CN220143631U - 多晶硅破碎筛分机 - Google Patents

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狐政恺
呼维军
杨文文
宋永刚
杨宝辉
杨朝阳
徐玉玲
海东
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Abstract

本实用新型公开一种多晶硅破碎筛分机,包括:机体,机体设有破碎腔与分离腔,破碎腔的底部与分离腔连通;破碎装置的至少部分设置于破碎腔中;筛分体设置于分离腔,筛分体与分离腔的侧壁间隔设置,筛分体具有两端贯穿的筛分腔,筛分腔的上开口设置于破碎腔的底部且与破碎腔的底部连通;搅拌板设于筛分腔,驱动结构用于驱动搅拌板转动;支撑座上设有沿支撑座的高度方向贯穿的粗料腔,且分离腔的底壁与粗料腔对应的区域设有粗料出口,粗料出口与粗料腔连通,筛分体设置于支撑座的顶部,粗料腔与筛分腔连通;分离腔的底壁上设有与分离腔连通的细料出口。避免原料在不同设备间转移过程中的暴露风险,避免污染,提高多晶硅的质量。

Description

多晶硅破碎筛分机
技术领域
本实用新型属于多晶硅技术领域,具体涉及一种多晶硅破碎筛分机。
背景技术
随着信息化以及电子产品的发展,半导体材料成为了各种不同器件加工所需的重要基础材料。多晶硅具有优良的半导体性质,是常用的半导体材料。目前,在多晶硅材料加工过程中,成品车间的现状为人工与自动化两条线路结合,但人工线路的占比较大。成品车间可以分为破碎、筛分、装袋、封口、装箱、封箱、包膜等一系列工序。目前破碎、筛分是两道工序,分别利用两套设备,在通过破碎设备对多晶硅进行破碎后,将破碎后的原料转运到筛分设备进行筛分,多晶硅原料在不同设备之间转移的过程中存在较大的暴露风险,易造成污染,导致多晶硅材料的质量降低。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的是提供一种多晶硅破碎筛分机,用以解决在破碎、筛分工序中,多晶硅原料在不同设备之间转移过程中存在较大的暴露风险,易造成污染,导致多晶硅材料质量降低的问题。
本实用新型实施例提供了一种多晶硅破碎筛分机,包括:
机体,所述机体上设有破碎腔与分离腔,所述破碎腔的底部与所述分离腔连通;
破碎装置,所述破碎装置的至少部分设置于所述破碎腔中;
筛分体,所述筛分体设置于所述分离腔,所述筛分体与所述分离腔的侧壁间隔设置,所述筛分体具有两端贯穿的筛分腔,所述筛分体的侧壁上分布有筛孔,所述筛分腔的上开口设置于所述破碎腔的底部且与所述破碎腔的底部连通;
驱动结构与搅拌板,所述搅拌板设置于所述筛分腔中,所述驱动结构与所述搅拌板连接,所述驱动结构用于驱动所述搅拌板转动;
支撑座,所述支撑座设置于所述分离腔的底壁,所述支撑座上设有沿所述支撑座的高度方向贯穿的粗料腔,且所述分离腔的底壁与所述粗料腔对应的区域设有粗料出口,所述粗料出口与所述粗料腔连通,所述筛分体设置于所述支撑座的顶部,所述粗料腔与所述筛分腔连通;
所述分离腔的底壁上设有与所述分离腔连通的细料出口,所述细料出口与所述支撑座间隔设置。
可选地,所述驱动结构包括驱动电机,所述驱动电机的驱动轴与所述搅拌板连接,所述粗料腔中设有支撑板,所述驱动电机设置于所述支撑板,所述支撑板设有镂空孔,所述驱动电机与所述镂空孔间隔设置。
可选地,所述驱动电机设置于所述支撑板的中心区域,所述镂空孔围绕所述驱动电机的外周设置。
可选地,所述支撑座的外侧壁与所述分离腔的内侧壁之间设有反击器,所述反击器包括旋转轮,所述旋转轮的外周设有间隔分布的挡板;
所述分离腔的内侧壁设有活动板,所述活动板的一端与所述分离腔的内侧壁枢转连接,所述活动板的另一端与所述分离腔的内侧壁之间连接有弹性件。
可选地,相邻两个挡板之间设有连接凸起,所述连接凸起设置于所述旋转轮的外周表面,所述连接凸起远离所述旋转轮的一侧表面为弧形面。
可选地,所述分离腔的内侧壁与所述支撑座对应的区域具有弧形凹槽,所述活动板的一端与所述弧形凹槽的内壁枢转连接,所述弹性件设置于所述弧形凹槽的内壁。
