CN220265819U - 一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜，所述底柜顶部左侧固定连接有密封箱，所述密封箱前侧转动连接有密封盖，所述密封箱内部设有放卷轮，所述密封箱内部且位于放卷轮上方设有收卷轮，所述放卷轮与收卷轮之间设有PI/PET/PP膜，所述底柜顶部且位于密封箱右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体，所述真空沉积孵化器壳体内部从左往右依次设有腔体一、腔体二和腔体三，本实用新型通过腔体一、腔体二和腔体三一体化配合使用，通过采用一步到位方法，制作多腔一体真空沉积孵化器对膜进行加工，提高膜的加工效率，保证膜整体的加工质量。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及PI/PET/PP膜加工设备的技术领域，具体为一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器。
背景技术
业界制作复合集流体，常用设备为使用一台磁控溅射设备在3.5-6微米的PI/PET/PP膜双面均溅射一层打底层（氧化物）然后双面溅射薄薄的一层铜，作为水镀的电极层，再将双面溅镀的膜，放入卷对卷水平镀铜线进行加厚镀至每面1微米厚；但是，现有技术操作复杂，操作流程较多，导致PI/PET/PP膜加工效率下降，同时，双面溅镀的膜转入卷对卷水平镀铜线进行加厚镀的转运过程中，容易受到外界因素影响，导致PI/PET/PP膜整体的加工质量下降。因此，我们提供一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器来解决现有技术存在的缺陷。
实用新型内容
本实用新型主要提供了一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，用以解决上述背景技术中提出的技术问题。
本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：
一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜，所述底柜顶部左侧固定连接有密封箱，所述密封箱前侧转动连接有密封盖，所述密封箱内部设有放卷轮，所述密封箱内部且位于放卷轮上方设有收卷轮，所述放卷轮与收卷轮之间设有PI/PET/PP膜，所述底柜顶部且位于密封箱右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体，所述真空沉积孵化器壳体内部从左往右依次设有腔体一、腔体二和腔体三，所述腔体一内部固定连接有两个呈对称设置的射频电源，所述腔体一内部且位于两个射频电源上方固定连接有磁控溅射靶座，两个所述射频电源相对一侧均固定连接有靶座，所述腔体二内部固定连接有两组呈上下设置的高频感应蒸发坩埚，所述高频感应蒸发坩埚上侧固定连接有飞弧溅射靶座，所述飞弧溅射靶座上侧固定连接有电子枪，所述腔体三内部底端固定连接有磁控溅射靶座，所述真空沉积孵化器壳体内部设有多组呈对称设置的导向辊。
进一步的，所述放卷轮外侧绕设的PI/PET/PP膜通过多组导向辊穿插过腔体一、腔体二和腔体三与收卷轮固定连接，所述PI/PET/PP膜分别穿插过相对称设置的靶座之间，且所述磁控溅射靶座共设有两个，每个所述磁控溅射靶座输出端均朝向正上方。
进一步的，所述放卷轮内部活动插接有旋转圆杆，所述旋转圆杆后端与密封箱后侧内壁固定连接，所述收卷轮内部活动插接有方形杆，所述密封箱后侧内壁固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端与方形杆后端固定连接。
进一步的，所述PI/PET/PP膜的厚度在3.5-6微米之间。
进一步的，所述底柜前侧底部通过合页转动连接有柜门，所述底柜前侧且位于柜门上方固定连接有控制单元。
进一步的，所述真空沉积孵化器壳体前侧转动连接有密封顶盖，所述真空沉积孵化器壳体后侧固定连接有真空管，所述真空管外侧固定套设有真空泵。
进一步的，所述真空管分别与腔体一、腔体二和腔体三内部连通。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过腔体一、腔体二和腔体三一体化配合使用，PI/PET/PP膜通过放卷轮放出，并将PI/PET/PP膜源头与收卷轮连接，通过转动收卷轮实现PI/PET/PP膜的收卷，通过启动真空泵在真空管的作用下，将腔体一、腔体二和腔体三内部抽成真空状态，在真空状态下，当PI/PET/PP膜进入腔体一内部时，通过安装射频电源和靶座，对3.5-6微米的PI/PET/PP膜双面均溅射一层打氧化物底层然后双面溅射薄薄的一层铜后进入腔体二内部，再依次经过腔体三、腔体二和腔体一最后返回进入密封箱内部，腔体二内部安装的飞弧溅射靶座、高频感应蒸发坩埚和电子枪一步到位进行加厚镀至每面1微米厚后，通过腔体三和腔体一内部安装的磁控溅射靶座对腔体二完成的镀铜层进行致密表层加工，控制达因值在32-45之间，通过采用一步到位方法，制作多腔一体真空沉积孵化器对膜进行加工，提高膜的加工效率，保证膜整体的加工质量。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的PI/PET/PP膜结构示意图；
