CN220363564U - 硅片装夹装置和硅片包装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片装夹装置和硅片包装设备，所述硅片装夹装置包括装夹组件，装夹组件包括基座、支撑件、多个限位件、第一驱动装置和第二驱动装置，支撑件设置在基座上，支撑件具有朝上的、用于支撑硅片的支撑面；多个限位件沿支撑件的周向间隔设置，限位件具有朝向支撑件设置的限位面，限位件沿上下方向可移动地与基座连接；第一驱动装置与限位件连接，以驱动限位件在夹持位置和松开位置之间移动，第二驱动装置与限位件连接以驱动限位件沿上下方向移动；其中，位于夹持位置的多个限位件的限位面均抵接于硅片的侧面；位于松开位置的多个限位件的限位面均离开硅片。本实用新型实施例的硅片装夹装置可以提高硅片的检测准确度和检测效率。

Description

硅片装夹装置和硅片包装设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种硅片装夹装置和硅片包装设备。

背景技术

硅片属于易碎品，为了避免运输过程中出现损坏，通常采用包装盒将硅片包装起来。具体地，相邻两片硅片之间用泡棉隔开，在一叠硅片的最外层放一片瓦楞纸，然后再将层叠放置的硅片装入包装盒内。在对硅片进行包装前，通常先对硅片进行检测，以将废片(不符合要求的硅片)剔除。相关技术中，主要依靠人工方式对硅片进行检测，检测准确度和检测效率均较低。若要对硅片进行自动化检测，首先需要将硅片以统一的状态定位在一个装置上，且避免该装置遮挡硅片的边角，因此，亟需一种可以实现硅片的自动归正且不会遮挡硅片的边角的装置。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的实施例提出一种硅片装夹装置，以实现硅片的自动归正。

本实用新型实施例的硅片装夹装置包括装夹组件，所述装夹组件包括基座、支撑件、多个限位件、第一驱动装置和第二驱动装置，所述支撑件设置在所述基座上，所述支撑件具有朝上的、用于支撑硅片的支撑面；多个所述限位件沿所述支撑件的周向间隔设置，所述限位件具有朝向所述支撑件设置的限位面，所述限位件在夹持位置和松开位置之间可移动，所述限位件沿上下方向可移动地与所述基座连接；所述第一驱动装置与所述限位件连接，以驱动所述限位件在所述夹持位置和所述松开位置之间移动，所述第二驱动装置与所述限位件连接以驱动所述限位件沿上下方向移动；其中，位于所述夹持位置的多个所述限位件的所述限位面均抵接于所述硅片的侧面；位于所述松开位置的多个所述限位件的所述限位面均离开所述硅片。

在一些实施例中，所述第一驱动装置包括转动件、伸缩件和连接杆，所述转动件可转动地与所述基座连接；所述伸缩件的两端分别与所述基座和所述转动件铰接；所述连接杆的两端分别与所述转动件和所述限位件铰接。

在一些实施例中，所述装夹组件包括两个限位组件，所述限位组件包括两个所述限位件，其中一个所述限位组件中的一个所述限位件与另一个所述限位组件中的一个所述限位件相对布置，且其中一个所述限位组件中的另一个所述限位件与另一个所述限位组件中的另一个所述限位件相对布置；所述装夹组件还包括沿预设方向相对布置的两个连接座，所述连接座沿所述预设方向可往返移动地与所述基座连接，所述连接杆的数量为至少两个，其中两个所述连接杆的一端分别与两个所述连接座铰接；其中一个所述限位组件中的两个所述限位件均与其中一个连接座固定连接，另一个所述限位组件中的两个所述限位件均与另一个所述连接座固定连接；其中，所述预设方向垂直于所述上下方向。

在一些实施例中，所述基座上设有沿所述预设方向延伸的第一导向部，所述连接座上设有第二导向部，所述第二导向部可移动地与所述第一导向部导向配合。

在一些实施例中，所述第一导向部为第一滑轨，所述第二导向部为第一滑槽。

在一些实施例中，所述连接座包括主座体和两个支座体，所述连接杆的一端可转动地与所述主座体连接；两个所述支座体间隔设置且均与所述主座体连接，同一所述限位组件内两个所述限位件与两个所述支座体一一对应，所述限位件与对应的所述支座体连接。

