CN220208933U - 一种晶圆定位装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种晶圆定位装置，涉及晶圆领域。该晶圆定位装置底板，所述底板的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有转轴，所述转轴的一端安装有放置架，所述放置架的表面安装有第二电机，所述第二电机的输出端安装有第一双向螺纹杆，所述第一双向螺纹杆的表面螺纹连接有第一螺纹筒，所述第一螺纹筒的一端连接有第一夹持板，所述放置架的内部设置有第一滑动装置。该晶圆定位装置，通过在放置架的表面安装有第二电机与第三电机，配合第一双向螺纹杆、第一螺纹筒与第一滑动装置、第一夹持板与第二双向螺纹杆、第二螺纹筒与第二滑动装置、第二夹持板、滑槽，可以根据晶圆大小对晶圆进行定位夹持，提高了此装置实用性。

Description

一种晶圆定位装置

技术领域

本申请涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆定位装置。

背景技术

随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，技术人员通过对晶圆进行加工可以制作成各种电路元件，因此晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。在半导体集成电路制造过程中，许多工艺为了保证作业晶圆位置统一，便于工艺扩展，需要预先对晶圆进行定位对准。

然而，目前的晶圆定位装置，是通过弹簧对晶圆进行定位，长时间使用，容易使弹簧松动，造成定位不准确，影响加工质量，且不便于根据加工需要移动晶圆的位置，还需人工进行移动，影响加工效率，造成使用不便。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆定位装置，解决了上述背景技术中所提到的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本申请通过以下技术方案予以实现：一种晶圆定位装置，包括底板，所述底板的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有转轴，所述转轴的一端安装有放置架，所述放置架的表面安装有第二电机，所述第二电机的输出端安装有第一双向螺纹杆，所述第一双向螺纹杆的表面螺纹连接有第一螺纹筒，所述第一螺纹筒的一端连接有第一夹持板，所述放置架的内部设置有第一滑动装置，所述放置架的表面开设有滑槽，所述放置架的表面设置有第三电机，所述第三电机的输出端安装有第二双向螺纹杆，所述第二双向螺纹杆的表面螺纹连接有第二螺纹筒，所述第二螺纹筒的一端连接有第二夹持板，所述放置架的内部安装有第二滑动装置。

通过采用上述技术方案，通过在放置架的表面安装有第二电机与第三电机，配合第一双向螺纹杆、第一螺纹筒与第一滑动装置、第一夹持板与第二双向螺纹杆、第二螺纹筒与第二滑动装置、第二夹持板、滑槽，可以根据晶圆大小对晶圆进行定位夹持，通过在底板的顶部设置第一电机，配合转轴，可以使放置架转动，从而使晶圆转动，方便根据需要转动晶圆，对晶圆进行加工，不用人工将晶圆转动，提高了此装置的实用性。

优选的，所述第一滑动装置与第二滑动装置均包括滑轨与两个滑块，所述滑块的一端分别与第一螺纹筒、第二螺纹筒连接。

通过采用上述技术方案，配合第二电机、第一双向螺纹杆与第一螺纹筒、与第三电机、第二双向螺纹杆与第二螺纹筒、滑槽，可以使第一夹持板与第二夹持板移动。

优选的，所述第一螺纹筒与第一夹持板的数量均为两个，两个所述第一螺纹筒呈对称安装在第一双向螺纹杆的表面。

通过采用上述技术方案，当第二电机带动第一双向螺纹杆转动时，可以使两个第一螺纹筒相互靠近或远离对方。

优选的，所述第二螺纹筒与第二夹持板的数量均为两个，两个所述第二螺纹筒呈对称安装有第二双向螺纹杆的表面。

通过采用上述技术方案，当第三电机带动第二双向螺纹杆转动时，可以使两个第二螺纹筒相互靠近或远离对方。

优选的，所述滑槽的数量为四个，所述第一螺纹筒的一端贯穿滑槽与第一夹持板连接，所述第二螺纹筒的一端贯穿滑槽与第二夹持板连接。

通过采用上述技术方案，配合第二电机、第一双向螺纹杆与第一螺纹筒、第一滑动装置与第三电机、第二双向螺纹杆与第二螺纹筒、第二滑动装置，可以使第一夹持板与第二夹持板移动。

