CN220367373U - 一种用于半导体器件的快速测试系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种用于半导体器件的快速测试系统，包括测试台，测试台的顶端中部固定连接有立板，立板的两端均开设有调节槽，两个调节槽的内腔上下两端之间均转动连接有丝杆，两个调节槽内均滑动连接有调节块，两个调节块上均固定连接有连接板。本实用新型通过探针、测试台、立板、调节槽、伺服电机、调节块、丝杆、通孔、连接板、T型螺纹杆和弹簧的设置，通过伺服电机驱动丝杆转动，进而带动连接板向下移动使探针对测试台上的半导体接触，同时配合弹簧的拉力将探针稳定的限位在半导体上，进而能够同时多个半导体进行同时测试，并且立板两侧的测试台能够交替对半导体进行测试，进而大大提高半导体测试的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体测试技术领域，具体为一种用于半导体器件的快速测试系统。
背景技术
随着电子产品的快速更新，半导体器件的需求量也越来越大，大规模半导体器件的制备也在快速发展，而对半导体器件进行测试是其中一个重要的环节。
在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：现有的半导体器件的测试阶段，通常是逐个器件进行测试，每次测试的器件数目有限，大部分半导体器件体积较小，操作困难，会很大程度上降低测试的效率，因此，我们提出一种用于半导体器件的快速测试系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于半导体器件的快速测试系统，解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体器件的快速测试系统，包括测试台，所述测试台的顶端中部固定连接有立板，所述立板的两端均开设有调节槽，两个所述调节槽的内腔上下两端之间均转动连接有丝杆，两个所述调节槽内均滑动连接有调节块，两个所述调节块上均固定连接有连接板，所述立板的顶部通过螺栓安装有两个相同的伺服电机；所述连接板上等距开设有多个相同的通孔，多个所述通孔内均活动插接有T型螺纹杆，多个所述T型螺纹杆的底部均安装有探针，所述连接板上侧的T型螺纹杆外侧套设有弹簧。
作为本申请技术方案的一可选方案，所述测试台的底部固定连接有支撑箱，所述立板两侧的测试台上均固定安装有滤网，所述支撑箱的外侧一端通过螺栓安装有负压泵。
作为本申请技术方案的一可选方案，所述通孔的内腔两侧均固定连接有限位块，所述T型螺纹杆的两侧均开设有限位槽。
作为本申请技术方案的一可选方案，所述T型螺纹杆的外侧螺旋连接有螺母。
作为本申请技术方案的一可选方案，所述滤网的表面涂有标记圈。
作为本申请技术方案的一可选方案，所述螺母的尺寸大于通孔的尺寸。
与现有技术相比，本申请技术方案的有益效果如下：
1.本申请技术方案通过探针、测试台、立板、调节槽、伺服电机、调节块、丝杆、通孔、连接板、T型螺纹杆和弹簧的设置，通过伺服电机驱动丝杆转动，进而带动连接板向下移动使探针对测试台上的半导体接触，同时配合弹簧的拉力将探针稳定的限位在半导体上，进而能够同时多个半导体进行同时测试，并且立板两侧的测试台能够交替对半导体进行测试，进而大大提高半导体测试的效率。
2.本申请技术方案通过支撑箱、负压泵和滤网的设置，通过启动负压泵使支撑箱内产生负压，进而能够将滤网上放置的半导体稳定的吸附在滤网表面，进而提高半导体测试的稳定性，进一步的提高半导体测试的效果。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种用于半导体器件的快速测试系统的整体立体图；
图2为本实用新型一种用于半导体器件的快速测试系统的侧视图；
图3为本实用新型一种用于半导体器件的快速测试系统的A处放大图；
图4为本实用新型一种用于半导体器件的快速测试系统的连接板局部俯视图。
图中：1、测试台；101、滤网；2、支撑箱；201、负压泵；3、立板；301、调节槽；302、伺服电机；303、丝杆；304、调节块；4、连接板；401、通孔；402、限位块；5、T型螺纹杆；501、限位槽；502、螺母；6、弹簧；7、探针；8、标记圈。
具体实施方式
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体器件的快速测试系统，包括测试台1，测试台1的顶端中部固定连接有立板3，立板3的两端均开设有调节槽301，两个调节槽301的内腔上下两端之间均转动连接有丝杆303，两个调节槽301内均滑动连接有调节块304，两个调节块304分别螺旋套接在两个丝杆303的外侧，两个调节块304上均固定连接有连接板4，立板3的顶部通过螺栓安装有两个相同的伺服电机302，两个伺服电机302的电机轴分别与两个丝杆303固定连接；连接板4上等距开设有多个相同的通孔401，多个通孔401内均活动插接有T型螺纹杆5，多个T型螺纹杆5的底部均安装有探针7，连接板4上侧的T型螺纹杆5外侧套设有弹簧6，弹簧6的两端分别与连接板4和T型螺纹杆5固定连接。
