位板便于把晶圆限位在承载筒内，避免出现交错混乱不便于取料，经电动推杆带动衔接板，经穿出口穿入承载筒，并贴合在最下层的晶圆，同时经贴合板组成的凹槽与晶圆相吻合，同时贴合板一侧的锥形块，便于推动晶圆上升后随即滑落至贴合板内，从而便于衔接板复位时带动晶圆脱离承载筒，同时穿出口的大小与衔接板和晶圆的厚度吻合，避免多余的晶圆跟随脱离，从而进行分选避免多组堆积，造成粘合不便取用。

本实用新型当取料完毕后，经电机工作带动双向螺纹杆转动，从而推动固定块，使取料机构进行滑动从而调节位置到其他工位上，设有两组分选机构和取料机构，便于多工位同时工作提高效率。

本实用新型固定块经滚筒在引导槽的限位下，沿承载板稳定滑动，从而提高取料机构移动的流畅性和稳定性，滚筒与限位架贴合，同时限位架与承载板之间安装多组阻尼弹簧，经阻尼弹簧在滚筒滑动时具有一定减震性，从而避免取料机构滑动时过于震动从而导致晶圆脱离。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型分选机构结构示意图；

图3为本实用新型取料机构结构示意图；

图4为本实用新型承载板结构示意图。

图中：1、操作台；2、分选机构；201、承载筒；202、支撑块；203、限位杆；204、限位板；205、穿出口；3、取料机构；301、固定块；302、连接块；303、衔接板；304、电动推杆；305、贴合板；306、滑块；307、滑槽；4、安装板；5、电机；6、双向螺纹杆；7、承载板；8、引导槽；9、滚筒；10、减震机构；1001、限位架；1002、阻尼弹簧。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施案例一

如附图1、图2和图3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种自动式晶圆分选取料结构，包括操作台1，以及固定在操作台1外壁两侧的分选机构2，分选机构2的一侧设置有取料机构3；分选机构2包括承载筒201，承载筒201的外壁一侧开设有穿出口205，承载筒201的内壁一侧固定有支撑块202，承载筒201的内部连接有限位杆203，承载筒201的内壁另一侧固定有限位板204；取料机构3包括固定块301，固定块301的外壁一侧固定有连接块302，连接块302的内部嵌装有电动推杆304，固定块301的顶端开设有滑槽307，滑槽307的内部穿出有滑块306，滑块306的顶端固定有衔接板303，衔接板303的顶部一侧安装有贴合板305，限位板204通过螺栓与承载筒201可拆卸连接，限位板204的结构为半弧形结构，衔接板303通过电动推杆304与连接块302之间构成伸缩结构，连接块302通过滑槽307与滑块306之间构成滑动结构，经限位杆203和限位板204便于把晶圆限位在承载筒201内，避免出现交错混乱不便于取料，经电动推杆304带动衔接板303，经穿出口205穿入承载筒201，并贴合在最下层的晶圆，同时经贴合板305组成的凹槽与晶圆相吻合，同时贴合板305一侧的锥形块，便于推动晶圆上升后随即滑落至贴合板305内，从而便于衔接板303复位时带动晶圆脱离承载筒201，同时穿出口205的大小与衔接板303和晶圆的厚度吻合，避免多余的晶圆跟随脱离，从而进行分选避免多组堆积，造成粘合不便取用。

实施例二

下面结合具体的工作方式对实施例一中的方案进行进一步的介绍，详见下文描述：

如图1所示，作为优选的实施方式，在上述方式的基础上，进一步的，固定块301的内部穿出有双向螺纹杆6，双向螺纹杆6的一端连接有电机5，电机5的一侧固定有安装板4，双向螺纹杆6与固定块301螺纹连接，固定块301通过电机5与双向螺纹杆6之间构成滑动结构，当取料完毕后，经电机5工作带动双向螺纹杆6转动，从而推动固定块301，使取料机构3进行滑动从而调节位置到其他工位上，设有两组分选机构2和取料机构3，便于多工位同时工作提高效率。

如图1和图4所示，作为优选的实施方式，在上述方式的基础上，进一步的，固定块301的底端安装有滚筒9，滚筒9的外部套设有引导槽8，引导槽8的外壁设置有承载板7；引导槽8的内部底端设置有减震机构10；减震机构10包括限位架1001，限位架1001的底端安装有阻尼弹簧1002，滚筒9通过引导槽8与承载板7之间构成滑动结构，滚筒9通过螺栓与固定块301可拆卸连接，限位架1001与滚筒9紧密贴合，限位架1001通过阻尼弹簧1002与承载板7之间构成弹性结构，固定块301经滚筒9在引导槽8的限位下，沿承载板7稳定滑动，从而提高取料机构3移动的流畅性和稳定性，滚筒9与限位架1001贴合，同时限位架1001与承载板7之间安装多组阻尼弹簧1002，经阻尼弹簧1002在滚筒9滑动时具有一定减震性，从而避免取料机构3滑动时过于震动从而导致晶圆脱离。

