CN217719503U - 一种晶圆自动清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆自动清洗机，包括清洗槽、丝杆滑台、鼓风机和密封机构，所述清洗槽内部固定安装有安装座，所述安装座上方安装有电动推杆，所述电动推杆上方设置有旋转机构，所述旋转机构上方两侧均设置有缓冲机构，所述缓冲机构一侧安装有夹持机构，所述夹持机构内侧设置有晶圆片，本实用新型通过设置有伸缩套、固定块、第二伸缩弹簧、活动杆和限位套，将晶圆片放置在限位套内侧，同时晶圆片对限位套之间进行支撑，同时第二伸缩弹簧进行回弹，对晶圆片进行夹持固定，可以更加便捷稳定的对晶圆片进行夹持，同时限位套的形状为弧形，可以防止对晶圆片产生损坏，同时也会减少清洗死角，使装置的使用更加的便捷。

Description

一种晶圆自动清洗机

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆自动清洗机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和洁净度，加工过程中晶圆表面会有化学试剂的残留，需将晶圆表面的残留化学溶剂进行清洗处理，确保晶圆的洁净程度。

现有技术中，存在问题如下：

（1）现有的自动清洗机在使用时通常无法更加便捷快速的对晶圆进行一个夹持固定，由于晶圆的体积较小，在固定时容易产生清洗死角，同时无法很好的控制夹持固定的力度，容易造成晶圆的损坏，影响后续的使用。

（2）现有的自动清洗机在使用时通常无法更好的缓解清洗过程中水流带给晶圆的压力，较为彻底的清洗必然需要一定程度的水压进行冲洗，但是由于晶圆的体积质量较小，水流压力无法得到释放会容易造成晶圆的损坏，影响晶圆后续的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆自动清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型的技术方案是：一种晶圆自动清洗机，包括清洗槽、丝杆滑台、鼓风机和密封机构，所述清洗槽内部固定安装有安装座，所述安装座上方安装有电动推杆，所述电动推杆上方设置有旋转机构，所述旋转机构上方两侧均设置有缓冲机构，所述缓冲机构一侧安装有夹持机构，所述夹持机构内侧设置有圆片，所述丝杆滑台固定安装在清洗槽内壁一侧，所述丝杆滑台一侧安装有喷水管，所述喷水管外部设置有调节机构，所述鼓风机安装在清洗槽一侧，所述鼓风机一侧安装有与之相匹配的风管，所述风管通向清洗槽内部，所述密封机构安装在清洗槽外壁上方，所述密封机构上方安装有玻璃罩。

优选的，所述旋转机构通过电动推杆与清洗槽构成升降结构，所述旋转机构与电动推杆垂直分布。

优选的，所述旋转机构包括连接板、电动转盘和操作台，所述连接板固定安装在电动推杆上方，所述电动转盘安装在连接板上方，所述操作台安装在电动转盘上方。

优选的，所述缓冲机构包括安装套、第一伸缩弹簧和伸缩杆，所述安装套均固定安装在操作台上方两侧，所述第一伸缩弹簧固定安装在安装套内部，所述伸缩杆固定安装在第一伸缩弹簧上方。

优选的，所述夹持机构包括伸缩套、固定块、第二伸缩弹簧、活动杆和限位套，所述伸缩套固定安装在伸缩杆外壁一侧，所述固定块固定安装在伸缩套内部，所述第二伸缩弹簧固定安装在固定块一侧，所述活动杆固定安装在第二伸缩弹簧一侧，所述限位套固定安装在活动杆一侧，所述晶圆片设置在限位套之间。

优选的，所述调节机构包括调节杆、卡箍和固定螺栓，所述调节杆固定安装在丝杆滑台一侧，所述调节杆可伸缩旋转调节，所述卡箍活动安装在调节杆一侧，所述固定螺栓固定安装在卡箍一侧。

优选的，所述密封机构包括活动块、活动钩、密封圈和玻璃罩，所述活动块均焊接在清洗槽上方两侧，所述活动钩活动安装在活动块内侧，所述密封圈固定安装在活动钩一侧，所述玻璃罩安装在密封圈上方。

本实用新型通过改进在此提供一种晶圆自动清洗机，与现有技术相比，具有如下改进及优点：

其一：本实用新型通过设置有伸缩套、固定块、第二伸缩弹簧、活动杆和限位套，将晶圆片放置在限位套内侧，同时晶圆片对限位套之间进行支撑，同时第二伸缩弹簧进行回弹，对晶圆片进行夹持固定，可以更加便捷稳定的对晶圆片进行夹持，同时限位套的形状为弧形，可以防止对晶圆片产生损坏，同时也会减少清洗死角，使装置的使用更加的便捷；