图3为本实用新型的真空沉积孵化器壳体结构示意图；
图4为本实用新型的真空沉积孵化器壳体内部正视结构示意图。
图中：1、底柜；101、柜门；102、控制单元；103、旋转圆杆；104、放卷轮；105、收卷轮；106、PI/PET/PP膜；107、导向辊；108、密封箱；109、密封盖；110、驱动电机；111、方形杆；2、腔体一；201、射频电源；202、靶座；3、腔体二；301、高频感应蒸发坩埚；302、飞弧溅射靶座；303、电子枪；4、腔体三；401、磁控溅射靶座；5、真空沉积孵化器壳体；501、密封顶盖；502、真空管；503、真空泵。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更加全面的描述，附图中给出了本实用新型的若干实施例，但是本实用新型可以通过不同的形式来实现，并不限于文本所描述的实施例，相反的，提供这些实施例是为了使对本实用新型公开的内容更加透彻全面。
实施例，请参照附图1-4所示，一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜1，底柜1顶部左侧固定连接有密封箱108，密封箱108前侧转动连接有密封盖109，密封箱108内部设有放卷轮104，密封箱108内部且位于放卷轮104上方设有收卷轮105，放卷轮104与收卷轮105之间设有PI/PET/PP膜106，底柜1顶部且位于密封箱108右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体5，真空沉积孵化器壳体5内部从左往右依次设有腔体一2、腔体二3和腔体三4，腔体一2内部固定连接有两个呈对称设置的射频电源201，腔体一2内部且位于两个射频电源201上方固定连接有磁控溅射靶座401，两个射频电源201相对一侧均固定连接有靶座202，腔体二3内部固定连接有两组呈上下设置的高频感应蒸发坩埚301，高频感应蒸发坩埚301上侧固定连接有飞弧溅射靶座302，飞弧溅射靶座302上侧固定连接有电子枪303，腔体三4内部底端固定连接有磁控溅射靶座401，真空沉积孵化器壳体5内部设有多组呈对称设置的导向辊107。
其中，放卷轮104外侧绕设的PI/PET/PP膜106通过多组导向辊107穿插过腔体一2、腔体二3和腔体三4与收卷轮105固定连接，PI/PET/PP膜106分别穿插过相对称设置的靶座202之间，且磁控溅射靶座401共设有两个，每个磁控溅射靶座401输出端均朝向正上方，在真空状态下，PI/PET/PP膜106进入腔体一2内部时，通过安装射频电源201和靶座202，对3.5-6微米的PI/PET/PP膜106双面均溅射一层打氧化物底层然后双面溅射薄薄的一层铜后进入腔体二3内部，再依次经过腔体三4、腔体二3和腔体一2最后返回进入密封箱108内部，腔体二3内部安装的飞弧溅射靶座302、高频感应蒸发坩埚301和电子枪303一步到位进行加厚镀至每面1微米厚后，通过腔体三4和腔体一2内部安装的磁控溅射靶座401对腔体二3完成的镀铜层进行致密表层加工，控制达因值在32-45之间，通过采用一步到位方法，制作多腔一体真空沉积孵化器对膜进行加工，提高膜的加工效率，保证膜整体的加工质量。
其中，放卷轮104内部活动插接有旋转圆杆103，旋转圆杆103后端与密封箱108后侧内壁固定连接，收卷轮105内部活动插接有方形杆111，密封箱108后侧内壁固定连接有驱动电机110，驱动电机110输出端与方形杆111后端固定连接，PI/PET/PP膜106的厚度在3.5-6微米之间，打开密封盖109，将带有需进行加工的PI/PET/PP膜106的放卷轮104放入到密封箱108内部，并将放卷轮104套设在旋转圆杆103外侧，然后将收卷轮105套设在驱动电机110顶部的方形杆111外侧，并将PI/PET/PP膜106通过放卷轮104放出，然后打开密封顶盖501，将PI/PET/PP膜106穿插过腔体一2、腔体二3和腔体三4与收卷轮105连接，通过启动驱动电机110转动收卷轮105实现PI/PET/PP膜106的收卷。
其中，底柜1前侧底部通过合页转动连接有柜门101，底柜1前侧且位于柜门101上方固定连接有控制单元102，通过设置的柜门101便于检修人员检修该设备。
其中，真空沉积孵化器壳体5前侧转动连接有密封顶盖501，真空沉积孵化器壳体5后侧固定连接有真空管502，真空管502外侧固定套设有真空泵503，真空管502分别与腔体一2、腔体二3和腔体三4内部连通，启动真空泵503在真空管502的作用下，将腔体一2、腔体二3和腔体三4内部抽成真空状态。
本实用新型的具体操作方式如下：
