CN220389234U - 传感器夹持工具 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种传感器夹持工具，夹持工具包括：握持件；夹取件，连接于握持件，夹取件被配置为自握持件延伸设置；夹取件包括第一夹取臂和第二夹取臂；第一夹取臂自握持件沿第一方向延伸，第二夹取臂自握持件沿第二方向延伸，第一方向和第二方向之间的夹角为锐角；第一夹取臂和第二夹取臂均远离握持件的一端之间形成用于夹持传感器的开口。本申请避免了人工徒手拆卸、更换对传感器造成的损坏，通过设置握持件提高了夹取传感器的安全性，通过呈锐角设置的第一夹取臂和第二夹取臂，改善了使用者的施加的作用力，并使得使用者能够通过灵活地、快速地操作夹取臂进行拆卸和安装传感器，有效缩短复机的时间。

Description

传感器夹持工具

技术领域

本申请涉及夹取装置技术领域，特别是涉及传感器夹持工具。

背景技术

随着智能化技术的发展，对半导体的需求日益旺盛。光刻机是利用光线透过掩模照射在硅片表面，与光刻胶发生反应并将电路图从掩模转移到硅片的设备。光刻机的卡盘(Chuck)是一种夹持和定位硅片、薄膜和其他材料的装置，它具有调整精度高、操作方便、使用寿命长等优点，能够有效地保证光刻机的精度和效率。chuck通常由夹持器、定位器和调整器等部分组成。夹持器用于夹持硅片或其他材料，定位器用于定位硅片或其他材料的位置，调整器用于调整夹持力和定位精度等参数，所以chuck上会设有相应的传感器以控制定位器和调整器进行相应的工作。在使用过程中，传感器需要经常地拆卸和更换，传统的拆装方式为人工徒手拆卸和更换，这种方式工作效率较低、安全性较差且容易损伤传感器。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种方便拆卸和安装传感器的夹持工具。

本申请提供一种传感器夹持工具，所述夹持工具包括：

握持件；

夹取件，连接于所述握持件，所述夹取件被配置为自所述握持件延伸设置；所述夹取件包括第一夹取臂和第二夹取臂；

所述第一夹取臂自所述握持件沿第一方向延伸，所述第二夹取臂自所述握持件沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角为锐角；所述第一夹取臂和所述第二夹取臂均远离所述握持件的一端之间形成用于夹持传感器的开口。

在其中一个实施例中，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。

在其中一个实施例中，所述第一定位部和所述第二定位部交错设置。

在其中一个实施例中，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有缺口。

在其中一个实施例中，所述第一夹取臂沿与所述第一方向相反的方向切除部分以形成所述缺口；所述第一夹取臂远离所述握持件的一端还包括保留部，所述缺口与所述保留部并列设置。

在其中一个实施例中，所述保留部设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。

在其中一个实施例中，所述第一夹取臂的纵长小于所述第二夹取臂的纵长。

在其中一个实施例中，所述第一夹取臂的长度大于或等于2cm且小于或等于10cm，所述第一夹取臂的长度大于或等于2cm且小于或等于15cm。

在其中一个实施例中，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角小于或等于25°且大于或等于5°。

在其中一个实施例中，所述握持件包括绝缘材质，所述夹取件包括可形变材质。

采用本申请的夹持工具进行拆卸和安装传感器，避免了人工徒手拆卸、更换对传感器造成的损坏，通过设置握持件提高了夹取传感器的安全性，通过呈锐角设置的第一夹取臂和第二夹取臂，改善了使用者的施加的作用力，并使得使用者能够通过灵活地、快速地操作夹取臂进行拆卸和安装传感器，有效缩短复机的时间。

附图说明

图1为本申请一实施例中夹持工具的结构示意图。

图2为本申请一实施例中夹持工具的正视图。

图3为本申请一实施例中夹持工具的俯视图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

经研究发现，ASML光刻机的chuck在使用过程中，其上的TIS(Transmission ImageSensor)传感器需要经常地拆卸和更换进行相应的检查，以确保TIS传感器的精准度和灵敏度。掩模工作台与晶圆工作台(chuck)之间的对准是依靠TIS系统来实现的，TIS系统包括三个部分，一是设置在掩模工作台上的TIS标识(TIS mark)，它们是一系列透光的密集线条；二是光刻机的光学成像系统；三是晶圆工作台上的TIS传感器、用于检测光强的Spotsensor(光强传感器)等。TIS传感器包含主体和连接主体并从主体中伸出的信号线，传统的拆装方式为人工徒手拆卸和更换，这种方式工作效率较低、安全性较差且容易损伤传感器，甚至污染TIS传感器或使信号线破损，从而降低chuck寿命并增加使用成本。