其二：本实用新型通过设置有安装套、第一伸缩弹簧和伸缩杆，当水接触到晶圆片表面，水流会对晶圆片表面产生压力，同时晶圆片会向下移动，带动伸缩杆向下移动，从而使第一伸缩弹簧上下移动，可以更好的对晶圆片表面承受的压力进行缓冲释放，避免晶圆片受到损伤，影响晶圆片后续的使用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步解释:

图1是本实用新型的立体剖面结构示意图；

图2是本实用新型的侧视外观结构示意图；

图3是本实用新型的缓冲机构和夹持机构相互配合结构示意图；

图4是本实用新型的调节机构结构示意图；

附图标记说明：1、清洗槽；2、安装座；3、电动推杆；4、旋转机构；401、连接板；402、电动转盘；403、操作台；5、缓冲机构；501、安装套；502、第一伸缩弹簧；503、伸缩杆；6、夹持机构；601、伸缩套；602、固定块；603、第二伸缩弹簧；604、活动杆；605、限位套；7、晶圆片；8、丝杆滑台；9、喷水管；10、调节机构；1001、调节杆；1002、卡箍；1003、固定螺栓；11、鼓风机；12、风管；13、密封机构；1301、活动块；1302、活动钩；1303、密封圈；14、玻璃罩。

具体实施方式

下面对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

本实用新型通过改进在此提供一种晶圆自动清洗机，本实用新型的技术方案是：包括清洗槽1、丝杆滑台8、鼓风机11和密封机构13，清洗槽1内部固定安装有安装座2，安装座2上方安装有电动推杆3，电动推杆3上方设置有旋转机构4，旋转机构4上方两侧均设置有缓冲机构5，缓冲机构5一侧安装有夹持机构6，夹持机构6内侧设置有晶圆片7，丝杆滑台8固定安装在清洗槽1内壁一侧，丝杆滑台8一侧安装有喷水管9，喷水管9外部设置有调节机构10，鼓风机11安装在清洗槽1一侧，鼓风机11一侧安装有与之相匹配的风管12，风管12通向清洗槽1内部，密封机构13安装在清洗槽1外壁上方，密封机构13上方安装有玻璃罩14。

具体的：旋转机构4通过电动推杆3与清洗槽1构成升降结构，旋转机构4与电动推杆3垂直分布，通过设置有电动推杆3，可以更加便捷的调整晶圆片7的位置，使晶圆片7可以更好的进行烘干，也可更加便捷的调节清洗的角度，使装置清洗的更加彻底。

具体的：旋转机构4包括连接板401、电动转盘402和操作台403，连接板401固定安装在电动推杆3上方，电动转盘402安装在连接板401上方，操作台403安装在电动转盘402上方，通过设置有连接板401、电动转盘402和操作台403，可以更加便捷的对晶圆片7的角度进行调节，以便于可以对晶圆片7的各个位置进行清洗，避免清洗死角，使装置的使用更加的便捷。

具体的：缓冲机构5包括安装套501、第一伸缩弹簧502和伸缩杆503，安装套501均固定安装在操作台403上方两侧，第一伸缩弹簧502固定安装在安装套501内部，伸缩杆503固定安装在第一伸缩弹簧502上方，通过设置有安装套501、第一伸缩弹簧502和伸缩杆503，可以更好的对晶圆片7表面承受的压力进行缓冲释放，避免晶圆片7受到损伤，影响晶圆片7后续的使用。

具体的：夹持机构6包括伸缩套601、固定块602、第二伸缩弹簧603、活动杆604和限位套605，伸缩套601固定安装在伸缩杆503外壁一侧，固定块602固定安装在伸缩套601内部，第二伸缩弹簧603固定安装在固定块602一侧，活动杆604固定安装在第二伸缩弹簧603一侧，限位套605固定安装在活动杆604一侧，晶圆片7设置在限位套605之间，通过设置有伸缩套601、固定块602、第二伸缩弹簧603、活动杆604和限位套605，可以更加便捷稳定的对晶圆片7进行夹持，同时限位套605的形状为弧形，可以防止对晶圆片7产生损坏，同时也会减少清洗死角，使装置的使用更加的便捷。

具体的：调节机构10包括调节杆1001、卡箍1002和固定螺栓1003，调节杆1001固定安装在丝杆滑台8一侧，调节杆1001可伸缩旋转调节，卡箍1002活动安装在调节杆1001一侧，固定螺栓1003固定安装在卡箍1002一侧，通过设置有调节杆1001、卡箍1002和固定螺栓1003，可以更加便捷的对装置的喷水管9的位置进行调节，以便于更好的对晶圆片7上下两面进行清洗，清洗的更加的彻底。

具体的：密封机构13包括活动块1301、活动钩1302、密封圈1303和玻璃罩14，活动块1301均焊接在清洗槽1上方两侧，活动钩1302活动安装在活动块1301内侧，密封圈1303固定安装在活动钩1302一侧，玻璃罩14安装在密封圈1303上方，通过设置有活动块1301、活动钩1302和密封圈1303，可以更加便于对装置的清洗槽1起到密封的效果，防止清洗槽1在清洗过程中内部的水渍飞溅到清洗槽1外部，影响车间的工作环境。