优选的，所述底板的底部安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的一端安装有万向轮，所述第一电动推杆与万向轮的数量均为三个。

通过采用上述技术方案，通过第一电动推杆，可以将放置架升降到合适的高度，通过设置万向轮，可以随意移动此装置的位置。

优选的，所述第一电动推杆的表面安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的一端连接有固定板。

通过采用上述技术方案，通过第二电动推杆使固定板移动，将固定板与地面接触，可以对此装置进行固定。

(三)有益效果

本申请提供了一种晶圆定位装置。具备有益效果如下：

1.该晶圆定位装置，通过在放置架的表面安装有第二电机与第三电机，配合第一双向螺纹杆、第一螺纹筒与第一滑动装置、第一夹持板与第二双向螺纹杆、第二螺纹筒与第二滑动装置、第二夹持板、滑槽，可以根据晶圆大小对晶圆进行定位夹持，提高了此装置实用性。

2.该晶圆定位装置，通过在底板的顶部设置第一电机，配合转轴，可以使放置架转动，从而使晶圆转动，方便根据需要转动晶圆，对晶圆进行加工，不用人工将晶圆转动，提高了此装置的实用性。

附图说明

图1为本申请完整结构示意图；

图2为本申请正视示意图；

图3为本申请立体剖面示意图。

图中：1、底板；2、第一电动推杆；3、万向轮；4、第二电动推杆；5、固定板；6、第一电机；7、转轴；8、放置架；9、第二电机；10、第一双向螺纹杆；11、第一螺纹筒；12、第一滑动装置；13、第一夹持板；14、第三电机；15、第二双向螺纹杆；16、第二螺纹筒；17、第二滑动装置；18、第二夹持板；19、滑槽。

具体实施方式

下面通过附图和实施例对本申请作进一步详细阐述。

参照图2和图3，本申请实施例提供一种晶圆定位装置，包括底板1，底板1的顶部安装有第一电机6，第一电机6的输出端安装有转轴7，转轴7的一端安装有放置架8，放置架8的表面安装有第二电机9，第二电机9的输出端安装有第一双向螺纹杆10，第一双向螺纹杆10的表面螺纹连接有第一螺纹筒11，第一螺纹筒11的一端连接有第一夹持板13，放置架8的内部设置有第一滑动装置12，放置架8的表面开设有滑槽19，放置架8的表面设置有第三电机14，第三电机14的输出端安装有第二双向螺纹杆15，第二双向螺纹杆15的表面螺纹连接有第二螺纹筒16，第二螺纹筒16的一端连接有第二夹持板18，放置架8的内部安装有第二滑动装置17，通过第二电机9带动第一双向螺纹杆10转动，使第一螺纹筒11移动，配合第一滑动装置12与滑槽19，可以使第一夹持板13移动，通过第三电机14带动第二双向螺纹杆15转动，使第二螺纹筒16移动，配合第二滑动装置17与滑槽19，带动第二夹持板18移动，将第一夹持板13与第二夹持板18移动到合适的距离，再将晶圆放置在第一夹持板13与第二夹持板18的表面，对晶圆进行固定，再通过第一电机6带动转轴7转动，使放置架8转动，从而带动晶圆转动。

参照图1和图3，在本实施例的一个方面中，第一滑动装置12与第二滑动装置17均包括滑轨与两个滑块，滑块的一端分别与第一螺纹筒11、第二螺纹筒16连接，配合第二电机9、第一双向螺纹杆10、第一螺纹筒11与第三电机14、第二双向螺纹杆15、第二螺纹筒16，可以使第一夹持板13与第二夹持板18移动。

参照图1和图3，在本实施例的一个方面中，第一螺纹筒11与第一夹持板13的数量均为两个，两个第一螺纹筒11呈对称安装在第一双向螺纹杆10的表面，第一螺纹筒11的一端贯穿滑槽19与第一夹持板13连接，通过第二电机9带动第一双向螺纹杆10转动，使第一螺纹筒11移动，配合第一滑动装置12与滑槽19，可以使第一夹持板13移动。