在一些实施例中，所述装夹组件还包括连接座，所述连接座沿预设方向可往返移动地与所述基座连接，所述第一驱动装置与所述连接座连接，所述第一驱动装置通过所述连接座带动所述限位件在所述夹持位置和所述松开位置之间移动；所述限位件设置在所述连接座的上方且沿上下可移动地与所述连接座连接，所述第二驱动装置设置在所述连接座的下方其中，所述预设方向垂直于所述上下方向。

在一些实施例中，所述连接座上设有沿所述上下方向延伸的第三导向部，所述限位件上设有第四导向部，所述第四导向部沿上下方向可移动地与所述第三导向部导向配合。

在一些实施例中，所述第三导向部为第二滑轨，所述第四导向部为第二滑槽，所述第二滑槽与所述第二滑轨导向滑动配合。

在一些实施例中，所述限位件包括连接板和多个限位板，多个所述限位件间隔设置且均与所述连接板连接，每个所述限位板均具有所述限位面，多个所述限位板的所述限位面处于同一平面内。

在一些实施例中，所述基座包括底座和罩体，所述罩体与所述底座连接，所述罩体与所述底座之间围成空腔，所述第一驱动装置设置在所述空腔内，所述支撑件和多个限位件均设置在所述空腔的上方。

在一些实施例中，所述硅片装夹装置还包括转动组件，所述转动组件包括转动座、转轴和第三驱动装置，所述转轴可转动地与所述转动座连接，所述基座与所述转轴连接；所述第三驱动装置与所述转轴连接，以驱动所述转轴转动。

在一些实施例中，所述第三驱动装置包括主动带轮、从动带轮、传动带和驱动电机，所述主动带轮和所述从动带轮均可转动地与所述转动座连接，所述转轴与所述从动带轮连接；所述传动带绕设在所述主动带轮和所述从动带轮上；所述驱动电机的输出轴与所述主动带轮传动连接。

在一些实施例中，所述硅片装夹装置还包括移动组件，所述移动组件包括固定件、移动件和第四驱动装置，所述移动件沿预设方向可往返移动地设置在所述固定件上，所述转动座与所述移动件连接，所述第四驱动装置与所述移动件连接，以驱动所述移动件沿预设方向往返移动。

在一些实施例中，所述移动组件为直线滑台。

本实用新型的实施例还提出一种硅片包装设备。

本实用新型实施例的硅片包装设备包括机架、硅片装夹装置和检测装置，所述硅片装夹装置设置在所述机架上，所述硅片装夹装置为上述任一实施例所述硅片装夹装置；所述检测装置设置在所述机架上，所述检测装置用于检测所述硅片装夹装置上的硅片。

本实用新型实施例的硅片装夹装置在使用时，首先，将硅片放置在支撑件的支撑面上；然后，利用第一驱动装置驱动限位件移动到夹持位置，利用多个限位件的限位面止抵于硅片的侧面，实现硅片在硅片装夹装置上的归正；之后，利用第二驱动装置驱动限位件向下移动，避免限位件遮挡硅片的边角；最后，可以采用检测装置对硅片装夹装置上的硅片进行检测。由此，本实用新型实施例的硅片装夹装置可以实现硅片的自动归正。

附图说明

图1是是本实用新型一个实施例的硅片装夹装置的结构示意图。

图2是图1中装夹组件的结构示意图。

图3是图2中处的放大图。

图4是图1中装夹组件的俯视图(隐去了罩体和支撑件)。

附图标记：

100、硅片装夹装置；

10、装夹组件；

1、基座；11、底座；12、罩体；13、第一导向部；

2、支撑件；21、支撑面；

3、限位件；31、限位面；32、第四导向部；33、连接板；34、限位板；301、第一限位组件；302、第二限位组件；

4、第一驱动装置；41、转动件；42、伸缩件；43、连接杆；

5、连接座；51、第三导向部；52、主座体；53、支座体；54、第二导向部；

6、第二驱动装置；

20、转动组件；201、转动座；202、转轴；203、第三驱动装置；

30、移动组件；301、固定件；302、移动件。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1至图4所示，本实用新型实施例的硅片装夹装置100包括装夹组件10，装夹组件10包括基座1、支撑件2、多个限位件3第一驱动装置4和第二驱动装置6，支撑件2设置在基座1上，支撑件2具有朝上设置的、用于支撑硅片的支撑面21。多个限位件3沿支撑件2的周向间隔设置，限位件3具有朝向支撑件2设置的限位面31，限位件3在夹持位置和松开位置之间可移动。第一驱动装置4与限位件3连接，以驱动限位件3在夹持位置和松开位置之间移动。限位件3沿上下方向可移动地与基座1连接。第二驱动装置6与限位件3连接以驱动限位件3沿上下方向移动。其中，位于夹持位置的多个限位件3的限位面31均抵接于硅片的侧面；位于松开位置的多个限位件3的限位面31均离开硅片。