在这种技术方案中，通过探针7、测试台1、立板3、调节槽301、伺服电机302、调节块304、丝杆303、通孔401、连接板4、T型螺纹杆5和弹簧6的设置，通过伺服电机302驱动丝杆303转动，进而带动连接板4向下移动使探针7对测试台上的半导体接触，同时配合弹簧6的拉力将探针7稳定的限位在半导体上，进而能够同时多个半导体进行同时测试，并且立板3两侧的测试台1能够交替对半导体进行测试，进而大大提高半导体测试的效率。
在有的技术方案中，测试台1的底部固定连接有支撑箱2，立板3两侧的测试台1上均固定安装有滤网101，支撑箱2的外侧一端通过螺栓安装有负压泵201，负压泵201的吸气端与支撑箱2相连通。
在这种技术方案中，通过支撑箱2、负压泵201和滤网101的设置，通过启动负压泵201使支撑箱2内产生负压，进而能够将滤网101上放置的半导体稳定的吸附在滤网101表面，进而提高半导体测试的稳定性，进一步的提高半导体测试的效果。
在有的技术方案中，通孔401的内腔两侧均固定连接有限位块402，T型螺纹杆5的两侧均开设有限位槽501，限位块402滑动连接在限位槽501内。
在这种技术方案中，通过限位块402和限位槽501的设置，进而限位块402在限位槽501内导向移动，进而能够对T型螺纹杆5上下移动进行导向，进而提高探针7上下移动时的稳定性。
在有的技术方案中，T型螺纹杆5的外侧螺旋连接有螺母502，螺母502置于连接板4的下侧，螺母502的尺寸大于通孔401的尺寸。
在这种技术方案中，通过螺母502的设置，通过拧动螺母502调节位置，进而能够限制探针7与测试半导体接触时T型螺纹杆5向上移动的距离，进而能够调节探针7对测试半导体的压力，进而避免对不同厚度的半导体同时检测对厚的半导体造成挤压损坏。
在有的技术方案中，滤网101的表面涂有标记圈8，标记圈8的圆心与探针7的中心在同一竖直水平线上。
在这种技术方案中，通过标记圈8的设置，进而便于人员快速将待测试的半导体精准的放置在探针7的正下方进行测试。
使用时，首先，将待测试的半导体一次放入标记圈8内，然后启动负压泵201使支撑箱2内产生负压，进而能够将滤网101上放置的半导体稳定的吸附在滤网101表面，进而提高半导体放置的稳定性，然后启动伺服电机302驱动丝杆303转动，由于调节块304在调节槽301内导向移动，进而带动连接板4向下移动使探针7对测试台上的半导体接触，当探针7与半导体接触时继续向下移动，进而将弹簧6进行拉伸，进而配合弹簧6的拉力将探针7稳定的限位在半导体上，由于探针7的数量为多个，进而能够同时多个半导体进行同时测试，并且立板3两侧的测试台1能够交替对半导体进行测试，进而大大提高半导体测试的效率。
Claims (6)
1.一种用于半导体器件的快速测试系统，包括测试台(1)，其特征在于：所述测试台(1)的顶端中部固定连接有立板(3)，所述立板(3)的两端均开设有调节槽(301)，两个所述调节槽(301)的内腔上下两端之间均转动连接有丝杆(303)，两个所述调节槽(301)内均滑动连接有调节块(304)，两个所述调节块(304)上均固定连接有连接板(4)，所述立板(3)的顶部通过螺栓安装有两个相同的伺服电机(302)；
所述连接板(4)上等距开设有多个相同的通孔(401)，多个所述通孔(401)内均活动插接有T型螺纹杆(5)，多个所述T型螺纹杆(5)的底部均安装有探针(7)，所述连接板(4)上侧的T型螺纹杆(5)外侧套设有弹簧(6)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的快速测试系统，其特征在于：所述测试台(1)的底部固定连接有支撑箱(2)，所述立板(3)两侧的测试台(1)上均固定安装有滤网(101)，所述支撑箱(2)的外侧一端通过螺栓安装有负压泵(201)。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的快速测试系统，其特征在于：所述通孔(401)的内腔两侧均固定连接有限位块(402)，所述T型螺纹杆(5)的两侧均开设有限位槽(501)。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的快速测试系统，其特征在于：所述T型螺纹杆(5)的外侧螺旋连接有螺母(502)。
5.根据权利要求2所述的一种用于半导体器件的快速测试系统，其特征在于：所述滤网(101)的表面涂有标记圈(8)。
6.根据权利要求4所述的一种用于半导体器件的快速测试系统，其特征在于：所述螺母(502)的尺寸大于通孔(401)的尺寸。
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