CN220300890U - 一种晶圆电镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆电镀装置，包括安装箱，所述安装箱的内壁设有旋转机构，所述旋转机构的顶端设有安装盒，所述安装盒的内部设有夹持机构；所述夹持机构包括固定在安装盒内壁底端的双轴电机，所述双轴电机的输出轴固定有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有滑块，所述滑块的底端固定有限位杆。该晶圆电镀装置，通过在安装箱的内壁设有旋转机构，使得晶圆能够在被夹持机构夹持的同时进行旋转，从而调整电镀的角度，无需将晶圆取下后再调整角度进行夹持，通过在安装盒的内部设有夹持机构，使得不同尺寸的晶圆均能够被夹持加工，提升了装置的适用范围，整体的电镀效果较好，能够满足电镀装置的使用要求。

Description

一种晶圆电镀装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆电镀技术领域，具体为一种晶圆电镀装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为硅晶圆片，晶圆的原始材料是硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆制造厂再把此多晶硅融解，在融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，硅晶棒再经过切段、滚磨、切片等工序，包装后，即成为制作集成电路的基本原料-硅晶圆片，电镀就是利用电解原理，在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，晶圆在生产的过程中需要进行电镀。

例如中国专利(CN 217468353 U)中公开了电镀晶圆的高速清洗干燥装置，其包括：清洁盒，其形成有清洁腔、及晶圆入口，其中入口可打开或闭合设置；吸盘，其能够绕着竖直方向转动设置，晶圆自电镀面朝上并水平吸附在吸盘上；清洗干燥单元，其包供液部件、及供气部件，其中供液部件和供气部件分别活动设置在吸盘的上方；排废单元，其包括与清洁腔相连通的排废部件，其中排废部件在吸盘的下方形成负压，清洁时，废气和废液自上而下排出清洁腔，该实用新型通过设置清洁腔，能够减少外界物质对晶圆表面的影响，有效避免晶圆表面的金属镀膜氧化，保证导电性能；同时通过设置排废单元，实现快速排出清洁腔内的废液废气，避免晶圆表面残留杂质，有效提高清洁效果。

上述方案还存在如下技术缺陷，上述方案不便于对不同规格的晶圆进行夹持，在晶圆进行电镀的时候需要对晶圆进行夹持，传统的方案往往只能对某一规格的晶圆进行夹持，无法实现对不同规格的晶圆进行夹持，基于此，提出了一种晶圆电镀装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆电镀装置，具备能够对不同规格的晶圆进行夹持等优点，解决了装置不能对不同规格的晶圆进行夹持的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆电镀装置，包括安装箱，所述安装箱的内壁设有旋转机构，所述旋转机构的顶端设有安装盒，所述安装盒的内部设有夹持机构；

所述夹持机构包括固定在安装盒内壁底端的双轴电机，所述双轴电机的输出轴固定有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有滑块，所述滑块的底端固定有限位杆，所述滑块的顶端固定有支撑杆，两个所述支撑杆相对的一端固定有夹紧板，两个所述夹紧板相对的一端固定有橡胶垫。

进一步，所述旋转机构包括固定在安装箱内壁底端的电机，所述电机的输出轴固定有第一转轴，所述第一转轴的外表面固定有主动齿轮，所述安装箱内壁的底端转动连接有第二转轴，所述第二转轴的外表面固定有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相啮合，所述旋转机构还包括固定在安装盒左右两端的两个旋转杆。

进一步，所述安装盒内壁的底端开设有滑槽，所述限位杆在滑槽内滑动。

进一步，所述安装盒的顶端开设有矩形孔，所述支撑杆在矩形孔内滑动。

进一步，所述螺纹杆远离双轴电机的一端与安装盒内壁的左右两端转动连接，所述夹紧板截面的一端呈V形。

进一步，所述第二转轴的顶端与安装盒的底端相固定，所述安装箱内壁开设有环形滑槽，所述旋转杆在环形滑槽内滑动。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该晶圆电镀装置，通过在安装箱的内壁设有旋转机构，使得晶圆能够在被夹持机构夹持的同时进行旋转，从而调整电镀的角度，无需将晶圆取下后再调整角度进行夹持，通过在安装盒的内部设有夹持机构，使得不同尺寸的晶圆均能够被夹持加工，提升了装置的适用范围，整体的电镀效果较好，能够满足电镀装置的使用要求。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型夹持机构和安装盒的结构示意图；

图3为本实用新型夹持机构的俯视图；

图4为本实用新型旋转机构的结构示意图。

图中：1安装箱、2旋转机构、201电机、202第一转轴、203主动齿轮、204第二转轴、205从动齿轮、206旋转杆、3安装盒、4夹持机构、401双轴电机、402螺纹杆、403滑块、404限位杆、405支撑杆、406夹紧板、407橡胶垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实施例中的一种晶圆电镀装置，包括安装箱1，安装箱1的内壁设有旋转机构2，旋转机构2的顶端设有安装盒3，安装盒3的内部设有夹持机构4。