本实用新型实施例的硅片装夹装置100在使用时，首先，将硅片放置在支撑件2的支撑面21上；然后，利用第一驱动装置4驱动限位件3移动到夹持位置，利用多个限位件3的限位面31止抵于硅片的侧面，实现硅片在硅片装夹装置100上的归正；之后，利用第二驱动装置6驱动限位件3向下移动，避免限位件3遮挡硅片的边角；最后，可以采用检测装置对硅片装夹装置100上的硅片进行检测。

由此，本实用新型实施例的硅片装夹装置100可以实现硅片的自动归正且不会遮挡硅片的边角，从而可以实现对硅片的自动化检测，提高硅片的检测准确度和检测效率。

在一些实施例中，如图2至图4所示，基座1包括底座11和罩体12，罩体12与底座11连接，罩体12与底座11之间围成空腔。第一驱动装置4和第二驱动装置6均设置在空腔内，支撑件2和多个限位件3均设置在空腔的上侧。

通过将第一驱动装置4和第二驱动装置6设置在罩体12与底座11围成的空腔内，可以利用空腔的腔壁对第二驱动装置6起到防护作用，从而提高第一驱动装置4的安全性。

可选地，底座11和罩体12焊接、粘接或通过紧固件连接，其中，该紧固件可以是螺栓、螺钉、铆钉等。

为了使本申请的技术方案更容易被理解，下面以垂直于支撑面21的方向与上下方向一致为例，进一步描述本申请的技术方案。其中，上下方向如图2所示。

例如，底座11设置在罩体12的下部，第一驱动装置4设置在底座11的上侧且设于罩体12的下侧，支撑件2和限位件3均设置在罩体12的上侧。支撑件2的上表面形成支撑面21。

在一些实施例中，如图4所示，第一驱动装置4包括转动件41、伸缩件42和连接杆43，转动件41可转动地与基座1连接。伸缩件42的两端分别与基座1和转动件41铰接。连接杆43的两端分别与转动件41和限位件3铰接，以在伸缩件42伸缩时带动限位件3在夹持位置和松开位置之间移动。

例如，如图4所示，转动件41与底座11铰接。伸缩件42的两端分别与底座11和转动件41铰接。伸缩件42伸长时，伸缩件42驱动转动件41绕其转轴线逆时针转动，转动件41带动连接杆43摆动，连接杆43带动限位件3朝远离支撑件2的方向移动，使得限位件3从夹持位置移动到松开位置。伸缩件42缩短时，伸缩件42驱动转动件41绕其转轴线顺时针转动，转动件41带动连接杆43摆动，连接杆43带动限位件3朝靠近支撑件2的方向移动，使得限位件3从松开位置移动到夹持位置。

由此，第一驱动装置4的结构简单，设计安装方便。

可选地，转动件41通过轴承与底座11连接。

可选地，伸缩件42通过销轴与基座1和转动件41连接。

可选地，连接杆43通过销轴与转动件41和限位件3连接。

可选地，装夹组件10包括两个限位组件，限位组件包括两个限位件3，两个限位组件沿预设方向相对布置。其中一个限位组件中的一个限位件3与另一个限位组件中的一个限位件3相对布置，且其中一个限位组件中的另一个限位件3与另一个限位组件中的另一个限位件3相对布置。其中，预设方向垂直于上下方向。

例如，如图2和图4所示，限位件3的数量为四个，四个限位件3形成两个限位组件，两个限位组件分别为第一限位组件301和第二限位组件302。

为了使本申请的技术方案更容易被理解，下面以两个限位组件的布置方向与前后方向一致为例，进一步描述本申请的技术方案。其中，前后方向如图2至图4所示。

例如，如图4所示，预设方向与前后方向一致，第一限位组件301设置在第二限位组件302的前侧，即四个限位件3中，其中两个限位件3设置在另外两个限位件3的前侧。

在一些实施例中，如图2和图4所示，装夹组件10还包括沿预设方向相对布置的两个连接座5，连接座5沿预设方向可往返移动地与基座1连接，连接杆43的数量为至少两个，其中两个连接杆43的一端分别与两个连接座5铰接。其中一个限位组件中的两个限位件3均与其中一个连接座5固定连接，另一个限位组件中的两个限位件3均与另一个连接座5固定连接。