综合上述可知：

本实用新型针对技术问题：现有的晶圆取料结构，不便于对堆积的晶圆本体分离，从而在取料时可能存在堆积一起，导致无法对取用的晶圆进行分离，影响下一步加工；采用上述各实施例的技术方案。同时，上述技术方案的实现过程是：

操作台1两侧各安装两组分选机构2，经分选机构2的承载筒201便于装载堆积的晶圆，经支撑块202托载晶圆避免与底端贴合无法取料，承载筒201通过固定的限位杆203的限位板204，便于对晶圆起到限位效果，避免出现偏移或错位从而不便于取料，取料机构3的固定块301一侧固定的连接块302，连接块302嵌装的电动推杆304工作推动衔接板303，向承载筒201滑动并经穿出口205穿入承载筒201，经衔接板303固定的贴合板305便于限位取用的晶圆，同时贴合板305一侧固定的锥形块，便于晶圆滑动进入贴合板305的限位范围，同时经电动推杆304收缩，带动取用的晶圆脱离承载筒201，上方堆积的晶圆在承载筒201的阻挡下避免跟随滑动，从而对晶圆进行分选和分离，衔接板303固定的滑块306，穿入并卡合连接块302开设的滑槽307，便于衔接板303稳定滑动避免出现偏移的情况；

经安装板4固定在承载板7上，便于稳定支撑安装板4嵌装的电机5工作，带动双向螺纹杆6转动，从而便于带动固定块301，从而使取料机构3在操作台1上滑动，向下一道工序的位置进行移动，通过双向螺纹杆6设有两组工位提高工作效率，固定块301底端嵌装的滚筒9穿入承载板7开设的引导槽8，便于引导固定块301使的取料机构3稳定滑动，经限位架1001和阻尼弹簧1002组成减震机构10，限位架1001与滚筒9贴合，并经阻尼弹簧1002弹性压紧在引导槽8内，使取料机构3移动时具有一定减震性，避免过于晃动影响晶圆的放置。

通过上述设置，本申请必然能解决上述技术问题，同时，实现以下技术效果：

本实用新型当取料完毕后，经电机5工作带动双向螺纹杆6转动，从而推动固定块301，使取料机构3进行滑动从而调节位置到其他工位上，设有两组分选机构2和取料机构3，便于多工位同时工作提高效率；

本实用新型固定块301经滚筒9在引导槽8的限位下，沿承载板7稳定滑动，从而提高取料机构3移动的流畅性和稳定性，滚筒9与限位架1001贴合，同时限位架1001与承载板7之间安装多组阻尼弹簧1002，经阻尼弹簧1002在滚筒9滑动时具有一定减震性，从而避免取料机构3滑动时过于震动从而导致晶圆脱离。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，包括操作台(1)，以及固定在操作台(1)外壁两侧的分选机构(2)，所述分选机构(2)的一侧设置有取料机构(3)；

所述分选机构(2)包括承载筒(201)，所述承载筒(201)的外壁一侧开设有穿出口(205)，且承载筒(201)的内壁一侧固定有支撑块(202)，所述承载筒(201)的内部连接有限位杆(203)，且承载筒(201)的内壁另一侧固定有限位板(204)；

所述取料机构(3)包括固定块(301)，所述固定块(301)的外壁一侧固定有连接块(302)，且连接块(302)的内部嵌装有电动推杆(304)，所述固定块(301)的顶端开设有滑槽(307)，且滑槽(307)的内部穿出有滑块(306)，所述滑块(306)的顶端固定有衔接板(303)，且衔接板(303)的顶部一侧安装有贴合板(305)。

2.根据权利要求1所述的一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，所述限位板(204)通过螺栓与承载筒(201)可拆卸连接，且限位板(204)的结构为半弧形结构。

3.根据权利要求1所述的一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，所述衔接板(303)通过电动推杆(304)与连接块(302)之间构成伸缩结构，且连接块(302)通过滑槽(307)与滑块(306)之间构成滑动结构。

4.根据权利要求1所述的一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，所述固定块(301)的内部穿出有双向螺纹杆(6)，且双向螺纹杆(6)的一端连接有电机(5)，所述电机(5)的一侧固定有安装板(4)，所述固定块(301)的底端安装有滚筒(9)，且滚筒(9)的外部套设有引导槽(8)，所述引导槽(8)的外壁设置有承载板(7)；且引导槽(8)的内部底端设置有减震机构(10)；

所述减震机构(10)包括限位架(1001)，所述限位架(1001)的底端安装有阻尼弹簧(1002)。

5.根据权利要求4所述的一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，所述双向螺纹杆(6)与固定块(301)螺纹连接，且固定块(301)通过电机(5)与双向螺纹杆(6)之间构成滑动结构。

6.根据权利要求4所述的一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，所述滚筒(9)通过引导槽(8)与承载板(7)之间构成滑动结构，且滚筒(9)通过螺栓与固定块(301)可拆卸连接。

7.根据权利要求4所述的一种自动式晶圆分选取料结构，其特征在于，所述限位架(1001)与滚筒(9)紧密贴合，且限位架(1001)通过阻尼弹簧(1002)与承载板(7)之间构成弹性结构。