CN220358068U - 载具收发装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，具体涉及一种载具收发装置。该载具收发装置包括：安装在升降机构上的升降架，升降架的下部安装有承载板，承载板上安装有输送机构，可以将载具输入或输出承载板上的工作位，以实现自动收发载具；并且，升降架可以带动载具在输出或者接收工件的时候升降。

Description

载具收发装置

技术领域

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，具体涉及一种载具收发装置。

背景技术

随着市场硅片的变化，硅片日益薄片化。硅片在清洗或者烘干的过程中通常都需要专门的硅片花篮来承载硅片。

现有专利CN219239522U公开了一种取料装置，其是通过花篮载具来存放硅片，并在输送箱从花篮载具中逐篇取走硅片的同时，可以通过载具升降机构带动花篮载具逐步下降。

但是，在该结构中，仍然是通过人工将花篮载具取或放入升降机构，工作效率不高。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种载具收发装置，可以实现自动收发载具，进一步提升自动化程度。

本申请提供一种载具收发装置。该载具收发装置包括：升降架，安装在升降机构上；承载板，设置在升降架下部；以及输送机构，安装在承载板上，用于将载具输入或输出承载板上的工作位。

在本申请的一实施例中，所述输送机构包括：主动带和从动带，分别设置在承载板上沿载具移动方向的两侧，用于输送载具；同步轴，其两端分别与主动带和从动带配合；以及主动带驱动组件，用于带动主动带移动。

在本申请的一实施例中，所述主动带驱动组件包括：驱动电机，位于承载板下侧；减速箱，与驱动电机同轴设置；以及驱动轮，设置在减速箱的输出轴上，并与主动带配合。

在本申请的一实施例中，所述承载板的下侧连接有第一安装板，用于安装主动带驱动组件；所述第一安装板上可调安装有若干主动带张紧轮。

在本申请的一实施例中，所述承载板沿载具输送方向的末端设置有若干挡停块，用于将载具挡停在工作位。

在本申请的一实施例中，所述承载板上设置有夹紧组件；所述夹紧组件包括：固定块，设置在承载板位于载具移动方向的一侧；移动块，设置在承载板位于载具移动方向的另一侧；以及驱动器，设置在承载板底面，用于驱动移动块朝向固定块移动，以配合固定块将载具底部夹紧。

在本申请的一实施例中，所述驱动器的驱动端连接有第二安装板；所述第二安装板朝向载具方向设置有若干固定孔；以及所述移动块连接有第三安装板；所述第三安装板上设置有若干条形孔；所述第三安装板与第二安装板连接时，通过固定件穿过相应条形孔与固定孔连接。

在本申请的一实施例中，所述升降架的上部设置有下压机构；所述下压机构包括：第四安装板，其一端与升降架的上部可调连接；下压驱动器，可调安装在第四安装板的另一端；若干下压板，与下压驱动器的驱动端连接，且下压板的底面设置有若干压紧块。

在本申请的一实施例中，所述下压驱动器的驱动端连接有第五安装板；所述下压板可调安装在第五安装板上；以及所述第四安装板位于载具移动方向的两侧的两端可调设置有楔形块，用于在下压过程中夹紧载具。

在本申请的一实施例中，所述升降架包括：若干立柱；下安装块，设置在立柱下端，用于安装承载板；上安装块，设置在立柱上端，用于安装下压机构；中部安装块，设置在立柱中部，用于和升降机构连接。

本实用新型的有益效果是：

区别于现有技术，本申请提供一种载具收发装置，其包括：安装在升降机构上的升降架，升降架的下部安装有承载板，承载板上安装有输送机构，可以将载具输入或输出承载板上的工作位，以实现自动收发载具；并且，升降架可以带动载具在输出或者接收工件的时候升降。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的一优选实施例的载具收发装置的立体图；

图2是本实用新型的一优选实施例的载具收发装置的侧视图；

图3是本实用新型的一优选实施例的载具收发装置的主视图；

图4是本实用新型的一优选实施例的输送机构的立体图；

图5是本实用新型的一优选实施例的输送机构的侧视图；

图6是本实用新型的一优选实施例的夹紧组件的立体图；

图7是本实用新型的一优选实施例的下压机构的立体图；

图8是本实用新型的一优选实施例的下压机构的侧视图。

图中：

载具100；

升降架1、立柱11、下安装块12、上安装块13、中部安装块14；

升降机构2；

承载板3、第一安装板31、主动带张紧轮311、挡停块32；

输送机构4、主动带41、从动带42、同步轴43、主动带驱动组件44、驱动电机441、减速箱442、驱动轮443；

夹紧组件5、固定块51、移动块52、驱动器53、第二安装板54、固定孔541、第三安装板55、条形孔551；

下压机构6、第四安装板61、下压驱动器62、下压板63、压紧块64、第五安装板65、楔形块66。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请提供一种载具收发装置，以下分别进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对本申请实施例优选顺序的限定。且在以下实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