本实施例中的旋转机构2用于带动安装盒3进行旋转，从而间接带动晶圆进行旋转，安装盒3用于对夹持机构4进行安装和支撑，夹持机构4用于对不同规格的晶圆进行安装。

需要说明的是，晶圆位于两个橡胶垫407相对一侧的中间，电镀所需的电镀设备位于夹持机构4的上方，属于现有技术中较为常规的内容，因此，未在图中示出。

请参阅图1至图3，为了对不同规格的晶圆进行夹持，本实施例中的夹持机构4包括固定在安装盒3内壁底端的双轴电机401，双轴电机401的输出轴固定有螺纹杆402，螺纹杆402远离双轴电机401的一端与安装盒3内壁的左右两端转动连接，螺纹杆402的外表面螺纹连接有滑块403，安装盒3内壁的底端开设有滑槽，限位杆404在滑槽内滑动，滑块403的底端固定有限位杆404，滑块403的顶端固定有支撑杆405，安装盒3的顶端开设有矩形孔，支撑杆405在矩形孔内滑动，两个支撑杆405相对的一端固定有夹紧板406，夹紧板406截面的一端呈V形，两个夹紧板406相对的一端固定有橡胶垫407。

本实施例中的夹持机构4，通过双轴电机401驱动螺纹杆402进行旋转，螺纹杆402可以带动滑块403做相对运动或者相背运动，滑块403用于带动夹紧板406进行夹持或者松开。

需要说明的是，两个螺纹杆402的螺纹方向相反，从而可以使滑块403发生相对运动或者相背运动，限位杆404用于对滑块403进行限位，支撑杆405用于带动夹紧板406进行移动，橡胶垫407用于放置夹紧板406对晶圆造成压痕。

请参阅图1和图4，为了调整晶圆的电镀角度，本实施例中的旋转机构2包括固定在安装箱1内壁底端的电机201，电机201的输出轴固定有第一转轴202，第一转轴202的外表面固定有主动齿轮203，安装箱1内壁的底端转动连接有第二转轴204，第二转轴204的顶端与安装盒3的底端相固定，第二转轴204的外表面固定有从动齿轮205，主动齿轮203与从动齿轮205相啮合，旋转机构2还包括固定在安装盒3左右两端的两个旋转杆206，安装箱1内壁开设有环形滑槽，旋转杆206在环形滑槽内滑动。

本实施例中的旋转机构2，通过电机201驱动第一转轴202进行旋转，第一转轴202可以带动主动齿轮203进行旋转，主动齿轮203和从动齿轮205配合使用可以带动第二转轴204进行旋转，第二转轴204可以带动安装盒3进行旋转，从而间接带动晶圆进行角度调整。

需要说明的是，旋转杆206用于保持安装盒3在旋转时的平衡。

可以理解的是，本申请的控制方式是通过控制器来控制的，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本申请主要用来保护机械装置，所以本申请不再详细解释控制方式和电路连接。

上述实施例的工作原理为：

本装置在工作时，将晶圆放置在两个夹紧板406的中间，启动双轴电机401，双轴电机401的输出轴旋转带动螺纹杆402进行旋转，螺纹杆402带动滑块403做相对运动，滑块403带动支撑杆405、夹紧板406和橡胶垫407做相对运动，当橡胶垫407对晶圆有一定程度的挤压时，关闭双轴电机401，完成对晶圆的夹持，启动电机201，电机201的输出轴旋转带动第一转轴202和主动齿轮203进行旋转，主动齿轮203带动从动齿轮205进行旋转，从动齿轮205带动第二转轴204进行旋转，第二转轴204带动安装盒3进行旋转，从而间接带动晶圆进行角度调整，当晶圆调整到合适的角度时，关闭电机201，利用电镀设备对晶圆进行电镀，当需要再次对晶圆角度进行调整时，启动电机201调整晶圆角度即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆电镀装置，包括安装箱(1)，其特征在于：所述安装箱(1)的内壁设有旋转机构(2)，所述旋转机构(2)的顶端设有安装盒(3)，所述安装盒(3)的内部设有夹持机构(4)；

所述夹持机构(4)包括固定在安装盒(3)内壁底端的双轴电机(401)，所述双轴电机(401)的输出轴固定有螺纹杆(402)，所述螺纹杆(402)的外表面螺纹连接有滑块(403)，所述滑块(403)的底端固定有限位杆(404)，所述滑块(403)的顶端固定有支撑杆(405)，两个所述支撑杆(405)相对的一端固定有夹紧板(406)，两个所述夹紧板(406)相对的一端固定有橡胶垫(407)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于：所述旋转机构(2)包括固定在安装箱(1)内壁底端的电机(201)，所述电机(201)的输出轴固定有第一转轴(202)，所述第一转轴(202)的外表面固定有主动齿轮(203)，所述安装箱(1)内壁的底端转动连接有第二转轴(204)，所述第二转轴(204)的外表面固定有从动齿轮(205)，所述主动齿轮(203)与从动齿轮(205)相啮合，所述旋转机构(2)还包括固定在安装盒(3)左右两端的两个旋转杆(206)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于：所述安装盒(3)内壁的底端开设有滑槽，所述限位杆(404)在滑槽内滑动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于：所述安装盒(3)的顶端开设有矩形孔，所述支撑杆(405)在矩形孔内滑动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于：所述螺纹杆(402)远离双轴电机(401)的一端与安装盒(3)内壁的左右两端转动连接，所述夹紧板(406)截面的一端呈V形。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于：所述第二转轴(204)的顶端与安装盒(3)的底端相固定，所述安装箱(1)内壁开设有环形滑槽，所述旋转杆(206)在环形滑槽内滑动。