可选地,所述反击器的数量为多个,多个所述反击器设置于所述支撑座的外周,所述分离腔的底壁与所述反击器对应的区域设有所述细料出口。
可选地,所述破碎装置包括:
多个破碎转杆与多个破碎电机,多个所述破碎转杆沿所述分离腔的高度方向间隔设置于所述破碎腔中,所述破碎电机设置于所述机体,每个所述破碎转杆的一端与对应的所述破碎电机的驱动轴连接,所述破碎转杆的外侧表面分布有破碎齿;
所述筛分体为圆台状,所述筛分体的上端端部的直径大于所述筛分体的下端端部的直径;
所述筛分体的轴线与所述破碎转杆的轴线垂直,所述筛分体的轴线与所述驱动电机的驱动轴的轴线平行或共线;
所述旋转轮的轴线垂直于第一平面,所述筛分体的轴线与所述破碎转杆的轴线处于所述第一平面。
可选地,所述破碎装置包括:
多个破碎转杆与多个破碎电机,多个所述破碎转杆沿所述分离腔的高度方向间隔设置于所述破碎腔中,所述破碎电机设置于所述机体,每个所述破碎转杆的一端与对应的所述破碎电机的驱动轴连接,所述破碎转杆的外侧表面分布有破碎齿。
可选地,所述筛分体为圆台状,所述筛分体的上端端部的直径大于所述筛分体的下端端部的直径;
所述筛分体的轴线与所述破碎转杆的轴线垂直,所述筛分体的轴线与所述驱动电机的驱动轴的轴线平行或共线;和/或
所述筛分体设置于所述破碎转杆与所述支撑座之间。
在本实用新型实施例的多晶硅破碎筛分机中,筛分腔的上开口设置于所述破碎腔的底部且与所述破碎腔的底部连通;所述支撑座设置于所述分离腔的底壁,所述支撑座上设有粗料腔,分离腔的底壁与所述粗料腔对应的区域设有粗料出口,所述粗料出口与所述粗料腔连通,所述筛分体设置于所述支撑座的顶部,所述粗料腔与所述筛分腔连通;所述分离腔的底壁上设有与所述分离腔连通的细料出口。搅拌板设置于筛分腔中,驱动结构用于驱动搅拌板转动,以使多晶硅细料从筛分腔中筛分出。在使用过程中,可以将多晶硅通过破碎装置进行破碎,破碎后的多晶硅会落入筛分体的筛分腔中,通过驱动结构带动筛分体中的搅拌板转动,通过筛分体对进入筛分腔中的破碎料进行筛分,使得多晶硅的细料从筛分腔筛分出来,然后从细料出口流出,多晶硅的粗料从筛分腔下落进入粗料腔,然后从粗料出口流出,使得多晶硅的破碎和筛分在同一设备中进行,破碎后可以直接进行筛分,不需要料体在不同设备之间转移,避免原料在不同设备之间转移的过程中的暴露风险,避免造成污染,提高多晶硅材料的质量,生产效率较高,减少人力物力。
附图说明
图1为本实用新型实施例中多晶硅破碎筛分机的一个结构示意图;
图2为支撑板的一个结构示意图。
附图标记
机体10;破碎腔11;分离腔12;细料出口13;粗料出口14;
筛分体20;筛分腔21;搅拌板22;搅拌轴23;
支撑座30;粗料腔31;
驱动电机40;支撑板41;镂空孔42;
旋转轮50;挡板51;连接凸起52;
活动板60;弹性件61;弧形凹槽62;
破碎转杆71;破碎电机72;破碎齿73。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图1至图2所示,通过具体的实施例及其应用场景对本实用新型实施例提供的多晶硅破碎筛分机进行详细地说明。
如图1所示,本实用新型实施例的多晶硅破碎筛分机,包括:机体10、破碎装置、筛分体20、驱动结构、搅拌板22、支撑座30,机体10上设有破碎腔11与分离腔12,破碎腔11可以设置于分离腔12的上方,破碎腔11的底部可以与分离腔12连通。破碎装置的至少部分设置于破碎腔11中,通过破碎装置可以破碎多晶硅。筛分体20设置于分离腔12,筛分体20与分离腔12的侧壁间隔设置,使得筛分体20筛分出的细料可以进入筛分体20与分离腔12的侧壁之间。筛分体20具有两端贯穿的筛分腔21,筛分体20的侧壁上分布有筛孔,多个筛孔可以间隔分布在筛分体20的侧壁上,筛分腔21的上开口设置于破碎腔11的底部且与破碎腔11的底部连通,通过破碎装置破碎的多晶硅可以进入筛分腔21进行筛分,筛分体20筛分出的细料可以进入筛分体20与分离腔12的侧壁之间。