具体地，伸缩件42伸缩时，伸缩件42驱动转动件41绕其转轴线转动，转动件41带动连接杆43摆动，连接杆43带动连接座5移动，连接座5带动与其连接的两个限位件3在夹持位置和松开位置之间移动。

例如，如图4所示，预设方向与前后方向一致。连接座5和连接杆43的数量均为两个，其中一个连接座5设置在另一个连接座5的前侧，以位于前侧的连接座5为第一连接座、位于后侧的连接座5为第二连接座，则第一限位组件301中的两个限位件3与第一连接座连接，第二限位组件302中的两个限位件3与第二连接座连接。其中一个连接杆43设置在另一个连接杆43的前侧，以位于前侧的连接杆43为第一连接杆、位于后侧的连接杆43为第二连接杆。第一连接杆与第一连接座铰接，第二连接杆与第二连接座铰接。由此，伸缩件42伸缩时，伸缩件42驱动转动件41绕其转轴线转动，转动件41带动第一连接杆和第二连接杆摆动，第一连接杆带动第一连接座移动，第一连接座带动第一限位组件301中的两个限位件3移动；同时，第二连接杆带动第二连接座移动，第二连接座带动第二限位组件302中的两个限位件3移动。

由此，有利于进一步简化硅片装夹装置100的整体结构，降低硅片装夹装置100的成本。

当然，在另一些实施例中，连接杆43与限位件3的数量也可以相等，且多个连接杆43与多个限位件3一一对应，每个连接杆43与对应的限位件3铰接。

可选地，伸缩件42为伸缩气缸。

通过将伸缩件42设为伸缩气缸，有利于降低第一驱动装置4的成本，从而有利于进一步降低硅片装夹装置100的成本。

当然，在另一些实施例中，伸缩件42也可以设为电动推杆。

可选地，如图3所示，连接座5包括主座体52和两个支座体53，连接杆43的一端可转动地与主座体52连接。两个支座体53间隔设置且均与主座体52连接，同一限位组件内的两个限位件3与两个支座体53一一对应，限位件3与对应的支座体53连接。

在进行连接座5与第一驱动装置4和限位件3的连接时，只需要将第一驱动装置4的连接杆43与主座体52连接，以及将限位件3与对应的支座体53连接即可。由此，可以有效避免第一驱动装置4和限位件3之间相互干涉，有利于提高硅片装夹装置100的组装效率，降低硅片装夹装置100的组装成本。

为了使本申请的技术方案更容易被理解，下面以同一限位组件内的两个限位件3的布置方向与左右方向一致为例，进一步描述本申请的技术方案。其中左右方向如图2至图4所示。

例如，如图3和图4所示，同一限位组件内的两个限位件3沿左右方向间隔布置，两个支座体53沿左右方向间隔布置。限位组件与对应的连接座5中，设于左侧的限位件3与设于左侧的支座体53连接，设于右侧的限位件3与设于右侧的支座体53连接。

可选地，基座1上设有沿预设方向延伸的第一导向部13，连接座5上设有第二导向部54，第二导向部54可移动地与第一导向部13导向配合。

例如，基座1上设有沿前后方向延伸的第一导向部13，第二导向部54沿前后方向可移动地与第一导向部13导向配合。

由此，在连接座5相对基座1沿预设方向移动时，可以利用第二导向部54与第一导向部13导向配合，限制连接座5偏离预设路径移动，有利于提高硅片装夹装置100的可靠性。

可选地，基座1上设有沿预设方向延伸的第一滑轨，连接座5上设有第一滑槽，第一滑槽沿预设方向可移动地与第一滑轨导向配合。其中，第一滑轨形成第一导向部13，第一滑槽形成第二导向部54。

