CN220305621U - 一种边缘去胶机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种边缘去胶机构，包括支撑机构，还包括设置在支撑机构上的用于对晶圆进行居中固定的限位机构，限位机构上侧设置有用于对晶圆转动过程中边缘进行去胶的去胶组件；限位机构包括固定在支撑机构上的安装架，安装架上平行设置有左右螺旋丝杆、导柱，左右螺旋丝杆、导柱上相对设置有弧形夹持座。本实用新型通过限位机构、去胶组件的设置，使晶圆通过相对移动的弧形夹持座夹持限位，使晶圆中心与转轴中心重合，之后通过转轴的转动进行旋转，同时通过去胶组件的第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆伸缩调整，使固定杆上的气嘴垂直相切于晶圆边缘，对旋转的晶圆边缘进行去胶，避免与晶圆的直接接触，提高了晶圆边缘去胶的质量。

Description

一种边缘去胶机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别是涉及一种边缘去胶机构。

背景技术

半导体器件、平板显示面板制造的光刻工艺中，需要在晶圆表面涂布光刻胶，并对涂布光刻胶后的晶圆进行曝光和显影来获得所需要的电路图形。目前在涂布后晶圆边缘位置存在溢胶现象，需要对其进行去除；现有公开号为CN 214586381U的一种半导体晶圆边缘去胶装置，通过将晶圆放置在转盘上，摆臂的连接端与支架铰接，使得摆臂只能在竖直面上下摆动，摆臂的自由端被弹性部件施加的作用力抵顶在晶圆上，当除胶装置开始工作时，转盘吸附晶圆，电机驱动转盘转动，晶圆则随着转盘一起转动，摆臂上的喷头装置也朝着晶圆的边缘喷涂清洗剂，当摆臂靠近晶圆的缺边时，由于弹性部件始终对摆臂施加弹力力，摆臂会一直抵压在晶圆的边缘上，从而对晶圆及晶圆的缺边进行有效的清洗；然而上述装置通过转盘对晶圆固定时不能保证晶圆中心处于旋转中心，在对边缘去胶过程中摆臂对晶圆的边缘会出现磕碰现象，造成晶圆损坏的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种边缘去胶机构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种边缘去胶机构，包括支撑机构，还包括设置在所述支撑机构上的用于对晶圆进行居中固定的限位机构，所述限位机构上侧设置有用于对晶圆转动过程中边缘进行去胶的去胶组件；

所述限位机构包括固定在所述支撑机构上的安装架，所述安装架上平行设置有左右螺旋丝杆、导柱，所述左右螺旋丝杆、所述导柱上相对设置有弧形夹持座，所述左右螺旋丝杆一端连接有动力源；

所述去胶组件包括滑轨，所述滑轨上安装有电动滑块，所述电动滑块下端连接有连杆，所述连杆下端连接有固定杆，所述固定杆上安装有气嘴，所述固定杆与所述连杆间设置有第一电动伸缩杆，所述连杆与所述电动滑块间转动连接有第二电动伸缩杆。

进一步设置：所述弧形夹持座上端面设置有台阶，所述弧形夹持座与所述左右螺旋丝杆螺纹连接，所述弧形夹持座与所述导柱滑动连接。

进一步设置：所述支撑机构包括连接在所述安装架中心的转轴，所述转轴上端固定有支撑盘，所述转轴下端连接有电机，所述电机外侧设置有支撑所述转轴的支撑箱。

进一步设置：所述转轴与所述支撑箱转动连接，所述支撑盘上端面与所述弧形夹持座的台阶底面平齐。

进一步设置：所述连杆与所述电动滑块、所述固定杆转动连接，所述第一电动伸缩杆与所述连杆、所述固定杆转动连接，所述气嘴上连通有气源。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

通过限位机构、去胶组件的设置，使晶圆通过相对移动的弧形夹持座夹持限位，使晶圆中心与转轴中心重合，之后通过转轴的转动进行旋转，同时通过去胶组件的第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆伸缩调整，使固定杆上的气嘴垂直相切于晶圆边缘，对旋转的晶圆边缘进行去胶，避免与晶圆的直接接触，提高了晶圆边缘去胶的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所述一种边缘去胶机构的轴测图；

图2是本实用新型所述一种边缘去胶机构的主视结构示意图；

图3是本实用新型所述一种边缘去胶机构的限位机构的结构示意图；

图4是本实用新型所述一种边缘去胶机构的去胶组件的结构示意图。

附图标记说明如下：

1、支撑机构；11、支撑箱；12、转轴；13、支撑盘；14、电机；2、限位机构；21、安装架；22、左右螺旋丝杆；23、导柱；24、弧形夹持座；25、伺服电机；3、去胶组件；31、滑轨；32、电动滑块；33、连杆；34、固定杆；35、第一电动伸缩杆；36、第二电动伸缩杆；37、气嘴。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1-图4所示，一种边缘去胶机构，包括支撑机构1，还包括设置在支撑机构1上的用于对晶圆进行居中固定的限位机构2，限位机构2上侧设置有用于对晶圆转动过程中边缘进行去胶的去胶组件3；