搅拌板22设置于筛分腔21中,驱动结构与搅拌板22连接,驱动结构可以用于驱动搅拌板22转动。搅拌板22的边沿可以止抵或靠近筛分腔21的内侧壁,通过搅拌板22的搅拌可以使得筛分腔21中的多晶硅细料筛分出去。驱动结构可以为驱动电机,通过驱动电机可以带动筛分体20中的搅拌板22旋转。搅拌轴23的下端可以与驱动电机的驱动轴连接,搅拌板22可以设置于搅拌轴23上,通过驱动电机可以驱动搅拌轴23转动,搅拌轴23带动搅拌板22转动。搅拌板22可以竖直设置,搅拌板22可以与搅拌轴23的轴线平行。
支撑座30可以设置于分离腔12的底壁,支撑座30设置于分离腔12中,支撑座30上设有沿支撑座30的高度方向贯穿的粗料腔31,且分离腔12的底壁与粗料腔31对应的区域可以设有粗料出口14,粗料出口14与粗料腔31连通,筛分体20可以设置于支撑座30的顶部,筛分体20可以设置于支撑座30与破碎腔11之间,粗料腔31与筛分腔21连通。分离腔12的底壁上可以设有与分离腔12连通的细料出口13,细料出口13的数量可以为一个或多个,比如,细料出口13的数量可以为两个,细料出口13与支撑座30可以间隔设置。破碎装置破碎的多晶硅可以进入筛分腔21进行筛分,筛分体20筛分出的细料可以进入筛分体20与分离腔12的侧壁之间,细料通过细料出口13流出。筛分腔21中的粗料可以流入粗料腔31中,然后从粗料出口14流出。
在本实用新型实施例的多晶硅破碎筛分机中,筛分腔21的上开口设置于破碎腔11的底部且与破碎腔11的底部连通;支撑座30设置于分离腔12的底壁,支撑座30上设有粗料腔31,分离腔12的底壁与粗料腔31对应的区域设有粗料出口14,粗料出口14与粗料腔31连通,筛分体20设置于支撑座30的顶部,粗料腔31与筛分腔21连通;分离腔12的底壁上设有与分离腔12连通的细料出口13。搅拌板设置于筛分腔中,驱动结构用于驱动搅拌板转动,以使多晶硅细料从筛分腔中筛分出。在使用过程中,可以将多晶硅通过破碎装置进行破碎,破碎后的多晶硅会落入筛分体的筛分腔21中,通过驱动结构带动筛分体20中的搅拌板22转动,通过筛分体20对进入筛分腔21中的破碎料进行筛分,使得多晶硅的细料从筛分腔筛分出来,然后从细料出口13流出,多晶硅的粗料从筛分腔21下落进入粗料腔31,然后从粗料出口14流出,使得多晶硅的破碎和筛分在同一设备中进行,破碎后可以直接进行筛分,不需要料体在不同设备之间转移,避免原料在不同设备之间转移过程中的暴露风险,避免造成污染,提高多晶硅材料的质量,生产效率较高,减少人力物力。多晶硅破碎筛分机通过将破碎、筛分两道工序结合到一起,取消破碎到筛分的转运过程,减少原料在空气中暴露时间,减少原料与其他金属接触时间,可以减少表金属污染;通过将破碎、筛分两套设备集成到同一设备,减少整个生产过程的时间,减少设备配套的人员岗位,可以提升生产效率。
在一些实施例中,如图1和图2所示,驱动结构可以包括驱动电机40,驱动电机40的驱动轴与搅拌板22可以连接,粗料腔31中可以设有支撑板41,驱动电机40可以设置于支撑板41,驱动电机40可以设置于支撑板41的上侧表面,驱动电机40可以设置于粗料腔31中。支撑板41可以设有镂空孔42,镂空孔42的数量可以为一个或多个,驱动电机40与镂空孔42可以间隔设置,以便于筛分腔21中的粗料可以流入粗料腔31中,进而使得粗料可以从粗料出口14流出。
可选地,驱动电机40可以设置于支撑板41的中心区域,镂空孔42可以围绕驱动电机40的外周设置,镂空孔42的数量可以为多个,多个镂空孔42可以围绕驱动电机40的外周均匀间隔设置,防止电机阻挡粗料的流动。支撑板41的边沿可以止抵粗料腔31的内侧壁,支撑板41的边沿可以与粗料腔31的内侧壁固定连接,支撑板41可以垂直于驱动电机40的驱动轴。
在一些实施例中,支撑座30的外侧壁与分离腔12的内侧壁之间可以设有反击器,反击器可以包括旋转轮50,旋转轮50的外周可以设有间隔分布的挡板51,筛分体20筛分出的细料进入筛分体20与分离腔12的侧壁之间,落入相邻的挡板51之间,旋转轮50转动过程中带动细料。分离腔12的内侧壁可以设有活动板60,活动板60的数量可以为一个或多个,活动板60的一端与分离腔12的内侧壁可以枢转连接,活动板60的另一端与分离腔12的内侧壁之间可以连接有弹性件61,弹性件61可以为弹性橡胶件或弹簧。旋转轮50转动过程中可以带动细料,当细料从相邻的挡板51之间被甩出后,细料碰撞到活动板60,活动板60可以使得细料进一步破碎,提高破碎效果。细料碰撞到活动板60,活动板60可以压缩弹性件61,当细料碰撞到活动板60的数量减少时,弹性件61可以驱动活动板60回复至原位置。弹性件61可以缓冲活动板60与分离腔12的内侧壁之间的碰撞。