基于上述，本申请提供一种方便拆卸和安装传感器的夹持工具。参阅图1至图3，图1至图3示出了本申请一实施例中的传感器夹持工具的结构示意图，本申请一实施例提供的夹持工具，适用于多种传感器的拆装，尤其适用于拆装光刻机卡盘上的TIS传感器。

夹持工具1包括握持件200和夹持件200。夹持件200，连接于握持件200，夹持件200被配置为自握持件200延伸设置。夹持件200包括第一夹取臂210和第二夹取臂220。第一夹取臂210自握持件200沿第一方向A延伸，第二夹取臂220自握持件200沿第二方向B延伸，第一方向A和第二方向B之间的夹角α为锐角。第一夹取臂210和第二夹取臂220均远离握持件200的一端之间形成用于夹持传感器的开口。采用本申请的夹持工具1进行拆卸和安装传感器，避免了人工徒手拆卸、更换对传感器造成的损坏，通过设置握持件提高了夹取传感器的安全性，通过呈锐角设置的第一夹取臂和第二夹取臂，改善了使用者的施加的作用力，并使得使用者能够通过灵活地、快速地操作夹取臂进行拆卸和安装传感器，有效缩短复机的时间。

握持件200用于供操作者握持进行夹取传感器的动作，且握持件200能够支撑和固定夹持件200的近端，夹持件200的远端从握持件200伸出并向外延伸形成自由端。被固定的近端能够使得第一夹取臂210和第二夹取臂220分别以预设的相应延伸方向从握持件200处延伸。

进一步的，握持件200包括沿第一方向A延伸的第一安装槽110和沿第二方向B延伸的第二安装槽120。第一安装槽110和第二安装槽120分别用于安装第一夹取臂210和第二夹取臂220的各近端。在一些实施例中，握持件200为预制的，则先在握持件200上加工出第一安装槽110和第二安装槽120，并通过例如过盈连接的方式将第一夹取臂210和第二夹取臂220分别安装在第一安装槽110和第二安装槽120。在一些实施例中，握持件200为一体成型形成的，例如，握持件200可以通过注塑、压制等方式一体地形成在第一夹取臂210和第二夹取臂220的近端，这种方式中，第一夹取臂210和第二夹取臂220需要先通过外部结构定位好相应的延伸方向。

进一步的，握持件200包括绝缘材质，并可以根据上述加工方案选择相应的材质，作为优选的，握持件200为木质、橡胶、硅胶或塑料材质。在一些实施例中，握持件200朝向夹持件200的一端为绝缘的可形变材质制成，操作者可以通过挤压握持件200的一端而促使内部第一夹取臂210和第二夹取臂220的延伸方向发生变化，改变开口的大小，以使传感器进入夹持件200的开口后被夹持件200所夹持。

进一步的，握持件200的边缘设有倒角，通过对握持件200进行倒角处理，可以显著提高握持手感，让用户在使用时感受到更舒适、更稳定的握持体验。倒角的设计可以使握持部分的边缘光滑，避免了锋利的棱角或尖端对手部的不适和刺激；倒角的设计还有助于增加握持件与手部表面的接触面积，可以使握持件与手部更好地贴合，提供更大的接触面积来分散握持力量，可以有效减轻手部的压力和疲劳感；倒角的设计还可以提升握持的稳定性，通过在握持件200的边缘进行倒角处理，可以减少手部与握持件之间的滑动或移位，增加握持的稳固性和控制力。

第一夹取臂210自握持件200沿第一方向A延伸，第二夹取臂220自握持件200沿第二方向B延伸。具体的，第一方向A和第二方向B之间的夹角为可变的锐角，通过外部的作用力使得第一夹取臂210和第二夹取臂220的至少部分结构之间的夹角发生变化，并使得开口尺寸变化。该外部的作用力可以是操作者提供的力，也可以是驱动设备提供的动力。

