CN220321055U - 一种双腔室辅助抽真空结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种双腔室辅助抽真空结构，包括第一腔体、第二腔体、第一管组、平衡管路、气动角阀、第二管组、机械泵，所述第一腔体、第二腔体分别与第一管组、第二管组连接，所述第一管组和第二管组通过平衡管路连接，平衡管路上设置有控制管道抽气的气动角阀。本实用是两组抽真空管路连结两个大腔室进行抽真空，单腔四个抽气口分布设计，且两组管道间设计连通平衡管路，使两腔室更快形成平衡稳定真空环境，减少抽真空时对内部产品的影响，降低设备节拍有效扩大产能，提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及抽真空技术领域，尤其涉及一种双腔室辅助抽真空结构。
背景技术
在现有技术中，设备抽真空都是单腔室单独配置一组抽真空管道结构。此结构在腔室底部连接抽真空管道，利用机械泵组将单腔室抽真空。单腔室配单组真空管道抽真空结构只适用于小腔室的真空设备，其抽真空管道的抽气口布置在腔室底部中间位置，抽气时且单腔抽真空无法保证相邻的两个腔室处于同一真空度，容易形成压力差且抽气时间长，大大影响了腔室内的产品的良率，效率较低、设备节拍比较长、导致产能低下，无法满足生产需求。
因此需要一种能够有效降低设备节拍，同时能快速对腔室进行抽空和平衡两个大腔室的真空压差，使设备的腔室内更快进入真空平衡状态，保证腔室内的产品在稳定的真空环境当中进行传输，避免产品因腔室压差导致的破损和位移，同时避免了另一腔室从大气压下抽空至设定压力大幅缩短该腔室抽气时间，从而提升设备产能，提高效率。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种能够有效降低设备节拍，同时能快速对腔室进行抽空和平衡两个大腔室的真空压差，使设备的腔室内更快进入真空平衡状态的双腔室辅助抽真空结构。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种双腔室辅助抽真空结构，包括第一腔体、第二腔体、第一管组、平衡管路、气动角阀、第二管组、机械泵，所述第一腔体、第二腔体分别与第一管组、第二管组连接，所述第一管组和第二管组通过平衡管路连接，平衡管路上设置有控制管道抽气的气动角阀。
进一步的，所述第一管组和第二管组分别设有四个抽气口连接在第一腔体和第二腔体的底部四个角。
进一步的，所述第一管组、第二管组的抽气口通过法兰接口用螺丝锁紧在第一腔体、第二腔体底部。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
1、本实用是两组抽真空管路连结两个大腔室进行抽真空，单腔四个抽气口分布设计，且两组管道间设计连通平衡管路，使两腔室更快形成平衡稳定真空环境，减少抽真空时对内部产品的影响。
2、通过软件流程控制配合两组管道连通平衡管路的设计，在两腔室真空平衡后，缩短腔室从真空平衡压力抽真空至设定压力的时间，从而降低设备节拍有效扩大产能，提高生产效率。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型一种双腔室辅助抽真空结构的示意图；
图2为本实用新型一种双腔室辅助抽真空结构的工作流程图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
一种双腔室辅助抽真空结构，包括第一腔体1、第二腔体2、第一管组4、平衡管路5、气动角阀6、第二管组7、机械泵8，所述第一腔体1、第二腔体2分别与第一管组4、第二管组7连接，所述第一管组4和第二管组7通过平衡管路5连接，平衡管路5上设置有控制管道抽气的气动角阀6。
所述第一管组4和第二管组7分别设有四个抽气口9连接在第一腔体1和第二腔体2的底部四个角，管组连接腔室部分的管路可采用较小管径尺寸的抽空管道，放大装配空间，也为后续保养提供便利。所述第一管组4、第二管组7的抽气口9通过法兰接口用螺丝3锁紧在第一腔体1、第二腔体2底部。
工作时，腔室1和腔室2分别经管组对应机械泵进行抽真空，当腔室1抽真空压力到达≤设定值1，腔室2真空压力≤设定值2，即关闭各腔室管组蝶阀1和2，确认蝶阀关闭后平衡角阀开启，进行腔室1和腔室2真空压力平衡，待腔室1和腔室2真空压力达到平衡后，腔室间门阀开启，腔室门阀开启完成平衡角阀关闭。
双腔室辅助抽真空结构还可兼容大小腔室的真空设备辅助抽真空，平衡两个大腔室内的真空度。
本实用是两组抽真空管路连结两个大腔室进行抽真空，单腔四个抽气口分布设计，且两组管道间设计连通平衡管路，使两腔室更快形成平衡稳定真空环境，减少抽真空时对内部产品的影响。通过软件流程控制配合两组管道连通平衡管路的设计，在两腔室真空平衡后，缩短腔室从真空平衡压力抽真空至设定压力的时间，从而降低设备节拍有效扩大产能，提高生产效率。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种双腔室辅助抽真空结构，其特征在于：包括第一腔体(1)、第二腔体(2)、第一管组(4)、平衡管路(5)、气动角阀(6)、第二管组(7)、机械泵(8)，所述第一腔体(1)、第二腔体(2)分别与第一管组(4)、第二管组(7)连接，所述第一管组(4)和第二管组(7)通过平衡管路(5)连接，平衡管路(5)上设置有控制管道抽气的气动角阀(6)。
2.根据权利要求1所述一种双腔室辅助抽真空结构，其特征在于：所述第一管组(4)和第二管组(7)分别设有四个抽气口(9)连接在第一腔体(1)和第二腔体(2)的底部四个角。
3.根据权利要求1所述一种双腔室辅助抽真空结构，其特征在于：所述第一管组(4)、第二管组(7)的抽气口(9)通过法兰接口用螺丝(3)锁紧在第一腔体(1)、第二腔体(2)底部。
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| CN220321055U true CN220321055U (zh) | 2024-01-09 |
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2023
- 2023-06-02 CN CN202321385211.2U patent/CN220321055U/zh active Active
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