可选地,相邻两个挡板51之间可以设有连接凸起52,连接凸起52可以设置于旋转轮50的外周表面,挡板51可以与连接凸起52连接,连接凸起52远离旋转轮50的一侧表面可以为弧形面。连接凸起52的凸起高度可以小于挡板51的高度,以便细料可以落入相邻的挡板51之间,旋转轮50转动过程中可以甩出细料。
可选地,分离腔12的内侧壁与支撑座30对应的区域可以具有弧形凹槽62,活动板60的一端与弧形凹槽62的内壁可以枢转连接,弹性件61可以设置于弧形凹槽62的内壁,弧形凹槽62可以增加分离腔12的空间,旋转轮50转动过程中甩出细料时便于细料碰撞到活动板60。
可选地,反击器的数量可以为多个,多个反击器可以设置于支撑座30的外周,分离腔12的底壁与反击器对应的区域可以设有细料出口13,细料碰撞到活动板60后,便于细料从细料出口13流出。
在本实用新型的实施例中,如图1所示,破碎装置可以包括:多个破碎转杆71与多个破碎电机72,多个破碎转杆71沿分离腔12的高度方向间隔设置于破碎腔11中,破碎电机72设置于机体10,每个破碎转杆71的一端与对应的破碎电机72的驱动轴连接,破碎转杆71的外侧表面分布有破碎齿73。通过破碎电机72可以带动破碎转杆71转动,从而对多晶硅进行破碎。破碎转杆71可以设置于分离腔12中,筛分体20可以设置于破碎转杆71与支撑座30之间。筛分体20可以为圆台状,筛分体20的上端端部的直径大于筛分体20的下端端部的直径,便于破碎后的多晶硅进行筛分。筛分体20的轴线与破碎转杆71的轴线可以垂直,筛分体20的轴线与驱动电机40的驱动轴的轴线可以平行或共线;旋转轮50的轴线可以垂直于第一平面,筛分体20的轴线与破碎转杆71的轴线可以共面,筛分体20的轴线与破碎转杆71的轴线处于第一平面。搅拌轴23的轴线可以与筛分体20的轴线共线。
在一些实施例中,破碎装置可以包括:多个破碎转杆71与多个破碎电机72,多个破碎转杆71沿分离腔12的高度方向间隔设置于破碎腔11中,破碎电机72设置于机体10,每个破碎转杆71的一端与对应的破碎电机72的驱动轴连接,破碎转杆71的外侧表面分布有破碎齿73。通过破碎电机72可以带动破碎转杆71转动,以使多晶硅破碎。
可选地,筛分体20可以为圆台状,筛分体20的上端端部的直径大于筛分体20的下端端部的直径。筛分体20的轴线与破碎转杆71的轴线垂直,筛分体20的轴线与驱动电机40的驱动轴的轴线平行或共线,便于破碎后的多晶硅进行筛分。
可选地,筛分体20设置于破碎转杆71与支撑座30之间,以使得破碎后的多晶硅可以进入筛分体20的筛分腔21中进行筛分。筛分体20筛分出的细料可以进入筛分体20与分离腔12的侧壁之间,细料通过细料出口13流出,筛分腔21中的粗料可以流入粗料腔31中,然后从粗料出口14流出。
上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述,但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下,在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,均属于本实用新型的保护之内。

Claims (10)

1.一种多晶硅破碎筛分机,其特征在于,包括:
机体,所述机体上设有破碎腔与分离腔,所述破碎腔的底部与所述分离腔连通;
破碎装置,所述破碎装置的至少部分设置于所述破碎腔中;
筛分体,所述筛分体设置于所述分离腔,所述筛分体与所述分离腔的侧壁间隔设置,所述筛分体具有两端贯穿的筛分腔,所述筛分体的侧壁上分布有筛孔,所述筛分腔的上开口设置于所述破碎腔的底部且与所述破碎腔的底部连通;
