CN220170902U - 一种硅棒质检用擦拭装置 - Google Patents
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Abstract
一种硅棒质检用擦拭装置,涉及硅棒质检设备技术领域,夹持机构上安装有擦拭机构,且擦拭机构位于夹持机构的中间位置,所述H型定位板的两侧分别固定连接有固定机构,所述H型定位板的上侧与夹持机构相接处,且固定机构的移动端与夹持机构接触连接,所述H型定位板两侧的纵板上分别设有滑动槽,且滑动槽内安装有驱动机构,所述驱动机构的移动端上设有放置槽;本实用新型所述的一种硅棒质检用擦拭装置,通过夹持机构对输送带上的硅棒进行夹持,使硅棒进行悬空,通过擦拭机构对悬空的硅棒整体进行擦拭,同时对硅棒的四个面进行擦拭,减少擦拭的时间,提高工作效率,同时通过擦拭机构对硅棒的表面进行检测,方便工作人员查看硅棒表面。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅棒质检设备技术领域,尤其是涉及一种硅棒质检用擦拭装置。
背景技术
硅棒在转运过程中需要工作人员对硅棒进行检查和擦拭,由于硅棒上的脏污点较小,长时间工作后,会出现视觉疲劳,可能会漏掉脏污部位,影响硅棒的质检效果。
现有的晶棒用自动擦拭装置,如公开(公告)号:CN216064746U公开的一种晶棒用自动擦拭装置,该装置一次只能对产品的一侧进行擦拭,整个产品擦拭完毕,需要耗费较长的时间,影响工作效率。
实用新型内容
为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了一种硅棒质检用擦拭装置,本实用新型通过夹持机构对输送带上的硅棒进行夹持,使硅棒进行悬空,通过擦拭机构对悬空的硅棒整体进行擦拭,同时对硅棒的四个面进行擦拭,减少擦拭的时间,提高工作效率,同时通过擦拭机构对硅棒的表面进行检测,方便工作人员查看硅棒表面。
为了实现所述实用新型目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种硅棒质检用擦拭装置,包括夹持机构,所述夹持机构上安装有擦拭机构,且擦拭机构位于夹持机构的中间位置。
所述擦拭机构包括H型定位板、驱动机构、清理机构和固定机构,所述H型定位板的两侧分别固定连接有固定机构,所述H型定位板的上侧与夹持机构相接处,且固定机构的移动端与夹持机构接触连接,所述H型定位板两侧的纵板上分别设有滑动槽,且滑动槽内安装有驱动机构,所述驱动机构的移动端上设有放置槽,且放置槽内安装有清理机构。
所述驱动机构包括固定杆、同步带、电机同步轮、伺服电机、同步轮、螺杆和移动杆,所述螺杆的数量为两个,两个螺杆分别位于H型定位板上的两个滑动槽内并转动连接,且螺杆的一端穿过H型定位板与同步轮连接,所述螺杆上螺纹连接有移动杆,且移动杆上设有放置槽,所述固定杆的数量为两个,两个固定杆分别位于H型定位板自带凹槽的两侧板壁上并固定连接,两个固定杆之间固定连接有伺服电机,且伺服电机通过电机轴与电机同步轮,所述电机同步轮与同步轮之间通过同步带连接。
所述电机同步轮的直径大于同步轮的直径。
所述清理机构包括圆形环、导电滑环、储液盒、视觉传感器、L型杆、固定块、连接杆、分流管、擦拭辊、定位杆、滑动杆、弹簧和滑动块,所述滑动杆和弹簧的数量均为两个,且滑动杆与弹簧相套接,所述滑动杆和弹簧均位于移动杆上的放置槽内,且弹簧的顶端与放置槽上侧的槽壁固定连接,所述弹簧的底端与滑动块固定连接,且滑动块与滑动杆滑动连接,两个滑动块之间固定连接有导电滑环,且导电滑环的转动端上固定连接有圆形环,所述圆形环的内壁上固定连接有等距排列的定位杆,且定位杆的一端固定连接有固定块,所述固定块上固定连接有L型杆,同侧的两个L型杆之间固定连接有视觉传感器,同侧的两个固定块之间转动连接有擦拭辊,所述储液盒等距排列与圆形环的内壁上并固定连接,且储液盒内设有小型水泵,所述小型水泵通过供液管与分流管连通,且分流管的两端分别固定连接有连接杆,所述连接杆位于相邻两个固定块之间并固定连接。