为解决现有技术中仍然是通过人工将花篮载具取或放入升降机构，工作效率不高的技术问题，本申请的一实施例提供一种载具收发装置。该载具收发装置包括：安装在升降机构上的升降架，升降架的下部安装有承载板，承载板上安装有输送机构，可以将载具输入或输出承载板上的工作位，以实现自动收发载具；并且，升降架可以带动载具在输出或者接收工件的时候升降。下文进行详细阐述。

参见图1、图2、图3和图4所示，在一实施例中，载具收发装置包括：升降架1，安装在升降机构2上；承载板3，设置在升降架1下部；以及输送机构4，安装在承载板3上，用于将载具100输入或输出承载板3上的工作位。

具体的，升降机构2可以是竖向设置的直线滑台、滑轨、直线电机等；承载板3设置在升降架1下部，其上安装有输送机构4，可以在载具进出工作位时，通过输送机构4转运载具，实现载具的自动化流转，无需人工，进一步提升了自动化程度；载具100可以是花篮载具，其一侧为开口，用于工件的进出。

参见图4和图5，在一实施例中，所述输送机构4可以包括：主动带41和从动带42，分别设置在承载板3上沿载具移动方向的两侧，用于输送载具；同步轴43，其两端分别与主动带41和从动带42配合；以及主动带驱动组件44，用于带动主动带41移动。

在本实施例中，可选的，主动带41和从动带42为并列设置，且在承载板3的上表面部分带体沿输送方向延伸；载具可以承载在主动带41和从动带42上，带体的底面可以承载在承载板3上，以通过主动带41和从动带42输送；同步轴43可以是通过轴承转动安装在承载板3上，两端分别通过传动轮与主动带41和从动带42配合。

进一步的，参见图5，所述主动带驱动组件44可以包括：驱动电机441，位于承载板3下侧；减速箱442，与驱动电机441同轴设置；以及驱动轮443，设置在减速箱442的输出轴上，并与主动带41配合。

在本实施例中，减速箱442的输出轴通过驱动轮443与主动带41直连，可以提升传动效率。

进一步的，参见图4，所述承载板3的下侧连接有第一安装板31，用于安装主动带驱动组件44；所述第一安装板31上可调安装有若干主动带张紧轮311。

具体的，可以将减速箱442的端部固定于第一安装板31上；主动带张紧轮311可以安装在第一安装板31上的条形孔内，以便于方便调节安装位置，以调整主动带41的松紧程度。

需要说明的是，参见图4，与主动带42配合的有同步轴43端部的传动轮、驱动轮443、主动带张紧轮311、安装在承载板3上的从动轮；与从动带42配合的有同步轴43端部的传动轮和安装在承载板3上的从动轮。

在一些应用场景中，可选的，主动带42、从动带42可采用开槽皮带，传动轮、驱动轮443、从动轮可采用开槽同步轮，避免同步带磨损，防止掉粉；在另一些场景中，主动带42、从动带42可采用可采用人字形皮带，传动轮、驱动轮443、从动轮可采用非金属人字形同步轮，精度高，传输平稳不抖动，且不掉粉。

进一步的，参见图4和图5，所述承载板3沿载具输送方向的末端设置有若干挡停块32，用于将载具挡停在工作位。

需要说明的是，工作位可以是预设的位置，载具停于该位置后，其他接料或者送料设备向从载具内接收工件或者输入工件。

进一步的，参见图4、图5和图6，所述承载板3上设置有夹紧组件5；所述夹紧组件5包括：固定块51，设置在承载板3位于载具移动方向的一侧；移动块52，设置在承载板3位于载具移动方向的另一侧；以及驱动器53，设置在承载板3底面，用于驱动移动块52朝向固定块51移动，以配合固定块51将载具底部夹紧。

在本实施例中，在载具被挡停块32挡停在工作位后，夹紧组件5可以夹紧载具下部；一方面可以将载具固定，另一方面可以在前后方向上对载具定位，以将载具固定在预设的工作位上。

在本实施例中，参见图5和图6，可选的，所述驱动器53的驱动端连接有第二安装板54；所述第二安装板54朝向载具方向设置有若干固定孔541；以及所述移动块52连接有第三安装板55；所述第三安装板55上设置有若干条形孔551；所述第三安装板55与第二安装板54连接时，通过固定件穿过相应条形孔551与固定孔541连接。

在本实施例中，第二安装板54、第三安装板55可以通过固定孔541、条形孔551、固定件的配合，调整固定位置，以便于根据需要调整固定块51、移动块52之间的间距，以适应不同宽度的载具。

在本实施例中，驱动器53可以但不限于是气缸。

进一步的，参见图1、图6和图7所示，为了进一步固定载具，所述升降架1的上部设置有下压机构6；所述下压机构6包括：第四安装板61，其一端与升降架1的上部可调连接；下压驱动器62，可调安装在第四安装板61的另一端；若干下压板63，与下压驱动器62的驱动端连接，且下压板63的底面设置有若干压紧块64。