驱动结构与搅拌板,所述搅拌板设置于所述筛分腔中,所述驱动结构与所述搅拌板连接,所述驱动结构用于驱动所述搅拌板转动;
支撑座,所述支撑座设置于所述分离腔的底壁,所述支撑座上设有沿所述支撑座的高度方向贯穿的粗料腔,且所述分离腔的底壁与所述粗料腔对应的区域设有粗料出口,所述粗料出口与所述粗料腔连通,所述筛分体设置于所述支撑座的顶部,所述粗料腔与所述筛分腔连通;
所述分离腔的底壁上设有与所述分离腔连通的细料出口,所述细料出口与所述支撑座间隔设置。
2.根据权利要求1所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述驱动结构包括驱动电机,所述驱动电机的驱动轴与所述搅拌板连接,所述粗料腔中设有支撑板,所述驱动电机设置于所述支撑板,所述支撑板设有镂空孔,所述驱动电机与所述镂空孔间隔设置。
3.根据权利要求2所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述驱动电机设置于所述支撑板的中心区域,所述镂空孔围绕所述驱动电机的外周设置。
4.根据权利要求2所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述支撑座的外侧壁与所述分离腔的内侧壁之间设有反击器,所述反击器包括旋转轮,所述旋转轮的外周设有间隔分布的挡板;
所述分离腔的内侧壁设有活动板,所述活动板的一端与所述分离腔的内侧壁枢转连接,所述活动板的另一端与所述分离腔的内侧壁之间连接有弹性件。
5.根据权利要求4所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,相邻两个挡板之间设有连接凸起,所述连接凸起设置于所述旋转轮的外周表面,所述连接凸起远离所述旋转轮的一侧表面为弧形面。
6.根据权利要求4所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述分离腔的内侧壁与所述支撑座对应的区域具有弧形凹槽,所述活动板的一端与所述弧形凹槽的内壁枢转连接,所述弹性件设置于所述弧形凹槽的内壁。
7.根据权利要求4所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述反击器的数量为多个,多个所述反击器设置于所述支撑座的外周,所述分离腔的底壁与所述反击器对应的区域设有所述细料出口。
8.根据权利要求4所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述破碎装置包括:
多个破碎转杆与多个破碎电机,多个所述破碎转杆沿所述分离腔的高度方向间隔设置于所述破碎腔中,所述破碎电机设置于所述机体,每个所述破碎转杆的一端与对应的所述破碎电机的驱动轴连接,所述破碎转杆的外侧表面分布有破碎齿;
所述筛分体为圆台状,所述筛分体的上端端部的直径大于所述筛分体的下端端部的直径;
所述筛分体的轴线与所述破碎转杆的轴线垂直,所述筛分体的轴线与所述驱动电机的驱动轴的轴线平行或共线;
所述旋转轮的轴线垂直于第一平面,所述筛分体的轴线与所述破碎转杆的轴线处于所述第一平面。
9.根据权利要求2所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述破碎装置包括:
多个破碎转杆与多个破碎电机,多个所述破碎转杆沿所述分离腔的高度方向间隔设置于所述破碎腔中,所述破碎电机设置于所述机体,每个所述破碎转杆的一端与对应的所述破碎电机的驱动轴连接,所述破碎转杆的外侧表面分布有破碎齿。
10.根据权利要求9所述的多晶硅破碎筛分机,其特征在于,所述筛分体为圆台状,所述筛分体的上端端部的直径大于所述筛分体的下端端部的直径;
所述筛分体的轴线与所述破碎转杆的轴线垂直,所述筛分体的轴线与所述驱动电机的驱动轴的轴线平行或共线;和/或
所述筛分体设置于所述破碎转杆与所述支撑座之间。
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