可选地，第一滑轨与基座1焊接、粘接或通过紧固件连接，其中，该紧固件可以是螺栓、螺钉、铆钉等。

可选地，第一滑槽设置在第一滑块上，第一滑块与连接座5焊接、粘接或通过紧固件连接，其中，该紧固件可以是螺栓、螺钉、铆钉等。

在一些实施例中，限位件3沿上下方向可移动地与连接座5连接，第二驱动装置6设置在连接座5的下方。

例如，如图2和图3所示，限位件3设置在连接座5的上方且沿上下方向可移动地与连接座5连接，第二驱动装置6驱动与限位件3沿上下方向移动。

通过设置连接座5，且将第二驱动装置6设置在连接座5的下方，可以利用连接座5对第二驱动装置6起到防护作用，从而提高第二驱动装置6的安全性。

可选地，连接座5上设有沿上下方向延伸的第三导向部51，限位件3上设有第四导向部32，第四导向部32沿上下方向可移动地与第三导向部51导向配合。

例如，如图3所示，连接座5上设有沿上下方向延伸的第三导向部51，第四导向部32沿上下方向可移动地与第三导向部51导向配合。

由此，在限位件3相对连接座5沿上下方向移动时，可以利用第四导向部32与第三导向部51导向配合，限制限位件3偏离预设路径移动，有利于提高硅片装夹装置100的可靠性。

可选地，如图3所示，连接座5上设有沿上下方向延伸的第二滑轨，限位件3上设有第人滑槽，第二滑槽沿上下方向可移动地与第二滑轨导向配合。其中，第二滑轨形成第三导向部51，第二滑槽形成第四导向部32。

可选地，第二滑轨与连接座5焊接、粘接或通过紧固件连接，其中，该紧固件可以是螺栓、螺钉、铆钉等。

可选地，第二滑槽设置在第二滑块上，第二滑块与限位件3焊接、粘接或通过紧固件连接，其中，该紧固件可以是螺栓、螺钉、铆钉等。

可选地，第二驱动装置6为驱动气缸。

通过将第二驱动装置6设为驱动气缸，有利于降低第二驱动装置6的成本，从而有利于进一步降低硅片装夹装置100的成本。

当然，在另一些实施例中，第二驱动装置6也可以设为电动推杆。

在一些实施例中，限位件3包括连接板33和多个限位板34，多个限位件3间隔设置且均与连接板33连接。每个限位板34均具有限位面31，多个限位板34的限位面31处于同一平面内。

可以理解的是，现有加工工艺下，限位面31的平面度难以达到理想，当限位面31与硅片接触时，很可能是点接触或线接触。通过将限位件3设为包括多个间隔设置的限位板34，且每个限位板34的限位面31均处于同一平面内。在限位件3与硅片接触时，则至少可以保证两个限位板34均与硅片接触，即至少可以保证限位件3与硅片之间有两个点接触，从而可以提高限位件3与硅片的接触面积，一方面，可以减少限位件3与硅片接触位置处的力的大小，避免硅片由于局部受力过大导致损坏；另一方面，可以提高限位件3对硅片归正的可靠性。

可选地，如图3所示，第四导向部32设置在连接板33上。

可选地，连接板33与限位板34通过紧固件连接，该紧固件可以为螺钉。

例如，限位板34上设有沉孔，连接板33上设有螺纹孔，螺钉插装在沉孔内并与螺纹孔螺纹连接。

如图4所示，本实用新型实施例的硅片装夹装置100还包括转动组件20，转动组件20包括转动座201、转轴202和第三驱动装置203，转轴202可转动地与转动座201连接，基座1与转轴202连接。第三驱动装置203与转轴202连接，以驱动转轴202转动。

可以理解的是，硅片的每条边和每个拐角均需要进行检测。通过将基座1与转轴202连接，且利用第三驱动装置203可以驱动转轴202相对转动座201转动，从而使得装夹组件10可以相对转动座201转动。

例如，以硅片为矩形硅片、检测装置的数量为两个为例，首先，装夹组件10先旋转45°，利用两个检测装置分别对硅片的其中两个拐角进行检测；然后，装夹组件10旋转90°，利用两个检测装置分别对硅片的另外两个拐角进行检测；之后，装夹组件10再旋转45°，利用两个检测装置分别对硅片的其中两条边进行检测；最后，装夹组件10再旋转90°，利用两个检测装置分别对硅片的另外两条边进行检测。

由此，可以在硅片装夹装置100的旁侧布置较少的检测装置，当检测装置完成对硅片的一部分拐角或一部分边的检测后，通过转动组件20带动装夹组件10转动一个角度，然后利用检测装置对硅片的其他拐角或其他边进行检测。即可以通过设置较少的检测装置实现对硅片的每条边和每个拐角的检测，有利于降低硅片的检测成本。