所述固定机构包括L型卡接杆、旋转螺杆和垫片,所述L型卡接杆等距排列与H型定位板两侧的板壁上并固定连接,且L型卡接杆的横端上螺纹连接有旋转螺杆,所述旋转螺杆的一端固定连接有垫片,且垫片与夹持机构接触连接。
由于采用了上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:
本实用新型所述的一种硅棒质检用擦拭装置,通过夹持机构对输送带上的硅棒进行夹持,使硅棒进行悬空,通过擦拭机构对悬空的硅棒整体进行擦拭,同时对硅棒的四个面进行擦拭,减少擦拭的时间,提高工作效率,同时通过擦拭机构对硅棒的表面进行检测,方便工作人员查看硅棒表面。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图;
图2为本实用新型的擦拭机构结构示意图;
图3为本实用新型的擦拭机构侧视图;
图4为本实用新型的A处放大结构示意图;
1、夹持机构;2、擦拭机构;201、H型定位板;202、驱动机构;202.1、固定杆;202.2、同步带;202.3、电机同步轮;202.4、伺服电机;202.5、同步轮;202.6、移动杆;203、清理机构;203.1、圆形环;203.2、导电滑环;203.3、储液盒;203.4、视觉传感器;203.5、L型杆;203.6、固定块;203.7、连接杆;203.8、分流管;203.9、擦拭辊;203.10、定位杆;203.11、滑动杆;203.12、弹簧;203.13、滑动块;204、固定机构;204.1、L型卡接杆;204.2、旋转螺杆;204.3、垫片。
实施方式
通过下面的实施例可以详细的解释本实用新型,公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切技术改进。
结合附图1~4所述的一种硅棒质检用擦拭装置,包括夹持机构1,所述夹持机构1上安装有擦拭机构2,且擦拭机构2位于夹持机构1的中间位置,夹持机构1位于主设备上的电动伸缩杆上,通过主设备上的电动伸缩杆控制夹持机构1进行上下移动,夹持机构1由两个直线电机、两个夹持杆和控制箱组成,通过两个直线电机分别带动两个夹持杆进行同时向内或同时向外进行移动,通过两个夹持杆对硅棒进行夹持,夹持杆上设有旋转电机,通过旋转电机带动硅棒进行自转,擦拭机构2内所有的用电设备均与夹持机构1内的控制箱连接,通过控制箱为擦拭机构2内所有的用电设备进行供电,并通过控制箱控制擦拭机构2内所有的用电设备进行工作。
所述擦拭机构2包括H型定位板201、驱动机构202、清理机构203和固定机构204,所述H型定位板201的两侧分别固定连接有固定机构204,所述H型定位板201的上侧与夹持机构1相接处,且固定机构204的移动端与夹持机构1接触连接,所述H型定位板201两侧的纵板上分别设有滑动槽,且滑动槽内安装有驱动机构202,所述驱动机构202的移动端上设有放置槽,且放置槽内安装有清理机构203。
所述驱动机构202包括固定杆202.1、同步带202.2、电机同步轮202.3、伺服电机202.4、同步轮202.5、螺杆和移动杆202.6,所述螺杆的数量为两个,两个螺杆分别位于H型定位板201上的两个滑动槽内并转动连接,且螺杆的一端穿过H型定位板201与同步轮202.5连接,所述螺杆上螺纹连接有移动杆202.6,且移动杆202.6上设有放置槽,所述固定杆202.1的数量为两个,两个固定杆202.1分别位于H型定位板201自带凹槽的两侧板壁上并固定连接,两个固定杆202.1之间固定连接有伺服电机202.4,且伺服电机202.4通过电机轴与电机同步轮202.3,所述电机同步轮202.3与同步轮202.5之间通过同步带202.2连接。
所述电机同步轮202.3的直径大于同步轮202.5的直径。