参照图1和图3，在本实施例的一个方面中，第二螺纹筒16与第二夹持板18的数量均为两个，两个第二螺纹筒16呈对称安装有第二双向螺纹杆15的表面，，第二螺纹筒16的一端贯穿滑槽19与第二夹持板18连接，通过第三电机14带动第二双向螺纹杆15转动，使第二螺纹筒16移动，配合第二滑动装置17与滑槽19，带动第二夹持板18移动。

参照图1和图2，在本实施例的一个方面中，底板1的底部安装有第一电动推杆2，第一电动推杆2的一端安装有万向轮3，第一电动推杆2与万向轮3的数量均为三个，第一电动推杆2的表面安装有第二电动推杆4，第二电动推杆4的一端连接有固定板5，通过万向轮3将此装置移动到合适的位置，再通过第二电动推杆4，使固定板5移动，将固定板5与地面接触，对此装置进行固定。

本方案中所有的用电设备均通过外接电源进行供电。

工作原理：使用时，通过万向轮3将此装置移动到合适的位置，再通过第二电动推杆4，使固定板5移动，将固定板5与地面接触，对此装置进行固定，再通过第一电动推杆2，将底板1升降到合适的高度，通过第二电机9带动第一双向螺纹杆10转动，使第一螺纹筒11移动，配合第一滑动装置12与滑槽19，可以使第一夹持板13移动，通过第三电机14带动第二双向螺纹杆15转动，使第二螺纹筒16移动，配合第二滑动装置17与滑槽19，带动第二夹持板18移动，将第一夹持板13与第二夹持板18移动到合适的距离，再将晶圆放置在第一夹持板13与第二夹持板18的表面，对晶圆进行固定，再通过第一电机6带动转轴7转动，使放置架8转动，从而带动晶圆转动，其中，第一双向螺纹杆10与第二双向螺纹杆15均为一杆螺纹杆的表面对称开设有两端方向相反的螺纹，且两个第一螺纹筒11与两个第二螺纹筒16分别旋在两段螺纹的表面，通过使第一双向螺纹杆10与第二双向螺纹杆15转动，可以使两个第一螺纹筒11与两个第二螺纹筒16相互靠近或远离对方。

尽管已经示出和描述了本申请的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本申请的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本申请的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆定位装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部安装有第一电机(6)，所述第一电机(6)的输出端安装有转轴(7)，所述转轴(7)的一端安装有放置架(8)，所述放置架(8)的表面安装有第二电机(9)，所述第二电机(9)的输出端安装有第一双向螺纹杆(10)，所述第一双向螺纹杆(10)的表面螺纹连接有第一螺纹筒(11)，所述第一螺纹筒(11)的一端连接有第一夹持板(13)，所述放置架(8)的内部设置有第一滑动装置(12)，所述放置架(8)的表面开设有滑槽(19)，所述放置架(8)的表面设置有第三电机(14)，所述第三电机(14)的输出端安装有第二双向螺纹杆(15)，所述第二双向螺纹杆(15)的表面螺纹连接有第二螺纹筒(16)，所述第二螺纹筒(16)的一端连接有第二夹持板(18)，所述放置架(8)的内部安装有第二滑动装置(17)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述第一滑动装置(12)与第二滑动装置(17)均包括滑轨与两个滑块，所述滑块的一端分别与第一螺纹筒(11)、第二螺纹筒(16)连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述第一螺纹筒(11)与第一夹持板(13)的数量均为两个，两个所述第一螺纹筒(11)呈对称安装在第一双向螺纹杆(10)的表面。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述第二螺纹筒(16)与第二夹持板(18)的数量均为两个，两个所述第二螺纹筒(16)呈对称安装有第二双向螺纹杆(15)的表面。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述滑槽(19)的数量为四个，所述第一螺纹筒(11)的一端贯穿滑槽(19)与第一夹持板(13)连接，所述第二螺纹筒(16)的一端贯穿滑槽(19)与第二夹持板(18)连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述底板(1)的底部安装有第一电动推杆(2)，所述第一电动推杆(2)的一端安装有万向轮(3)，所述第一电动推杆(2)与万向轮(3)的数量均为三个。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述第一电动推杆(2)的表面安装有第二电动推杆(4)，所述第二电动推杆(4)的一端连接有固定板(5)。