可选地，第三驱动装置203包括主动带轮、从动带轮、传动带和驱动电机，主动带轮和从动带轮均可转动地与转动座201连接，转轴202与从动带轮连接，传动带绕设在主动带轮和从动带轮上。驱动电机的输出轴与主动带轮传动连接。

由此，利用带传动机构(包括主动带轮、从动带轮和传动带)可以将驱动电机的动力传递至转轴202，使得驱动电机的布置位置灵活，方便第三驱动装置203的布局和安装。

在一些实施例中，硅片装夹装置100还包括移动组件30，移动组件30包括固定件301、移动件302和第四驱动装置，移动件302沿预设方向可往返移动地设置在固定件301上，转动座201与移动件302连接。第四驱动装置与移动件302连接，以驱动移动件302沿预设方向往返移动。

通过将转动座201与移动件302连接，且利用第四驱动装置可以驱动移动件302沿预设方向可往返移动相对固定件301移动，使得装夹组件10可以相对固定件301沿预设方向往返移动。

可以理解的是，在检测装置完成对硅片的一部分拐角或一部分边的检测后，在硅片转动至下一角度前，硅片需要离开检测装置的检测区域。通过设置移动组件30，使得装夹组件10可以相对固定件301沿预设方向往返移动，可以通过预设方向移动装夹组件10，使硅片离开检测装置的检测区域。

例如，以硅片为矩形硅片、检测装置的数量为两个、装夹组件10移动至检测区域时处于检测位、装夹组件10移动至离开检测区域时处于避让位为例，首先，装夹组件10先旋转45°并移动至检测位，利用两个检测装置分别对硅片的其中两个拐角进行检测；然后，装夹组件10先移动至避让位再旋转90°，接着移动至检测位，利用两个检测装置分别对硅片的另外两个拐角进行检测；之后，装夹组件10先移动至避让位再旋转45°，接着移动至检测位，利用两个检测装置分别对硅片的其中两条边进行检测；最后，装夹组件10先移动至避让位再旋转90°，接着移动至检测位，利用两个检测装置分别对硅片的另外两条边进行检测。

由此，进一步方便实现硅片的自动检测。

可选地，移动组件30为直线滑台。

例如，直线滑台包括沿预设方向延伸的直线导轨和与直线导轨配合的滑台，滑台沿预设方向可滑动地与直线导轨配合，转动座201与滑台连接，第四驱动装置用于驱动滑台相对直线导轨往返移动。其中，直线导轨形成固定件301，滑台形成移动件302，第四驱动装置可以包括带传动机构和马达。

由此，移动组件30的可靠性好，有利于提高硅片装夹装置100的可靠性。

本实用新型实施例的硅片包装设备包括机架、硅片装夹装置100和检测装置，硅片装夹装置100设置在机架上，硅片装夹装置100为上述任一实施例硅片装夹装置100。检测装置设置在机架上且朝向硅片装夹装置100设置，检测装置用于检测硅片装夹装置100上的硅片。

其中，检测装置可以为摄像机，利用摄像机对硅片进行拍摄，进而判断硅片的完整性。

采用硅片装夹装置100和检测装置配合，可以实现对硅片的自动检测，以及提高硅片的检测准确度和检测效率。因此，本实用新型实施例的硅片包装设备具有效率高和可靠性好等优点。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本实用新型的保护范围内。

Claims (16)

1.一种硅片装夹装置，其特征在于，包括装夹组件，所述装夹组件包括：

基座；

支撑件，所述支撑件设置在所述基座上，所述支撑件具有朝上设置的、用于支撑硅片的支撑面；

多个限位件，多个所述限位件沿所述支撑件的周向间隔设置，所述限位件具有朝向所述支撑件设置的限位面，所述限位件在夹持位置和松开位置之间可移动，所述限位件沿上下方向可移动地与所述基座连接；以及

第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置与所述限位件连接，以驱动所述限位件在所述夹持位置和所述松开位置之间移动，所述第二驱动装置与所述限位件连接以驱动所述限位件沿上下方向移动；