首先，打开密封盖109，将带有需进行加工的PI/PET/PP膜106的放卷轮104放入到密封箱108内部，并将放卷轮104套设在旋转圆杆103外侧，然后将收卷轮105套设在驱动电机110顶部的方形杆111外侧，并将PI/PET/PP膜106通过放卷轮104放出，然后打开密封顶盖501，将PI/PET/PP膜106穿插过腔体一2、腔体二3和腔体三4与收卷轮105连接，通过启动驱动电机110转动收卷轮105实现PI/PET/PP膜106的收卷，然后启动真空泵503在真空管502的作用下，将腔体一2、腔体二3和腔体三4内部抽成真空状态，在真空状态下，PI/PET/PP膜106进入腔体一2内部时，通过安装射频电源201和靶座202，对3.5-6微米的PI/PET/PP膜106双面均溅射一层打氧化物底层然后双面溅射薄薄的一层铜后进入腔体二3内部，再依次经过腔体三4、腔体二3和腔体一2最后返回进入密封箱108内部，腔体二3内部安装的飞弧溅射靶座302、高频感应蒸发坩埚301和电子枪303一步到位进行加厚镀至每面1微米厚后，通过腔体三4和腔体一2内部安装的磁控溅射靶座401对腔体二3完成的镀铜层进行致密表层加工，控制达因值在32-45之间，通过采用一步到位方法，制作多腔一体真空沉积孵化器对膜进行加工，提高膜的加工效率，保证膜整体的加工质量。
上述结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的这种非实质改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜（1），其特征在于：所述底柜（1）顶部左侧固定连接有密封箱（108），所述密封箱（108）前侧转动连接有密封盖（109），所述密封箱（108）内部设有放卷轮（104），所述密封箱（108）内部且位于放卷轮（104）上方设有收卷轮（105），所述放卷轮（104）与收卷轮（105）之间设有PI/PET/PP膜（106），所述底柜（1）顶部且位于密封箱（108）右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体（5），所述真空沉积孵化器壳体（5）内部从左往右依次设有腔体一（2）、腔体二（3）和腔体三（4），所述腔体一（2）内部固定连接有两个呈对称设置的射频电源（201），所述腔体一（2）内部且位于两个射频电源（201）上方固定连接有磁控溅射靶座（401），两个所述射频电源（201）相对一侧均固定连接有靶座（202），所述腔体二（3）内部固定连接有两组呈上下设置的高频感应蒸发坩埚（301），所述高频感应蒸发坩埚（301）上侧固定连接有飞弧溅射靶座（302），所述飞弧溅射靶座（302）上侧固定连接有电子枪（303），所述腔体三（4）内部底端固定连接有磁控溅射靶座（401），所述真空沉积孵化器壳体（5）内部设有多组呈对称设置的导向辊（107）。
2.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述放卷轮（104）外侧绕设的PI/PET/PP膜（106）通过多组导向辊（107）穿插过腔体一（2）、腔体二（3）和腔体三（4）与收卷轮（105）固定连接，所述PI/PET/PP膜（106）分别穿插过相对称设置的靶座（202）之间，且所述磁控溅射靶座（401）共设有两个，每个所述磁控溅射靶座（401）输出端均朝向正上方。
3.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述放卷轮（104）内部活动插接有旋转圆杆（103），所述旋转圆杆（103）后端与密封箱（108）后侧内壁固定连接，所述收卷轮（105）内部活动插接有方形杆（111），所述密封箱（108）后侧内壁固定连接有驱动电机（110），所述驱动电机（110）输出端与方形杆（111）后端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述PI/PET/PP膜（106）的厚度在3.5-6微米之间。
5.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述底柜（1）前侧底部通过合页转动连接有柜门（101），所述底柜（1）前侧且位于柜门（101）上方固定连接有控制单元（102）。
6.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述真空沉积孵化器壳体（5）前侧转动连接有密封顶盖（501），所述真空沉积孵化器壳体（5）后侧固定连接有真空管（502），所述真空管（502）外侧固定套设有真空泵（503）。
7.根据权利要求6所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述真空管（502）分别与腔体一（2）、腔体二（3）和腔体三（4）内部连通。
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