本实施例中：支撑机构1包括连接在安装架21中心的转轴12，转轴12上端固定有支撑盘13，转轴12下端连接有电机14，电机14外侧设置有支撑转轴12的支撑箱11；转轴12与支撑箱11转动连接，通过电机14带动转轴12转动，使转轴12的旋转对夹持限位的晶圆进行旋转

本实施例中：限位机构2包括固定在转轴12上的安装架21，安装架21上平行设置有左右螺旋丝杆22、导柱23，左右螺旋丝杆22、导柱23上相对设置有弧形夹持座24，左右螺旋丝杆22一端连接有伺服电机25；弧形夹持座24上端面设置有台阶，弧形夹持座24与左右螺旋丝杆22螺纹连接，弧形夹持座24与导柱23滑动连接，支撑盘13上端面与弧形夹持座24的台阶底面平齐，通过伺服电机25工作带动左右螺旋丝杆22转动，使两侧的弧形夹持座24在导柱23的限位下相中间位置靠拢，对支撑盘13上放置的晶圆进行夹持。

本实施例中：去胶组件3包括固定在箱罩顶部的滑轨31，滑轨31上安装有电动滑块32，电动滑块32下端连接有连杆33，连杆33下端连接有固定杆34，固定杆34上安装有气嘴37，气嘴37进气端连接有气源，固定杆34与连杆33间设置有第一电动伸缩杆35，连杆33与电动滑块32间转动连接有第二电动伸缩杆36；连杆33与电动滑块32、固定杆34转动连接，第一电动伸缩杆35与连杆33、固定杆34转动连接，气嘴37上连通有气源，通过第一电动伸缩杆35、第二电动伸缩杆36的伸缩调整，使连杆33相对竖直角度调整，固定杆34处于竖直状态，电动滑块32在滑轨31上的移动，调整连杆33、固定杆34的位置，使其适应不同外径的晶圆使用。

本实用新型工作原理及使用流程：将晶圆放置在支撑盘13上，通过限位机构2的伺服电机25工作带动左右螺旋丝杆22转动，使两侧的弧形夹持座24在导柱23的限位下相中间位置靠拢，对晶圆进行夹持，之后通过电动滑块32在滑轨31上移动，第一电动伸缩杆35、第二电动伸缩杆36进行伸缩调整，使固定杆34呈竖直状态，气嘴37内吹出气体与晶圆外缘相切，同时通过电机14工作带动转轴12、安装架21整体旋转，对晶圆外缘周圈的残胶进行清理。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (5)

1.一种边缘去胶机构，包括支撑机构(1)，其特征在于：还包括设置在所述支撑机构(1)上的用于对晶圆进行居中固定的限位机构(2)，所述限位机构(2)上侧设置有用于对晶圆转动过程中边缘进行去胶的去胶组件(3)；

所述限位机构(2)包括固定在所述支撑机构(1)上的安装架(21)，所述安装架(21)上平行设置有左右螺旋丝杆(22)、导柱(23)，所述左右螺旋丝杆(22)、所述导柱(23)上相对设置有弧形夹持座(24)，所述左右螺旋丝杆(22)一端连接有动力源；

所述去胶组件(3)包括滑轨(31)，所述滑轨(31)上安装有电动滑块(32)，所述电动滑块(32)下端连接有连杆(33)，所述连杆(33)下端连接有固定杆(34)，所述固定杆(34)上安装有气嘴(37)，所述固定杆(34)与所述连杆(33)间设置有第一电动伸缩杆(35)，所述连杆(33)与所述电动滑块(32)间转动连接有第二电动伸缩杆(36)。

2.根据权利要求1所述的一种边缘去胶机构，其特征在于：所述弧形夹持座(24)上端面设置有台阶，所述弧形夹持座(24)与所述左右螺旋丝杆(22)螺纹连接，所述弧形夹持座(24)与所述导柱(23)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种边缘去胶机构，其特征在于：所述支撑机构(1)包括连接在所述安装架(21)中心的转轴(12)，所述转轴(12)上端固定有支撑盘(13)，所述转轴(12)下端连接有电机(14)，所述电机(14)外侧设置有支撑所述转轴(12)的支撑箱(11)。

4.根据权利要求3所述的一种边缘去胶机构，其特征在于：所述转轴(12)与所述支撑箱(11)转动连接，所述支撑盘(13)上端面与所述弧形夹持座(24)的台阶底面平齐。

5.根据权利要求1所述的一种边缘去胶机构，其特征在于：所述连杆(33)与所述电动滑块(32)、所述固定杆(34)转动连接，所述第一电动伸缩杆(35)与所述连杆(33)、所述固定杆(34)转动连接，所述气嘴(37)上连通有气源。