具体的，在载具位于工作位时，下压驱动器62动作，通过若干压紧块64将载具压紧在承载板3上，以对载具进行固定。

在一实施例中，优选的，所述下压驱动器62的驱动端连接有第五安装板65；所述下压板63可调安装在第五安装板65上；以及所述第四安装板61位于载具移动方向的两侧的两端可调设置有楔形块66，用于在下压过程中夹紧载具。

在本实施例中，两个相对设置的楔形块66在下压过程中，通过相对的斜面可以逐渐夹紧载具上端，保证垂直度。

具体的，通过夹紧组件5、下压机构6的压紧块64和楔形块66，可以将载具固定在工作位，有效防止载具晃动，稳定传送工件。

需要说明的是，下压板63可调安装在第五安装板65、第四安装板61位于载具移动方向的两侧的两端可调设置有楔形块66，可调安装方式同样也可以采用固定孔、条形孔和固定件的配合，可以便于调节下压板63在第五安装板65上的安装位置、楔形块66之间的宽度，以适应不用型号的载具。

参见图3，可选的，所述升降架1包括：若干立柱11；下安装块12，设置在立柱11下端，用于安装承载板3；上安装块13，设置在立柱11上端，用于安装下压机构6；中部安装块14，设置在立柱11中部，用于和升降机构2连接。

具体的，下安装块12、上安装块13、中部安装块14可以与立柱可拆卸安装，便于调节相互之间的高度，以适应不通过规格的载具；中部安装块14可以与升降机构2的移动块连接，以将升降架1整体安装在升降机构2上。

综上所述，本申请的载具收发装置通过输送机构4转运载具，实现载具的自动化流转，无需人工，进一步提升了自动化程度；通过夹紧组件5、下压机构6的压紧块64和楔形块66，可以将载具固定在工作位，有效防止载具晃动，稳定传送工件；第二安装板54与第三安装板55安装位置可调、下压板63可调安装在第五安装板65、第四安装板61位于载具移动方向的两侧的两端可调设置有楔形块66等的可调设计，可以使得载具收发装置可以匹配不同型号的载具。

本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种载具收发装置，其特征在于，包括：

升降架(1)，安装在升降机构(2)上；

承载板(3)，设置在升降架(1)下部；以及

输送机构(4)，安装在承载板(3)上，用于将载具输入或输出承载板(3)上的工作位。

2.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

所述输送机构(4)包括：

主动带(41)和从动带(42)，分别设置在承载板(3)上沿载具移动方向的两侧，用于输送载具；

同步轴(43)，其两端分别与主动带(41)和从动带(42)配合；以及

主动带驱动组件(44)，用于带动主动带(41)移动。

3.根据权利要求2所述的载具收发装置，其特征在于，

所述主动带驱动组件(44)包括：

驱动电机(441)，位于承载板(3)下侧；

减速箱(442)，与驱动电机(441)同轴设置；以及

驱动轮(443)，设置在减速箱(442)的输出轴上，并与主动带(41)配合。

4.根据权利要求2所述的载具收发装置，其特征在于，

所述承载板(3)的下侧连接有第一安装板(31)，用于安装主动带驱动组件(44)；

所述第一安装板(31)上可调安装有若干主动带张紧轮(311)。

5.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

所述承载板(3)沿载具输送方向的末端设置有若干挡停块(32)，用于将载具挡停在工作位。

6.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

所述承载板(3)上设置有夹紧组件(5)；

所述夹紧组件(5)包括：

固定块(51)，设置在承载板(3)位于载具移动方向的一侧；

移动块(52)，设置在承载板(3)位于载具移动方向的另一侧；以及

驱动器(53)，设置在承载板(3)底面，用于驱动移动块(52)朝向固定块(51)移动，以配合固定块(51)将载具底部夹紧。

7.根据权利要求6所述的载具收发装置，其特征在于，

所述驱动器(53)的驱动端连接有第二安装板(54)；

所述第二安装板(54)朝向载具方向设置有若干固定孔(541)；以及

所述移动块(52)连接有第三安装板(55)；

所述第三安装板(55)上设置有若干条形孔(551)；

所述第三安装板(55)与第二安装板(54)连接时，通过固定件穿过相应条形孔(551)与固定孔(541)连接。

8.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

所述升降架(1)的上部设置有下压机构(6)；

所述下压机构(6)包括：

第四安装板(61)，其一端与升降架(1)的上部可调连接；

下压驱动器(62)，可调安装在第四安装板(61)的另一端；

若干下压板(63)，与下压驱动器(62)的驱动端连接，且下压板(63)的底面设置有若干压紧块(64)。

9.根据权利要求8所述的载具收发装置，其特征在于，

所述下压驱动器(62)的驱动端连接有第五安装板(65)；

所述下压板(63)可调安装在第五安装板(65)上；以及

所述第四安装板(61)位于载具移动方向的两侧的两端可调设置有楔形块(66)，用于在下压过程中夹紧载具。

10.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

所述升降架(1)包括：

若干立柱(11)；

下安装块(12)，设置在立柱(11)下端，用于安装承载板(3)；

上安装块(13)，设置在立柱(11)上端，用于安装下压机构(6)；

中部安装块(14)，设置在立柱(11)中部，用于和升降机构(2)连接。