驱动设备分别可以为电动驱动设备、液压驱动设备、气动驱动设备、机械驱动设备中的一个。电动驱动设备是指通过电力来提供动力的驱动装置，电动驱动设备可以包括电动机、电动执行器等。液压驱动设备利用液体的力量来传递动力和产生运动。液压驱动设备可以为液压泵、液压缸、液压马达等。气动驱动设备利用气体的力量来传递动力和产生运动。气动驱动设备可以为气动缸、气动马达、气动阀等。机械驱动设备通常是指通过机械结构来传递动力和产生运动的装置。机械驱动设备可以为齿轮、链条、皮带等，机械驱动设备需要配合上述电动驱动设备、液压驱动设备或气动驱动设备作为外部动力源进行驱动。可以理解的，需要根据具体的需求选择合适的驱动设备，以实现所需的运动动力和控制功能，在本一些施例中，为了适用于夹持工具1的尺寸，优选的，驱动设备可以为微型电机。

进一步的，夹取臂可以部分发生形变以改变上述夹角，也可以整体地转动以改变上述夹角。夹角α可以通过作用于第一夹取臂210和第二夹取臂220位于握持件100内的一位置的力进行改变，夹角α也可以通过作用于第一夹取臂210和第二夹取臂220位于握持件100外的一位置的力进行改变，夹角α可以通过旋转第一夹取臂210和第二夹取臂220进行改变。

在其中一个实施例中，夹持件200包括可形变材质，具体的，夹持件200包括可形变的刚性材质，优选的，夹持件200包括金属材质。

在其中一个实施例中，如图2所示，在初始的非夹持状态下，第一方向A和第二方向B之间的夹角α小于或等于25°且大于或等于5°。作为优选的，第一方向A和第二方向B之间的夹角α小于或等于15°且大于或等于5°。

可以理解的，在未受到外部作用力上述夹角不变时，开口的直径大于传感器的最大宽度，以使传感器进入到第一夹取臂210和第二夹取臂220之间，当受到外部作用力后，开口的直径略大于或等于传感器所需夹持位置处的宽度。

进一步的，夹持工具1还包括固定组件，当夹取件200完成对传感器的拆卸后，固定组件能够将第一夹取臂210和第二夹取臂220之间的位置相对固定，即固定夹角α，使得传感器被固定在第一夹取臂210和第二夹取臂220之间，不会发生移位，便于转移传感器，在转移传感器的同时，不需要操作者一直施加作用力，提高工作效率。

在其中一个实施例中，第一夹取臂210远离握持件200的一端(远端)设有朝向第二夹取臂220延伸的第一定位部211，第二夹取臂220远离握持件200的一端(远端)设有朝向第一夹取臂210延伸的第二定位部221。第一定位部211和第二定位部221末端之间的间隔，即为上述开口，传感器被夹取后，传感器的不同侧面分别贴合第一夹取臂210、第二夹取臂220、第一定位部211和第二定位的内表面。第一定位部211的延伸方向与第一方向A具有夹角，第二定位部221的延伸方向与第二方向B具有夹角，两夹角的范围与传感器的具体构造进行选择。

在其中一个实施例中，第一定位部211和第二定位部221交错设置。第一定位部211和第二定位部221可以在夹持件中心线201的方向上交错设置，也可以在垂直于夹持件中心线201的方向上交错设置。

第一夹取臂210的纵长小于第二夹取臂220的纵长，使得第一夹取臂210和第二夹取臂220的远端在夹持件中心线201的方向上交错设置，第一定位部211和第二定位部221在夹持件中心线201的方向上交错设置。在夹取传感器时，纵长较长的第二夹取臂220的第二定位部221先伸入传感器和连接的元件之间，将传感器的一侧与连接的元件分离，再调整使得第一定位部211进入传感器和连接的元件之间，操作改变两夹取臂的夹角，完成传感器的夹取，操作方便，拆卸快捷。由于传感器的接口连接在相应元件上，并位于背离操作者的一侧，拆卸时，夹取臂的交错结构在夹取传感器时，两个夹取臂不会同时、同平面内收紧，能够有效地防止拆卸传感器时，损坏传感器接口处，以保护接口。

在其中一个实施例中，如图2所示，第一夹取臂210的长度大于或等于2cm且小于或等于10cm，第二夹取臂220的长度大于或等于2cm且小于或等于15cm。第一夹取臂210在夹持件中心线201的方向上的水平长度L1大于或等于3cm且小于或等于8cm，第二夹取臂220在夹持件中心线201的方向上的水平长度L2长度大于或等于3cm且小于或等于12cm。作为优选的，L1大于或等于3cm且小于或等于5cm，L2大于或等于3cm且小于或等于6cm。夹取臂过长的长度会影响操作时角度的变化控制，且增加需要施加的作用力，过短的长度也不利于夹取臂自身发生形变。