其中，位于所述夹持位置的多个所述限位件的所述限位面均抵接于所述硅片的侧面；位于所述松开位置的多个所述限位件的所述限位面均离开所述硅片。

2.根据权利要求1所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括：

转动件，所述转动件可转动地与所述基座连接；

伸缩件，所述伸缩件的两端分别与所述基座和所述转动件铰接；和

连接杆，所述连接杆的两端分别与所述转动件和所述限位件铰连接。

3.根据权利要求2所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述装夹组件包括两个限位组件，所述限位组件包括两个所述限位件，其中一个所述限位组件中的一个所述限位件与另一个所述限位组件中的一个所述限位件相对布置，且其中一个所述限位组件中的另一个所述限位件与另一个所述限位组件中的另一个所述限位件相对布置；

所述装夹组件还包括沿预设方向相对布置的两个连接座，所述连接座沿所述预设方向可往返移动地与所述基座连接，所述连接杆的数量为至少两个，其中两个所述连接杆的一端分别与两个所述连接座铰接；

其中一个所述限位组件中的两个所述限位件均与其中一个连接座固定连接，另一个所述限位组件中的两个所述限位件均与另一个所述连接座固定连接；其中，所述预设方向垂直于所述上下方向。

4.根据权利要求3所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述基座上设有沿所述预设方向延伸的第一导向部，所述连接座上设有第二导向部，所述第二导向部可移动地与所述第一导向部导向配合。

5.根据权利要求4所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述第一导向部为第一滑轨，所述第二导向部为第一滑槽，所述第一滑槽与所述第一滑到导向滑动配合。

6.根据权利要求3所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述连接座包括：

主座体，所述连接杆的一端可转动地与所述主座体连接；和

两个支座体，两个所述支座体间隔设置且均与所述主座体连接，同一所述限位组件内两个所述限位件分别与两个所述支座体连接。

7.根据权利要求1所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述装夹组件还包括连接座，所述连接座沿预设方向可往返移动地与所述基座连接，所述第一驱动装置与所述连接座连接，所述第一驱动装置通过所述连接座带动所述限位件在所述夹持位置和所述松开位置之间移动；

所述限位件设置在所述连接座的上方沿上下可移动地与所述连接座连接，所述第二驱动装置设置在所述连接座的下方其中，所述预设方向垂直于所述上下方向。

8.根据权利要求7所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述连接座上设有沿所述上下方向延伸的第三导向部，所述限位件上设有第四导向部，所述第四导向部沿上下方向可移动地与所述第三导向部导向配合。

9.根据权利要求8所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述第三导向部为第二滑轨，所述第四导向部为第二滑槽，所述第二滑槽与所述第二滑轨导向滑动配合。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述限位件包括：

连接板；和

多个限位板，多个所述限位件间隔设置且均与所述连接板连接，每个所述限位板均具有所述限位面，多个所述限位板的所述限位面处于同一平面内。

11.根据权利要求1-9中任一项所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述基座包括：

底座；和

罩体，所述罩体与所述底座连接，所述罩体与所述底座之间围成空腔，所述第一驱动装置设置在所述空腔内，所述支撑件和多个限位件均设置在所述空腔上方。

12.根据权利要求1-9中任一项所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述硅片装夹装置还包括转动组件，所述转动组件包括：

转动座；

转轴，所述转轴可转动地与所述转动座连接，所述基座与所述转轴连接；和

第三驱动装置，所述第三驱动装置与所述转轴连接，以驱动所述转轴转动。

13.根据权利要求12所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述第三驱动装置包括：

主动带轮和从动带轮，所述主动带轮和所述从动带轮均可转动地与所述转动座连接，所述转轴与所述从动带轮连接；

传动带，所述传动带绕设在所述主动带轮和所述从动带轮上；以及

驱动电机，所述驱动电机的输出轴与所述主动带轮传动连接。

14.根据权利要求12所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述硅片装夹装置还包括移动组件，所述移动组件包括：

固定件；

移动件，所述移动件沿预设方向可往返移动地设置在所述固定件上，所述转动座与所述移动件连接；和

第四驱动装置，所述第四驱动装置与所述移动件连接，以驱动所述移动件沿预设方向往返移动。

15.根据权利要求14所述的硅片装夹装置，其特征在于，所述移动组件为直线滑台。

16.一种硅片包装设备，其特征在于，包括：

机架；

硅片装夹装置，所述硅片装夹装置设置在所述机架上，所述硅片装夹装置为权利要求1-15中任一项所述硅片装夹装置；和

检测装置，所述检测装置设置在所述机架上，所述检测装置用于检测所述硅片装夹装置上的硅片。