所述清理机构203包括圆形环203.1、导电滑环203.2、储液盒203.3、视觉传感器203.4、L型杆203.5、固定块203.6、连接杆203.7、分流管203.8、擦拭辊203.9、定位杆203.10、滑动杆203.11、弹簧203.12和滑动块203.13,所述滑动杆203.11和弹簧203.12的数量均为两个,且滑动杆203.11与弹簧203.12相套接,所述滑动杆203.11和弹簧203.12均位于移动杆202.6上的放置槽内,且弹簧203.12的顶端与放置槽上侧的槽壁固定连接,所述弹簧203.12的底端与滑动块203.13固定连接,且滑动块203.13与滑动杆203.11滑动连接,两个滑动块203.13之间固定连接有导电滑环203.2,且导电滑环203.2的转动端上固定连接有圆形环203.1,所述圆形环203.1的内壁上固定连接有等距排列的定位杆203.10,且定位杆203.10的一端固定连接有固定块203.6,所述固定块203.6上固定连接有L型杆203.5,同侧的两个L型杆203.5之间固定连接有视觉传感器203.4,同侧的两个固定块203.6之间转动连接有擦拭辊203.9,所述储液盒203.3等距排列与圆形环203.1的内壁上并固定连接,且储液盒203.3内设有小型水泵,所述小型水泵通过供液管与分流管203.8连通,且分流管203.8的两端分别固定连接有连接杆203.7,所述连接杆203.7位于相邻两个固定块203.6之间并固定连接。
所述固定机构204包括L型卡接杆204.1、旋转螺杆204.2和垫片204.3,所述L型卡接杆204.1等距排列与H型定位板201两侧的板壁上并固定连接,且L型卡接杆204.1的横端上螺纹连接有旋转螺杆204.2,所述旋转螺杆204.2的一端固定连接有垫片204.3,且垫片204.3与夹持机构1接触连接。
所述的一种硅棒质检用擦拭装置,在使用的时候,工作人员将H型定位板201贴在夹持机构1上,并转动螺杆204.2,通过螺杆204.2带动垫片204.3进行移动,使垫片204.3紧贴夹持机构1,将擦拭机构2固定在夹持机构1上,通过主设备上的电动伸缩杆带动夹持机构1进行下移,通过夹持机构1对输送带上的硅棒进行夹持,夹持机构1在夹持硅棒时,会带动圆形环203.1进行上移,避免圆形环203.1妨碍夹持机构1对硅棒进行夹持,圆形环203.1初始状态时位于夹持机构1夹持杆的横端上,圆形环203.1的中空部位套在夹持机构1夹持杆的横端上,且圆形环203.1的中心位置与夹持机构1夹持杆横端的中心位置相重合,硅棒夹持完毕后,通过主设备上的电动伸缩杆带动夹持机构1进行上移,硅棒在脱离输送带后,通过弹簧203.12对圆形环203.1进行复位,使圆形环203.1的中心位置与硅棒相对应,通过夹持机构1上的控制箱启动伺服电机202.4,伺服电机202.4通过电机同步轮202.3、同步带202.2和同步轮202.5带动螺杆进行转动,通过螺杆的转动带动移动杆202.6进行移动,通过移动杆202.6带动圆形环203.1进行移动,通过圆形环203.1上的视觉传感器203.4对硅棒的表面进行检测,并将检测信息传递至夹持机构1上的控制箱内,供工作人员进行放大查看,通过储液盒203.3内的水泵将酒精输送至分流管203.8,通过分流管203.8将酒精喷在硅棒表面,通过圆形环203.1的移动带动擦拭辊203.9进行移动,通过擦拭辊203.9对喷有酒精的硅棒表面进行擦拭,可对硅棒的四面进行同时擦拭,提高工作效率。
本实用新型未详述部分为现有技术,尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型,具体实现该技术方案方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,但所属领域的技术人员应该明白,在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内,在形式上和细节上可以对本实用新型做出各种变化,均为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种硅棒质检用擦拭装置,包括夹持机构(1),其特征是:所述夹持机构(1)上安装有擦拭机构(2),且擦拭机构(2)位于夹持机构(1)的中间位置;