L2与L1的差值小于或等于传感器直径的50％，传感器一侧抬起预设高度就能完成拆卸，夹取臂的纵长差值能够匹配上述拆卸时的预设高度。作为优选的，考虑一些实施例中TIS传感器的尺寸，L2与L1的差值大于或等于0.01cm且小于或等于1cm。

在其中一个实施例中，如图3所示，第一夹取臂210远离握持件200的一端设有缺口212。第一夹取臂210沿与第一方向A相反的方向切除部分以形成缺口212。第一夹取臂210远离握持件200的一端还包括保留部213，缺口212与保留部213并列设置。缺口212的设置使得第一定位部211和第二定位部221在垂直于夹持件中心线201的方向上具有错位，在拆卸传感器之后还需要将信号线从元件接口拆下，信号线能够从缺口212中伸出，避免夹取时对信号线造成损坏，缺口212的设计使得夹持工具1既能拆除传感器，又能将信号线从接口拆除。

在其中一个实施例中，保留部213设有朝向第二夹取臂220延伸的第一定位部211，第二夹取臂220远离握持件200的一端设有朝向第一夹取臂210延伸的第二定位部221。

第一定位部211和第二定位部221的内表面设有防滑层。通过在第一定位部211和第二定位部221内表面添加防滑层，可以增加与传感器接触处的摩擦力，有效地防止传感器在夹取、拆卸、移动过程中的移位。防滑层通常采用具有良好摩擦特性的材料，如橡胶或硅胶等，能够提供额外的摩擦力，以增加物品与握持部之间的摩擦阻力。

进一步的，缺口212的宽度与传感器的信号线宽度相对应，作为优选的，考虑一些实施例中TIS传感器信号线的尺寸，缺口212的宽度小于或等于第一夹取臂210远端宽度的1/2。作为优选的，考虑一些实施例中TIS传感器的尺寸，缺口212的宽度大于或等于0.2cm且小于或等于1cm，尤其可以为0.4cm、0.5cm或0.6cm，第一夹取臂210垂直于第一方向的方向上的宽度大于或等于0.4cm且小于或等于1.2cm，优选的，上述宽度为0.8cm。第二夹取臂220垂直于第二方向的方向上的宽度大于或等于0.4cm且小于或等于1.2cm，优选的，上述宽度为0.8cm。

在其中一个实施例中，第一夹取臂210的厚度大于或等于1mm且小于或等于20mm，优选的，上述厚度为5mm。第二夹取臂220的厚度大于或等于1mm且小于或等于20mm，优选的，上述厚度为5mm。夹取臂设置太厚的厚度会导致在拆除传感器时，第一夹取臂210或第二夹取臂220无法首先进入传感器之间的缝隙将传感器翘起，太薄的夹取臂厚度会影响夹持时的强度。可以理解的，第一定位部211和第二定位部221的厚度可以与夹取臂厚度一致，也可以小于夹取臂的厚度，以便于定位部伸入传感器和元件中间。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种传感器夹持工具，其特征在于，所述夹持工具包括：

握持件；

夹取件，连接于所述握持件，所述夹取件被配置为自所述握持件延伸设置；所述夹取件包括第一夹取臂和第二夹取臂；

所述第一夹取臂自所述握持件沿第一方向延伸，所述第二夹取臂自所述握持件沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角为锐角；所述第一夹取臂和所述第二夹取臂均远离所述握持件的一端之间形成用于夹持传感器的开口。

2.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。

3.根据权利要求2所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一定位部和所述第二定位部交错设置。

4.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有缺口。

5.根据权利要求4所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂沿与所述第一方向相反的方向切除部分以形成所述缺口；所述第一夹取臂远离所述握持件的一端还包括保留部，所述缺口与所述保留部并列设置。

6.根据权利要求5所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述保留部设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。

7.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂的纵长小于所述第二夹取臂的纵长。

8.根据权利要求7所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂的长度大于或等于2cm且小于或等于10cm，所述第一夹取臂的长度大于或等于2cm且小于或等于15cm。

9.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角小于或等于25°且大于或等于5°。

10.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述握持件包括绝缘材质，所述夹取件包括可形变材质。