如图1-图4所示，一种晶圆自动清洗机，

工作原理：首先接通外部电源，推动密封圈1303使密封圈1303带动活动钩1302与活动块1301固定连接，从而使密封圈1303固定安装在清洗槽1上方，再将晶圆片7放置在限位套605内侧，同时晶圆片7对限位套605之间进行支撑，同时第二伸缩弹簧603进行回弹，对晶圆片7进行夹持固定，然后将卡箍1002套设在喷水管9外部，用固定螺栓1003拧紧固定，再调节调节杆1001的位置，从而调节喷水管9的位置，再将玻璃罩14与清洗槽1固定安装，再打开喷水管9，水流会对晶圆片7表面产生压力，同时晶圆片7会向下移动，带动伸缩杆503向下移动，从而使第一伸缩弹簧502上下移动，可以更好的对晶圆片7表面承受的压力进行缓冲释放，其次打开电动转盘402使电动转盘402带动晶圆片7进行旋转，以便于对晶圆片7的各个角度进行清理，最后打开电动推杆3使电动推杆3带动操作台403向上移动到风管12处，打开鼓风机11，使鼓风机11对晶圆片7表面进行烘干处理，其中电动推杆3的型号为：YS-NZ100-12A，电动转盘402的型号为：DG60-5，丝杆滑台8的型号为：PKH40，鼓风机11的型号为：TE-14080-K1。

上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种晶圆自动清洗机，包括清洗槽（1）、丝杆滑台（8）、鼓风机（11）和密封机构（13），其特征在于：所述清洗槽（1）内部固定安装有安装座（2），所述安装座（2）上方安装有电动推杆（3），所述电动推杆（3）上方设置有旋转机构（4），所述旋转机构（4）上方两侧均设置有缓冲机构（5），所述缓冲机构（5）一侧安装有夹持机构（6），所述夹持机构（6）内侧设置有晶圆片（7），所述丝杆滑台（8）固定安装在清洗槽（1）内壁一侧，所述丝杆滑台（8）一侧安装有喷水管（9），所述喷水管（9）外部设置有调节机构（10），所述鼓风机（11）安装在清洗槽（1）一侧，所述鼓风机（11）一侧安装有与之相匹配的风管（12），所述风管（12）通向清洗槽（1）内部，所述密封机构（13）安装在清洗槽（1）外壁上方，所述密封机构（13）上方安装有玻璃罩（14）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗机，其特征在于：所述旋转机构（4）通过电动推杆（3）与清洗槽（1）构成升降结构，所述旋转机构（4）与电动推杆（3）垂直分布。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗机，其特征在于：所述旋转机构（4）包括连接板（401）、电动转盘（402）和操作台（403），所述连接板（401）固定安装在电动推杆（3）上方，所述电动转盘（402）安装在连接板（401）上方，所述操作台（403）安装在电动转盘（402）上方。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗机，其特征在于：所述缓冲机构（5）包括安装套（501）、第一伸缩弹簧（502）和伸缩杆（503），所述安装套（501）均固定安装在操作台（403）上方两侧，所述第一伸缩弹簧（502）固定安装在安装套（501）内部，所述伸缩杆（503）固定安装在第一伸缩弹簧（502）上方。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗机，其特征在于：所述夹持机构（6）包括伸缩套（601）、固定块（602）、第二伸缩弹簧（603）、活动杆（604）和限位套（605），所述伸缩套（601）固定安装在伸缩杆（503）外壁一侧，所述固定块（602）固定安装在伸缩套（601）内部，所述第二伸缩弹簧（603）固定安装在固定块（602）一侧，所述活动杆（604）固定安装在第二伸缩弹簧（603）一侧，所述限位套（605）固定安装在活动杆（604）一侧，所述晶圆片（7）设置在限位套（605）之间。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗机，其特征在于：所述调节机构（10）包括调节杆（1001）、卡箍（1002）和固定螺栓（1003），所述调节杆（1001）固定安装在丝杆滑台（8）一侧，所述调节杆（1001）可伸缩旋转调节，所述卡箍（1002）活动安装在调节杆（1001）一侧，所述固定螺栓（1003）固定安装在卡箍（1002）一侧。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗机，其特征在于：所述密封机构（13）包括活动块（1301）、活动钩（1302）、密封圈（1303）和玻璃罩（14），所述活动块（1301）均焊接在清洗槽（1）上方两侧，所述活动钩（1302）活动安装在活动块（1301）内侧，所述密封圈（1303）固定安装在活动钩（1302）一侧，所述玻璃罩（14）安装在密封圈（1303）上方。

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