所述擦拭机构(2)包括H型定位板(201)、驱动机构(202)、清理机构(203)和固定机构(204),所述H型定位板(201)的两侧分别固定连接有固定机构(204),所述H型定位板(201)的上侧与夹持机构(1)相接处,且固定机构(204)的移动端与夹持机构(1)接触连接,所述H型定位板(201)两侧的纵板上分别设有滑动槽,且滑动槽内安装有驱动机构(202),所述驱动机构(202)的移动端上设有放置槽,且放置槽内安装有清理机构(203)。
2.根据权利要求1所述的硅棒质检用擦拭装置,其特征是:所述驱动机构(202)包括固定杆(202.1)、同步带(202.2)、电机同步轮(202.3)、伺服电机(202.4)、同步轮(202.5)、螺杆和移动杆(202.6),所述螺杆的数量为两个,两个螺杆分别位于H型定位板(201)上的两个滑动槽内并转动连接,且螺杆的一端穿过H型定位板(201)与同步轮(202.5)连接,所述螺杆上螺纹连接有移动杆(202.6),且移动杆(202.6)上设有放置槽,所述固定杆(202.1)的数量为两个,两个固定杆(202.1)分别位于H型定位板(201)自带凹槽的两侧板壁上并固定连接,两个固定杆(202.1)之间固定连接有伺服电机(202.4),且伺服电机(202.4)通过电机轴与电机同步轮(202.3),所述电机同步轮(202.3)与同步轮(202.5)之间通过同步带(202.2)连接。
3.根据权利要求2所述的硅棒质检用擦拭装置,其特征是:所述电机同步轮(202.3)的直径大于同步轮(202.5)的直径。
4.根据权利要求1所述的硅棒质检用擦拭装置,其特征是:所述清理机构(203)包括圆形环(203.1)、导电滑环(203.2)、储液盒(203.3)、视觉传感器(203.4)、L型杆(203.5)、固定块(203.6)、连接杆(203.7)、分流管(203.8)、擦拭辊(203.9)、定位杆(203.10)、滑动杆(203.11)、弹簧(203.12)和滑动块(203.13),所述滑动杆(203.11)和弹簧(203.12)的数量均为两个,且滑动杆(203.11)与弹簧(203.12)相套接,所述滑动杆(203.11)和弹簧(203.12)均位于移动杆(202.6)上的放置槽内,且弹簧(203.12)的顶端与放置槽上侧的槽壁固定连接,所述弹簧(203.12)的底端与滑动块(203.13)固定连接,且滑动块(203.13)与滑动杆(203.11)滑动连接,两个滑动块(203.13)之间固定连接有导电滑环(203.2),且导电滑环(203.2)的转动端上固定连接有圆形环(203.1),所述圆形环(203.1)的内壁上固定连接有等距排列的定位杆(203.10),且定位杆(203.10)的一端固定连接有固定块(203.6),所述固定块(203.6)上固定连接有L型杆(203.5),同侧的两个L型杆(203.5)之间固定连接有视觉传感器(203.4),同侧的两个固定块(203.6)之间转动连接有擦拭辊(203.9),所述储液盒(203.3)等距排列与圆形环(203.1)的内壁上并固定连接,且储液盒(203.3)内设有小型水泵,所述小型水泵通过供液管与分流管(203.8)连通,且分流管(203.8)的两端分别固定连接有连接杆(203.7),所述连接杆(203.7)位于相邻两个固定块(203.6)之间并固定连接。
5.根据权利要求1所述的硅棒质检用擦拭装置,其特征是:所述固定机构(204)包括L型卡接杆(204.1)、旋转螺杆(204.2)和垫片(204.3),所述L型卡接杆(204.1)等距排列与H型定位板(201)两侧的板壁上并固定连接,且L型卡接杆(204.1)的横端上螺纹连接有旋转螺杆(204.2),所述旋转螺杆(204.2)的一端固定连接有垫片(204.3),且垫片(204.3)与夹持机构(1)接触连接。
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